JP4550647B2 - クリーニング液供給部及びクリーニング装置 - Google Patents

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本発明は、スクリーン印刷機のスクリーンマスクを清掃するクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるために供給するクリーニング液供給部及びそのクリーニング液供給部を使用したクリーニング装置に関する。
従来、基板上にIC、LSI、コンデンサチップ等の電子部品を半田付するためのクリーム半田を基板に印刷するスクリーン印刷機は、スクリーンマスクを基板の上に重ね、スクリーンマスク上にクリーム半田を供給し、スキージをスクリーンマスク上面で摺動させることにより、スクリーンマスクに開孔されたパターン孔を通して基板にクリーム半田を印刷するようになっている。このようなスクリーン印刷機においてはスクリーンマスク上にスキージを繰り返し摺動させて基板にクリーム半田を印刷する間に、スクリーンマスク上のクリーム半田がパターン孔を通してスクリーンマスクの下面に回り込み、スクリーンマスクの下面を汚してしまう。このようにスクリーンマスクの下面が汚れると、汚れとしてのクリーム半田が基板の上面に付着し、基板は不良基板になってしまう。そのため、スクリーンマスクの下面は適宜クリーニングされることが必要であり、このクリーニングする技術として、特許文献1のようなものが知られている。
これは、クリーニング液としての有機溶剤をクリーニングシート4に含浸させ、多数の凹凸部が形成されたパッド8で該クリーニングシート4をスクリーン17に押圧し、該パッド8を2方向に往復運動させ、クリーニングシート4の有機溶剤で汚れを溶かしながらクリーニングシート4でふき取るというものである。また、このクリーニング装置はクリーニングシート4に有機溶剤を含浸させるため有機溶剤の供給部19を備えている。この供給部19に使用される吐出ノズル22は前記パッド8のY方向の幅に等しい長手寸法を有し、パッド8に掛けられたクリーニングペーパ4にX方向に移動させながら有機溶剤を噴射・含浸させるものである。これによると、パッド8を複雑に動かすことで、作業の熟練度に関係なく高い品質で安定した清掃作業をおこなうことができる。
特開平6−297696号公報(第4頁、第5頁、図1〜図4)
上記従来装置では、多孔の吐出ノズル22からクリーニング液をクリーニングシート4に噴射させて含浸させるため、クリーニング液を必要以上に使用することとなる上、スクリーン17に押圧するクリーニングシート4の面積が大きく、クリーニングシート4及びクリーニング液の使用量が多くなるという問題があった。また、クリーニング液を多量に使用することは環境衛生の面からも問題であった。
このようなクリーニング液の使用量(吐出量)のコントロールやクリーニングシートの必要な位置に必要なだけ含浸させるといったことを市販のノズルや吐出のための小径の穴加工で実現しようとした場合、クリーニング液の送り量(供給量)、ノズル径(開口径)、ノズル形状の3要素の組合せを考慮しなければならないため、最適な組合せを選択してコントロールするのが困難であった。また、少量のクリーニング液を途切れないよう必要な位置に含浸させるため、ノズル径を小さくすると、ゴミによる詰まりを生じやすくなるという不具合があった。
本発明は係る従来の問題点に鑑みてなされたものであり、クリーニング液を必要な量だけ必要な箇所に供給できるクリーニング液供給部とそのクリーニング液供給部を使用したクリーニング装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために、請求項1に係る発明の特徴は、スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、クリーニング液供給装置からクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるよう給送する給送管とが設けられたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、前記クリーニング液供給装置から供給されて該給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように該液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたことである。
請求項2に係る発明の特徴は、請求項1において、前記ガイド部を下方に向かって尖頭形状のガイド部としたことである。
