JP4554448B2 - Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶製造装置 - Google Patents
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Description
2 反応容器
3 シリンダー
4,16 供給管
5 ピストン
6 ロッド
7 III族金属
8 フランジ
9 N2ガス供給管
10 ヒーター
11 融液
12 シリンダー支持具
13 開閉棒
14 蓋
15 棒
17 接続管
Claims (5)
- アルカリ金属を含む融液中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶製造方法であり、前記III族金属を収容している容器から前記III族金属を融液中に供給することで継続的に前記III族窒化物結晶を成長する方法において、
前記III族金属の供給時以外には供給部材内の前記III族金属と窒素との気液界面をIII族窒化物の結晶成長温度以下になる場所に移動させることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。 - アルカリ金属を含む融液中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶製造方法であり、原料であるIII族金属を収容している容器からIII族金属を前記アルカリ金属を含む融液中に供給することにより、継続的にIII族窒化物結晶を成長する方法において、
前記III族金属の供給時以外には、該III族金属の供給部材先端をIII族窒化物の成長温度以下になる場所に移動させることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。 - アルカリ金属を含む融液中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶製造方法であり、前記III族金属を収容している容器から前記III族金属を融液中に供給することにより継続的に前記III族窒化物結晶を成長する方法において、
前記III族金属の供給時以外にはIII族金属を供給する供給管先端の前記III族金属とアルカリ金属及び窒素の接触を遮断するようにしたことを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。 - アルカリ金属を含む融液中でIII族金属と窒素を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶製造装置であり、前記III族金属を収容している容器から前記III族金属を融液中に供給できる構造を有するIII族窒化物結晶成長装置において、
前記III族金属の供給時以外にはIII族金属とアルカリ金属蒸気を接触させないよう供給部材先端に蓋をすることを特徴とするIII族窒化物結晶製造装置。 - 前記III族金属を供給する供給部材先端は反応容器内の混合融液液面方向に向いていることを特徴とする請求項4記載のIII族窒化物結晶製造装置。
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