JP4426238B2 - Iii族窒化物の結晶製造方法 - Google Patents
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Description
Chemistry of Materials Vol.9 (1997) 413−416
本発明の第1の形態は、溶液保持容器内に保持された、少なくともアルカリ金属とIII族金属と窒素が溶解した融液から、III族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物の結晶製造方法において、前記融液に対して気相から窒素原料ガスを供給するガス導入管を前記溶液保持容器の開口部より上側に配置し、結晶成長中に溶液保持容器から蒸発したアルカリ金属を前記ガス導入管部分で温度が下がるよう温度分布を持たせて液体状態で凝集し、凝集したアルカリ金属で隔てられたガス供給側の空間と溶液保持容器側の空間の圧力差によってアルカリ金属が溶液保持容器内に戻されて結晶成長が行なわれる事を特徴としている。
本発明の第2の形態は、第1の形態のIII族窒化物の結晶製造方法において、凝集したアルカリ金属で隔てられた窒素原料供給側の空間と溶液保持容器側の空間との圧力差によって、凝集したアルカリ金属と窒素原料ガスが溶液保持容器内に導入され、結晶成長が行われる事を特徴としている。
本発明の第3の形態は、溶液保持容器内に保持された、少なくともアルカリ金属とIII族金属と窒素が溶解した融液から、III族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物の結晶製造方法において、前記融液表面をIII族窒化物結晶で覆った後に、前記融液表面を覆ったIII族窒化物結晶の一部を前記融液中に溶解して、再析出させることにより結晶成長させる事を特徴としている。
この参考例1では、アルカリ金属としてNa(ナトリウム)を使用し、III族金属の原料として金属Ga(ガリウム)を使用し、窒素原料として窒素ガスを使用し、III族窒化物としてGaNを結晶成長する。ここで、Na,Gaはあらかじめ混合融液として溶液保持容器中に保持し、窒素は結晶成長中に気相から融液中に溶解して供給し、GaNを結晶成長する。
実施例1は、第1の形態に関わるものである。
実施例2は、第2の形態に関わるものである。
この参考例2では、結晶成長中に溶液保持容器の開口部にGaNを形成して溶液保持容器を密閉し、ナトリウムの蒸発を抑制し、アルカリ金属としてNa(ナトリウム)を使用し、III族金属の原料として金属Ga(ガリウム)を使用し、窒素原料として窒素ガスを使用し、III族窒化物としてGaNを結晶成長する。ここで、Na,Gaはあらかじめ混合融液として溶液保持容器中に保持し、窒素は気相から融液中に溶解して供給し、GaNを結晶成長する。
実施例3は、第3の形態に関わるものである。
参考例3では、結晶成長中に溶液保持容器の開口部にGaNを形成して溶液保持容器を密閉してナトリウムの蒸発を抑制し、アルカリ金属としてNa(ナトリウム)を使用し、III族窒化物の原料としてGaN(窒化ガリウム)を使用し、高温部で原料GaNをナトリウム融液中に溶解し、低温部に設置した種結晶にGaNを析出して結晶成長するようになっている。
12,32,52,70,82 溶液保持容器
13,40,53 ヒーター
14,34,54,89 ガス供給管
15,21,35,37,39,55,58,61,90,92,95 バルブ
16,36,38,56,59,93,96 圧力調整器
17 溶液保持容器保持台
22,33,62,91 圧力計
23,67 内部空間
25,41,63,99 融液
27,42 ナトリウム
28,43,64,72 GaN結晶
65,78 蓋
66,79 III族窒化物
71 GaN微結晶集合体
83 上部ヒーター
84 下部ヒーター
86 バッファー
87 原料GaN
88 種結晶
94 窒素供給管
97 アルゴン供給管
98 種結晶に成長したGaN
102 成長容器
103 金属供給管
104 III族金属
105 穴
106 加圧装置
107 反応容器の内部空間
108 窒素供給管
109 圧力制御装置
110 下部ヒーター
111 側部ヒーター
201 第一の反応容器
202 混合融液
203 窒素ガス
204 窒素供給管
205 圧力調整機構
206 第1の加熱装置
207 第2の加熱装置
208 混合融液
209 混合融液表面
210 第3の加熱装置
Claims (3)
- 溶液保持容器内に保持された、少なくともアルカリ金属とIII族金属と窒素が溶解した融液から、III族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物の結晶製造方法において、
前記融液に対して気相から窒素原料ガスを供給するガス導入管を前記溶液保持容器の開口部より上側に配置し、
結晶成長中に溶液保持容器から蒸発したアルカリ金属を前記ガス導入管部分で温度が下がるよう温度分布を持たせて液体状態で凝集し、凝集したアルカリ金属で隔てられたガス供給側の空間と溶液保持容器側の空間の圧力差によってアルカリ金属が溶液保持容器内に戻されて結晶成長が行なわれる事を特徴とするIII族窒化物の結晶製造方法。 - 請求項1記載のIII族窒化物の結晶製造方法において、凝集したアルカリ金属で隔てられた窒素原料供給側の空間と溶液保持容器側の空間との圧力差によって、凝集したアルカリ金属と窒素原料ガスが溶液保持容器内に導入されて、結晶成長が行なわれる事を特徴とするIII族窒化物の結晶製造方法。
- 溶液保持容器内に保持された、少なくともアルカリ金属とIII族金属と窒素が溶解した融液から、III族窒化物を結晶成長させるIII族窒化物の結晶製造方法において、
前記融液表面をIII族窒化物結晶で覆った後に、前記融液表面を覆ったIII族窒化物結晶の一部を前記融液中に溶解して、再析出させることにより結晶成長させる事を特徴とするIII族窒化物の結晶製造方法。
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