請求項3に係る発明の特徴は、スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧する押圧手段と、該押圧手段とスクリーンマスクとを水平方向に相対移動させる相対移動装置と、該クリーニングシートの新たなふき取り面を前記押圧手段上に供給するクリーニングシート供給装置と、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、該クリーニングシートに含浸させるようクリーニング液供給装置からクリーニング液を給送する給送管と、該給送管の先端に設けられたクリーニング液供給部と、該クリーニング液供給部を前記クリーニングシートの上方で該クリーニングシートの供給される方向とは交差する水平方向に移動させる移動手段とを備えたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、前記クリーニング液供給部は、請求項1又は2記載のクリーニング液供給部であることである。
請求項4に係る発明の特徴は、クリーニングシート供給装置によってクリーニングシートの新たなふき取り面を供給するとともに、クリーニング液供給装置からクリーニング液を給送管によりクリーニング液供給部まで供給し、該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を前記クリーニングシートのふき取り面に含浸させ、該クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧するとともに該スクリーンマスクとクリーニングシートとを水平方向に相対移動させることにより該スクリーンマスクの下面をクリーニングするスクリーン印刷機のクリーニング方法において、前記クリーニング液供給部として、前記クリーニング液供給装置から供給されて該クリーニング給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該クリーニング給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように前記液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたクリーニング液供給部を設け、前記クリーニングシートの上方であって前記クリーニングシートの新たなふき取り面を供給する方向とは交差する水平方向に該クリーニング液供給部を移動させるとともに該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を滴下或いは流下させることにより該クリーニング液を該クリーニングシートのふき取り面に含浸させることである。
請求項1に係る発明においては、クリーニング給送管の先端より流出するクリーニング液は、液受部に当たって流れが受けとめられ、液体の粘性の作用によって液受部に付着しながら重力によって下方に向かって流れ落ちる。液受部に付着して流れ落ちるクリーニング液は下部に設けられたガイド部によって流れがまとめられ、ガイドを伝って含浸予定位置に滴下或いは流下する。これにより、給送管から吐出したクリーニング液が例え少量であっても、重力によって下方への流れ(落下)を生じ、さらにガイド部によって流れがまとめられかつ導かれるので、クリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシートの含浸予定位置に必要な量だけを均一に含浸させることができる。含浸予定位置として、印刷対象である基板の巾にかかわらず、例えばスクリーンマスク上の印刷パターンが存在する部分に対応する位置にだけクリーニング液を含浸させることもできる。したがって、市販のノズルにおいては開口径・ノズル形状・供給量の3つをコントロールする必要があったのに対して、クリーニング液の供給量をコントロールするだけで、簡単な装置によって必要な量をクリーニングシートの必要な位置に容易に供給することができる。
請求項2に係る発明においては、液受部で受けられたクリーニング液は下方に向かって尖頭形状のガイドによって、連続的かつ細い流れにまとめられ、クリーニング液が少量でも流れが途切れにくく、少量のクリーニング液が供給されてもコントロールが容易にでき、必要な含浸予定位置に対しても正確に供給できる。したがって、クリーニング液を余分に供給することがないので、クリーニング液の使用量を減少させることができ、ランニングコストの削減を図ることができる。
請求項3に係る発明においては、クリーニング液の供給量が例え少量でも、含浸に必要な位置に必要なだけのクリーニング液を容易に供給でき、余分にクリーニング液を使用しないクリーニング装置を提供することができる。
請求項4に係る発明においては、クリーニング給送管の先端より流出するクリーニング液は液受部に当たって流れが受けとめられ、液体の粘性の作用によって液受部に付着しながら重力によって下方に向かって流れ落ちる。液受部に付着して流れ落ちるクリーニング液は、下部に設けられたガイド部によって流れがまとめられ、ガイドを伝ってクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下する。この際に、クリーニング液供給部を水平方向に移動させることによって、クリーニング液がクリーニングシート上に所定の巾の直線状に含浸する。このクリーニング供給部によると、例えクリーニング液が少量であってもクリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシートの含浸予定位置である必要な巾の直線上に必要な量だけを均一に含浸させることができる。また、クリーニング液の供給量とクリーニング液供給部の移動速度とをコントロールすることにより、クリーニング液を必要な量だけを容易に供給することができる。したがって、クリーニング液をクリーニングシートに余分に含浸させる量が減り、一度のクリーニング作業に使用されるクリーニングシートの面積も少なく抑えることができ、ランニングコストの削減を図ることができる。
