JP2000280454A - スクリーン印刷装置 - Google Patents

スクリーン印刷装置

Info

Publication number
JP2000280454A
JP2000280454A JP8849799A JP8849799A JP2000280454A JP 2000280454 A JP2000280454 A JP 2000280454A JP 8849799 A JP8849799 A JP 8849799A JP 8849799 A JP8849799 A JP 8849799A JP 2000280454 A JP2000280454 A JP 2000280454A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solvent
slit nozzle
cleaner
screen printing
screen plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8849799A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4184531B2 (ja
Inventor
Toshiyuki Murakami
俊行 村上
Koji Mitsushiro
浩二 光城
Masaru Takahashi
賢 高橋
Hiroaki Onishi
浩昭 大西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP08849799A priority Critical patent/JP4184531B2/ja
Publication of JP2000280454A publication Critical patent/JP2000280454A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4184531B2 publication Critical patent/JP4184531B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Screen Printers (AREA)
  • Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 溶剤をクリーナ紙へ定量的にコントロールし
て塗布することができるクリーニング機構付きのスクリ
ーン印刷装置を提供する。 【解決手段】 スクリーン版1の下面にクリーナ紙8の
上面をクリーナスキージ11にて押し付けながらクリー
ナスキージ11をスクリーン版1に対して平行にかつ一
方向に移動することによりスクリーン版1をクリーニン
グするクリーニング機構を備えたスクリーン印刷装置に
おいて、帯状のスリットノズル23と、スリットノズル
23の上方側部にスリットノズル23と平行に配設され
るとともに堰部25を介して連通された液溜まり24
と、液溜まり24の上方に配設された溶剤供給パイプ2
7とを備え、堰部25から溢れ出た溶剤28がスリット
ノズル23から出るように構成した溶剤塗布ノズル21
を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーム半田や厚
膜回路形成用ペーストなどをプリント基板等の電子回路
形成基板などに印刷するスクリーン印刷装置に関し、特
にそのスクリーン版のクリーニングを行うクリーニング
機構付きのスクリーン印刷装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】スクリーン印刷装置は、例えば電子部品
の回路実装工程におけるクリーム半田印刷工程に使用さ
れるが、近年は電子機器の小型化による電子部品実装基
板の微細化、高密度に伴って高精度印刷が要求されてい
る。それに伴って、クリーニング機構付きスクリーン印
刷装置においても種々の工夫がなされており、例えば特
開昭63−302047号公報に開示されたものが知ら
れている。以下、これを図4を参照しながら説明する。
【0003】図4において、X、Y、Z、θ方向に位置
決め可能なステージ7に固定されたプリント基板2を所
定の開口を有するスクリーン版1の下面に位置決めす
る。左右方向に移動駆動する駆動手段5と昇降手段6に
て支持された印刷スキージ4を左右に移動することによ
ってスクリーン版1上の半田ペースト3をプリント基板
2に印刷する。印刷されたプリント基板2は、ステージ
7が下降することによりスクリーン版1から離れ、次工
程に供給される。
【0004】以上の動作を繰り返し行い、プリント基板
2に半田ペースト3を印刷して行く。印刷の終了したス
クリーン版1の裏面には残留半田ペーストが付着した状
態になっており、この状態のまま次のプリント基板2の
印刷を行うと、半田のにじみやブリッジの原因となり、
印刷品質に影響を及ぼす。
【0005】そこで、従来では所定枚数の印刷が終了し
た後、スクリーン版1の裏面の残留半田ペーストのクリ
ーニングを行うように構成されている。
【0006】次に、そのクリーニング機構部の一例につ
いて説明する。クリーナ紙8は送り出しホルダ9から引
き出され、矢印C方向に移動して巻き取りホルダ10に
巻き取られる。その中間のクリーナ紙8の下部にはエア
シリンダ12により上下に往復駆動可能なクリーナスキ
ージ11が配設されている。これらは往復台13に配設
されている。往復台13は、駆動モータ16にて駆動さ
れるピニオン14とラック15により、クリーナスキー
ジ11の上方に溶剤塗布パイプ41が位置するクリーナ
溶剤塗布位置(図示の位置)からスクリーン版1下面ま
で移動可能に構成されている。
【0007】所定の印刷が終了後、クリーナスキージ1
1がスクリーン版1の下面に到着するまで往復台13を
移動させる。その位置でクリーナスキージ11をスクリ
ーン版1の下面に接触するまで上昇させ、その状態で往
復台13を移動させることによりスクリーン版1の下面
をこすりながら移動させてクリーニングを行う。
【0008】クリーニング終了後はクリーナスキージ1
1を下降させ、クリーナスキージ11がクリーナ紙8と
接触している分だけ巻き取りホルダ10で巻き取り、往
復台13を元の位置に復帰させる。
【0009】スクリーン版1の下面の汚れがひどい場合
は、溶剤塗布パイプ41にてクリーナ紙8に溶剤を塗布
してから上記クリーニング工程に入る。その時は、スク
リーン版1の下面が溶剤で濡れているので、巻き取りホ
ルダ10で溶剤で濡れていない部分が出るまで一定の長
さを巻き取り、再度乾燥しているクリーナ紙8でクリー
ニングを行う。
【0010】次に、溶剤塗布パイプ41の詳細構成を、
図5、図6を参照して説明する。溶剤塗布パイプ41
は、下部に長手方向のスリット43を有する大パイプ4
2と、その同軸上に固定され、上部に長手方向に複数の
小孔45を有する小パイプ44と、大パイプ42と小パ
イプ44の間に充填された吸液性物質46にて構成され
ている。小パイプ44の一端には溶剤注入パイプ47が
接続されている。注入された溶剤は小パイプ44内を充
填した後、小孔45から排出され、吸液性物質46に浸
透する。
【0011】クリーナ紙8に溶剤を塗布する場合は、往
復台13をクリーナ溶剤塗布位置に位置させた状態で、
図5に仮想線で示すように、エアシリンダ12にてクリ
ーナスキージ11を上昇させ、クリーナ紙8を大パイプ
42のスリット43に露出している吸液性物質46に押
し付けることによりクリーナ紙8に塗布している。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、一度吸液性物質46に浸透した溶剤を
クリーナ紙8に滲み込ませるように構成されているた
め、クリーナ紙8への溶剤塗布量を定量的にコントロー
ルすることができないという問題がある。
【0013】また、吸液性物質46に浸透した溶剤が長
時間放置されて蒸発した場合や揮発性が高い場合には、
次の溶剤塗布時には吸液性物質46に溶剤を浸透させる
必要があり、溶剤が浸透するまでの時間、及び溶剤消費
量の面で経済的とは言えないという問題がある。
【0014】また、溶剤の種類によっては吸液性物質4
6に浸透させた後長時間放置していると、吸液性物質4
6が外気に触れているため固く乾いてしまう場合もあり
得る。その結果、固くなった後は溶剤が吸液性物質46
に浸透し難くなり、溶剤の塗布量が不安定になり、吸液
性物質46の交換も必要になる等の問題があった。
【0015】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、溶剤
をクリーナ紙へ定量的にコントロールして塗布すること
ができ、また溶剤が揮発し難く経済的に運用でき、また
長時間放置しても交換等の定期的なメンテナンスの不要
なクリーニング機構付きのスクリーン印刷装置を提供す
ることを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明のスクリーン印刷
装置は、スクリーン版の下面に拭き取り材の上面を押圧
手段にて押し付けながら押圧手段をスクリーン版に対し
て平行にかつ一方向に移動することによりスクリーン版
をクリーニングするクリーニング機構を備えたスクリー
ン印刷装置であって、溶剤を帯状のスリットノズルから
流出させて拭き取り材に塗布する溶剤塗布手段を設けた
ものであり、溶剤塗布手段に対する溶剤の供給量によっ
て溶剤の塗布量を定量的にコントロールすることができ
る。
【0017】また、溶剤塗布手段が、帯状のスリットノ
ズルと、スリットノズルの上方側部にスリットノズルと
平行に配設されるとともに堰部を介して連通された液溜
まりと、液溜まりの上方に配設された溶剤供給パイプと
を備え、堰部から溢れ出た溶剤がスリットノズルから出
るように構成すると、溶剤供給パイプからの溶剤の供給
量によって溶剤の塗布量を定量的にコントロールできる
とともに、液溜まりと堰部によって拭き取り材に対して
均等な塗布を実現することができる。
【0018】また、スリットノズルの下面に開閉可能な
シャッタを設けると、揮発性の高い溶剤でも揮発し難
く、経済的に運用することができる。
【0019】また、溶剤供給パイプに開閉可能なバルブ
を設けても、同様に揮発性の高い溶剤でも揮発し難く、
経済的に運用することができる。
【0020】また、液溜まりの上方に、液溜まりに入っ
ている溶剤の量が満水であるか、満水でないかを感知す
るセンサを配設すると、液溜まりを満水にした状態での
溶剤の供給量のコントロールによって安定的に精度の良
い塗布量のコントロールを実現できる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明のクリーニング機構
付きスクリーン印刷装置の一実施形態について図1〜図
3を参照しながら説明する。なお、スクリーン印刷装置
の全体構成及びクリーニング機構の一部は、図4を参照
して説明した従来例と同一であり、共通の構成要素につ
いては同一参照番号を付している。
【0022】送り出しホルダ9は回転自在でかつブレー
キ機構が設けられ、巻き取りホルダ10にはその回転機
構が設けられており、両者は所定間隔あけて往復台13
に設置されている。拭き取り材であるクリーナ紙8は、
送り出しホルダ9から引き出され、巻き取りホルダ10
に巻き取られるように構成されている。送り出しホルダ
9と巻き取りホルダ10の中間のクリーナ紙8の下部に
はクリーナスキージ11が配設され、往復台13に固定
されたエアシリンダ12によって上下に往復駆動可能に
構成されている。往復台13には、回転軸にピニオン1
4を固定した駆動モータ16が設けられ、そのピニオン
14がラック15に噛合され、駆動モータ16にて往復
台13をスクリーン版1の下部位置と図示の溶剤塗布位
置との間で往復移動可能に構成されている。
【0023】次に、溶剤塗布部の構成を説明すると、図
1の溶剤塗布位置の紙面の前後両側には一対の取付台2
0a、20bが配設され、その上に溶剤塗布ノズル21
が水平にかつその下端がスクリーン版1の下面とほぼ揃
うように配置され、取付具22a、22bにより固定さ
れている。溶剤塗布ノズル21には、帯状に加工された
スリットノズル23が設けられ、スリットノズル23の
上方側部にはスリットノズル23と平行に溶剤溜まり2
4が設けられ、堰部25を介してスリットノズル23と
連通されている。溶剤溜まり24の真ん中上部に溶剤注
入口26が設けられ、溶剤供給パイプ27が接続されて
いる。
【0024】溶剤供給パイプ27から供給された溶剤2
8は、溶剤注入口26から溶剤溜まり24に供給され
る。溶剤溜まり24に溜まった溶剤28はやがて、矢印
Dで示すように、堰部25を越して溢れ出し、スリット
ノズル23内の溶剤垂れ面29をつたってスリットノズ
ル23の最下端面に供給される。
【0025】クリーナ紙8に溶剤を塗布する場合は、エ
アシリンダ12を作動させ、図3に破線で示す位置まで
クリーナスキージ11を挿入する。その後、上記のよう
に溶剤28を供給する。塗布が終われば、再びエアシリ
ンダ12を作動させ、クリーナスキージ11を下降させ
る。
【0026】なお、溶剤28を供給する時、1回目の供
給時は、溶剤供給パイプ27から必要な供給量に溶剤溜
まり24の容積分の量を加えて供給する必要があるが、
溶剤溜まり24の容積を前もって計算することにより解
決される。2回目からの供給は、溶剤溜まり24が前も
って満杯になっているため、必要な供給量のみを供給す
れば、供給量と同量をスリットノズル23から供給する
ことができる。
【0027】また、スリットノズル23の下面には、取
付具31により溶剤塗布ノズル23に固定されたエアシ
リンダ32により左右方向に開閉駆動可能なゴム等のパ
ッキン材からなるシャッタ30が配設されている。ま
た、溶剤供給パイプ27にはバルブ33が設けられてい
る。
【0028】これによって溶剤28が揮発性がありかつ
長時間放置する時に、エアシリンダ32を作動させてシ
ャッタ30を閉じ、かつバルブ33を閉じることによっ
て内部の溶剤を密閉し、揮発を防ぐことができる。
【0029】また、溶剤溜まり24の満水面には、液面
センサ34が配設されている。液面センサ34は制御装
