JP4531382B2 - 透明導電性シート - Google Patents
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Description
環状オレフィンポリマーシート(日本ゼオン(株)製、「ゼオノア」(登録商標)、厚み;100μm、大きさ;15cm×15cm)を準備し、スパッタ装置のチャンバー内の上部電極にこのシートを装着した。次いで、チャンバー内を油回転ポンプおよびターボ分子ポンプにより、到達真空度5×10-5Paまで減圧した。上記のスパッタ装置は、チャンバーとともに、電源、排気弁、排気装置、ガス導入口、ガス供給源を備えている。また、タ−ゲットとしてITO(99.99%以上)を用い、酸素ガス(太陽東洋酸素(株)製(純度99.9999%以上))、アルゴンガス(太陽東洋酸素(株)製(純度99.999%以上))を準備した。
屈曲性試験
透明導電性シートを幅;1cm、長さ;16cmの形状に切り出したテープを、直径10mmφのステンレス製丸棒の周囲に、テープの透明導電性薄膜が外側になるようにして密着させてほぼ5重に巻きつけ、巻きつけたままの状態で5分間放置した。放置後、テープを巻きつけた状態から解放して裏返し、今度は透明導電性薄膜が内側になるようにした以外は同様にして巻きつけ、5分間放置し、その後、テープを巻いた状態から解放した。
膜厚及び膜密度の測定
X線回折装置(リガク電機工業(株)製、ATX−E)を用いて測定を行い、得られたデータを解析ソフト(リガク電機工業(株)製、RGXR)を用い、反射率を非線形最小二乗法によりフィッティングし、膜厚および膜密度を求めた。解析の際のR値が1%未満であることを正確性の判断基準とした。X線としては、18kWのX線発生装置を用い、Cuターゲットによる波長(λ);1.5405ÅのCuKα線を発生させ、モノクロメーターとしては放物面人口多層膜ミラーおよびGe(220)モノクロ結晶を用いた。試料の透明導電性シートを基板ホルダーにマグネットで装着し、自動アライメント機能を利用して0°位置調整を行なった後、スキャン速度;0.1000°/min、サンプリング幅;0.002°、およびスキャン範囲;0〜4.0000°の設定条件にてスキャンしながら反射率を測定した。測定で得られた反射率データは、上記の解析ソフトを用い、初期値として薄膜の元素比を入力し、フィッティングエリア;0.560°〜4.000°の条件で最小二乗法によるフィッティングを行なって、膜厚および膜密度を求めた。
シート抵抗の測定
「導電性プラスチックの4探針法による抵抗率試験方法」(JIS K7194)に準拠して行なった。
密着性の測定
セロハンテープによる引きはがし試験(JIS H8504)に準拠して行ない、得られた透明導電性シートの透明導電性薄膜の表面に18×20mmの面積でセロハンテ−プ(積水化学工業社製)を貼りつけた後、剥離試験を行い、セロハンテープの貼りつけ面積に対する基材から膜が剥離した面積の割合(剥離率)を測定し、密着性を評価した。なお、評価雰囲気は、22℃、65%RHである。
エッチング適性の評価
塩酸:水:硫酸=1:1:0.08の混合酸性溶液に、透明導電性シートを4分間浸漬し、外観の変化、特に剥離の有無を観察すると同時に、処理前後のシート抵抗の変化を調べた。すなわち、処理後のシート抵抗値が∞のときはエッチングが良好に行われたものと判断し、導電性が確認されたときはエッチングが不十分であると判断した。
成膜中の酸素導入量を4sccmで一定にして行ない、厚みが140nmのITO膜を形成した以外は、実施例1と同様にして透明導電性シートを得た。
装着されたシートの加熱を行なった以外は実施例1と同様にして透明導電性シートを得た。
2……合成樹脂シート
3……透明導電性薄膜
4……無機化合物薄膜
Claims (5)
- 透明合成樹脂シートおよび透明導電性薄膜が積層された積層構造を有しており、前記透明導電性薄膜の前記透明合成樹脂シート側の界面付近の密度をA、前記界面付近以外の部分の密度をBとするとき、
A/Bが0.800以上0.999以下、もしくは1.001以上1.200以下であり、
Bが6.0g/cm3〜8.0g/cm3であることを特徴とする透明導電性シート。 - 前記A/Bが0.800以上0.999以下であることを特徴とする請求項1記載の透明導電性シート。
- 前記透明導電性薄膜がITOを素材として構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の透明導電性シート。
- 前記透明合成樹脂シートは、ガラス転移点が150℃以上の樹脂で構成されたものであることを特徴とする請求項1〜請求項3いずれか記載の透明導電性シート。
- 前記透明合成樹脂シートがポリカーボネート、ポリエーテルサルフォン、ポリアクリレート、ポリアリレート、環状オレフィンポリマーのいずれかであることを特徴とする請求項4記載の透明導電性シート。
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