本発明に係るクリーニング液供給部を使用したスクリーン印刷機のクリーニング装置の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図1はクリーニング装置の一部に断面を有する側面図であり、図2は同正面図であり、図3はクリーニング供給部の側面からの拡大図であり、図4は同正面からの拡大図である。
クリーニング装置1は、スクリーンマスク3の下面をクリーニングするクリーニングユニット5とクリーニング液を供給するクリーニング液供給ユニット7とから構成されている。
クリーニングユニット5は、クリーニングするスクリーンマスク3に対応した巾に形成された帯状のクリーニングシート9と、クリーニングシート9を巻装した供給ローラ11と、使用済みのクリーニングシート9が巻き取られる巻き取りローラ13と押圧手段としての板ばね部21とを有している。
巻き取りローラ13の一端部の外輪には作動歯車15が形成され、作動歯車15は噛合する中間歯車17を介して回転する駆動歯車19の駆動によってX方向(図1で左右方向)にクリーニングシート9を巻き取るようになっている。これらの供給ローラ11、巻き取りローラ13、作動歯車15、中間歯車17及び駆動歯車19によってクリーニングシート供給装置を構成する。供給ローラ11と巻き取りローラ13との間には前記板ばね部21が設けられている。
板ばね部21は、例えば鋼製で二枚の薄い巾狭の長尺の板材よりなり、クリーニングシート9の巾方向に延在するように配置される。そしてこれらの二枚の板材を対向するように横に並べて、互いに内側へ傾斜するように短か手方向の下端部を固定することにより形成されている。板ばね部21はY方向(X方向に直交する水平方向)に延在するように設けられ、上方からの圧力に対して反発するように構成されている。板ばね部21の下部には垂直方向にガイドされる昇降シリンダ22が配設され、該昇降シリンダ22を上昇させると前記供給ローラ11と巻き取りローラ13との間で張架されるクリーニングシート9の緊張力に板ばね部21が反発してクリーニングシート9の下面を押圧するようになっている。
また、クリーニングユニット5の一端には摺動ガイド18が設けられ、他端には転動輪20が設けられている。クリーニングユニット5は、これらの摺動ガイド18及び転動輪20によって両端上部に設けられたX方向に延在する一対のガイドレール24にスライド可能に横架され、図示しないサーボモータ及びボールねじ機構によって水平移動する。これらのガイドレール24、サーボモータ及びボールねじ機構により相対移動装置を構成する。この相対移動装置によって、スクリーンマスク3と板ばね部21を含むクリーニングユニット5とがX方向に相対移動をするようになっている。
クリーニング液供給ユニット7は、基台23上に設けられたクリーニング液供給装置としてのポンプ25と給送管27とクリーニング液供給部29とから構成されている。
基台23上には支柱31が一定の間隔を置いて対向して立設され、これらの支柱31にはリニアガイド35が付設された横梁33がY方向に横架されている。支柱31の脇にはポンプ25が配置され、このポンプ25に給送管27の末端部が連結されてクリーニング液供給部29にクリーニング液が供給される。リニアガイド35にはクリーニング液供給ユニット7のガイドブロック37がスライド可能に設けられ、ガイドブロック37はLアングル39を介して支持ベース部材41にボルト・ナット等で固定されている。また、対向する支柱31にはそれぞれ軸受部材43が同軸上に設けられ、これらの軸受部材43にはねじ軸45が両端部においてそれぞれ回転自在に支承されている。前記支持ベース部材41の一端部にはナット部が形成され、該ナット部はねじ軸45に螺合されている。図略のサーボモータによりねじ軸45が軸線周りに回転すると支持ベース部材41がY方向にスライドするようになっている。これらのリニアガイド35、ガイドブロック37、ねじ軸45、ナット部及びサーボモータにより、クリーニング液供給部29をクリーニングシート9の供給される方向とは交差する方向に移動させる移動手段を構成する。
支持ベース部材41の他端部にはガイド付昇降シリンダ47が小Lアングル49によって固定されている。ガイド付昇降シリンダ47はシリンダ部48とピストン部50とを有し、ピストン部50の先端には支柱板51が下端において立設固定されている。
支柱板51は下部及び上部において直角に折り曲げられて断面略コの字をなすように形成され、該折り曲げによって形成された水平上部53及び水平下部55には上部支承穴57及び下部支承穴59がそれぞれ対向するように同軸上に穿設されている。上部支承穴57及び下部支承穴59には垂直に延在する旋回軸61が支承されている。旋回軸61は中空状に形成され、旋回軸61の上端には上部支承穴57に遊嵌されたボルト部材62が螺入され、このボルト部材62によって旋回軸61の上端部は上部支承穴57に回動可能に支承されている。旋回軸61の下端部には下部支承穴59に遊嵌された旋回シリンダ63の作動軸が図略の連結金具を介して連結され、該作動軸によって旋回軸61の下端部は下部支承穴59に支承されるとともに旋回シリンダ63の作動に連動して回動するようになっている。旋回軸61の上端部には前記ボルト部材62に螺入されたナット部材64と旋回軸61の上端面とにより挟持された旋回アーム65が設けられている。
旋回アーム65は巾狭の板状体がプレス等で下方が開放した断面コ字形の棒状に形成され、水平方向に延在するとともに末端部において前記旋回軸61とは相対回転不能に連結されている。旋回アーム65は旋回シリンダ63の作動に伴ってX方向とY方向との間を90度旋回するようになっている。旋回アーム65の内側には給送管27を保持する保持片66が複数個所に所定の間隔で設けられ、旋回アーム65の先端部近傍は水平よりもわずかに傾斜させて形成されている。この傾斜によって、液受け部69やガイド部71に付着したクリーニング液が、クリーニング液供給部29の外側を伝ってクリーニング液供給部29の根元部分に流れ落ちるのを防止している。
旋回アーム65の先端部には、図3及び図4に示すように、液受け部69とガイド部71とから構成されるクリーニング液供給部29が設けられ、クリーニング液供給部29には給送管27の先端部が配設されている。液受け部69は平板状に形成され、給送管27の先端開口部に対向するように設けられている。液受け部69の下部には液受け部69に連続してガイド部71が下方に向かって尖頭状に形成され、液受け部69とガイド部71とで五角形のホームベース状になっている。クリーニング液供給部29の近傍には、吸水性のペーパからなる図略のクリーニング液ふき取り部材が設けられ、クリーニング液をクリーニングシート9に含浸させる作業後であって、X方向に平行に配された旋回アーム65が旋回する前に、クリーニング供給部29に余分に付着したクリーニング液がふき取られる。これによって、旋回アーム65が旋回した場合にクリーニング供給部29に付着したクリーニング液が周りに飛び散るのを防止するようになっている。本実施形態では、クリーニング液として例えば、イソプロピルアルコールを使用する。
次に上記のように構成されたクリーニング装置を使用したクリーニング方法について、以下に説明する。初めに、クリーニング液供給ユニット7において、同ユニット7はリニアガイド35の端部(図2において右端部)に配置され、ガイド付シリンダ47は下端に位置するとともに旋回アーム65はクリーニング装置1の内側に向かってY方向に平行に配置されている。
クリーニングユニット5においては、同ユニット5はガイドレール24のX方向の端部(図1において左端部)に配置され、板ばね部21には巻き取りローラ13が駆動して供給ローラ11からクリーニングシート9の新たなふき取り面が供給された状態となっている。
図略の基板がスクリーン印刷機に搬入されると、クリーニング液供給ユニット7はリニアガイド35上のクリーニング液供給位置に移動する。次に、ガイド付昇降シリンダ47を作動させて支柱板51及び旋回アーム65をクリーニング液を供給する高さまで上昇させて停止させる。次に旋回シリンダ63を作動させて、旋回アーム65を初期のY方向に平行な位置から90度左旋回させてX方向に平行な位置であって、板ばね部21の上方に位置するクリーニングシート9のふき取り面の端にクリーニング液供給部29が位置するように位置決めする。このようにスクリーン印刷を行う動作と共にクリーニング液を供給する等のクリーニングを行う動作を並行して行うことによって、スクリーン印刷全体のサイクルタイムが短縮できるようになっている。
次に、図略の前記サーボモータの駆動によりねじ軸45を回転させてクリーニング液供給部29をクリーニングシート9の巾方向(Y方向)の一端部より他端部まで水平移動させるとともにクリーニング液をクリーニングシート9に含浸させる。このときにガイド部71の先端部はクリーニングシート9の上面からわずかに離間させてクリーニング液を滴下或いは流下させながら移動する。かかる水平移動のための移動速度を例えば40mm/sとすることができる。
また、含浸させる際、給送管27から吐出したクリーニング液が例え少量であっても、液受け部69で受けられたクリーニング液は重力によって下方への流れを生じ、さらにガイド部71によって流れがまとめられかつ導かれるので、クリーニング液の流れが途切れにくく、クリーニングシート9の含浸予定位置に必要な量だけを均一に含浸させることができる。含浸予定位置として、印刷対象である基板の巾にかかわらず、例えばスクリーンマスク3上の印刷パターンが存在する部分に対応する位置にだけクリーニング液を含浸させることもできる。このようにクリーニングシート9に余分に含浸させないので、使用されるクリーニング液を少量に減らすことができる。
次に、基板にスクリーン印刷をしたスクリーンマスク3がクリーニングされる位置に搬入されると、クリーニングシート9にクリーニング液が含浸したクリーニングユニット5はガイドレール24、図略のサーボモータ及びボールねじ機構からなる前記相対移動装置によって、X方向にスライドして該スクリーンマスク3の下方にあるクリーニング開始位置に位置決めされる。
次に、昇降シリンダ22を作動させることにより、板ばね部21を上昇させてクリーニングシート9のふき取り面をスクリーンマスク3の下面に押圧する。
次に、該ふき取り面をスクリーンマスク3の下面に押圧した状態で、前記相対移動装置を作動させてスクリーンマスク3とクリーニングシート9(板ばね部21)とを一方向に相対移動させることにより、スクリーンマスク3の下面の汚れをふき取る。
次に、昇降シリンダ22を作動させて板ばね部21を下降させて、クリーニングシート9をスクリーンマスク3の下面より離間させる。
次に、前記相対移動装置によってクリーニングユニット5をクリーニング開始位置に戻し、巻き取りローラ13を駆動させることによりクリーニングシート9を1ピッチ分送って新たなふき取り面を板ばね部21に供給する。この際の送り量として例えば10mm送るものとする。このように、一回のふき取り作業に含浸させるクリーニング液の量を少なくすることで、ふき取りに使用するクリーニングシート9の面積も少なくすることができ、クリーニングシート9の一回の送り量も少なくて済み、ランニングコストの低減を図ることができる。
次に、昇降シリンダ22を作動させることにより、板ばね部21を上昇させてクリーニングシート9のふき取り面をスクリーンマスク3の下面に押圧する。
次に、該ふき取り面をスクリーンマスク3の下面に押圧した状態で、前記相対移動装置を作動させてスクリーンマスク3とクリーニングシート9(板ばね部21)とを一方向に相対移動させることにより、スクリーンマスク3の下面の汚れをふき取る。この場合は、クリーニング液をクリーニングシート9に含浸させずにおこなう、いわゆる乾式によってふき取り作業をおこなう。このふき取り作業と平行して図示しないバキューム装置によって、スクリーンマスク3下面に付着したクリーニング液の除去をおこなう。
次に、昇降シリンダ22を作動させて板ばね部21を下降させて、クリーニングシート9をスクリーンマスク3の下面より離間させる。
次に、前記相対移動装置によってクリーニングユニット5をクリーニング開始位置に戻し、巻き取りローラ13を駆動させることによりクリーニングシート9を送って新たなふき取り面を板ばね部21に供給する。
ここで、スクリーンマスクの下面は例えば10枚のスクリーン印刷作業で汚れるので、11枚目の基板が搬入された時点で、上記クリーニング作業を最初から繰り返す。
なお、本実施形態において、クリーニング液供給部として、液受け部とガイド部とで5角形のホームベース状としたが、これに限定されるものではなく、例えば、液受け部としての円形の板73に、ガイド部としてくちばし状の突起75を設けてもよい。この場合、図5に示すように、給送管27の開口部を覆うように取り付けることで逆止弁として働き、クリーニング液が給送管27内で該管の先端から後方へ戻ってしまうのを防止することができる。また、図3及び図4に示す実施形態においても、逆止弁をクリーニング供給部29の近くに位置する給送管27の途中に設けてもよい。これによって、例えばポンプ25が停止した場合においても給送管27内にクリーニング液が逆流して給送管27の先端の口から空気を吸い込むのを防止し、ポンプ25が再起動した場合にも空気が泡となって出てくることなく滑らかに含浸作業を再開することができる。
また、図6に示すように、ガイド部の先端はクリーニングシート9に接するように使用してもよい。かかるように接することで、滑らかに滴下しないようなごく少量のクリーニング液が供給される場合であっても、クリーニングシートに狭い巾状でかつ均一にクリーニング液を含浸させることができる。
また、本実施形態(図3及び図4に示す)のガイド部に液受け部の途中からガイド部の先端まで至るガイド溝を形成してもよい。この場合ガイド溝が毛細管現象によってクリーニング液を保持でき、クリーニング液の供給が例え少量であっても、途切れにくくかつ滑らかに供給することができる。
また、液受け部及びガイド部を刷毛状或いは筆状に形成し、刷毛状或いは筆状の根元部分にクリーニング液を供給するものとしてもよい。刷毛或いは筆における複数の細い毛の間に毛細管現象でクリーニング液を保持することができ、クリーニング液の供給が例え少量であっても、途切れにくくかつ滑らかに供給することができる。
また、本実施形態ではクリーニング液供給装置としてポンプを使用したが、これに限定されるものではなく、例えばクリーニング液を貯留するタンクを給送管の末端部に連結し、該タンクをクリーニング液が吐出する該給送管の先端部(或いはクリーニング液供給部)よりも上方に配置するいわゆる垂下方式によって構成してもよい。この場合、給送管の途中或いはクリーニング液供給部に開閉弁を設けて、クリーニング液の流通をコントロールする。これによると、簡単でコストの安い装置でクリーニング液を供給することができる。
本実施形態では、クリーニング液としてイソプロピルアルコールを使用したが、これに限定されるものではなく、例えばキシレン、アセトン、シンナー等の有機溶剤を使用することができる。有機溶剤によってスクリーンマスクの下面の微細孔に入り込んだ余分なクリーム半田やペーストを溶かして除去することができる。
本発明に係るクリーニング液供給部を装備したスクリーン印刷機のクリーニング装置の側面図。 同正面図。 クリーニング液供給部の拡大側面図。 クリーニング液供給部の拡大正面図。 クリーニング液供給部の他の実施形態の拡大図。 クリーニング液供給部の他の実施形態の拡大図。
符号の説明
1…クリーニング装置、3…スクリーンマスク、5…クリーニングユニット、7…クリーニング液供給ユニット、9…クリーニングシート、11…供給ローラ、13…巻き取りローラ、15…作動歯車、17…中間歯車、19…駆動歯車、21…板ばね部、25…ポンプ、27…給送管、29…クリーニング液供給部、35…リニアガイド、43…軸受部材、45…ねじ軸、69…液受け部、71…ガイド部。

Claims (4)

  1. スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、クリーニング液供給装置からクリーニング液をクリーニングシートに含浸させるよう給送する給送管とが設けられたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、
    前記クリーニング液供給装置から供給されて該給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該給送管の先端に設けられた液受部と、
    該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように該液受部の下部に設けられたガイド部と、
    を備えたことを特徴とするクリーニング液供給部。
  2. 請求項1において、前記ガイド部を下方に向かって尖頭形状のガイド部としたことを特徴とするクリーニング液供給部。
  3. スクリーンマスクをクリーニングするクリーニングシートと、クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧する押圧手段と、該押圧手段とスクリーンマスクとを水平方向に相対移動させる相対移動装置と、該クリーニングシートの新たなふき取り面を前記押圧手段上に供給するクリーニングシート供給装置と、クリーニング液を供給するクリーニング液供給装置と、該クリーニングシートに含浸させるようクリーニング液供給装置からクリーニング液を給送する給送管と、該給送管の先端に設けられたクリーニング液供給部と、該クリーニング液供給部を前記クリーニングシートの上方で該クリーニングシートの供給される方向とは交差する水平方向に移動させる移動手段とを備えたスクリーン印刷機のクリーニング装置において、
    前記クリーニング液供給部は、請求項1又は2記載のクリーニング液供給部であることを特徴とするクリーニング装置。
  4. クリーニングシート供給装置によってクリーニングシートの新たなふき取り面を供給するとともに、クリーニング液供給装置からクリーニング液を給送管によりクリーニング液供給部まで供給し、該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を前記クリーニングシートのふき取り面に含浸させ、該クリーニングシートのふき取り面をスクリーンマスクの下面に押圧するとともに該スクリーンマスクとクリーニングシートとを水平方向に相対移動させることにより該スクリーンマスクの下面をクリーニングするスクリーン印刷機のクリーニング方法において、
    前記クリーニング液供給部として、前記クリーニング液供給装置から供給されて該クリーニング給送管の先端から流出するクリーニング液を受けるように該クリーニング給送管の先端に設けられた液受部と、該液受部で受けたクリーニング液をクリーニングシートの含浸予定位置に滴下或いは流下させるように前記液受部の下部に設けられたガイド部とを備えたクリーニング液供給部を設け、
    前記クリーニングシートの上方であって前記クリーニングシートの新たなふき取り面を供給する方向とは交差する水平方向に該クリーニング液供給部を移動させるとともに該クリーニング液供給部から前記クリーニング液を滴下或いは流下させることにより該クリーニング液を該クリーニングシートのふき取り面に含浸させることを特徴とするスクリーン印刷機のクリーニング方法。
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