JP4521992B2 - 配線構造体の製造方法 - Google Patents
配線構造体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4521992B2 JP4521992B2 JP2000542792A JP2000542792A JP4521992B2 JP 4521992 B2 JP4521992 B2 JP 4521992B2 JP 2000542792 A JP2000542792 A JP 2000542792A JP 2000542792 A JP2000542792 A JP 2000542792A JP 4521992 B2 JP4521992 B2 JP 4521992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon oxide
- organic polymer
- thin film
- wiring
- insulator layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 132
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 113
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 108
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 80
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 74
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 74
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 72
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 61
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 61
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 60
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 58
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 17
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 151
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 32
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 30
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 30
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 27
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 27
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 26
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 26
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 24
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 24
- -1 copper and silver Chemical class 0.000 description 24
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 24
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 19
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 18
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M acrylate group Chemical group C(C=C)(=O)[O-] NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 10
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 10
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 10
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 8
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 8
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 7
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 7
- 229960000834 vinyl ether Drugs 0.000 description 7
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical class CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 6
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 6
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 6
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M methacrylate group Chemical group C(C(=C)C)(=O)[O-] CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 5
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 5
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 5
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 5
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 5
- FEWLNYSYJNLUOO-UHFFFAOYSA-N 1-Piperidinecarboxaldehyde Chemical compound O=CN1CCCCC1 FEWLNYSYJNLUOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KDISMIMTGUMORD-UHFFFAOYSA-N 1-acetylpiperidine Chemical compound CC(=O)N1CCCCC1 KDISMIMTGUMORD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(oxiran-2-ylmethoxy)ethoxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCCOCC1CO1 AOBIOSPNXBMOAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PMDCZENCAXMSOU-UHFFFAOYSA-N N-ethylacetamide Chemical compound CCNC(C)=O PMDCZENCAXMSOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N N-methylformamide Chemical compound CNC=O ATHHXGZTWNVVOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 4
- LCEDQNDDFOCWGG-UHFFFAOYSA-N morpholine-4-carbaldehyde Chemical compound O=CN1CCOCC1 LCEDQNDDFOCWGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 4
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical group CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 3
- AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylurea Chemical compound CN(C)C(=O)N(C)C AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 1,3-Dimethyl-2-imidazolidinon Chemical compound CN1CCN(C)C1=O CYSGHNMQYZDMIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBQBICYRKOTWRR-UHFFFAOYSA-N 1-(4-acetylpiperazin-1-yl)ethanone Chemical compound CC(=O)N1CCN(C(C)=O)CC1 NBQBICYRKOTWRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AGRIQBHIKABLPJ-UHFFFAOYSA-N 1-Pyrrolidinecarboxaldehyde Chemical compound O=CN1CCCC1 AGRIQBHIKABLPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-4-methoxybenzene Chemical compound COC1=CC=C(C=C)C=C1 UAJRSHJHFRVGMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KYWXRBNOYGGPIZ-UHFFFAOYSA-N 1-morpholin-4-ylethanone Chemical compound CC(=O)N1CCOCC1 KYWXRBNOYGGPIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNWWQYYLZVZXKS-UHFFFAOYSA-N 1-pyrrolidin-1-ylethanone Chemical compound CC(=O)N1CCCC1 LNWWQYYLZVZXKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-phenylpropan-2-ylperoxy)propan-2-ylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C)(C)OOC(C)(C)C1=CC=CC=C1 XMNIXWIUMCBBBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N N-methylacetamide Chemical compound CNC(C)=O OHLUUHNLEMFGTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000013877 carbamide Nutrition 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 2
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 2
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol monomethyl ether acetate Natural products COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KERBAAIBDHEFDD-UHFFFAOYSA-N n-ethylformamide Chemical compound CCNC=O KERBAAIBDHEFDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N pentan-2-one Chemical compound CCCC(C)=O XNLICIUVMPYHGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 2
- 229920005650 polypropylene glycol diacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229920005651 polypropylene glycol dimethacrylate Polymers 0.000 description 2
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N sulfonyldimethane Chemical compound CS(C)(=O)=O HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N tetrapropyl silicate Chemical compound CCCO[Si](OCCC)(OCCC)OCCC ZQZCOBSUOFHDEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 2
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SAHQQCUQWHJOCV-SNAWJCMRSA-N (e)-2-ethenylbut-2-enoic acid Chemical compound C\C=C(/C=C)C(O)=O SAHQQCUQWHJOCV-SNAWJCMRSA-N 0.000 description 1
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethoxypropane Chemical compound COCC(C)OC LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MASDFXZJIDNRTR-UHFFFAOYSA-N 1,3-bis(trimethylsilyl)urea Chemical compound C[Si](C)(C)NC(=O)N[Si](C)(C)C MASDFXZJIDNRTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZFIGURLAJSLIR-UHFFFAOYSA-N 1-ethenyl-2h-pyridine Chemical compound C=CN1CC=CC=C1 OZFIGURLAJSLIR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylanthracene Chemical compound C1=CC=C2C=C3C(C=C)=CC=CC3=CC2=C1 UVHXEHGUEKARKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 1-ethenylimidazole Chemical compound C=CN1C=CN=C1 OSSNTDFYBPYIEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 1-vinylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C=C)=CC=CC2=C1 IGGDKDTUCAWDAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 2-acetyloxyethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOC(C)=O JTXMVXSTHSMVQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJVRPNIWWODHHA-UHFFFAOYSA-N 2-cyanoprop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C(=C)C#N IJVRPNIWWODHHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCCl OXYZDRAJMHGSMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEZMLECYELSZDC-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl-diethoxy-methylsilane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)CCCCl KEZMLECYELSZDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KNTKCYKJRSMRMZ-UHFFFAOYSA-N 3-chloropropyl-dimethoxy-methylsilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCCl KNTKCYKJRSMRMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 4-Methylstyrene Chemical compound CC1=CC=C(C=C)C=C1 JLBJTVDPSNHSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBSKZKPSSKTLNE-UHFFFAOYSA-N 4-methylpent-3-enoxysilane Chemical compound CC(=CCCO[SiH3])C ZBSKZKPSSKTLNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- INYHZQLKOKTDAI-UHFFFAOYSA-N 5-ethenylbicyclo[2.2.1]hept-2-ene Chemical compound C1C2C(C=C)CC1C=C2 INYHZQLKOKTDAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZPQAKYPOZRXKFA-UHFFFAOYSA-N 6-Undecanone Chemical compound CCCCCC(=O)CCCCC ZPQAKYPOZRXKFA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JDQNBUQGXKMPSR-UHFFFAOYSA-N C(=C)N.C(C(=C)C)#N Chemical class C(=C)N.C(C(=C)C)#N JDQNBUQGXKMPSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N Diethyl carbonate Chemical compound CCOC(=O)OCC OIFBSDVPJOWBCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical class CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004716 Ethylene/acrylic acid copolymer Substances 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N N-trimethylsilylimidazole Chemical compound C[Si](C)(C)N1C=CN=C1 YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Chemical class 0.000 description 1
- 229920002319 Poly(methyl acrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 229920002732 Polyanhydride Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920000292 Polyquinoline Polymers 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 241001619461 Poria <basidiomycete fungus> Species 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002125 Sokalan® Polymers 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N Succinic acid Natural products OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920006322 acrylamide copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008360 acrylonitriles Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N butanedioic acid Chemical compound O[14C](=O)CC[14C](O)=O KDYFGRWQOYBRFD-NUQCWPJISA-N 0.000 description 1
- KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N butyronitrile Chemical compound CCCC#N KVNRLNFWIYMESJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N chloro(dimethyl)silicon Chemical compound C[Si](C)Cl QABCGOSYZHCPGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GTPDFCLBTFKHNH-UHFFFAOYSA-N chloro(phenyl)silicon Chemical compound Cl[Si]C1=CC=CC=C1 GTPDFCLBTFKHNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MNKYQPOFRKPUAE-UHFFFAOYSA-N chloro(triphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](C=1C=CC=CC=1)(Cl)C1=CC=CC=C1 MNKYQPOFRKPUAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N chloro-ethenyl-dimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C=C XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQHIGRPLCKIXNJ-UHFFFAOYSA-N chloro-methyl-silylsilane Chemical compound C[SiH]([SiH3])Cl KQHIGRPLCKIXNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000008049 diazo compounds Chemical class 0.000 description 1
- OSXYHAQZDCICNX-UHFFFAOYSA-N dichloro(diphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 OSXYHAQZDCICNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N dichloro(methyl)silicon Chemical compound C[Si](Cl)Cl KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCJHMXXKIKBHQP-UHFFFAOYSA-N dichloro-(3-chloropropyl)-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)CCCCl UCJHMXXKIKBHQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N dichloro-ethenyl-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)C=C YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZNQQQWFKKTOSD-UHFFFAOYSA-N diethoxy(diphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 ZZNQQQWFKKTOSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAURFLBIDLSLQU-UHFFFAOYSA-N diethoxy(methyl)silicon Chemical compound CCO[Si](C)OCC GAURFLBIDLSLQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AHUXYBVKTIBBJW-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(diphenyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 AHUXYBVKTIBBJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N dimethyldiethoxysilane Chemical compound CCO[Si](C)(C)OCC YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000010291 electrical method Methods 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- WGXGKXTZIQFQFO-CMDGGOBGSA-N ethenyl (e)-3-phenylprop-2-enoate Chemical compound C=COC(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WGXGKXTZIQFQFO-CMDGGOBGSA-N 0.000 description 1
- PQLFROTZSIMBKR-UHFFFAOYSA-N ethenyl carbonochloridate Chemical compound ClC(=O)OC=C PQLFROTZSIMBKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N ethenyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC=C UIWXSTHGICQLQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUFVQEIPPHHQCK-UHFFFAOYSA-N ethenyl-methoxy-dimethylsilane Chemical compound CO[Si](C)(C)C=C NUFVQEIPPHHQCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005670 ethenylalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclohexane Chemical compound C=CC1CCCCC1 LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclopentane Chemical compound C=CC1CCCC1 BEFDCLMNVWHSGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 1
- 229940052303 ethers for general anesthesia Drugs 0.000 description 1
- DRUOQOFQRYFQGB-UHFFFAOYSA-N ethoxy(dimethyl)silicon Chemical compound CCO[Si](C)C DRUOQOFQRYFQGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N ethoxy(trimethyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(C)C RSIHJDGMBDPTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940093858 ethyl acetoacetate Drugs 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N formic acid ethyl ester Natural products CCOC=O WBJINCZRORDGAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010025899 gelatin film Proteins 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000001841 imino group Chemical group [H]N=* 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- LRDFRRGEGBBSRN-UHFFFAOYSA-N isobutyronitrile Chemical compound CC(C)C#N LRDFRRGEGBBSRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013212 metal-organic material Substances 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N methoxy(trimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)C POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZRKJHRIILZWRC-UHFFFAOYSA-N methyl acetate;propane-1,2-diol Chemical compound COC(C)=O.CC(O)CO CZRKJHRIILZWRC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000005048 methyldichlorosilane Substances 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNCCN MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N n,n'-methylenebisacrylamide Chemical compound C=CC(=O)NCNC(=O)C=C ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088644 n,n-dimethylacrylamide Drugs 0.000 description 1
- YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide Chemical compound CN(C)C(=O)C=C YLGYACDQVQQZSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 description 1
- RQAKESSLMFZVMC-UHFFFAOYSA-N n-ethenylacetamide Chemical compound CC(=O)NC=C RQAKESSLMFZVMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQXSMRAEXCEDJD-UHFFFAOYSA-N n-ethenylformamide Chemical compound C=CNC=O ZQXSMRAEXCEDJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJIJKWCQOIHCCD-UHFFFAOYSA-N n-ethyl-n-triethylsilylethanamine Chemical compound CCN(CC)[Si](CC)(CC)CC WJIJKWCQOIHCCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-trimethylsilylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](C)(C)C KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWFWUJCJKPUZLV-UHFFFAOYSA-N n-trimethylsilylacetamide Chemical compound CC(=O)N[Si](C)(C)C LWFWUJCJKPUZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N n-vinylcarbazole Chemical compound C1=CC=C2N(C=C)C3=CC=CC=C3C2=C1 KKFHAJHLJHVUDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 230000003606 oligomerizing effect Effects 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- YOURXVGYNVXQKT-UHFFFAOYSA-N oxacycloundecane-2,11-dione Chemical compound O=C1CCCCCCCCC(=O)O1 YOURXVGYNVXQKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005289 physical deposition Methods 0.000 description 1
- HIRJFVFSDAJYNR-UHFFFAOYSA-N piperazine-1,2-dicarbaldehyde Chemical compound O=CC1CNCCN1C=O HIRJFVFSDAJYNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBLGQEBXWDKYDI-UHFFFAOYSA-N piperazine-1,4-dicarbaldehyde Chemical compound O=CN1CCN(C=O)CC1 CBLGQEBXWDKYDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920000191 poly(N-vinyl pyrrolidone) Polymers 0.000 description 1
- 229920001483 poly(ethyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002454 poly(glycidyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002401 polyacrylamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004584 polyacrylic acid Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- FVSKHRXBFJPNKK-UHFFFAOYSA-N propionitrile Chemical compound CCC#N FVSKHRXBFJPNKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 1
- 238000006884 silylation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000935 solvent evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical group C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCLLLHFGVQKVKL-UHFFFAOYSA-N tetratert-butyl silicate Chemical compound CC(C)(C)O[Si](OC(C)(C)C)(OC(C)(C)C)OC(C)(C)C BCLLLHFGVQKVKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZRJPHXTEXTLHY-UHFFFAOYSA-N triethoxy(2-triethoxysilylethyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CC[Si](OCC)(OCC)OCC IZRJPHXTEXTLHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIINUVYELHEORX-UHFFFAOYSA-N triethoxy(triethoxysilylmethyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C[Si](OCC)(OCC)OCC NIINUVYELHEORX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JIOGKDWMNMIDEY-UHFFFAOYSA-N triethoxy-(2-triethoxysilylphenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1[Si](OCC)(OCC)OCC JIOGKDWMNMIDEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N triethoxysilane Chemical compound CCO[SiH](OCC)OCC QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCGDCINCKDQXDX-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(2-trimethoxysilylethyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CC[Si](OC)(OC)OC JCGDCINCKDQXDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DJYGUVIGOGFJOF-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(trimethoxysilylmethyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C[Si](OC)(OC)OC DJYGUVIGOGFJOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIRZROVNUPFFNZ-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-(4-trimethoxysilylphenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=C([Si](OC)(OC)OC)C=C1 YIRZROVNUPFFNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N vinyl benzoate Chemical compound C=COC(=O)C1=CC=CC=C1 KOZCZZVUFDCZGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02203—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being porous
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen
- H01L21/02216—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen the compound being a molecule comprising at least one silicon-oxygen bond and the compound having hydrogen or an organic group attached to the silicon or oxygen, e.g. a siloxane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02282—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process liquid deposition, e.g. spin-coating, sol-gel techniques, spray coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
- H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
- H01L21/02345—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to radiation, e.g. visible light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/314—Inorganic layers
- H01L21/316—Inorganic layers composed of oxides or glassy oxides or oxide based glass
- H01L21/31695—Deposition of porous oxides or porous glassy oxides or oxide based porous glass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、配線構造体の製造方法に関する。更に詳しくは、本発明は、多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層を有する配線構造体の製造方法であって、(1)基板上に、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成し、(2)該予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、(3)該溝の中に配線として機能する金属層を形成し、そして(4)該予備的絶縁体層から該有機ポリマーを除去して該予備的絶縁体層を多孔化して、該予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変える、ことを包含することを特徴とする方法に関する。本発明の方法によって得られる配線構造体においては、隣接する配線間の容量[線間容量(line−to−line capacitance)]が低減でき、且つ、銅や銀などの低抵抗率の金属からなる配線を使用できるので、従来の配線構造体と比べて電気信号の伝達遅延(配線遅延)を大幅に低減できる。更に、本発明の方法によれば、上記の優れた配線構造体を効率的に製造することができる。また、本発明は、上記の優れた配線構造体を包含する多層配線板、及び上記の優れた配線構造体を包含してなる半導体素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、LSIなどの半導体素子の多層配線に用いる絶縁層の素材として、非多孔性(non−porous)ケイ素酸化物、またはフッ素や有機基を導入したケイ素酸化物が用いられてきた。
【0003】
しかし、これらの素材の比誘電率の値は比較的大きい。近年、LSIなどの半導体素子の配線は高密度化の一途をたどっており、これに伴って基板上の隣接する配線間の距離が狭まっている。その結果、隣接する配線がキャパシターとして機能し得るようになる。この時、絶縁層の誘電率が高いとキャパシターの静電容量が増大し、その結果配線を通じて伝達される電気信号の伝達の遅延(いわゆる配線遅延)が問題となっている。このため、ケイ素酸化物と有機ポリマーを複合化させて比誘電率を低下させたり、ケイ素酸化物を多孔化して、比誘電率の値がおよそ1である空気との複合体にして比誘電率を低下させるという試みがなされている。
【0004】
今後さらにLSIなどの半導体素子の配線の密度が増加すると、配線遅延の低減が更に重要になる。そのため、配線遅延のもう一つの原因である配線に用いる金属の抵抗の問題を解決するために、配線の素材として、従来用いられているアルミニウムに代わり銅や銀に代表されるような低抵抗率の金属を用いることが必要になる。しかし、配線構造体の製造のための従来のプロセスではこれは非常に困難である。即ち、従来の製造プロセスにおいては、まず基板上の全面に金属層を形成してから、金属層のうち配線となる部分の上にフォトレジストパターン(保護層)を形成し、フォトレジストパターンによって保護されていない金属を従来のエッチング方法で除去することによって配線を形成し、更にその配線の周囲に絶縁層を形成するものである。従来のエッチング方法は、除去すべき金属と高蒸気圧化合物を形成可能な物質を用いるもので、この場合は、金属層の表面のうちフォトレジストパターンによって保護された部分は侵されることなく、保護されていない部分のみを高蒸気圧化合物に変えて選択的に除去できる。しかし、銅や銀に代表されるような低抵抗率の金属の場合は、これら金属は高蒸気圧化合物を形成できず、低蒸気圧の化合物しか形成できないので、上記の従来のエッチング方法によって除去することができない。従って、従来のプロセスではこれらの低抵抗率の金属を用いることができない。
【0005】
上記の問題を解決するために、いわゆるダマシン法
(damascene process)が提案されている。ダマシン法においては、まず基板上に絶縁層を形成し、これに、配線用の金属を受け入れるための溝を形成してから、その溝を完全に埋めるように絶縁層表面全体に配線用の金属層を形成した後、その溝の中以外に形成された金属層を、プラズマを用いるエッチバックや、化学機械研磨(CMP)によって取り除き、絶縁層とその溝の中に形成された金属層(配線となる金属)を露出させることよって配線を形成する(ダマシン法に関しては、例えば、 International Electron Device Meeting
Technical Digest (1997)p.773−776及び日本国特開昭第62−102543号が参照できる)。このように、ダマシン法においては、配線の形成に従来のエッチング方法を用いる必要がなく、プラズマを用いるエッチバックや、化学機械研磨(CMP)を使用できるので、配線形成のために銅や銀などの低抵抗率の金属が使用できる。また、当業者にとっては極めて周知であるが、多層配線の構造体を製造する場合に、ダマシン法を用いると従来のプロセスによる場合よりも少ない工程数で行うことができ、製造コストを低減できるという大きな利点がある。即ち、従来のプロセスによって多層配線の構造体を製造する場合、ある配線層を形成後、その1つ上層の配線を形成する際には、まず上下の層の仕切りとなる絶縁体層を形成した後、上下の配線層を接続するための垂直方向の配線を通すための垂直方向の導通孔のみを形成する工程を行い、そして該導通孔中に垂直方向の金属配線を形成する工程を行った後、下層と同様に上層の配線を形成することになる。これに対して、ダマシン法によって多層配線の構造体を製造する場合、ある配線層を形成後、その1つ上層の配線を形成する際には、まず上下の層の仕切りとなる絶縁体層を形成した後、上下の配線層を接続するための垂直方向の配線を通すための垂直方向の導通孔の形成と、上層の配線を設けるための溝の形成とを1つの工程で行うことができ、また、その後に該垂直方向の導通孔への金属の堆積と該上層の配線を設けるための溝を埋めるための金属の堆積を1つの工程で行うことができ、その後は、上記のようなプラズマを用いるエッチバックや化学機械研磨(CMP)を行って余分な金属を除去するだけで上層が完成する。このように、ダマシン法は、配線形成のために銅や銀などの低抵抗率の金属が使用でき、また、多層配線の構造体を製造する場合に従来のプロセスによる場合よりも少ない工程数で行うことができるので、非常に有利である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来ダマシン法に用いられているプラズマCVD(化学的気相成長法)で製造したケイ素酸化物からなる絶縁層は比誘電率が高いため、配線遅延を十分に低減することはできないという問題があった。この問題を解決するために、上記のプラズマCVD(化学的気相成長法)で製造したケイ素酸化物からなる絶縁層よりも低い比誘電率を有する素材から構成された絶縁層を用いることが提案されている。
【0007】
例えば、ケイ素酸化物と有機ポリマーとの複合体から構成される絶縁層を用いることが知られている。上記の有機ポリマーに関しては、十分に低い比誘電率を有する絶縁層を得るために、比誘電率が低いものを用いる必要がある。このようなポリマーの例としては、Hedrickらが報告しているパラキノキサリン(比誘電率2.70)[Polymer, Vol.34, p4717 (1993)]及びMonkらが報告しているポリキノリン(比誘電率2.5)[Polymers for Dielectric and Photonic Applications, p119,(1993)]などが挙げられる。
【0008】
しかし、上記の複合体では、十分に低い比誘電率を有する絶縁層を得ることはできない。そこで、ケイ素酸化物を多孔化して空気との複合体にして比誘電率を低下させる方法が注目され、その試みもいくつか知られている。例えば、米国特許第5,472,913号公報においては、テトラアルコキシシランをアルコール中で加水分解及び脱水縮合させることによって得られた湿潤ケイ素酸化物ゲル膜を、シリル化剤であるトリメチルクロロシランの溶液に浸して表面を撥水化した後に、常圧で乾燥する方法によって得られる多孔性ケイ素酸化物膜を絶縁層として用いている。しかし、従来、以下のような理由から、ダマシン法で多孔性ケイ素酸化物から構成される絶縁層を有する配線構造体を製造することは非常に困難であった。
【0009】
上記米国特許第5,472,913号公報においては、上記の方法で得られた多孔性ケイ素酸化物膜上に非多孔性ケイ素酸化物で構成される保護層を形成し、リソグラフィー法を用いてこの保護層だけをエッチングした後に、保護層のエッチングとは異なる条件下で多孔性ケイ素酸化物膜をエッチングすることにより上記したような導通孔を形成している。しかし非多孔性ケイ素酸化物で構成される保護層の厚さが少しでも不均一であると、その下の多孔性ケイ素酸化物膜までが、保護層がエッチングされる速度の数倍の速度で不均一にエッチングされてしまうため、保護層の厚さやエッチング条件を厳密に制御しなくてはならず、非常な困難を伴うという問題があった。
【0010】
このように一般に多孔性ケイ素酸化物膜を微細加工することにより、多孔性ケイ素酸化物膜上に配線を形成しようとする場合、該多孔性ケイ素酸化物の耐ドライエッチング性などが乏しいために、非常な困難が伴う。
【0011】
また、ダマシン法では、配線用の金属を受け入れるための微小な溝を形成した絶縁層の上に金属層を形成する。従って、絶縁層として多孔性ケイ素酸化物膜を用いた場合、金属が絶縁層の孔の中に入り込んでしまう恐れがある。これも、多孔性ケイ素酸化物膜のダマシン法における使用を困難にしている。
【0012】
さらに、ダマシン法では、絶縁層の表面に形成された余分な金属層や絶縁層の一部を除去するためにエッチバックあるいは化学機械研磨(CMP)を用いることが必須である。しかし、多孔性ケイ素酸化物膜を絶縁層として用いた場合、プラズマなどを用いたエッチバックを行う際に、多孔性の絶縁層が露出してプラズマに曝されるとエッチングにより生じたガスが孔内に残存したり、絶縁層が損傷してしまう。また、CMPでは研磨粒子を含む酸性もしくはアルカリ性の水性スラリーを用いるので、多孔性ケイ素酸化物から構成される絶縁層を有する基板にこの方法を用いると、絶縁層が溶解または損傷してしまう恐れがある。
【0013】
これらの問題を解決するため、Zielinskiらは、金属層の形成及びCMPに先立って、配線用の金属を受け入れるための溝を形成した多孔性ケイ素酸化物膜を予め非多孔性ケイ素酸化物膜からなる保護層で覆っておく方法を提案している(International Electron Device Meeting Technical Digest (1997)p. 936-938)。この方法によれば、CMPで研磨されるのは保護層であるため、前述の損傷等の問題は発生しない。しかも、上記の溝に関しても、その側壁が非多孔性ケイ素酸化物膜で保護されるため、金属が膜中に入り込む恐れも軽減される。
【0014】
しかしながらこの方法では保護層を形成する工程が増えるため、配線を形成する工程が複雑になるという問題がある。さらにこの方法では、比誘電率の高い非多孔性ケイ素酸化物膜が絶縁層の表面の一部や溝部に残存するため、多孔性ケイ素酸化物薄膜を用いているにもかかわらず、十分に低い比誘電率を達成できない。
【0015】
【課題を解決するための手段】
このような状況下において、本発明者らは、工業的に有利なダマシン法を用い、比誘電率が低い多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層を有する配線構造体を、先行技術に付随する上記の問題を生ずることなく容易に製造する方法を開発すべく鋭意研究を行った。その結果、意外にも、(1)基板上に、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成し、(2)該予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、(3)該溝の中に配線として機能する金属層を形成し、そして(4)該予備的絶縁体層から該有機ポリマーを除去して該予備的絶縁体層を多孔化して、該予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変える、ことを包含する方法によって上記の目的が達成できることを見いだした。この知見に基づき、本発明を完成した。
【0016】
従って、本発明の一つの目的は、隣接配線間に生じる容量(線間容量)が少なく、それにより電気信号の伝達遅延が少ない配線構造体を、工業的に有利なダマシン法(配線の素材として銅や銀などの低抵抗率の金属を使用できる利点や多層配線板の製造に好適であるという利点がある)によって容易かつ効率的に製造することが可能な方法を提供することにある。
【0017】
また、本発明の他の目的は、上記の配線構造体を包含する多層配線板や半導体素子を提供することにある。
【0018】
本発明の上記及びその他の諸目的、諸特徴ならびに諸利益は、添付の図面を参照しながら行う以下の詳細な説明及び請求の範囲の記載から明らかになる。
【0019】
本発明によれば、
(a)基板、
(b)上記基板上に形成され、回路用のパターンを規定する溝を有する多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層、及び
(c)該溝の中に形成された金属層からなる回路、
を包含する配線構造体の製造方法であって、
(1)基板上に、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成し、
(2)該予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、
(3)該溝の中に配線として機能する金属層を形成し、そして
(4)該予備的絶縁体層のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から該有機ポリマーを除去して該予備的絶縁体層を多孔化して、該予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変える、
ことを包含することを特徴とする配線構造体の製造方法が提供される。
【0020】
次に、本発明の理解を容易にするために、まず本発明の基本的諸特徴及び好ましい態様を列挙する。
1.(a)基板、
(b)上記基板上に形成され、回路用のパターンを規定する溝を有する多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層、及び
(c)該溝の中に形成された金属層からなる回路、
を包含する配線構造体の製造方法であって、
(1)基板上に、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成し、
(2)該予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、
(3)該溝の中に配線として機能する金属層を形成し、そして
(4)該予備的絶縁体層のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から該有機ポリマーを除去して該予備的絶縁体層を多孔化して、該予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変える、
ことを包含することを特徴とする方法。
2.該予備的絶縁体層からの該有機ポリマーの除去を光照射による熱処理によって行う、前項1に記載の方法。
3.該ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の該有機ポリマーが、グラフト構造を有するポリマー及び3次元網目構造を有するポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーからなる、前項1又は2に記載の方法。
4.前項1〜3のいずれかに記載の方法によって製造される配線構造体。
5.積層された複数の配線構造体を包含する多層配線板であって、該複数の配線構造体の少なくとも1つが前項4に記載の配線構造体である多層配線板。
6.前項4に記載の配線構造体を包含する半導体素子。
【0021】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明の方法によって得られる配線構造体は、(a)基板、(b)上記基板上に形成され、回路用のパターンを規定する溝を有する多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層、及び(c)上記溝の中に形成された金属層からなる回路、を包含する。
【0022】
本発明の配線構造体の製造方法においては、まず、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散した構造をもつケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を基板上に形成する。
【0023】
基板としては、シリコンやゲルマニウムなどの半導体基板、ガリウム−ヒ素やインジウム−アンチモンなどの化合物半導体基板の他、プリント配線基板用プレプリグなどを用いる。基板の厚みについては特に限定はないが、半導体基板の場合は0.1mm以上のものを用いるのが好ましく、0.3〜1mmがより好ましい。0.1mmより薄いと、基板上に形成する予備的絶縁体層又は多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層の内部応力によって基板に反りや歪みが生じる可能性がある。基板上には予め任意の物質、例えば、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、窒化チタン、又は窒化タングステン等の膜が形成されていてもよい。また、基板上には、本発明の方法及び/又は公知の方法によって作成した導電性物質、半導体、絶縁性物質等で構成される素子や配線構造が形成されていてもよい。
【0024】
本発明の方法において予備的絶縁体層として基板上に形成されるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜と同じ構造の薄膜は、公知であって、例えば、J. Macromol. Sci.-Chem., A28(9), pp.817-829(1991)に記載されている方法で形成することができるが、次の方法で形成するのが好ましい。即ち、その方法は、
(1)(i)アルコキシシラン、及びアルコキシシランとその加水分解物との混合物からなる群から選ばれるケイ素化合物と、(ii)重合性官能基を有さない有機ポリマー、少なくとも1つの重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー及びこれらの混合物からなる群から選ばれる有機材料、との、液体又は溶液である混合物を基板に塗布して、該基板上にケイ素化合物と有機材料の混合物の薄膜を形成し、
(2)該薄膜中の該ケイ素化合物を、それが十分にゲル化する程度まで加水分解及び脱水縮合させて、該ケイ素化合物を該薄膜中でゲル化させ、
その際、該薄膜中の混合物の有機材料が、少なくとも1つの重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー又はこれらの混合物を含む場合は、該ケイ素化合物の該加水分解及び脱水縮合の前かそれと同時か又はその後で、該有機材料を重合反応に付し、
こうして、ケイ素酸化物中に有機ポリマーの粒子が分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を該基板上に形成する方法である。
しかし、上記の方法に限定されるわけではない。
【0025】
次に、上記の方法を詳細に説明する。
本発明の方法において用いるケイ素化合物は、アルコキシシラン、又はアルコキシシランとその加水分解物との混合物が好ましい。基板上に塗布したケイ素化合物と有機材料の混合物の薄膜を水又は蒸気で処理して薄膜中のアルコキシシランを加水分解すると、アルコキシシランに含まれるアルコキシ基が水酸基となり、脱水縮合反応してゲル化し、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散した構造をもつケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層が得られる。有機材料とケイ素化合物の混合物が溶液である場合は、溶媒の量が溶液全体の重量に対して0.05重量%以上であることが好ましい。ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の膜厚は0.1〜10μmが好ましく、0.2〜3μmがより好ましい。ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の厚さが10μmより大きいと、クラックが発生する場合があるので好ましくない。
【0026】
本発明の方法に用いる有機材料は、重合性官能基を有さない有機ポリマー、少なくとも1つの重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー、又はこれらの混合物が好ましい。
【0027】
本発明の方法に用いることができる重合性官能基を有さない有機ポリマーには特に限定はないが、好適に用いることができる有機ポリマーの例としては、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコールなどのポリエーテル類;ポリアクリルアミド誘導体、ポリメタクリルアミド誘導体、ポリ(N−ビニルピロリドン)、ポリ(N−アシルエチレンイミン)などのアミド類;ポリビニルアルコール;ポリ酢酸ビニル;ポリアクリル酸メチルやポリアクリル酸エチルなどのポリアクリル酸誘導体、ポリメタクリル酸メチルやポリメタクリル酸エチルなどのポリメタクリル酸誘導体、ポリカプロラクトンなどのエステル類;ポリマロニルオキシド、ポリアジポイルオキシド、ポリピメロイルオキシド、ポリスペロイルオキシド、ポリアゼラオイルオキシド、ポリセバコイルオキシド等のポリアンハイドライド;ポリイミド類;ポリウレタン類;ポリ尿素類;及びポリカーボネート類などが挙げられる。また、例えば、エチレングリコール/プロピレングリコール共重合体、アクリルアミド/アクリル酸共重合体、ビニルアルコール/酢酸ビニル共重合体などの、上記のポリマーの構成成分であるモノマーどうしの共重合体や、例えば、エチレン/アクリル酸共重合体、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体などの他の任意のモノマーとの共重合体を用いてもよい。これらのポリマーの重合度は、8〜350,000の中から選ばれる。ポリマーの基本骨格が脂肪族であると、後述するように加熱処理によって多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変えるのが容易であるので好ましい。特に好ましいのは、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコールなどのポリエーテル類である。
【0028】
また、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の機械的強度を上昇させ、かつ多孔性ケイ素酸化物薄膜へ変えたときの収縮を少なく抑えるために、有機ポリマーが分子内に少なくとも1つの重合性官能基を有しているのが好ましい。この場合、得られるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜に含まれる有機ポリマーはグラフト構造および/または3次元網目構造となる。重合性官能基を有する有機ポリマーを用いる場合、重合性官能基としてはビニル基、ビニリデン基、ビニレン基、グリシジル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基、カルボキシル基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、アミノ基、イミノ基、ハロゲン基などが挙げられる。これらの重合性官能基はポリマーの主鎖中にあっても末端にあっても側鎖にあってもよい。またポリマー鎖に直接結合していてもよいし、アルキレン基やエーテル基などのスペーサーを介して結合していてもよい。1つのポリマー分子が1種の官能基を有していても、2種以上の官能基を有していてもよい。上に挙げた官能基の中でも、ビニル基、ビニリデン基、ビニレン基、グリシジル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート基、アクリルアミド基、メタクリルアミド基が好ましい。
【0029】
重合性官能基を有する有機ポリマーの中で好適に用いられるものの具体例として、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールアルキルエーテルアクリレート、ポリエチレングリコールアルキルエーテルメタクリレート、ポリエチレングリコールビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールアルキルエーテルアクリレート、ポリプロピレングリコールアルキルエーテルメタクリレート、ポリプロピレングリコールビニルエーテル、ポリプロピレングリコールジビニルエーテル、ポリプロピレングリコールグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルなどに代表される、末端にアクリレート基やメタクリレート基、ビニル基、グリシジル基などの重合可能な官能基をもつ脂肪族ポリエーテル;ポリグリシジルアクリレート、ポリグリシジルメタクリレート、ポリアリルアクリレート、ポリアリルメタクリレート、ポリビニルアクリレート、ポリビニルメタクリレートなど、側鎖にビニル基、グリシジル基、アリル基などの重合可能な官能基を有するポリアクリル酸エステルやポリメタクリル酸エステル;ポリケイ皮酸ビニル;及びエポキシ樹脂などが挙げられる。これらの中でも、後述する加熱処理によって多孔性ケイ素酸化物薄膜へ変えるのが容易である、ポリエチレングリコールアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコールメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリエチレングリコールアルキルエーテルアクリレート、ポリエチレングリコールアルキルエーテルメタクリレート、ポリエチレングリコールビニルエーテル、ポリエチレングリコールジビニルエーテル、ポリエチレングリコールグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールアルキルエーテルアクリレート、ポリプロピレングリコールアルキルエーテルメタクリレート、ポリプロピレングリコールビニルエーテル、ポリプロピレングリコールジビニルエーテル、ポリプロピレングリコールグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルなどが特に好適に用いられる。
【0030】
本発明の方法において、有機材料として重合性官能基を有さない又は有する有機ポリマーを用いる場合、有機ポリマーの添加量は、ケイ素化合物1重量部に対し10−2〜100重量部、好ましくは10−1〜10重量部、さらに好ましくは10−1〜5重量部である。上記有機ポリマーの添加量が10−2重量部より少ないと、得られる多孔性ケイ素酸化物薄膜の空隙率が小さくなり、所望の比誘電率を得ることができない。また、100重量部より多いと、得られる多孔性ケイ素酸化物薄膜の強度が小さくなり実用性に乏しい。
【0031】
本発明の方法において、有機材料として重合可能な有機モノマーを用いる場合、有機モノマーとしてはどのようなものを用いてもよいが、有機モノマーの中に2官能性のモノマーが含まれている場合、得られるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の中の有機ポリマーはグラフト構造および/または3次元網目構造となる。
【0032】
好適に用いることができる重合可能な有機モノマーとしてアクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、エチレンビスアクリレート、エチレンビスメタクリレート、α−シアノアクリル酸、α−シアノアクリル酸エステルなどのアクリル酸およびメタクリル酸誘導体;酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、クロトン酸ビニル、安息香酸ビニル、クロロギ酸ビニルなどの酸ビニルエステル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N,N−ジアルキルアクリルアミド、N,N−ジアルキルメタクリルアミド、N−アルキルアクリルアミド、N−アルキルメタクリルアミド、N,N’−メチレンビスアクリルアミド、N−ビニルピロリドン、N−ビニルホルムアミド、N−ビニルアセトアミドなどのアミド類;スチレン、α−メチルスチレン、p−メトキシスチレン、ジフェニルエチレン、ビニルナフタレン、ビニルアントラセン、ビニルシクロペンタン、ビニルシクロヘキサン、5−ビニル−2−ノルボルネンなどのビニル基含有炭化水素類;アクリロニトリル、メタクリロニトリルなどのアクリロニトリル誘導体;N−ビニルピリジン、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルイミダゾールなどのビニルアミン類;ビニルアルキルエーテル;ビニルアルキルケトン;アクリル酸グリシジル;メタクリル酸グリシジル;及びエポキシ樹脂などが挙げられる。
【0033】
これらの重合性官能基を有さない有機ポリマー、重合性官能基を有する有機ポリマーおよび重合可能な有機モノマーは、単独で用いても、2種以上を併用しても構わない。上記の有機ポリマーと有機モノマーを併用することも可能である。
【0034】
重合可能な有機モノマーを用いる場合は、その添加量は、ケイ素化合物1重量部に対し10−2〜100重量部、好ましくは10−1〜10重量部、さらに好ましくは10−1〜5重量部であり、上記の有機ポリマーと重合可能な有機モノマーを併用する場合は、その合計量が上記範囲内にあるようにする。
【0035】
ケイ素化合物と有機材料の混合物の薄膜において、有機材料が重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー、又はこれらの混合物を含む場合は、一般にケイ素化合物の加水分解及び脱水縮合の前かそれと同時か又はその後で、上記の有機材料を重合反応に付す。
【0036】
本発明の方法において、有機材料として重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー又はこれらの混合物を用いた場合、その重合反応を速やかに進行させるために重合開始剤を添加してもよい。重合開始剤はアゾ化合物や有機過酸化物などの熱ラジカル発生剤、ジアゾ化合物、アジド化合物、アセトフェノン誘導体などの光ラジカル開始剤などの他に光酸発生剤、光塩基発生剤などの公知のものが使用可能である。これらは単独でも複数を併用してもよい。開始剤を用いた熱重合、光重合は公知の方法で行う。重合開始剤の添加量は、重合性官能基を有する有機ポリマー及び/又は重合可能な有機モノマー1重量部に対し10−3〜1重量部、好ましくは10−2〜10−1重量部である。
【0037】
本発明の方法においてケイ素化合物としてアルコキシシランを用いる場合、用いられるアルコキシシランとしてはテトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ(n−プロポキシ)シラン、テトラ(i−プロポキシ)シラン、テトラ(n−ブトキシ)シラン、テトラ(t−ブトキシ)シランなどのテトラアルコキシシラン等が好適に用いられる。また、エチルシリケート、メチルシリケートなどと呼ばれるアルコキシシランのオリゴマーや、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ビス(トリメトキシシリル)メタン、ビス(トリエトキシシリル)メタン、1,2−ビス(トリメトキシシリル)エタン、1,2−ビス(トリエトキシシリル)エタン、1,4−ビス(トリメトキシシリル)ベンゼン、1,4−ビス(トリエトキシシリル)ベンゼンなどに代表されるような、ケイ素原子上に1個の水素、アルキル基又はアリール基をもつアルコキシシランも本発明で用いられるアルコキシシランに含まれる。アルコキシシランのアルコキシ基をヒドロキシ基に変換したもの、またはアルコキシシランをオリゴマー化したものであるアルコキシシランの加水分解物を用いてもよい。これらは単独で用いてもよく、2種以上を混合してもよい。さらに、得られるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層や多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる予備的絶縁体層を改質するために、ケイ素原子上に2〜3個の水素、アルキル基又はアリール基をもつアルコキシシランを上記のアルコキシシランに混合することも可能である。混合する量は、アルコキシシランのシラン化合物の全モル数の80%以下となるようにする。80%を超えるとゲル化しない場合がある。
【0038】
本発明の方法において、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を形成するための原料となるケイ素化合物と有機材料の混合物には、溶媒は必須ではないが、一般にアルコキシシランと有機ポリマーは相溶しにくいので、その場合にはこの両者を溶解する溶媒を用いることが必要である。溶媒を用いない場合の具体例として、液状であるポリエチレングリコール(数平均分子量:400〜1,000)とテトラエトキシシランとを用いた場合や、液状であるN,N−ジメチルアクリルアミド(モノマー)とテトラエトキシシランとを用いた場合などが挙げられ、これらの場合は均一に混合するので溶媒は不要である。溶媒を用いる場合、溶媒としては、ケイ素化合物と有機材料の両方を最終的に溶解するものであれば、特に限定されることなく用いることが可能である。ケイ素化合物としてアルコキシシランを用いる場合、アルコキシシランが不溶であっても、部分的に加水分解に付し、アルコキシシランとの混合物にすることによって溶解するものであれば同様に使用することができる。例えば、DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)とエタノールの混合溶媒(混合比:6/4)にテトラエトキシシランを加えても混ざらず2層に分離するが、そこへ微量の希塩酸を加えて激しく撹拌し、テトラエトキシシランを部分的に加水分解に付すと2〜3分後に均一な溶液となるので、このようなアルコキシシラン、有機ポリマー及び溶媒の組み合わせでも使用することができる。
【0039】
用いられる溶媒として、C1〜C4の一価アルコール、C1〜C4の二価アルコール、グリセリンなどのアルコール類;ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N−エチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチルアセトアミド、N−エチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、N−ホルミルモルホリン、N−アセチルモルホリン、N−ホルミルピペリジン、N−アセチルピペリジン、N−ホルミルピロリジン、N−アセチルピロリジン、N,N’−ジホルミルピペラジン、N,N’−ジアセチルピペラジンなどのアミド類;テトラメチルウレア、N,N’−ジメチルイミダゾリジノンなどのウレア類;テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジ(n−プロピル)エーテル、ジイソプロピルエーテル、ジグリム、1、4−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテルなどのエーテル類;ギ酸エチル、酢酸メチル、酢酸エチル、乳酸エチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸ジエチル、炭酸エチレン、炭酸プロピレンなどのエステル類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルプロピルケトン、メチル(n−ブチル)ケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどのケトン類、アセトニトリル、プロピオニトリル、n−ブチロニトリル、イソブチロニトリルなどのニトリル類;及びジメチルスルホキシド、ジメチルスルホン、スルホランなどが好適に用いられる。これらの溶媒は混合したり、他の任意の溶媒あるいは添加物、例えば、レベリング剤(塗布均一性を上げるもの)、密着向上剤、重合開始剤、酸発生剤、アルカリ発生剤、酸化剤などを混合してもよい。
【0040】
上記の溶媒の中でも、ホルムアミド、N−メチルホルムアミド、N−エチルホルムアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチルアセトアミド、N−エチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、N−ホルミルモルホリン、N−アセチルモルホリン、N−ホルミルピペリジン、N−アセチルピペリジン、N−ホルミルピロリジン、N−アセチルピロリジン、N,N’−ジホルミルピペラジン、N,N’−ジアセチルピペラジンなどのアミド類、テトラメチルウレア、N,N’−ジメチルイミダゾリジノンなどのウレア類が、透明均質なケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜や細孔径の小さな多孔性ケイ素酸化物薄膜を得るために特に好ましい。
【0041】
本発明の方法においてケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を形成する際、ケイ素化合物の加水分解と脱水縮合反応に触媒は必ずしも必要ではないが、反応を促進するために触媒を添加してもよい。触媒の具体例としては塩酸、硝酸、硫酸、蟻酸、酢酸、蓚酸、マレイン酸などの酸類、アンモニア水、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、トリエチルアミン、トリエタノールアミン、ピリジン、ピペリジン、コリンなどのアルカリ類などが挙げられる。これらは単独で用いても、2種類以上を併用してもよい。また、2種類以上を段階的に用いることも可能である。ここでいう段階的というのは、例えば予め酸触媒で処理を施してから塩基触媒を加えることや、その逆を行うことを指す。
【0042】
これらの触媒の添加量はケイ素化合物1モルに対し1モル以下、好ましくは10−1モル以下が適当である。1モルより多いと沈殿の生成などが起こり均一な多孔性ケイ素酸化物薄膜が得られない場合がある。
【0043】
ケイ素化合物と有機材料の混合物の薄膜におけるアルコキシシランの加水分解は、上記の触媒が水溶液である場合には、その溶媒である水によって起こるし、また水を添加しなくても周囲に十分な水蒸気が存在していれば、それを利用することもできる。必要であれば別途水を添加してもよい。好ましい水の添加量は、アルコキシシランに含まれているケイ素原子1モルに対し0.3〜104モル、より好ましくは1〜10モルである。104モルより多いと得られるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の均質性が低下する場合がある。
【0044】
このようにして作成した液体または溶液であるケイ素化合物と有機材料の混合物を基板上に塗布して薄膜を得る方法は、流延、回転、浸漬など周知の方法で行う。基板の表面をあらかじめ密着向上剤で処理してもよい。この場合の密着向上剤としてはいわゆるシランカップリング剤として用いられるものやアルミニウムキレート化合物などを使用することができる。特に好適に用いられるものとして、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジクロロシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムトリス(エチルアセトアセテート)、アルミニウムビス(エチルアセトアセテート)モノアセチルアセトネート、アルミニウムトリス(アセチルアセトネート)などが挙げられる。これらの密着向上剤を塗布するにあたっては必要に応じて他の添加物、例えば、水、酸、アルカリなどを加えたり、溶媒で希釈して用いてもよい。密着向上剤による処理は公知の方法で行うことができ、例えば、市販のシランカップリング剤の製品カタログに記載されている方法で行う。
【0045】
ケイ素化合物のゲル化反応の温度は特に限定されるものではないが、通常は0〜180℃、好ましくは30〜150℃の範囲で行う。低すぎると反応速度が小さく、十分に架橋させるのに長時間を要し、逆に高すぎるとケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜にボイドが生成しやすく、得られる多孔性ケイ素酸化物薄膜の均質性も低下する。ケイ素化合物のゲル化に要する時間はゲル化の温度や触媒の量などによって異なるが、通常数分間〜数日間の範囲である。
【0046】
有機材料として重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー、又はこれらの混合物を用いる場合には、これらの重合反応を加熱によって促進することができる。加熱する温度は上記有機ポリマーや有機モノマーに含まれる重合性官能基の種類に応じて、20〜200℃の範囲から選ばれる。用いている有機ポリマーに含まれる重合性官能基または重合可能な有機モノマーが光重合性のものであれば、光照射によって反応を進行させることもできる。重合開始剤を添加する場合、その開始剤の種類に応じて加熱や光照射など公知の方法を用いて重合を促進する。特に、光重合性官能基を有する有機ポリマーや光重合性有機モノマー、光重合開始剤を用いている場合には、任意の形状のマスクなどを用いて所望の部分のみ重合を進行させることも可能である。
【0047】
本発明の方法において、有機材料として重合性官能基を有する有機ポリマー及び/又は重合可能な有機モノマーを用いる場合、ケイ素化合物の加水分解及び脱水縮合と、上記の有機ポリマー及び/又は有機モノマーの重合反応は、どちらが先に進行しても、同時に進行してもよく、これらは用いている触媒や重合開始剤の種類や量、および反応条件によって異なる。
【0048】
本発明の方法において、ケイ素化合物のゲル化反応や、場合によっては有機ポリマーの重合性官能基、重合可能な有機モノマー又はこれらの混合物の重合反応を、溶媒を用いてかつ密閉系で行ってケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の形成した場合は、溶媒を含有したケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜が得られるので、引き続き溶媒を乾燥して除去する。乾燥温度は溶媒の種類によって異なるが、通常30〜250℃の範囲で行う。また、溶媒の蒸発が遅く、残存した溶媒によって、例えば、複合体薄膜の強度低下や、後の工程で用いる装置の汚染などの問題を生ずるような場合には、溶媒を完全に揮発させて除去するために減圧下で乾燥を行うのも好ましい。ボイドの発生を制御し、均質な乾燥したケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を得るために、乾燥中に徐々に温度を上昇させる方法も好ましい。
【0049】
本発明の方法において、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の形成を、溶媒を用いてかつ開放系で行う場合、ケイ素化合物のゲル化反応や、場合によっては重合性官能基を有する有機ポリマー、重合可能な有機モノマー又はこれらの混合物の重合反応を行う過程で、溶媒の蒸発が並行して起こる。反応と溶媒除去の順序を制御することは、ケイ素化合物の種類、有機ポリマーに含まれる重合性官能基の種類、触媒の種類、量、溶媒の蒸気圧、密閉系か解放系かなどの雰囲気などを選定することにより可能であるが、通常の条件下ではケイ素化合物のゲル化反応、場合によって上記有機ポリマーや有機モノマーの反応が終了した時点で溶媒は除去されている。
【0050】
こうして得られたケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層は、有機ポリマーが分散したケイ素酸化物からなり、これを後述のように溝部分を有する任意の形状にパターン化して、予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、溝の中に配線として機能する金属層を形成する。そして、後述する加熱処理などによってシリカ−有機ポリマー複合体薄膜から有機ポリマーを除去して予備的絶縁体層を多孔化して、予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変えて、基板上に絶縁体層を含む配線構造体を得る。
【0051】
本発明の方法を実施するためには、公知のリソグラフィー法を用いた微細加工方法が特に好適に使用できる。以下、リソグラフィー法を用いて本発明の方法を実施するやり方の一例を挙げて図面に参照して説明する。
【0052】
まず、上記のようにしてケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層2を基板1上に形成し、その上にフォトレジストを塗布する。こうして、図1に示すような構造体が得られる。この構造体のフォトレジスト層3に、所望のパターンを有するマスクを通してパターン形成露光を行なって潜像を形成し、現像して、パターンを有するフォトレジスト層3を得る(図2参照)。フォトレジストの種類や露光方法、現像方法は特に限定されず、公知のものが用いられる。市販のフォトレジストの例としては、日本国東京応化工業(株)製TDURシリーズを挙げることができる。露光に用いる光源の例としては、KrFエキシマレーザー、水銀ランプのg線やi線、ArFエキシマレーザー、などを挙げることができる。現像に用いる現像液の例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を挙げることができる。続いて、図3に示すように、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層2のうちフォトレジストによって保護されていない部分をエッチングにより除去することによって、予備的絶縁体層2に回路用のパターンを規定する溝を形成する。エッチングの方法は、プラズマエッチング、反応性イオンエッチング、ダウンフローエッチング、スパッタエッチングなどが用いられる。また、フォトレジストのパターン形成露光後の現像に用いる現像液が予備的絶縁体層2を溶解可能なものである場合は、上記のエッチングを、その現像液による洗浄によって行うことができる。次に、溶剤(フォトレジスト剥離液)による洗浄やプラズマ照射によってフォトレジストを除去する(図4参照)。続いて、図5に示すように、予備的絶縁体層2の溝の中に配線として機能する金属4を堆積する。
【0053】
堆積する金属はアルミニウム、銅、銀、タングステン、チタンなどを用いるのが好適である。これら金属は、単独でも、2種以上を組み合わせて用いてもよい。また、金属4を堆積させる前に予備的絶縁体層2の表面にバリア層を形成して、予備的絶縁体層2と金属4の間にバリア層を介在させてもよい。バリア層としては窒化チタンなどの導電物質や、窒化ケイ素、酸化ケイ素などの絶縁物質が用いられる。金属4やバリア層の堆積方法は、スパッタリングなどの物理的堆積法、CVD(化学的気相成長法)、電解メッキ、無電解メッキなどの電気的手法など、公知の方法で行うことができる。金属4の堆積方法としては、また、金属と有機物の化学結合によって得られる金属有機物(メタロオーガニクス)の溶液を塗布して焼成することによって金属4を堆積させる方法も挙げることができる。このような金属有機物溶液の例としては、日本国田中貴金属工業(株)製の「メタロオーガニクス」を挙げることができる。
【0054】
次に、図6に示すように、堆積させた金属4のうち上部の余剰の金属膜(予備的絶縁体層2の溝以外の部分に堆積した金属)を除去する。余剰の金属4を除去する好適な方法の例としては、プラズマなどを用いたエッチバック法や、化学機械研磨(CMP)法を挙げることができ、特にCMP法が好適である。
【0055】
また、予備的絶縁体層2の溝の中に金属4を堆積する方法として選択めっき法などを用いた場合は、図4に示されるパターン化された予備的絶縁体層2の溝のみに金属4を堆積させることができるので、図5に示す構造を経ずに、図4の構造から図6の構造を直接作成することも可能である。選択めっき法については、WO98/40910号などを参照することができる。
【0056】
次に、予備的絶縁体層2のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から有機ポリマーを除去することによって予備的絶縁体層2を多孔化して、図7に示すような、基板1と、溝を有する多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層5及び該溝の中に形成された金属層からなる回路を包含する本発明の配線構造体を得ることができる。有機ポリマーを除去する方法の例としては、加熱、溶媒抽出、プラズマ処理などが挙げられるが、もっとも簡便なのはポリマーの分解温度以上に加熱して1分〜数日間保持して、有機ポリマーを分解させる方法である。もちろん、有機ポリマーを分解させるための温度は、用いる金属と有機材料の種類によって設定され、有機ポリマーを分解可能な温度以上であり且つ金属層が流動化する温度未満の範囲で選択される。基板上に既に形成してある下地の素子や配線への損傷を防ぐという観点からは、有機ポリマーを分解させるための温度は、好ましくは100〜450℃の範囲であり、更に好ましくは150〜400℃の範囲である。また、上記の観点からすると、加熱処理を光照射で行うのも好ましい。この際、使用される光が、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層2の吸収波長を含むものであるとより好ましい。
【0057】
有機ポリマーとして重合性官能基をもつポリマーを用い、かつ光重合開始剤を添加した場合、フォトレジストを用いずに本発明の方法を実施することができる。即ち、重合性官能基をもつ有機ポリマーと光重合開始剤を含有する原料混合物を基板上に塗布して予備的絶縁体層2を形成し、得られた予備的絶縁体層2に、所望のパターンを有するマスクを介して光照射(パターン形成露光)して重合させた後に現像すると、図4に示すような、任意のパターンの溝を有する予備的絶縁体層2を得ることができる。その後の工程は上記と同様に行うことができる。
【0058】
得られた多孔性ケイ素酸化物薄膜をシリル化剤で処理し、吸水性を抑えたり他の物質との接着性を向上させたりすることも有効である。用いることのできるシリル化剤の例としてトリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシランなどのアルコキシシラン類、トリメチルクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、メチルジクロロシラン、ジメチルクロロシラン、ジメチルビニルクロロシラン、メチルビニルジクロロシラン、メチルクロロジシラン、トリフェニルクロロシラン、メチルジフェニルクロロシラン、ジフェニルジクロロシランなどのクロロシラン類、ヘキサメチルジシラザン、N,N’−ビス(トリメチルシリル)ウレア、N−トリメチルシリルアセトアミド、ジメチルトリメチルシリルアミン、ジエチルトリエチルシリルアミン、トリメチルシリルイミダゾールなどのシラザン類などが挙げられる。シリル化の方法は塗布、浸漬、蒸気暴露など公知の方法で行うことができる。
【0059】
本発明の方法によると、配線の素材として銅や銀などの低抵抗率の金属を使用できる利点や多層配線構造体の製造に好適であるという利点のあるダマシン法によって、比誘電率の低い多孔性ケイ素酸化物絶縁層を有する配線構造体を極めて容易に製造でき、形成される多孔性ケイ素酸化物絶縁層が損傷を受けたり、孔の中にエッチングガスや金属微粒子が入り込むなどの問題が起きることがない。このような本発明の方法によって得られる配線構造体においては、線間容量が低減でき、且つ、銅や銀などの低抵抗率の金属からなるなる配線を使用できるので、従来の配線構造体と比べて配線遅延を大幅に低減できる。
【0060】
本発明の方法によって得られる配線構造体は、例えば、多層配線板や半導体素子の製造に非常に有利に用いることができる。
【0061】
【実施例】
以下、実施例及び比較例によって、本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。
【0062】
実施例1
メチルトリエトキシシラン0.74g、テトラエトキシシラン2.4g、ポリエチレングリコールモノメタクリレート(数平均分子量:360)0.68g、及びポリエチレングリコールジメタクリレート(数平均分子量:540)0.34gを、N―メチルピロリドン2.0gとプロピレングリコールメチルエーテルアセテート1.0gの混合溶媒に溶解し、水0.75gと0.1N硝酸0.15gを添加して室温で2時間撹拌した後、ジクミルパーオキサイド0.05gを添加した。得られた溶液を、厚さ1.2μmの熱酸化膜(SiO2膜)を予め形成したシリコンウェハー上に、スピンコーター(日本国ミカサ株式会社製、1H−360S Spin Coater)を用いて毎分1,500回転の速度で10秒間回転塗布し、大気中で120℃にて1時間、次いで180℃にて1時間加熱して、厚さ0.80μmのケイ素酸化物―有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を得た。
【0063】
得られた薄膜の上にフォトレジスト(日本国東京応化工業社製、THMR−iP3650)を1.05μmの厚さで塗布し(図1参照)、露光装置(日本国キャノン株式会社製、i線ステッパFPA3000i4)を用いてテストパターンをフォトレジストに転写し、次いで、これをテトラメチルアンモニウムヒドロキシドの2.38重量%水溶液を用いて23℃で60秒間現像してフォトレジストの光が当たった部分を除去し、テストパターンのフォトレジスト像を得た(図2参照)。テストパターンについては、後で説明する。
【0064】
得られたテストパターンのフォトレジスト像をマスク(保護層)として、反応性イオンエッチャー(日本国アネルバ株式会社製、DEA506)を用いてエッチングし、フォトレジストでマスクされている部分以外のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を除去してテストパターンを転写した(図3参照)。この際、エッチングガスとして四フッ化炭素100SCCM[Standard cubic centimeter per minute;1分当たりに流れる気体の流量を、その標準状態(0℃、1気圧)における体積で表したもの]と酸素10SCCMの混合ガスを用い、全圧が30Paとなるようにした。パワーは300W、エッチング時間は20分である。次いで、アッシャー(日本国モリエンジニアリング社製、MPC600)を用いて酸素50Pa、50℃、そしてパワー150Wの条件で15分間処理し、フォトレジストを酸化することによって完全に除去した(図4参照)。
【0065】
これにスパッタ装置(日本国アネルバ株式会社製、SPF313H)を用いて厚さ30nmの窒化チタンの膜を成膜し、その上に厚さ50nmの銅の膜を成膜した。尚、窒化チタン膜はチタンターゲットを用い、アルゴンと窒素の混合ガス(全圧0.27Pa、分圧比50:50)による反応性スパッタで成膜を行い、また、銅の膜は、銅ターゲットを用いてアルゴンのみ(全圧0.27Pa)によるスパッタで成膜を行った。パワーはいずれも400Wである。また、チタンターゲットまたは銅ターゲットは、それぞれチタン又は銅の圧延板を整形して銅プレート上にはんだで接着したもので、真空中でこれにアルゴン等のガスを衝突させることによってチタン又は銅原子、またはクラスターが飛散し、基板上に付着させることができるようにしたものである。
【0066】
次に、硫酸銅と硫酸溶液を用いてテストパターンを転写した薄膜の面に銅を電解メッキし、厚さ1.2μmの銅の層を形成した(図5参照)。この操作によって、テストパターンのうち溝の部分(即ち、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜が除去された部分)が完全に銅で埋められているほか、溝以外の部分にも約1.2μmの銅の層が形成する。これを酸化アルミニウムと過酸化水素水からなるスラリーを用いて化学機械研磨装置(日本国株式会社ナノテックマシンズ社製、500STZ−6)で研磨して溝以外の部分に堆積した銅を完全に除去し、銅がケイ素酸化物―有機ポリマー複合体薄膜中に埋め込まれた構造を得た(図6参照)。研磨圧力は4psi、ウェハー回転速度は30rpm、研磨時間は60秒とした。
【0067】
最後に、400℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理し、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層のうち有機ポリマーのみを燃焼させて除去し、多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層を含む配線構造体を得た(図7参照)。
【0068】
使用したテストパターンは、幅0.5μmの溝2本が、0.3μmの間隔を隔てて平行に配置されたパターンを有する。最終的に、溝部分が金属配線、そして、溝と溝との間の部分が金属配線を隔てる絶縁層となる。また、2本の溝部分の同じ側にあるそれぞれの端部には、最終的に電極となるパッド(溝)がそれぞれ形成されている。作製した配線構造体について、両電極間に交流電圧を印加することにより、2本の金属配線とその間の絶縁層を平行平板キャパシタとみなしたときの容量、即ち、線間容量(line-to-line capacitance)を測定することができる。
【0069】
得られた配線構造体についてRFインピーダンス/マテリアル・アナライザ(米国ヒューレットパッカード社製、HP4291A)を用いて線間容量を測定したところ、0.101pF/mmであった。
【0070】
比較例1
400℃の窒素雰囲気における1時間の加熱処理を行わない以外は実施例1と同様の方法で配線構造体を作製した。得られた配線構造体において、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層がそのまま金属配線の絶縁層として機能する。
【0071】
得られた配線構造体について線間容量の測定を行ったところ、0.118pF/mmであった。この結果と実施例1の結果とを比較すると、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から有機ポリマーを除去して得た多孔性ケイ素酸化物薄膜を配線間の絶縁層として使用することによって、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜をそのまま絶縁層として使用する場合に比べて、線間容量が低減されることがわかる。
【0072】
比較例2
膜厚が0.8μmの代わりに0.7μmになるように回転塗布の条件を変更した以外は実施例1と同様の手順でケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成した。これを実施例1と同様に400℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理し、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜のうち有機ポリマーのみを燃焼させて除去し、多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層を得た。この上に、化学気相成長法で厚さ0.1μmの二酸化ケイ素膜を成膜した。そして、実施例1と同様にテストパターンの形成、銅の層の形成、及び余剰の銅の層の除去を行い、配線構造体を得た。尚、最終的に得られるテストパターンの構造が実施例1のものと実質的に同一になるよう考慮した。
【0073】
得られた配線構造体について線間容量を測定したところ、0.109pF/mmであった。この結果から、実施例1と同一条件で形成した多孔性ケイ素酸化物薄膜を絶縁層として用いているにもかかわらず、線間容量の値が実施例1のものより大きいことが分かる。これは、絶縁層である多孔性ケイ素酸化物薄膜を保護するための被覆に用いた比誘電率の高い緻密な二酸化ケイ素膜が、金属配線間に存在するためであると考えられる。
【0074】
実施例2
400℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理する代わりに、380℃、1気圧のアルゴン雰囲気で赤外線ランプを用いて30分間加熱処理してケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の有機ポリマーを除去した以外は実施例1と同様の方法で配線構造体を作製した。
【0075】
得られた配線構造体について線間容量を測定したところ、0.102pF/mmであった。この測定値は、実施例1における線間容量の測定値(0.101pF/mm)と同等である。即ち、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の有機ポリマーを除去する方法として、光照射による加熱処理を行うことによって、400℃で1時間加熱処理をするのと同等の効果を実現することが可能であることが分かる。
【0076】
参考例1
メチルトリエトキシシラン0.74g、テトラエトキシシラン2.4g、ポリエチレングリコールモノメタクリレート(数平均分子量:360)0.68g、及びポリエチレングリコールジメタクリレート(数平均分子量:540)0.34gを、N−メチルピロリドン2.0gとプロピレングリコールメチルエーテルアセテート1.0gの混合溶媒に溶解し、水0.75gと0.1N硝酸0.15gを添加して室温で2時間攪拌した後、ジクミルパーオキサイド0.05gを添加した。得られた溶液を、予め窒化チタン薄膜を形成したシリコンウェハー上に、スピンコーター(日本国ミカサ株式会社製、1H−360S Spin Coater)を用いて毎分1,500回転の速度で回転塗布し、大気中で120℃にて1時間、次いで180℃にて1時間加熱してケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を得た。[尚、シリコンウェハー上の窒化チタン薄膜は、チタンターゲットを用い、アルゴンと窒素の混合ガス(全圧0.27Pa、分圧比50:50)による反応性スパッタで成膜した。]得られた薄膜を400℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理し、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜のうち有機ポリマーのみを燃焼させて除去し、多孔性ケイ素酸化物薄膜に変えた。得られた薄膜の膜厚は0.50μmであった。この薄膜の表面にマスクを通してアルミニウムを真空蒸着し、直径1.7mmの電極を作製した。この試料を用いて多孔性ケイ素酸化物薄膜の1MHzにおける比誘電率を測定したところ2.01であった。
【0077】
参考例2
テトラエトキシシラン1.2g及びポリエチレングリコールモノメタクリレート(数平均分子量:360)0.68gを、N−メチルピロリドン2.0gとプロピレングリコールメチルアセテート1.0gの混合溶媒に溶解し、水0.75gと0.1N硝酸0.15gを添加して室温で2時間撹拌した。得られた溶液をシリコンウェハー上に、スピンコーター(日本国ミカサ株式会社製、1H−360S Spin Coater)を用いて毎分1,500回転の速さで回転塗布し、120℃にて1時間、次いで180℃にて1時間加熱して、厚さ0.41μmのケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を含む試料を得た。得られた試料を450℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理し、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜のうち有機ポリマーのみを燃焼させて除去し、多孔性ケイ素酸化物薄膜に変えた。得られた薄膜の膜厚は0.32μmであり、有機ポリマー除去前と比較した膜厚の減少は22%であった。
【0078】
参考例3
ポリエチレングリコールモノメタクリレートの代わりに、分子内に重合性官能基を有さないポリエチレングリコール(数平均分子量:20,000)を用いる以外は参考例2と同様の操作を行い、シリコンウェハー上に厚さ1.451μmのケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を含む試料を得た。得られた試料を450℃の窒素雰囲気で1時間加熱処理し、ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜のうち有機ポリマーのみを燃焼させて除去し、多孔性ケイ素酸化物薄膜に変えた。得られた薄膜の膜厚は1.07μmであり、有機ポリマー除去前と比較した膜厚の減少は26%であった。
【0079】
【発明の効果】
本発明の配線構造体の製造方法によって得られる配線構造体においては、隣接する配線間の容量[線間容量(line−to−line capacitance)]が低減でき、且つ、銅や銀などの低抵抗率の金属からなる配線を使用できるので、従来の配線構造体と比べて電気信号の伝達遅延(配線遅延)を大幅に低減できる。更に、本発明の方法によれば、上記の優れた配線構造体を、工業的に有利なダマシン法(配線の素材として銅や銀などの低抵抗率の金属を使用できる利点や多層配線板の製造に好適であるという利点がある)によって容易かつ効率的に製造することが可能となる。本発明の方法によって得られる上記の優れた配線構造体を包含する多層配線板及び半導体素子は、配線遅延が少なく、優れた性能を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、表面にフォトレジストの膜を有する、基板上にケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜を形成させてなる構造体の断面図である。
【図2】 図2は、図1の構造体上フォトレジスト膜を露光、現像することにより得られる、所望の配線パターンに対応するフォトレジスト像を有する構造体の断面図である。
【図3】 図3は、上記のフォトレジスト像に従って図2の構造体のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜をエッチングすることにより得られる配線用の金属を受け入れるための溝を有する構造体の断面図である。
【図4】 図4は、図3の構造体からフォトレジストを除去して得られる構造体の断面図である。
【図5】 図5は、図3の構造体の表面に金属層を形成して得られる構造体の断面図である。
【図6】 図6は、図5の構造体の表面から余剰の金属を除去して得られる配線構造体、あるいは選択メッキ法で図4の構造体の溝部分のみに金属層を形成して得られる配線構造体の断面図である。
【図7】 図7は、図6の構造体のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から有機ポリマーを除去して得られる多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁層を有する配線構造体の断面図である。
【符号の説明】
1 基板
2 予備的絶縁体層
3 フォトレジスト層
4 金属
5 絶縁体層
Claims (3)
- (a)基板、
(b)上記基板上に形成され、回路用のパターンを規定する溝を有する多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層、及び
(c)該溝の中に形成された金属層からなる回路、
を包含する配線構造体の製造方法であって、
(1)基板上に、ケイ素酸化物中に有機ポリマーが分散してなるケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜からなる予備的絶縁体層を形成し、
(2)該予備的絶縁体層に回路用のパターンを規定する溝を形成し、
(3)該溝の中に配線として機能する金属層を形成し、そして
(4)該予備的絶縁体層のケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜から該有機ポリマーを除去して該予備的絶縁体層を多孔化して、該予備的絶縁体層を多孔性ケイ素酸化物薄膜からなる絶縁体層に変える、
ことを包含することを特徴とする配線構造体の製造方法。 - 該予備的絶縁体層からの該有機ポリマーの除去を光照射による熱処理によって行う、請求項1に記載の配線構造体の製造方法。
- 該ケイ素酸化物−有機ポリマー複合体薄膜の該有機ポリマーが、グラフト構造を有するポリマー及び3次元網目構造を有するポリマーからなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーからなる、請求項1又は2に記載の配線構造体の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8869998 | 1998-04-01 | ||
PCT/JP1999/001732 WO1999052136A1 (fr) | 1998-04-01 | 1999-04-01 | Procede de fabrication d'un corps structurel d'interconnexion |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4521992B2 true JP4521992B2 (ja) | 2010-08-11 |
Family
ID=13950125
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000542792A Expired - Fee Related JP4521992B2 (ja) | 1998-04-01 | 1999-04-01 | 配線構造体の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6479374B1 (ja) |
JP (1) | JP4521992B2 (ja) |
AU (1) | AU3055599A (ja) |
TW (1) | TWI222426B (ja) |
WO (1) | WO1999052136A1 (ja) |
Families Citing this family (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU2001266998A1 (en) * | 2000-06-23 | 2002-01-08 | Honeywell International, Inc. | Method to restore hydrophobicity in dielectric films and materials |
US7122900B2 (en) * | 2000-06-26 | 2006-10-17 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device and method manufacturing the same |
JP2004509468A (ja) * | 2000-09-13 | 2004-03-25 | シップレーカンパニー エル エル シー | 電子デバイスの製造 |
US6703324B2 (en) * | 2000-12-21 | 2004-03-09 | Intel Corporation | Mechanically reinforced highly porous low dielectric constant films |
US6984581B2 (en) * | 2000-12-21 | 2006-01-10 | Intel Corporation | Structural reinforcement of highly porous low k dielectric films by ILD posts |
JP2002319582A (ja) * | 2002-02-07 | 2002-10-31 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | シリカ系被膜形成用の塗布液 |
FR2835844B1 (fr) * | 2002-02-13 | 2006-12-15 | Clariant | Procede de polissage mecano-chimique de substrats metalliques |
US20030161949A1 (en) * | 2002-02-28 | 2003-08-28 | The Regents Of The University Of California | Vapor deposition of dihalodialklysilanes |
US7288111B1 (en) * | 2002-03-26 | 2007-10-30 | Thoratec Corporation | Flexible stent and method of making the same |
US6865939B2 (en) * | 2002-09-16 | 2005-03-15 | Sandia Naitonal Laboratories | Fluorinated silica microchannel surfaces |
JP2004274020A (ja) * | 2002-09-24 | 2004-09-30 | Rohm & Haas Electronic Materials Llc | 電子デバイス製造 |
US7709371B2 (en) | 2003-01-25 | 2010-05-04 | Honeywell International Inc. | Repairing damage to low-k dielectric materials using silylating agents |
CN1742363B (zh) * | 2003-01-25 | 2010-10-13 | 霍尼韦尔国际公司 | 受损电介质材料和电介质膜的修复和恢复 |
US7241704B1 (en) | 2003-03-31 | 2007-07-10 | Novellus Systems, Inc. | Methods for producing low stress porous low-k dielectric materials using precursors with organic functional groups |
US7176144B1 (en) | 2003-03-31 | 2007-02-13 | Novellus Systems, Inc. | Plasma detemplating and silanol capping of porous dielectric films |
US7208389B1 (en) | 2003-03-31 | 2007-04-24 | Novellus Systems, Inc. | Method of porogen removal from porous low-k films using UV radiation |
US7265061B1 (en) | 2003-05-09 | 2007-09-04 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for UV exposure of low dielectric constant materials for porogen removal and improved mechanical properties |
DE20321548U1 (de) * | 2003-09-19 | 2007-11-29 | Gallus Druckmaschinen Gmbh | Rotationsdruckmaschine |
EP1676303A2 (en) * | 2003-10-08 | 2006-07-05 | Honeywell International Inc. | Repairing damage to low-k dielectric materials using silylating agents |
US8475666B2 (en) | 2004-09-15 | 2013-07-02 | Honeywell International Inc. | Method for making toughening agent materials |
WO2005034194A2 (en) * | 2003-10-08 | 2005-04-14 | Honeywell International Inc. | Repairing damage to low-k dielectric materials using silylating agents |
US7553769B2 (en) | 2003-10-10 | 2009-06-30 | Tokyo Electron Limited | Method for treating a dielectric film |
US7390537B1 (en) | 2003-11-20 | 2008-06-24 | Novellus Systems, Inc. | Methods for producing low-k CDO films with low residual stress |
KR100568864B1 (ko) * | 2004-01-12 | 2006-04-10 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 연결배선의 형성방법 |
US7341761B1 (en) | 2004-03-11 | 2008-03-11 | Novellus Systems, Inc. | Methods for producing low-k CDO films |
US7094713B1 (en) | 2004-03-11 | 2006-08-22 | Novellus Systems, Inc. | Methods for improving the cracking resistance of low-k dielectric materials |
US7381662B1 (en) | 2004-03-11 | 2008-06-03 | Novellus Systems, Inc. | Methods for improving the cracking resistance of low-k dielectric materials |
US7781351B1 (en) | 2004-04-07 | 2010-08-24 | Novellus Systems, Inc. | Methods for producing low-k carbon doped oxide films with low residual stress |
US7253125B1 (en) | 2004-04-16 | 2007-08-07 | Novellus Systems, Inc. | Method to improve mechanical strength of low-k dielectric film using modulated UV exposure |
US7622400B1 (en) | 2004-05-18 | 2009-11-24 | Novellus Systems, Inc. | Method for improving mechanical properties of low dielectric constant materials |
US7078814B2 (en) * | 2004-05-25 | 2006-07-18 | International Business Machines Corporation | Method of forming a semiconductor device having air gaps and the structure so formed |
JP5057647B2 (ja) * | 2004-07-02 | 2012-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 |
US7326444B1 (en) | 2004-09-14 | 2008-02-05 | Novellus Systems, Inc. | Methods for improving integration performance of low stress CDO films |
US9659769B1 (en) | 2004-10-22 | 2017-05-23 | Novellus Systems, Inc. | Tensile dielectric films using UV curing |
US7790633B1 (en) | 2004-10-26 | 2010-09-07 | Novellus Systems, Inc. | Sequential deposition/anneal film densification method |
US7695765B1 (en) | 2004-11-12 | 2010-04-13 | Novellus Systems, Inc. | Methods for producing low-stress carbon-doped oxide films with improved integration properties |
US7696625B2 (en) * | 2004-11-30 | 2010-04-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US7166531B1 (en) | 2005-01-31 | 2007-01-23 | Novellus Systems, Inc. | VLSI fabrication processes for introducing pores into dielectric materials |
US7510982B1 (en) | 2005-01-31 | 2009-03-31 | Novellus Systems, Inc. | Creation of porosity in low-k films by photo-disassociation of imbedded nanoparticles |
US7678712B2 (en) | 2005-03-22 | 2010-03-16 | Honeywell International, Inc. | Vapor phase treatment of dielectric materials |
US8282768B1 (en) | 2005-04-26 | 2012-10-09 | Novellus Systems, Inc. | Purging of porogen from UV cure chamber |
US8137465B1 (en) | 2005-04-26 | 2012-03-20 | Novellus Systems, Inc. | Single-chamber sequential curing of semiconductor wafers |
US8889233B1 (en) | 2005-04-26 | 2014-11-18 | Novellus Systems, Inc. | Method for reducing stress in porous dielectric films |
US8980769B1 (en) | 2005-04-26 | 2015-03-17 | Novellus Systems, Inc. | Multi-station sequential curing of dielectric films |
US8454750B1 (en) | 2005-04-26 | 2013-06-04 | Novellus Systems, Inc. | Multi-station sequential curing of dielectric films |
US7491636B2 (en) * | 2005-07-19 | 2009-02-17 | Micron Technology, Inc. | Methods for forming flexible column die interconnects and resulting structures |
US7892985B1 (en) | 2005-11-15 | 2011-02-22 | Novellus Systems, Inc. | Method for porogen removal and mechanical strength enhancement of low-k carbon doped silicon oxide using low thermal budget microwave curing |
US7381644B1 (en) | 2005-12-23 | 2008-06-03 | Novellus Systems, Inc. | Pulsed PECVD method for modulating hydrogen content in hard mask |
US8110493B1 (en) | 2005-12-23 | 2012-02-07 | Novellus Systems, Inc. | Pulsed PECVD method for modulating hydrogen content in hard mask |
US7923376B1 (en) | 2006-03-30 | 2011-04-12 | Novellus Systems, Inc. | Method of reducing defects in PECVD TEOS films |
US7851232B2 (en) | 2006-10-30 | 2010-12-14 | Novellus Systems, Inc. | UV treatment for carbon-containing low-k dielectric repair in semiconductor processing |
US10037905B2 (en) | 2009-11-12 | 2018-07-31 | Novellus Systems, Inc. | UV and reducing treatment for K recovery and surface clean in semiconductor processing |
US8465991B2 (en) * | 2006-10-30 | 2013-06-18 | Novellus Systems, Inc. | Carbon containing low-k dielectric constant recovery using UV treatment |
US7906174B1 (en) | 2006-12-07 | 2011-03-15 | Novellus Systems, Inc. | PECVD methods for producing ultra low-k dielectric films using UV treatment |
US7500397B2 (en) * | 2007-02-15 | 2009-03-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Activated chemical process for enhancing material properties of dielectric films |
US8242028B1 (en) | 2007-04-03 | 2012-08-14 | Novellus Systems, Inc. | UV treatment of etch stop and hard mask films for selectivity and hermeticity enhancement |
US7622162B1 (en) | 2007-06-07 | 2009-11-24 | Novellus Systems, Inc. | UV treatment of STI films for increasing tensile stress |
US8211510B1 (en) | 2007-08-31 | 2012-07-03 | Novellus Systems, Inc. | Cascaded cure approach to fabricate highly tensile silicon nitride films |
JP2008109149A (ja) * | 2007-11-21 | 2008-05-08 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP5241304B2 (ja) * | 2008-04-23 | 2013-07-17 | 富士フイルム株式会社 | 表面金属膜材料の作製方法、表面金属膜材料、金属パターン材料の作製方法、及び金属パターン材料 |
US9050623B1 (en) | 2008-09-12 | 2015-06-09 | Novellus Systems, Inc. | Progressive UV cure |
US8999734B2 (en) | 2009-03-10 | 2015-04-07 | American Air Liquide, Inc. | Cyclic amino compounds for low-k silylation |
JP2009177198A (ja) * | 2009-03-30 | 2009-08-06 | Hitachi Chem Co Ltd | シリカ系被膜形成用塗布液、シリカ系被膜及びこれを用いた半導体装置 |
JP5324361B2 (ja) * | 2009-08-28 | 2013-10-23 | 東京応化工業株式会社 | 表面処理剤及び表面処理方法 |
TW201403711A (zh) | 2012-07-02 | 2014-01-16 | Applied Materials Inc | 利用氣相化學暴露之低k介電質損傷修復 |
KR102004238B1 (ko) * | 2014-01-07 | 2019-07-26 | 삼성전기주식회사 | 칩 전자부품 및 그 제조방법 |
US10070536B2 (en) * | 2016-07-05 | 2018-09-04 | Unimicron Technology Corp. | Manufacturing method of circuit board structure |
US9847221B1 (en) | 2016-09-29 | 2017-12-19 | Lam Research Corporation | Low temperature formation of high quality silicon oxide films in semiconductor device manufacturing |
JP7045929B2 (ja) * | 2018-05-28 | 2022-04-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法および基板処理装置 |
CN111483975A (zh) * | 2020-04-20 | 2020-08-04 | 北京理工大学 | 一种热导率可控的具有微纳结构的薄膜制作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0846047A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-02-16 | Texas Instr Inc <Ti> | 多孔質表面特性を備えた多孔質誘電材料 |
JPH0859362A (ja) * | 1994-06-07 | 1996-03-05 | Texas Instr Inc <Ti> | 電子装置のための低誘電率材料である多孔質誘電体 |
JPH08330300A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-13 | Sony Corp | 絶縁材料、層間絶縁膜および層間絶縁膜の形成方法 |
JPH0936226A (ja) * | 1995-07-18 | 1997-02-07 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH10256363A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH10335324A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-18 | Toray Dow Corning Silicone Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH10340899A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Nec Corp | シリカ絶縁膜及び半導体装置とその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944836A (en) | 1985-10-28 | 1990-07-31 | International Business Machines Corporation | Chem-mech polishing method for producing coplanar metal/insulator films on a substrate |
US5470801A (en) * | 1993-06-28 | 1995-11-28 | Lsi Logic Corporation | Low dielectric constant insulation layer for integrated circuit structure and method of making same |
JP2799425B2 (ja) | 1993-12-09 | 1998-09-17 | 工業技術院長 | セラミックス多孔質膜の製造方法 |
US5470802A (en) | 1994-05-20 | 1995-11-28 | Texas Instruments Incorporated | Method of making a semiconductor device using a low dielectric constant material |
US5472913A (en) | 1994-08-05 | 1995-12-05 | Texas Instruments Incorporated | Method of fabricating porous dielectric material with a passivation layer for electronics applications |
JP2915357B2 (ja) | 1996-03-06 | 1999-07-05 | 松下電器産業株式会社 | 半導体装置、その製造方法及び多孔質膜の形成方法 |
JP3851393B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2006-11-29 | 旭化成株式会社 | 多孔質ケイ素酸化物膜の製造法 |
JPH10158011A (ja) * | 1996-11-25 | 1998-06-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 多孔質ケイ素酸化物膜の製造方法 |
JPH10233446A (ja) | 1997-02-19 | 1998-09-02 | Sony Corp | 配線形成方法 |
-
1999
- 1999-04-01 TW TW088105345A patent/TWI222426B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-04-01 WO PCT/JP1999/001732 patent/WO1999052136A1/ja active Application Filing
- 1999-04-01 JP JP2000542792A patent/JP4521992B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-04-01 US US09/647,310 patent/US6479374B1/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-04-01 AU AU30555/99A patent/AU3055599A/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0859362A (ja) * | 1994-06-07 | 1996-03-05 | Texas Instr Inc <Ti> | 電子装置のための低誘電率材料である多孔質誘電体 |
JPH0846047A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-02-16 | Texas Instr Inc <Ti> | 多孔質表面特性を備えた多孔質誘電材料 |
JPH08330300A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-13 | Sony Corp | 絶縁材料、層間絶縁膜および層間絶縁膜の形成方法 |
JPH0936226A (ja) * | 1995-07-18 | 1997-02-07 | Nec Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH10256363A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JPH10335324A (ja) * | 1997-05-28 | 1998-12-18 | Toray Dow Corning Silicone Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH10340899A (ja) * | 1997-06-09 | 1998-12-22 | Nec Corp | シリカ絶縁膜及び半導体装置とその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU3055599A (en) | 1999-10-25 |
WO1999052136A1 (fr) | 1999-10-14 |
US6479374B1 (en) | 2002-11-12 |
TWI222426B (en) | 2004-10-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4521992B2 (ja) | 配線構造体の製造方法 | |
US6080526A (en) | Integration of low-k polymers into interlevel dielectrics using controlled electron-beam radiation | |
US20020123240A1 (en) | Electronic device manufacture | |
US4599243A (en) | Use of plasma polymerized organosilicon films in fabrication of lift-off masks | |
US5486424A (en) | Silylated photoresist layer and planarizing method | |
KR100893120B1 (ko) | 리소그래피 공정용 탑 코트 | |
EP0114229A2 (en) | Method of forming a lift-off mask with improved oxygen barrier layer | |
JP2002284997A (ja) | 多孔性有機ポリシリカ誘電体形成用の組成物 | |
EP0792195A1 (en) | Non-aminic photoresist adhesion promoters for microelectronic applications | |
JP2004511896A (ja) | 誘電フィルム及び材料における疎水性を回復する方法 | |
JP2003501832A (ja) | シロキサン誘電性フィルムを電子装置の有機物誘電性フィルムの集積化に使用する方法 | |
JP2632879B2 (ja) | シリコーン系被膜の形成方法 | |
JP2006316077A (ja) | コーティング組成物、およびそれを用いて製造した低誘電シリカ質材料 | |
US7056824B2 (en) | Electronic device manufacture | |
JP2001287910A (ja) | 多孔質ケイ素酸化物塗膜の製造方法 | |
US4868096A (en) | Surface treatment of silicone-based coating films | |
JP2006045352A (ja) | シリカ系被膜形成用組成物、シリカ系被膜及びその形成方法並びにシリカ系被膜を備える電子部品 | |
JP2000058540A (ja) | 低誘電率絶縁膜形成用組成物および低誘電率絶縁膜形成方法 | |
JP2006503165A (ja) | オルガノシロキサン | |
JPH08222550A (ja) | 塗布絶縁膜の平坦化方法 | |
JP2641644B2 (ja) | 多層レジスト法用積層材料の製造方法 | |
JP2000319530A (ja) | 半導体素子用組成物 | |
JPH0684787A (ja) | 多層レジストのパターン形成方法 | |
KR920004176B1 (ko) | 레지스트 패턴 형성 공정 | |
JP2004277463A (ja) | 低誘電率膜用組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20051212 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060105 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100430 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100525 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130604 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140604 Year of fee payment: 4 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |