JP4548567B2

JP4548567B2 - シリコン酸化膜の形成方法

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Publication number: JP4548567B2
Application number: JP2001284664A
Authority: JP
Inventors: 仁史加藤; 浩司志保
Original assignee: JSR Corp
Current assignee: JSR Corp
Priority date: 2001-09-19
Filing date: 2001-09-19
Publication date: 2010-09-22
Anticipated expiration: 2021-09-19
Also published as: JP2003092297A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコン酸化膜の形成方法に関する。さらに詳しくは、ＬＳＩ、薄膜トランジスタ、光電変換装置および感光体などに使用する電気絶縁体膜、誘電体膜あるいは保護膜等として有用なシリコン酸化膜の形成方法に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、シリコン酸化膜は半導体を始めとするシリコンデバイスの電気絶縁膜、誘電体膜および保護膜としてこれまで多用されている。通常、これらのシリコン酸化膜の形成方法としては、シリコンを空気中で熱酸化する方法、シランガスやジシランガスを酸素や酸化窒素などの酸化性ガス中でプラズマＣＶＤ法で形成する方法あるいは石英から直接スパッタリング法で形成する方法などの乾式プロセスならびにテトラエトキシシランなどのアルコキシシランなどを部分加水分解して得られたゾルを基板に塗布した後、熱などで加熱分解する湿式プロセスなどが知られている。
【０００３】
しかしこれらの方法のうち、上記乾式プロセスでシリコン酸化膜を形成する場合には次のような問題点があった。▲１▼気相反応なので気相で不純物の粒子が発生するため装置の汚染や異物の発生による生産歩留まりが低い。▲２▼原料がガス状であるため、表面に凹凸のある基板上には均一膜厚のものが得られにくい。▲３▼膜の形成速度が遅いため生産性が低い。▲４▼プラズマＣＶＤ法においては複雑で高価な高周波発生装置や真空装置などが必要である。▲５▼ＣＶＤ法ではトレンチ埋め込みの際、そのトレンチ幅が狭くなるとカバーレッジが悪くなると言う問題がある。
▲６▼大面積の基板に適用されにくい。
【０００４】
さらに、これらの乾式プロセスは、材料面では毒性や反応性の高いガス状の水素化ケイ素を用いるため取り扱いに難点があるだけでなく、ガス状であるため密閉状の真空装置が必要となる。一般にこれらの装置は大掛かりなもので装置自体が高価であるだけでなく、真空系やプラズマ系に多大のエネルギーを消費するため製品のコスト高に繋がっている。
【０００５】
また、上記湿式プロセスのゾルゲル反応を用いる系は、アルコキシシランなどの部分加水分解物を加熱することにより加水分解物の脱水縮合反応を行う方法である。そのため、反応が進むにつれて水が生成するので緻密なシリコン酸化膜が得られにくいだけでなく、膜中の内部応力の発生に起因する亀裂が発生し易い。
さらに高温で加熱するため、耐熱性の低いプラスチック基板などには適用できなかった。
【０００６】
さらに、特公平７―２９７６９号公報には加水分解性ケイ素原子を含有するアミド酸からなる膜にオゾンの存在下に紫外線を照射してシリコン酸化膜を形成することが開示されている。この方法では有機成分として耐熱性の高いアミド酸を含有するケイ素化合物をシリコン酸化膜の前駆体として使用するため、厚膜化が可能になるものの有機成分を酸化分解するのに多大の紫外線の照射を必要とするので生産性が悪いという改良すべき点を有している。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、シリコン酸化膜、特に大面積の基板上に緻密なシリコン酸化膜を有するデバイスのためのシリコン酸化膜の形成方法を提供することにある。
本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになろう。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、（ａ１）式Ｓｉ_nＲ_m（ここで、ｎは３以上の整数を表し、ｍはｎ〜（２ｎ＋２）の整数を表しそして複数個のＲは水素原子を表す）で表される化合物ならびに（ａ２）有機ヒドロキシ化合物および有機カルボン酸よりなる群から選ばれる化合物を混合し、基体上に該混合物の塗膜を形成し、次いで酸素および／またはオゾンの存在下で熱および／または光で処理することを特徴とする、シリコン酸化膜の形成方法によって達成される。
【００１１】
【発明の好ましい実施形態】
（ａ１）成分
本発明で使用される（ａ１）成分は、式Ｓｉ_nＲ_m（ここで、ｎは３以上の整数を表し、ｍはｎ〜（２ｎ＋２）の整数を表しそして複数個のＲは水素原子を表す）で表されるポリシラン化合物である。
【００１３】
上記ポリシラン化合物は、鎖状、環状、またはかご状であることができる。ポリシラン化合物の熱力学的安定性、精製の容易性、および後述する溶媒に対する溶解性などの点で、ｎが３〜５０程度のポリシラン化合物が好ましい。
【００１４】
さらに好ましくは、式Ｓｉ_nＨ_2n+2で表される水素化鎖状ポリシラン、式Ｓｉ_nＨ_2nで表される水素化環状ポリシラン、および式Ｓｉ_nＨ_nで表される水素化かご状ポリシラン化合物が好適に用いられ、特に好ましくは式Ｓｉ_nＨ_2nで表される水素化環状ポリシランである。なお、「かご状」とは、プリズマン骨格、キューバン骨格、５角柱型骨格等を含むものを意味する。
ただし、上記各式におけるｎは、水素化鎖状ポリシランおよび水素化環状ポリシランの場合３〜５０の整数、好ましくは３〜１２の整数であり、水素化かご状ポリシランの場合６〜５０の整数、好ましくは６〜１２の整数である。
【００１５】
この場合、上記した最小値より小さい場合にはポリシラン化合物の成膜性に難点が生じる場合があり、またｎが上記最大値より大きい場合にはポリシラン化合物の凝集力に起因する溶解性の低下が認められる場合があり、使用する溶媒の選択の幅が狭まる。
特に好ましいポリシラン化合物は、シクロペンタシラン、シクロへキサシラン、シリルシクロペンタシランである。
このようなポリシラン化合物は、単独で、または２種以上を一緒に使用することができる。
【００１６】
本発明で使用するポリシラン化合物は、所望の構造単位を有するモノマ−を原料として、例えば以下の方法により製造することができる。（ａ）アルカリ金属の存在下にハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法（いわゆる「キッピング法」、Ｊ．Ａｍ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，１１０，２３４２（１９８８）およびＭａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，２３，３４２３（１９９０）参照）；（ｂ）電極還元によりハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法（Ｊ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，Ｃｈｅｍ．Ｃｏｍｍｕｎ．，１１６１（１９９０）およびＪ．Ｃｈｅｍ．Ｓｏｃ．，Ｃｈｅｍ．Ｃｏｍｍｕｎ．，８９６（１９９２）参照）；（ｃ）金属触媒の存在下にヒドロシラン類を脱水素縮重合させる方法（特開平４−３３４５５１号公報参照）：（ｄ）ビフェニルなどで架橋されたジシレンのアニオン重合による方法（Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，２３，４４９４（１９９０）参照）。（ｅ）フェニル基やアルキル基で置換された環状ケイ素化合物を上記の方法で合成した後、公知の方法（例えば、Ｚ．Ａｎｏｒｇ．Ａｌｌｇ．Ｃｈｅｍ．，４５９，１２３−１３０（１９７９）、Ｅ．ＨｅｎｇｇｅらＭｈ．Ｃｈｅｍ．第１０６巻、５０３頁、１９７５年など）によりヒドロ置換体やハロゲン置換体などに誘導することができる。
【００１７】
（ａ２）成分
本発明で用いられる（ａ２）成分は、有機ヒドロキシ化合物および有機カルボン酸である。これらは１種または２種以上一緒に用いることができる。有機ヒドロキシ化合物としては、例えばモノアルコール、ジアルコール、３価以上の多価アルコール、フェノール類を好ましいものとして挙げることができる。
【００１８】
モノアルコールとしては、例えばメタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、ブタノール、tert-ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、オクタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリメチレングリコールモノメチルエーテル、トリメチレングリコールモノエチルエーテル、トリメチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、トリメチレングリコールモノイソプロピルエーテル、グリセロールジメチルエーテルおよびグリセロールジエチルエーテルを挙げることができる。
【００１９】
これらのうち、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテルには異性体が存在するが、いずれの異性体でもあるいは異性体混合物でも使用できる。
【００２０】
ジアルコールとしては、例えばエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘプタンジオール、ヘキサンジオール、ヘプタンジオール、オクタンジオール、ノナンジオール、デカンジオール、ジエチレングリコール、ビストリメチレングリコール、グリセロールモノメチルエーテル、グリセロールモノエチルエーテルおよびヒドロキノンを挙げることができる。
３価以上の多価アルコールとしては、例えばグリセロールを挙げることができる。
フェノール類としては、例えばフェノール、メチルフェノール、ジメチルフェノール、トリメチルフェノール、エチルフェノール、ジエチルフェノールおよびトリエチルフェノールを挙げることができる。
【００２１】
また、有機カルボン酸としては、例えばギ酸、酢酸、乳酸、シュウ酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、アクリル酸、コハク酸、および安息香酸を挙げることができる。
これらのうち、モノアルコールが好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノイソプロピルエーテルおよびトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテルがさらに好ましい。
【００２２】
上記（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応は、（ａ１）成分１重量部当り（ａ２）成分を、好ましくは０.０１〜１,０００重量部、より好ましくは０.１〜５００重量部、さらに好ましくは１〜３００重量部、特に好ましくは３〜１００重量部で用いて、行うことができる。なお、（ａ１）成分と（ａ２）成分との反応に先立ち、（ａ１）成分を露光処理してもよい。露光処理の条件はシリコン酸化膜の形成方法について後述する条件と同じである。
反応温度は好ましくは０〜１５０℃、より好ましくは１０〜７０℃、さらに好ましくは２０〜５０℃である。
【００２３】
上記のように（ａ１）成分と（ａ２）成分を混合することにより、（ａ１）成分中のＳｉ−Ｒ結合（ここでＲは上記に同じ）の全部または一部が解裂し、（ａ２）成分に由来するアルコキシル基あるいはカルボキシレート基がＳｉ原子と新たな結合を形成するものと推察される。ここで、（ａ２）成分が、１分子中に２個以上の水酸基および／またはカルボン酸基を持つ化合物を含有するものであるとき、（ａ２）成分は、２分子以上の（ａ１）成分と結合を生成してもよい。上記反応は、必要に応じて溶媒の存在下に実施することができる。
【００２４】
ここで使用される溶媒としては、例えば、ｎ−ペンタン、ｎ−ヘキサン、ｎ−ヘプタン、ｎ−オクタン、デカン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、デュレン、インデン、テトラヒドロナフタレン、デカヒドロナフタレン、スクワランなどの炭化水素系溶媒；ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、テトラヒドロフランテトラヒドロピラン、１,２−ジメトキシエタン、ビス（２−メトキシエチル）エーテル、ｐ−ジオキサン、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒；およびプロピレンカーボネート、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルホルムアミド、アセトニトリル、ジメチルスルホキシド、塩化メチレン、クロロホルムなどの極性溶媒を挙げることができる。
【００２５】
これら溶媒は、単独で、または２種以上を混合して使用することができる。
上記反応に溶媒を使用する場合、溶媒の使用量としては、（ａ１）成分１００重量部あたり好ましくは１００,０００重量部以下、より好ましくは５０〜５０,０００重量部、さらに好ましくは２００〜１０,０００重量部である。
【００２６】
（Ｂ）溶媒
本発明において、上記（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応生成物は、通常、溶媒に溶解した組成物として使用される。（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応を、過剰の（ａ２）成分存在下で実施したときは、該反応混合物をそのまま本発明の組成物として使用することができる。また、（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応を溶媒の存在下で実施したときには、該反応混合物をそのまま本発明の組成物として使用することができる。
【００２７】
また、（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応を溶媒の存在下または不存在下で実施したとき、当該反応生成物にさらに溶媒を加えて本発明の組成物とすることもできる。
ここで使用できる溶媒としては、（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応の際に使用できる溶媒として例示したものと同様の溶媒を使用することができる。
これらの溶媒は、単独でも、あるいは２種以上の混合物としても使用できる。
【００２８】
上記のような本発明の組成物中の（ａ１）成分と（ａ２）成分の反応生成物の濃度は、所望のシリコン酸化膜の膜厚に応じて適宜調製することができるが、原料の（ａ１）成分濃度に換算して好ましくは１〜５０重量％であり、特に好ましくは５〜３０重量％である。
【００２９】
本発明の組成物には、目的の機能を損なわない範囲で必要に応じて界面活性剤を添加することができる。このような界面活性剤は、カチオン系、アニオン系、両イオン系、または非イオン系であることができる。とくに非イオン系界面活性剤は、組成物の塗布対象物への濡れ性を良好化し、塗布した膜のレベルリング性を改良し、塗膜のぶつぶつの発生、ゆず肌の発生などの防止に役立つ点で好ましく使用できる。
【００３０】
かかる非イオン性界面活性剤としては、例えばフッ化アルキル基もしくはパーフルオロアルキル基を有するフッ素系界面活性剤、またはオキシアルキル基を有するポリエーテルアルキル系界面活性剤を好ましいものとして挙げることができる。
【００３１】
前記フッ素系界面活性剤としては、例えばエフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、メガファックＦ１７１、同Ｆ１７３（大日本インキ（株）製）、アサヒガードＡＧ７１０（旭硝子（株）製）、フロラードＦＣ−１７０Ｃ、同ＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ−３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０２、同ＳＣ１０３、同ＳＣ１０４、同ＳＣ１０５、同ＳＣ１０６（旭硝子（株）製）、ＢＭ−１０００、同１１００（Ｂ．Ｍ−Ｃｈｅｍｉｅ社製）、Ｓｃｈｓｅｇｏ−Ｆｌｕｏｒ（Ｓｃｈｗｅｇｍａｎｎ社製）、Ｃ₉Ｆ₁₉ＣＯＮＨＣ₁₂Ｈ₂₅、Ｃ₈Ｆ₁₇ＳＯ₂ＮＨ−（Ｃ₂Ｈ₄Ｏ）₆Ｈ、Ｃ₉Ｆ₁₇Ｏ（プルロニックＬ−３５）Ｃ₉Ｆ₁₇、Ｃ₉Ｆ₁₇Ｏ（プルロニックＰ−８４）Ｃ₉Ｆ₁₇、Ｃ₉Ｆ₁₇Ｏ（テトロニック−７０４）（Ｃ₉Ｆ₁₇）₂などを挙げることができる。（ここで、プルロニックＬ−３５：旭電化工業（株）製、ポリオキシプロピレン−ポリオキシエチレンブロック共重合体、平均分子量１,９００；プルロニックＰ−８４：旭電化工業（株）製、ポリオキシプロピレン−ポリオキシエチレンブロック共重合体、平均分子量４,２００；テトロニック−７０４：旭電化工業（株）製、Ｎ,Ｎ,Ｎ’,Ｎ’−テトラキス（ポリオキシプロピレン−ポリオキシエチレンブロック共重合体）、平均分子量５,０００である。）
またポリエーテルアルキル系界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルフェノールエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、オキシエチレンオキシプロピレンブロックポリマーなどを挙げることができる。
【００３２】
これらのポリエーテルアルキル系界面活性剤の具体例としては、エマルゲン１０５、同４３０、同８１０、同９２０、レオドールＳＰ−４０Ｓ、同ＴＷ−Ｌ１２０、エマノール３１９９、同４１１０、エキセルＰ−４０Ｓ、ブリッジ３０、同５２、同７２、同９２、アラッセル２０、エマゾール３２０、ツィーン２０、同６０、マージ４５（いずれも（株）花王製）、ノニボール５５（三洋化成（株）製）などを挙げることができる。上記以外の非イオン性界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリアルキレンオキサイドブロック共重合体などがあり、具体的にはケミスタット２５００（三洋化成工業（株）製）、ＳＮ−ＥＸ９２２８（サンノプコ（株）製）、ノナール５３０（東邦化学工業（株）製）などを挙げることができる。
【００３３】
このような界面活性剤の使用量は、本発明の組成物全体１００重量部に対して、好ましくは１０重量部以下、特に好ましくは０.１〜５重量部である。ここで、１０重量部を超えると得られる組成物が発泡しやすくなると共に、形成されるシリコン酸化膜が着色する場合があり好ましくない。
【００３４】
また本発明の組成物には、コロイド状シリカを添加することもできる。このコロイド状シリカは、本発明に使用する組成物のシリコン濃度を増やすために使用されるもので、この成分の使用量によっても、得られる塗膜の厚さを制御することができる。
【００３５】
なお、コロイド状シリカを用いる場合には、本発明の組成物との相溶性を考慮して、溶媒を選択使用するのが好ましい。また本発明の組成物には、組成物のゲル化防止および増粘、得られるシリコン酸化膜の耐熱性、耐薬品性、硬度、および密着性の向上、更には静電防止などを目的として、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタンなどの金属酸化物の微粉末を適宜配合することもできる。
【００３６】
シリコン酸化膜の形成方法
本発明においては、本発明の組成物を、基体例えば基板上に、塗布し、次いで熱および／または光で処理してシリコン酸化膜を形成することができる。なお、この際、本発明の組成物を基体に塗布する前に、露光処理をしてもよく、また、露光処理しながら塗布してもよい。露光処理の条件はシリコン酸化膜の形成方法について後述する条件と同じである。
【００３７】
塗布には、例えばスプレー法、ロールコート法、カーテンコート法、スピンコート法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、インクジェット法などの適宜の方法が用いられる。このとき、溶媒除去後の膜厚が好ましくは０.０１〜１０μｍ、特に好ましくは０.０１〜５μｍ程度になるように塗布する。成膜工程は好ましくは非酸化性雰囲気下で実施される。このような雰囲気を実現するためには、酸素、二酸化炭素等の酸化性物質を実質的に含有しない雰囲気とすればよい。
具体的には、窒素、水素、希ガスおよびこれらの混合ガス中の雰囲気が好ましく使用できる。
【００３８】
また、本発明の組成物が溶媒を含有するものである場合には、塗膜中の溶媒を除くために、塗布後に熱処理を施すことが好ましい。
【００３９】
上記した熱処理は、ホットプレート、オーブンなどの加熱手段を用いて好ましくは５０〜６００℃、より好ましくは１００〜３００℃の温度で、１０〜１２０分間程度加熱することにより行われる。
【００４０】
上記の如く形成された塗膜は、次いで熱処理および／または光照射処理することにより、シリコン酸化膜へと変換される。本発明で形成されるシリコン酸化膜は、本発明の目的を損なわない範囲において、酸化シリコン以外に炭素等の不純物を含有するものであってもよい。
【００４１】
上記熱処理および／または光照射処理は、酸素および／またはオゾンの存在下で行われる。
【００４２】
上記熱処理は、好ましくは１００〜１２００℃、より好ましくは２００〜９００℃で、さらに好ましくは３００℃〜６００℃にて、１〜３００分、好ましくは５〜１２０分さらに好ましくは１０〜６０分行われる。処理温度が１００℃より低いと酸化反応が不十分である場合があり、一方処理温度が１２００℃より高い場合には酸化後の膜にクラックが入ることがあり、好ましくない。また、処理時間が１分より短いと酸化反応が不十分である場合があり、一方、３００分を越えて長時間加熱処理する必要はない。
【００４３】
上記した光照射処理に際しては、可視光線、紫外線、遠紫外線の他、低圧あるいは高圧の水銀ランプ、重水素ランプあるいはアルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスの放電光の他、ＹＡＧレーザー、アルゴンレーザー、炭酸ガスレーザー、ＸｅＦ、ＸｅＣｌ、ＸｅＢｒ、ＫｒＦ、ＫｒＣｌ、ＡｒＦ、ＡｒＣｌなどのエキシマレーザーなどを光源として使用することができる。これらの光源としては一般には、１０〜５,０００Ｗの出力のものが用いられるが、通常１００〜１,０００Ｗで十分である。これらの光源の波長は組成物または塗膜中のシラン化合物が多少でも吸収するものであれば特に限定されないが１７０ｎｍ〜６００ｎｍが好ましい。
【００４４】
光照射処理を行う際の温度は、好ましくは０〜５００℃であり、処理時間は好ましくは０.１〜６０分程度である。
【００４５】
本発明で得られるシリコン酸化膜の膜厚は好ましくは０.０１〜７μｍ、より好ましくは０.０１〜３μｍ程度である。
また、本発明の方法により複数回成膜することにより、得られるシリコン酸化膜の膜厚をさらに大きくすることもでき、例えば厚さ１ｍｍ程度のシリコン酸化膜の形成も可能である。
【００４６】
また、本発明によれば、上記（ａ１）成分および（ａ２）成分を用いてシリコン酸化膜を形成する方法として、上記の如く、（ａ１）成分と（ａ２）成分を混合し、得られた混合物を基体上に塗布し、次いで上記と同様に加熱および／または光で処理する方法も同様に提供される。
【００４７】
本発明のシリコン酸化膜の形成に使用する基板としては特に限定されない。塗膜を形成する基板は平面でも、段差のある非平面でもよく、その形態は特に限定されるものではない。ポリシラン化合物塗膜の酸化処理を熱処理にて行う場合には、基板の材質は、処理温度に耐えられるものが好ましい。
【００４８】
このような基板の材質の具体例としては、ガラス、金属、プラスチック、セラミックスなどを挙げることができる。ガラスとしては、例えば石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、ソーダガラス、鉛ガラス、ランタン系ガラス等が使用できる。金属としては、例えば金、銀、銅、ニッケル、シリコン、アルミニウム、鉄の他ステンレス鋼などが使用できる。プラスチックとしては、例えばポリイミド、ポリエーテルスルホン、ノルボルネン系開環重合体およびその水素添加物等を使用することができる。さらにこれらの材質形状は塊状、板状、フィルム形状などで特に制限されるものではない。
【００４９】
本発明において、上記の如くしてシリコン酸化膜が形成される。本発明の方法は、基板の面積や形状に関わらずに緻密なシリコン酸化膜を形成することができ、信頼性の高いシリコン酸化膜が要求されるデバイスを製造するために好適に使用することができる。また、本発明の方法は、真空装置などの高価な装置が不要なので低コストである。
【００５０】
また、ポリシラン化合物塗膜の酸化処理を光照射にて行う場合には、所望のパターンを有するフォトマスクの使用等により、塗膜の一部に選択的に光照射すれば、任意のパターンを有するシリコン酸化膜を形成することも可能である。
【００５１】
【実施例】
以下に、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００５２】
合成例１
温度計、コンデンサー、滴下ロートおよび攪拌装置を取り付けた内容量が２Ｌの４つ口フラスコ内をアルゴンガスで置換した後、乾燥したテトラヒドロフラン１.５Ｌとリチウム金属２７.４ｇを仕込み、アルゴンガスでバブリングした。この懸濁液に、室温で攪拌しながら、ジフェニルジクロルシラン５００ｇを滴下ロートより添加した。リチウム金属が完全に消失するまで反応を続けた後、反応混合物を水中に注ぎ反応生成物を沈殿させた。この沈殿物を濾別し、水で良く洗滌した後シクロヘキサンで洗滌した。さらにこの粗生成物を酢酸ブチルで再結晶することによりデカフェニルシクロペンタシラン２１６ｇを得た。このものの構造はＧＣ−ＭＳ、ＮＭＲ、ＩＲで確認した。次に１Ｌのフラスコにこのデカフェニルシクロペンタシラン２００ｇおよびシクロヘキサン１,５００ｍｌを仕込み、塩化アルミニウム５ｇを加え塩化水素を導入し、アルゴン雰囲気下で反応混合物を減圧濃縮することにより固体状の反応生成物９２ｇを得た。この粗生成物をアルゴン雰囲気下で昇華精製することにより７５ｇの白色固体を得た。このものは、ＧＣ−ＭＳ、²⁹Ｓｉ−ＮＭＲおよびＩＲの各スペクトルによりデカクロルシクロペンタシランであることが判った。かくして得られたデカクロルシクロペンタシラン６６ｇをエーテルとシクロヘキサンの混合溶媒に溶解し、氷冷下アルゴン雰囲気中でリチウムアルミニウムヒドリドを塩素原子１個に対して１当量加えて還元反応を行った。反応で生じたアルミニウム化合物と溶媒を除去することにより還元されたシラン化合物１８ｇを得た。このものはＭＳ、¹Ｈ−ＮＭＲ、²⁹Ｓｉ−ＮＭＲおよびＩＲの各スペクトルによりシクロペンタシラン（Ｓｉ₅Ｈ₁₀）であることが判明した。図１にシクロペンタシランの¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルを示す。
【００５３】
実施例１
上記合成例１で得られた水素化されたシクロペンタシラン（Ｓｉ₅Ｈ₁₀）２ｇをトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテル１８ｇに溶かし本発明の組成物を調製した。図２にトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテルの¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルを、図３に上記で得られた本発明の組成物（シクロペンタシランとトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテルの反応生成物）の¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルをそれぞれ示す。
【００５４】
次いで、この組成物を４インチシリコン基板上に５ｃｃ滴下し、窒素雰囲気下でスピンコート（２,０００ｒｐｍ）により塗布した。窒素中２００℃×１０分で加熱し、溶媒を除去した後、空気中５００℃×３０分で熱処理を行ったところ、膜厚０.１〜０.１５μｍの膜が得られた。この膜を電子顕微鏡（（株）日立製作所製、形式「Ｓ４２００」）で観察したところ、クラックなどの膜異常は全く観察されず良質の膜であった。この膜につき、ＥＳＣＡによる表面組成分析をおこなったところケイ素と酸素原子のみが検出され、シリコン酸化膜であることがわかった。さらにこのケイ素の２ｐ軌道のエネルギーが１０４ｅＶであることからＳｉＯ₂膜であることが判った。ここで得られたシリコン酸化膜のＥＳＣＡスペクトルを図４に示す。
【００５５】
実施例２
上記合成例１で得られたシクロペンタシラン（Ｓｉ₅Ｈ₁₀）２ｇをトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテル２ｇと混合した後、１６ｇのエチルシクロヘキサンに溶かし、本発明の組成物を調製した。この組成物を窒素ガス雰囲気下で４インチシリコン基板上に５ｃｃ滴下し、スピンコート（２０００ｒｐｍ）により塗布した。この基板を窒素中２００℃で１０分間加熱して溶媒を除去した後、空気中５００℃で３０分間熱処理を行ったところ、膜厚０.１０〜０.１５μｍの膜が得られた。この膜を実施例１と同様にして電子顕微鏡にて観察したところ、クラックなどの膜異常は全く観察されず良質の膜であった。この膜をＥＳＣＡ法で表面組成分析を行ったところケイ素と酸素原子のみが検出され、シリコン酸化膜であった。さらにこのケイ素の２ｐ軌道のエネルギーが１０４ｅＶであることからＳｉＯ₂膜であることが判った。
【００５６】
【発明の効果】
以上詳述したように本発明によれば、従来のゾルゲル法などの縮合反応によるシリコン酸化膜の形成方法と異なり、新しいプロセスによりシリコン酸化膜を形成する方法が提供される。また従来のＣＶＤ法のような気相からの堆積ではなく、塗布法で形成した前駆体膜を熱処理および／または紫外線照射により低コストでしかも均一且つ緻密な膜質のシリコン酸化膜への変換することができる。
【００５７】
本発明では、従来のＣＶＤ法と異なりシリコン酸化膜形成時に粉末の発生を防止でき、大掛かりな真空プロセスを用いないので、高価な装置を必要としない。
それ故、本発明によりＬＳＩ、薄膜トランジスタ、光電変換装置および感光体などの半導体デバイスを省エネルギープロセスで製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】合成例１で得られたシクロペンタシランの¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルである。
【図２】実施例１で用いたトリメチレングリコールモノイソプロピルエーテルの¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルである。
【図３】実施例１で調製した本発明の組成物の¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルである。
【図４】実施例１で得られた酸化シリコン膜のＥＳＣＡスペクトルである。

Claims

（ａ１）式Ｓｉ_ｎＲ_ｍ（ここで、ｎは３以上の整数を表し、ｍはｎ〜（２ｎ＋２）の整数を表しそして複数個のＲは水素原子を表す）で表される化合物ならびに
（ａ２）有機ヒドロキシ化合物および有機カルボン酸よりなる群から選ばれる化合物
を混合し、基体上に該混合物の塗膜を形成し、次いで酸素および／またはオゾンの存在下で熱および／または光で処理することを特徴とする、シリコン酸化膜の形成方法。