置35を介してバルブ33を制御するように構成されて
いる。これにより、乾燥、揮発等で溶剤溜まり24の溶
剤の溜まり量が分からない場合に、溶剤供給パイプ27
から少しづつ溶剤28を注入し、液面センサ34が感知
したときに制御装置35を介してバルブ33を閉じるこ
とによって満水状態にできる。その後は、再びバルブ3
3を開け、必要な溶剤28の供給量のみを溶剤供給パイ
プ27から供給すれば、スリットノズル23から同量の
溶剤28を供給することができる。
【0030】次に、スクリーン版1のクリーニング動作
について説明すると、所定の印刷が終了した後、クリー
ナスキージ11がスクリーン版1の下面に到着するまで
往復台13を移動させる。その位置でクリーナスキージ
11をスクリーン版1の下面と接触するまで上昇させ、
スクリーン版1の下面をこすりながらスクリーン版1の
全長にわたって往復台13を移動させてクリーニングを
行う。
【0031】クリーニング終了後はクリーナスキージ1
1を下降させ、クリーナスキージ11がクリーナ紙8と
接触している分だけ巻き取りホルダ10で巻き取り、往
復台13を元の位置に復帰させる。
【0032】スクリーン版1の下面の汚れがひどい場合
は、スリットノズル23とクリーナスキージ11が同軸
上に来るように往復台13を移動し、エアシリンダ12
を作動させてクリーナスキージ11をスリットノズル2
3に押し付け、上記溶剤塗布を行う。その後再びエアシ
リンダ12の作動によりクリーナスキージ11を下降さ
せ、上記と同様のクリーニング動作を行う。その時はス
クリーン版1の下面が濡れているので、巻き取りホルダ
10で溶剤で濡れていない部分が出るまで一定の長さク
リーナ紙8を巻き取り、再び乾燥しているクリーナ紙8
でクリーニングを行う。
【0033】
【発明の効果】本発明のスクリーン印刷装置によれば、
以上のように溶剤を帯状のスリットノズルから流出させ
て拭き取り材に塗布する溶剤塗布手段を設けたので、溶
剤塗布手段に対する溶剤の供給量によって溶剤の塗布量
を定量的にコントロールすることができる。
【0034】また、溶剤塗布手段が、帯状のスリットノ
ズルと、スリットノズルの上方側部にスリットノズルと
平行に配設されるとともに堰部を介して連通された液溜
まりと、液溜まりの上方に配設された溶剤供給パイプと
を備え、堰部から溢れ出た溶剤がスリットノズルから出
るように構成すると、溶剤供給パイプからの溶剤の供給
量によって溶剤の塗布量を定量的にコントロールできる
とともに、液溜まりと堰部によって拭き取り材に対して
均等な塗布を実現することができる。
【0035】また、スリットノズルの下面に開閉可能な
シャッタを設けると、揮発性の高い溶剤でも揮発し難
く、経済的に運用することができる。
【0036】また、溶剤供給パイプに開閉可能なバルブ
を設けても、同様に揮発性の高い溶剤でも揮発し難く、
経済的に運用することができる。
【0037】また、液溜まりの上方に、液溜まりに入っ
ている溶剤の量が満水であるか、満水でないかを感知す
るセンサを配設すると、長時間溶剤の塗布をせず液溜ま
りの溶剤が減った場合でも、液溜まりを満水にした状態
を検知でき、その後の溶剤の供給量のコントロールによ
って安定的に精度の良い塗布量のコントロールを実現で
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態のクリーニング機構付きス
クリーン印刷装置の概略構成を示す側面図である。
【図2】同実施形態におけるクリーニング機構の構成を
示す、図1のA−A矢視図である。
【図3】同実施形態の溶剤塗布ノズルの詳細縦断側面図
である。
【図4】従来例のクリーニング機構付きスクリーン印刷
装置の概略構成を示す側面図である。
【図5】従来例における溶剤塗布部の縦断側面図であ
る。
【図6】図5のB−B矢視底面図である。
【符号の説明】
1 スクリーン版 8 クリーナ紙(拭き取り材) 11 クリーナスキージ(押圧手段) 13 往復台 21 溶剤塗布ノズル(溶剤塗布手段) 23 スリットノズル 24 溶剤溜まり 25 堰部 27 溶剤供給パイプ 28 溶剤 30 シャッタ 33 バルブ 34 液面センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 賢 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 大西 浩昭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2C035 AA06 FC07 FD01 FD15 FD29 2C250 DA07 FA06 FB01 FB14 5E319 BB05 CD29 5E343 AA02 BB72 DD03 FF02 GG06

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スクリーン版の下面に拭き取り材の上面
    を押圧手段にて押し付けながら押圧手段をスクリーン版
    に対して平行にかつ一方向に移動することによりスクリ
    ーン版をクリーニングするクリーニング機構を備えたス
    クリーン印刷装置であって、溶剤を帯状のスリットノズ
    ルから流出させて拭き取り材に塗布する溶剤塗布手段を
    設けたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
  2. 【請求項2】 溶剤塗布手段が、帯状のスリットノズル
    と、スリットノズルの上方側部にスリットノズルと平行
    に配設されるとともに堰部を介して連通された液溜まり
    と、液溜まりの上方に配設された溶剤供給パイプとを備
    え、堰部から溢れ出た溶剤がスリットノズルから出るよ
    うに構成したことを特徴とする請求項1記載のスクリー
    ン印刷装置。
  3. 【請求項3】 スリットノズルの下面に開閉可能なシャ
    ッタを設けたことを特徴とする請求項2記載のスクリー
    ン印刷装置。
  4. 【請求項4】 溶剤供給パイプに開閉可能なバルブを設
    けたことを特徴とする請求項2記載のスクリーン印刷装
    置。
  5. 【請求項5】 液溜まりの上方に、液溜まりに入ってい
    る溶剤の量が満水であるか、満水でないかを感知するセ
    ンサを配設したことを特徴とする請求項1〜4の何れか
    に記載のスクリーン印刷装置。
JP08849799A 1999-03-30 1999-03-30 スクリーン印刷装置 Expired - Fee Related JP4184531B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08849799A JP4184531B2 (ja) 1999-03-30 1999-03-30 スクリーン印刷装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP08849799A JP4184531B2 (ja) 1999-03-30 1999-03-30 スクリーン印刷装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000280454A true JP2000280454A (ja) 2000-10-10
JP4184531B2 JP4184531B2 (ja) 2008-11-19

Family

ID=13944467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP08849799A Expired - Fee Related JP4184531B2 (ja) 1999-03-30 1999-03-30 スクリーン印刷装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4184531B2 (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006289639A (ja) * 2005-04-06 2006-10-26 Fuji Mach Mfg Co Ltd クリーニング液供給部及びクリーニング装置
JP2007125845A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリーン印刷装置およびマスクのクリーニング装置
JP2007307759A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Yamaha Motor Co Ltd スクリーン印刷機
CN103252982A (zh) * 2012-02-16 2013-08-21 松下电器产业株式会社 丝网印刷机及丝网印刷机的掩模清洗方法
CN109143412A (zh) * 2018-09-10 2019-01-04 西北农林科技大学 降雨特征采集装置
WO2022050077A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 中外炉工業株式会社 塗布装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006289639A (ja) * 2005-04-06 2006-10-26 Fuji Mach Mfg Co Ltd クリーニング液供給部及びクリーニング装置
JP4550647B2 (ja) * 2005-04-06 2010-09-22 富士機械製造株式会社 クリーニング液供給部及びクリーニング装置
JP2007125845A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリーン印刷装置およびマスクのクリーニング装置
JP2007307759A (ja) * 2006-05-17 2007-11-29 Yamaha Motor Co Ltd スクリーン印刷機
CN103252982A (zh) * 2012-02-16 2013-08-21 松下电器产业株式会社 丝网印刷机及丝网印刷机的掩模清洗方法
CN103252982B (zh) * 2012-02-16 2016-08-03 松下知识产权经营株式会社 丝网印刷机及丝网印刷机的掩模清洗方法
CN109143412A (zh) * 2018-09-10 2019-01-04 西北农林科技大学 降雨特征采集装置
CN109143412B (zh) * 2018-09-10 2022-09-02 西北农林科技大学 降雨特征采集装置
WO2022050077A1 (ja) 2020-09-07 2022-03-10 中外炉工業株式会社 塗布装置
KR20220032468A (ko) 2020-09-07 2022-03-15 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 도포 장치

Also Published As

Publication number Publication date
JP4184531B2 (ja) 2008-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5640907A (en) Ink supplier in a printer system for printing circuit patterns or like on base board
US6626106B2 (en) Cleaning apparatus in a stencil printer
JPH0557870A (ja) 流動体塗布方法および装置
KR20030080996A (ko) 스크린 인쇄 방법
US20050183594A1 (en) Methods and apparatus for cleaning a stencil
US20070295231A1 (en) Apparatus and method for cleaning stencils employed in a screen printing apparatus
US20090217834A1 (en) Letterpress Printing Machine
JP2000280454A (ja) スクリーン印刷装置
KR101263253B1 (ko) 롤 프린팅 장치
US20040202819A1 (en) Ink jet bank substrates with channels
JPH08323956A (ja) スクリーン印刷装置におけるクリーム半田の粘度管理方法
JP5168029B2 (ja) 印刷装置及び印刷物の製造方法
JP3351421B2 (ja) 塗布装置及び印刷装置並びに塗布方法及び印刷方法
JPS63302047A (ja) クリ−ニング機構付きスクリ−ン印刷機
JP2001038270A (ja) 塗布装置及び方法並びに印刷装置及び方法
JP3351420B2 (ja) 塗布装置及び方法並びに印刷装置及び方法
JP2886803B2 (ja) 薄膜形成装置およびこの装置を用いた薄膜形成方法
CN101384135B (zh) 片材剥离装置及采用该装置的片材印刷系统
JP3722452B2 (ja) 硬基板塗布装置およびその制御方法
JP2001029864A (ja) 塗布装置及び方法並びに印刷装置及び方法
JP3344412B2 (ja) 塗布装置
JPH03121849A (ja) スクリーン印刷機のクリーニング装置
JP3511984B2 (ja) 塗布装置及び方法並びに印刷装置及び方法
JP2001029865A (ja) 塗布装置
JP3753336B2 (ja) 薄膜形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060111

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071203

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20071211

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080207

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080805

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080904

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110912

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120912

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130912

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees