JP4522836B2 - Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 - Google Patents
Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4522836B2 JP4522836B2 JP2004355044A JP2004355044A JP4522836B2 JP 4522836 B2 JP4522836 B2 JP 4522836B2 JP 2004355044 A JP2004355044 A JP 2004355044A JP 2004355044 A JP2004355044 A JP 2004355044A JP 4522836 B2 JP4522836 B2 JP 4522836B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group iii
- iii nitride
- melt holding
- nitride crystal
- melt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
率の変化が少なく、かつ、窒素原料の枯渇を防止することの可能なIII族窒化物結晶製造
方法及びIII族窒化物結晶成長装置を提供することを目的としている。
前記逆流防止弁は、動作圧力を調整可能となっているので、例えば、結晶成長時には、動
作圧力を所定の圧力(例えば0.1kg/cm2)にし、融液保持容器内を真空引きする
ときには、動作圧力を0にして真空引きを行なうことが可能となる。
本発明の第1の形態は、反応容器内に融液保持容器が収容され、融液保持容器内にアル
カリ金属(例えばNa)を含む融液が収容されており、アルカリ金属(例えばNa)を含
む融液中でIII族窒化物(例えばGaN)を成長させるIII族窒化物結晶製造方法であって
、III族窒化物(例えばGaN)の結晶成長中には、融液保持容器の圧力P1と反応容器
内の圧力P2との圧力関係がP2−P1≧C (C>0の定数)の場合にのみ、反応容器
から融液保持容器に対して窒素原料(例えばN2ガス)が供給され、P2−P1≧C (
C>0の定数)を満たさない圧力関係では、反応容器と融液保持容器との間に気体の出入
がない状態でIII族窒化物(例えばGaN)を結晶成長させることを特徴としている。
本発明の第2の形態は、第1の形態のIII族窒化物結晶製造方法において、結晶成長中
に融液保持容器内からアルカリ金属(例えばNa)が洩れないようにし、かつ窒素原料(
例えばN2ガス)が消費されると融液保持容器内に窒素原料(例えばN2ガス)が供給さ
れることを特徴としている。
本発明の第3の形態は、第1または第2の形態のIII族窒化物結晶製造方法において、
反応容器と融液保持容器を逆流防止弁で仕切ってIII族窒化物(例えばGaN)を結晶成
長させることを特徴としている。
本発明の第4の形態は、第3の形態のIII族窒化物結晶製造方法において、前記逆流防
止弁は、動作圧力を調整可能となっていることを特徴としている。
本発明の第5の形態は、反応容器内に融液保持容器が収容され、融液保持容器内にアルカリ金属(例えばNa)を含む融液が収容されており、アルカリ金属(例えばNa)を含む融液中でIII族窒化物(例えばGaN)を成長させるIII族窒化物結晶成長装置であって、反応容器と融液保持容器とを逆流防止弁で仕切る構造を有していることを特徴としている。
本発明の第6の形態は、第5の形態のIII族窒化物結晶成長装置において、前記逆流防止弁には、動作圧力を調整する機構が設けられていることを特徴としている。
2 ガス導入管
4 融液保持容器
5 混合融液
6 ガス導入管
7 ガス排出管
8,9 逆流防止弁
11 容器本体
12 蓋
13,14 フランジ
15 金属ガスケット
16 ボルト
17 ナット
18 バネ
19,20 弁
21 ボール
22 ロッド形状
23 ナット
24 ネジ
Claims (6)
- 反応容器内に融液保持容器が収容され、融液保持容器内にアルカリ金属を含む融液が収容されており、アルカリ金属を含む融液中でIII族窒化物を成長させるIII族窒化物結晶製造方法であって、III族窒化物の結晶成長中において、融液保持容器の圧力P1と反応容器内の圧力P2との圧力関係がP2−P1≧C (C>0の定数)の場合にのみ反応容器から融液保持容器に対して窒素原料が供給され、|P2−P1|<Cの場合では反応容器と融液保持容器との間に気体の出入がない状態でIII族窒化物を結晶成長させることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。
- 請求項1記載のIII族窒化物結晶製造方法において、結晶成長中に融液保持容器内からアルカリ金属が洩れないようにし、かつ融液保持容器内において窒素原料が消費されると融液保持容器内に窒素原料が供給されることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。
- 請求項1または請求項2記載のIII族窒化物結晶製造方法において、反応容器と融液保持容器とを逆流防止弁で仕切ってIII族窒化物を結晶成長させることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。
- 請求項3記載のIII族窒化物結晶製造方法において、前記逆流防止弁は、動作圧力を調整可能となっていることを特徴とするIII族窒化物結晶製造方法。
- 反応容器内に融液保持容器が収容され、融液保持容器内にアルカリ金属を含む融液が収容されており、アルカリ金属を含む融液中でIII族窒化物を成長させるIII族窒化物結晶成長装置であって、反応容器と融液保持容器との間を互いに動作方向が逆向きである逆流防止弁で仕切る構造を有していることを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。
- 請求項5記載のIII族窒化物結晶成長装置において、前記逆流防止弁には、動作圧力を調整する機構が設けられていることを特徴とするIII族窒化物結晶成長装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004355044A JP4522836B2 (ja) | 2004-12-08 | 2004-12-08 | Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004355044A JP4522836B2 (ja) | 2004-12-08 | 2004-12-08 | Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006160567A JP2006160567A (ja) | 2006-06-22 |
JP4522836B2 true JP4522836B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=36662998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004355044A Expired - Fee Related JP4522836B2 (ja) | 2004-12-08 | 2004-12-08 | Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4522836B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5005522B2 (ja) * | 2007-03-07 | 2012-08-22 | 株式会社リコー | 結晶製造装置 |
JP4865693B2 (ja) * | 2007-12-25 | 2012-02-01 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物結晶の成長装置および成長方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08259397A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-08 | Kobe Steel Ltd | ZnSe単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JP2003012400A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長装置およびiii族窒化物結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス |
JP2003313099A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長装置 |
-
2004
- 2004-12-08 JP JP2004355044A patent/JP4522836B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08259397A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-08 | Kobe Steel Ltd | ZnSe単結晶の製造方法およびその製造装置 |
JP2003012400A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長装置およびiii族窒化物結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス |
JP2003313099A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-06 | Ricoh Co Ltd | Iii族窒化物結晶成長装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006160567A (ja) | 2006-06-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5129527B2 (ja) | 結晶製造方法及び基板製造方法 | |
US7524376B2 (en) | Method and apparatus for aluminum nitride monocrystal boule growth | |
US8337617B2 (en) | Manufacturing method and manufacturing apparatus of a group III nitride crystal | |
EP2071062B1 (en) | Process for producing group iii element nitride crystal | |
US6949140B2 (en) | Crystal growth method, crystal growth apparatus, group-III nitride crystal and group-III nitride semiconductor device | |
US20070234946A1 (en) | Method for growing large surface area gallium nitride crystals in supercritical ammonia and lagre surface area gallium nitride crystals | |
JP2001064098A (ja) | 結晶成長方法および結晶成長装置およびiii族窒化物結晶 | |
US20090256240A1 (en) | Method for producing group iii-nitride wafers and group iii-nitride wafers | |
US9222199B2 (en) | Crystal manufacturing apparatus | |
JP4014411B2 (ja) | Iii族窒化物の結晶製造方法 | |
JP4522836B2 (ja) | Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶成長装置 | |
JP4248276B2 (ja) | Iii族窒化物の結晶製造方法 | |
JP4878794B2 (ja) | 結晶成長装置および製造方法 | |
JP4554448B2 (ja) | Iii族窒化物結晶製造方法及びiii族窒化物結晶製造装置 | |
JP5454558B2 (ja) | 結晶製造方法 | |
JP2003286099A (ja) | Iii族窒化物結晶成長装置およびiii族窒化物結晶成長方法 | |
JP4426238B2 (ja) | Iii族窒化物の結晶製造方法 | |
JP2009007207A (ja) | 結晶成長方法、および結晶成長装置 | |
JP4271408B2 (ja) | Iii族窒化物結晶製造方法 | |
JP4994252B2 (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法および製造装置 | |
JP2006240959A (ja) | Iii族窒化物結晶成長方法およびiii族窒化物結晶成長装置 | |
JP4722471B2 (ja) | Iii族窒化物結晶製造方法およびiii族窒化物結晶成長装置 | |
JP4640943B2 (ja) | Iii族窒化物の結晶製造方法 | |
JP2006213561A (ja) | Iii族窒化物結晶、及び、その結晶成長方法、結晶成長装置 | |
JP2007191390A (ja) | Iii族窒化物結晶およびiii族窒化物結晶基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071126 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090730 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20090909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100114 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4522836 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |