JP4518222B2 - シリルシクロペンタシランおよびその用途 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は新規化合物であるモノシリルシクロペンタシランおよびその用途に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、アモルファスシリコン膜やポリシリコン膜の形成方法としては、モノシランガスやジシランガスの熱CVD(Chemical Vapor Deposition)法やプラズマCVD、光CVD等が利用されており、一般的にはポリシリコンは熱CVD(J.Vac.Sci.Technology.,14巻1082頁(1977年)参照)で、またアモルファスシリコンはプラズマCVD(Solid State Com.,17巻1193頁(1975年)参照)で広く用いられており、薄膜トランジスターを有する液晶表示素子、太陽電池などの製造に利用されている。
【0003】
しかしこれらのCVD法によるシリコン膜の形成においては、プロセス面では以下の点で更なる改良が待たれていた。▲1▼気相反応を用いるため気相でシリコンの粒子が発生するため装置の汚染や異物の発生による生産歩留まりが低い。▲2▼原料がガス状であるため、表面に凹凸のある基板上には均一膜厚のものが得られにくい。▲3▼膜の形成速度が遅いため生産性が低い。▲4▼プラズマCVD法においては複雑で高価な高周波発生装置や真空装置などが必要である。
また、材料面では毒性、反応性の高いガス状の水素化ケイ素を用いるため取り扱いに難点があるのみでなく、ガス状であるため密閉状の真空装置が必要である。一般にこれらの装置は大掛かりなもので装置自体が高価であるのみでなく、真空系やプラズマ系に多大のエネルギーを消費するため製品のコスト高に繋がっている。
【0004】
近年、これに対して真空系を使わずに液体状の水素化ケイ素を塗布する方法が提案されている。特開平1―29661号公報にはガス状の原料を冷却した基板上に液体化して吸着させ、化学的に活性な原子状の水素と反応させてシリコン系の薄膜を形成する方法が開示されているが、以下のような問題点がある。▲1▼原料の水素化ケイ素を気化と冷却を続けて行うため複雑な装置が必要になるのみでなく、膜厚の制御が困難である。
また、特開平7―267621号公報には、低分子量の液体状の水素化ケイ素を基板に塗布する方法が開示されているが、この方法は系が不安定なために取り扱いに難点があるとともに、液体状であるため、大面積基板に応用する場合に均一膜厚を得るのが困難である。
【0005】
一方、固体状の水素化ケイ素ポリマーの例が英国特許GB−2077710Aに報告されているが、溶媒に不溶なためコーティングによる膜を形成することができない。
さらに、太陽電池の製造を目的として特開平9―237927号公報にはポリシランの溶液を基板上に塗布した後、熱分解してシリコン膜を遊離させる方法が開示されている。しかし、炭素を含有するケイ素化合物では、熱分解或いは紫外線照射による光分解では炭素が不純物として多量に残ってしまうため電気特性の優れたアモルファス或いは多結晶シリコン膜を得ることが困難である。
さらに特開昭60−24261号公報には、下記式
【0006】
【化2】
【0007】
(ここで、nは3、4または5であり、RはHまたはSiH3である)で表される環式シラン化合物とハロゲン化合物の気体状雰囲気を、支持体が配置された堆積室内に形成しこれらの化合物に熱エネルギーを与えて支持体上にシリコン原子を含む堆積膜を形成する熱CVDによるシリコン堆積膜の形成方法が開示されている。上記公報には、上記式で表される環式シラン化合物が具体的に5種類化学構造式で開示されている。しかしながら、これらの環式化合物について、化合物の同定データのみならずその製造方法すら同公報には何等記載されていない。
一方、ポリシランの製造方法に関し、一般にそれぞれの構造単位を有するモノマ−を原料として、例えば、以下の方法により製造することができる。(a)ハロゲン原子に対して当量のアルカリ金属の存在下にハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法(いわゆる「キッピング法」、J.Am.Chem.Soc.,110巻,124頁(1988年)、Macromolecules,23巻,3423頁(1990));(b)電極還元によりハロシラン類を脱ハロゲン縮重合させる方法(J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,1161頁(1990年)、J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,897頁(1992年));(c)金属触媒の存在下にヒドロシラン類を脱水素縮重合させる方法(特開平4−334551号公報):(d)ビフェニルなどで架橋されたジシレンのアニオン重合による方法(Macromolecules,23巻,4494頁(1990年))。(e)フェニル基やアルキル基で置換された環状ケイ素化合物を上記の方法で合成した後、公知の方法(例えば、Z.anorg.allg.Chem.,459巻,123頁(1979年)など)によりヒドロ置換体やハロゲン置換体などに誘導することもできる。これらのハロゲン化シクロシラン化合物は公知の方法(例えば、Mh.Chem.第106巻、503頁、1975年参照)、(Z.Anorg.Allg.Chem.第621巻、1517頁、1995年参照)、(J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,777頁,1984年参照)で合成することができる。上記のようにポリシランは重縮合反応により合成することが一般的であるが、重縮合に際し、塩などが副生するため合成したポリマーを精製する工程が必要となる。近年、マクロモレキュールス(Macromolecules、27巻、2360頁、1994年)には、フェニルナノメチルシクロペンタシラン1がアニオン開環重合してポリ(フェニルナノメチルペンタシラニレン)2を生成することが開示されている。この環状モノマーの開環重付加反応は上記の重縮合反応と異なり副生するものがなく、高純度のポリシランを合成する手法として優れた方法である。特に電子材料など高純度を要求される用途においてはこのような開環付加重合が好ましい。しかし、上記のモノマーはケイ素原子にメチル基やフェニル基などの炭素原子が結合しており、このようなポリシランを熱分解しても炭素が取り込まれたポリカルボシランが生成するだけで半導体用シリコンを得ることはできない。
【0008】
【化3】
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、ケイ素原子と水素原子だけから構成された新規化合物であるシリルシクロペンタシランを提供することにある。
本発明の他の目的は、シリルシクロペンタシランのラジカル重合開始剤としての用途を提供することにある。
本発明のさらに他の目的は、シリルシクロペンタシランがシクロペンタシランをラジカル開環付加重合させ、塩などを副生することなく高純度で、しかも溶媒可溶性のポリシランへ誘導でき、該ポリシランはケイ素原子と水素原子だけから構成されているため熱分解や光分解により容易に半導体用の金属シリコンへと誘導することができるシリルシクロペンタシランの用途を提供することにある。
本発明のさらに他の目的および利点は、以下の説明から明らかになろう。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、本発明の上記目的および利点は、第1に、下記式
【0011】
【化4】
【0012】
で表されるシリルシクロペンタシランによって達成される。
【0013】
本発明の上記目的および利点は、第2に、上記式で表されるシリルシクロペンタシランのシクロペンタシランの開環付加重合用ラジカル開始剤としての使用によって達成される。
本発明の上記目的および利点は、第3に、上記式で表されるシリルシクロペンタシランのシクロペンタシランの開環付加重合用ラジカル開始剤としての使用によって達成される。
【0014】
本発明のシリルシクロペンタシランの合成法について述べる。
シリルシクロペンタシラン骨格の合成法に関し、J.Organomet.Chem.,1975年、100巻、127頁にはドデカメチルシクロヘキサシランを塩化アルミニウム触媒で処理することにより定量的にトリメチルシリルノナメチルシクロペンタシランへ骨格転位することが報告されていてシクロヘキサシラン骨格が熱力学的に安定なシリルシクロペンタシラン骨格へ転位することが報告されている。しかし、そのシリルシクロペンタシラン骨格はすべての置換基がメチル基のものであり水素置換体は報告されていない。ケイ素にメチル基のような炭素原子を有するポリシランは熱分解による脱水素反応では炭素が取り込まれたカルボシランへ変換され、半導体の金属シリコンへの変換はできないことが知られている。
【0015】
また、ケイ素原子と結合したフェニル基を塩素原子、水素原子に変換する方法としては、公知の方法(例えば、Mh.Chem.第106巻、503頁、1975年参照)、(Z.Anorg.Allg.Chem.第621巻、1517頁、1995年参照)、(J.Chem.Soc.,Chem.Commun.,777,1984年参照)で合成することができる。
【0016】
本発明者らは、ドデカフェニルシクロヘキサシランのケイ素と結合したフェニル基を水素原子に変換させるに祭し、ルイス酸として塩化アルミニウム触媒で処理し、骨格転位させた後、引き続いて塩化水素ガスを導入し塩素化を行ない、さらにこれを水素化リチウムアルミニウムで還元することにより、シクロヘキサシラン骨格の全部のフェニル基の置換基を水素原子に変換し、しかも同時にシリルシクロペンタシラン骨格へ転位させることに成功し、本発明のケイ素原子と水素原子だけからなるシリルシクロペンタシランの開発に成功した。
【0017】
本発明のケイ素原子と水素原子だけからなるシリルシクロペンタシランは、ケイ素原子と水素原子だけからなるシクロペンタシランをラジカル開環付加重合させ、溶媒可溶性のポリシランへ変換できる化学的性質を有することを見出した。かくして得られたポリシラン溶液は塗布性が良好で、基板上に良好なポリシラン膜を形成することが出来、該ポリシラン膜は熱分解や光分解による脱水素反応で金属性のシリコン膜に変換出来る。
【0018】
本発明の上記シリルシクロペンタシランは、シクロペンタシランのラジカル重合開始剤として使用できる。すなわち、シクロペンタシラン単独で例えばトルエンの如き炭化水素系溶媒に溶解せしめ、この溶液を溶媒の沸点程度まで加熱しても重合反応は進行しない。一方、シクロペンタシランとこれに対し僅かな量例えば1重量%程度のモノシリルシクロペンタシランとを同様にトルエンの如き炭化水素溶媒に溶解せしめてシクロペンタシランの重合反応は円滑に進行するようになる。これは、モノシリルシクロペンタシランのシリル基(SiH3)がラジカル解裂し、生成したラジカルがシクロペンタシランの重合を開始する機構によるものであると推察される。モノシリルシクロペンタシランをシクロペンタシランのラジカル重合開始剤として使用する場合には、シクロペンタシラン100重量部に対し好ましくは0.01〜30重量部、より好ましくは0.5〜20重量部で用いられる。
【0019】
本発明の対象化合物であるシリルシクロペンタシランによるシクロペンタシランの重合体は、以下の方法で容易に合成することができる。例えばジフェニルジクロルシランをテトラヒドロフラン中マグネシウムや金属リチウムで環化せしめてデカフェニルシクロペンタシランとドデカフェニルシクロヘキサシランを生成せしめ、次いでこの混合物をトルエン中で塩化アルミニウムで処理した後、引き続いて塩化水素ガスで処理しさらに水素化リチウムアルミニウムとシリカゲルで処理することにより、デカフェニルシクロペンタシランからはシクロペンタシランを、またドデカフェニルシクロヘキサシランからは骨格転位したシリルシクロペンタシランを製造することができる。このシリルシクロペンタシランとシクロペンタシランの混合物の溶液を加温することにより溶媒可溶性のポリシラン溶液が得られる。
【0020】
このようにして合成したポリシラン溶液は塗布法によりポリシラン膜を形成することができる。塗布法としては、スピンコート法、ロールコート法、カーテンコート法、ディップコート法、スプレー法、インクジェット法等の方法を用いることができる。塗布は一般には室温以上の温度で行われる。室温以下の温度ではケイ素化合物の溶解性が低下し一部析出する場合がある。また塗布する場合の雰囲気は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス中で行なうことが好ましい。さらに必要に応じて水素などの還元性ガスを混入したものが好ましい。スピンコート法を用いる場合のスピナーの回転数は形成する薄膜の厚み、塗布溶液組成により決まるが一般には100〜5000rpm、好ましくは300〜3000rpmが用いられる。塗布した後は溶媒を除去するために加熱処理を行う。加熱する温度は使用する溶媒の種類、沸点により異なるが通常100℃〜200℃である。雰囲気は上記塗布工程と同じ窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス中で行なうことが好ましい。
【0021】
かくして得られたポリシラン膜を熱処理や光処理による脱水素反応により金属製シリコン膜へ変換できる。熱処理の場合には一般に到達温度が約550℃以下の温度ではアモルファス状、それ以上の温度では多結晶状のシリコン膜が得られる。アモルファス状のシリコン膜を得たい場合は、好ましくは300℃〜550℃、より好ましくは350℃〜500℃が用いられる。到達温度が300℃未満の場合は、ケイ素化合物の熱分解が十分に進行せず、十分な厚さのシリコン膜を形成できない場合がある。上記熱処理を行う場合の雰囲気は窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガス、もしくは水素などの還元性ガスを混入したものが好ましい。また、光処理の場合、使用する光の光源としては、低圧あるいは高圧の水銀ランプ、重水素ランプあるいはアルゴン、クリプトン、キセノン等の希ガスの放電光の他、YAGレーザー、アルゴンレーザー、炭酸ガスレーザー、XeF、XeCl、XeBr、KrF、KrCl、ArF、ArClなどのエキシマレーザーなどを光源として使用することができる。これらの光源としては、10〜5,000Wの出力のものが好ましく、100〜1,000Wのものがより好ましい。これらの光源の波長はケイ素化合物を多少でも吸収するものであれば特に限定されないが、好ましくは170nm〜600nmである。またシリコン膜への変換効率の点でレーザー光の使用が特に好ましい。これらの光処理時の温度は通常室温程度であり、雰囲気は上記不活性ガス中が好ましいが、目的に応じて適宜選ぶことができる。
【0022】
本発明のシリルシクロペンタシランは、シクロペンタシランのラジカル重合開始剤としての応用の他、ビニルモノマーラジカル開始剤として用いることもできる。この場合にはポリマー分子末端にケイ素原子を有するビニルポリマーが得られることから、かかるビニルポリマーとシリコーン系ポリマーのブロックまたはランダム共重合体へ誘導することもできる。
【0023】
上記ビニルモノマーとしては、例えばスチレン、α−メチルスチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレンの如き芳香族ビニル化合物;
メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プロピルメタクリレート、i−プロピルアクリレート、i−プロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、i−ブチルアクリレート、i−ブチルメタクリレート、sec−ブチルアクリレート、sec−ブチルメタクリレート、t−ブチルアクリレート、t−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレートの如きアクリレートまたはメタクリレート類;
1,3−ブタジエン、イソプレン、クロロプレンの如き脂肪族共役ジエン類を挙げることができる。
【0024】
【実施例】
以下に、本発明を下記実施例により詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【0025】
実施例1
(1)温度計、コンデンサー、滴下ロートおよび攪拌装置を取り付けた内容量が2Lの4つ口フラスコ内をアルゴンガスで置換した後、乾燥したテトラヒドロフラン1.5Lとリチウム金属27.4gを仕込み、アルゴンガスでバブリングした。この懸濁液に、氷冷下で攪拌しながら、ジフェニルジクロルシラン500gを滴下ロートより添加した。リチウム金属が完全に消失するまで反応を続けた後、反応混合物を氷水中に注ぎ反応生成物を沈殿させた。この沈殿物を濾別し、水で良く洗浄した後シクロヘキサンで洗浄した。さらにこの粗生成物を酢酸エチルで再結晶することによりドデカフェニルシクロヘキサシラン216gを得た。このものの構造はTOF−MS、NMR、IRで確認した。次に2Lのフラスコにこのドデカフェニルシクロヘキサシラン100gおよびトルエン1000mlを仕込み、塩化アルミニウム50gを加えアルゴンガス雰囲気中で室温下で5時間攪拌した後、さらにフェニル基が消失するまで塩化水素ガスを導入した。この反応で得られた生成物は、29Si−NMRおよびIRの各スペクトルによりドデカクロルシクロヘキサシランであることが判った。次に、リチウムアルミニウムヒドリド42gをジエチルエーテル500mlに顕濁させた液に上記反応混合物をゆっくり添加し、室温下で12時間攪拌を続けた。この反応混合物を濾過することにより無色透明のシリルシクロペンタシラン溶液が得られた。
【0026】
(2)得られたシリルシクロペンタシランは室温下では油状物でその赤外線吸収スペクトルを図1に示す。このものはケイ素原子と水素原子のみから構成され、赤外線スペクトルは比較的単純で2125cm-1にケイ素―水素結合の伸縮振動に帰属されるシャープなピークが見られ、985cm-1と863cm-1にケイ素―ケイ素の伸縮振動に帰属ピークが観察される。また、マススペクトルを図2に示す。m/e=180に分子イオンピークが観察され、分子量が180であることが分る。またm/e=148のピークが強く検出され、このものはシリルシクロペンタシラン分子から1つのモノシラン(SiH4)が脱離したフラグメントと帰属され、さらにm/e=116のピークはシリルシクロペンタシラン分子から2つのモノシランが脱離したフラグメントと帰属される。
【0027】
シリルシクロペンタシランの化学的性質としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン、シクロヘキサン、インダン、デカヒドロナフタレンなどの炭化水素溶媒、ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、モノグライム、ジグライムなどのエーテル系溶媒、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルアミルケトンなどのケトン系溶媒などの通常の有機溶媒に易溶で任意の割合で溶解することができる。
【0028】
シリルシクロペンタシランは、上記の如く室温下では無色透明の油状物で、アルゴンや窒素などの不活性雰囲気中では非常に安定であるが、空気中に放置すると徐々に酸化され容易にシロキサン構造へ変換される。また、シリルシクロペンタシランを不活性雰囲気中で300℃以上の熱に晒すと脱水素反応が起こりアモルファス状の金属シリコンへ変換される。さらにこのシリルシクロペンタシランは100℃程度の加熱処理によりラジカルを発生し、上記シクロペンタシランをラジカル開環重合させ溶媒可溶性のポリシランへ変換することができる。さらに通常のアクリル系化合物の如きビニル系化合物などのラジカル重合性モノマーを重合することもできる。
【0029】
シリルシクロペンタシラン、シクロペンタシランのガスクロマトグラフィーは、担体としてChromosorb W(60〜80メッシュ)で液相としてシリコーン系OV−17(5%)を用い、120℃でヘリウムガスで展開して得た(図5および図6参照)。
【0030】
実施例2
温度計、コンデンサー、および攪拌装置を取り付けた内容量が2Lの3つ口フラスコ内をアルゴンガスで置換した後、乾燥したテトラヒドロフラン1.5Lとリチウム金属3.8gを仕込み、アルゴンガスでバブリングした。この中に、Henggeらの方法(J.Organomet.Chem.,1981年、212巻、155頁)により合成したオクタフェニルシクロブタシラン100gを加え室温下で5時間攪拌することによりオクタフェニルシクロブタシランが開環したジアニオンを生成させた。この濃褐色のジアニオン溶液を室温下で攪拌しながら、トリフェニルシリルジクロルシラン50gを加え反応させた。反応混合物を2lの氷水に注ぎ生成物を沈殿させた。この生成物を濾別し水で洗浄し、さらにシクロヘキサンで洗浄した後、減圧下で乾燥することによりトリフェニルオクタフェニルシクロペンタシラン108gを得た。かくして得られたトリフェニルオクタフェニルシクロペンタシラン50gを500mlのトルエンに溶解し無水塩化アルミニウム5gを加え、フェニル基が消失するまで塩化水素ガスを反応させた。次に、この反応生成物溶液を水素化リチウムアルミニウム20gをジエチルエーテル100mlに顕濁した溶液に加え、室温下で12時間攪拌した。反応混合物をシリカゲルで処理後、濃縮することにより無色透明の油状物を得た。このもののIR、MSスペクトルは上記実施例1の生成物と一致した。
【0031】
参考例1
温度計、コンデンサーおよび攪拌装置を取り付けた内容量が2Lの4つ口フラスコ内にデカフェニルシクロペンタシラン50gとトルエン500mlを仕込んだ。この反応溶液に無水塩化アルミニウム5gを加え、さらに塩化水素ガスを室温下で5時間反応させた。反応系のNMRでフェニル基の消失を確認した。次に、この反応混合物を別に準備した水素化リチウムアルミニウム20gをジエチルエーテル100mlに顕濁した溶液に加え、室温下で12時間攪拌した。反応混合物をシリカゲルで処理後、濃縮することにより無色透明の油状物としてシクロペンタシランを得た。このもののIRスペクトルを図3に、MSスペクトルを図4に示す。
【0032】
実施例3
上記実施例1で得られたシリルシクロペンタシランの10%トルエン溶液10gと参考例1で得られたシクロペンタシランの10%トルエン溶液90gを混合した。混合した直後の溶液のガスクロマトグラムを図5に示す。また、比較のためにシクロペンタシランのトルエン溶液のガスクロマトグラムを図6に示す。上記混合溶液をアルゴン雰囲気中で50℃で12時間攪拌した後、再度ガスクロマトグラムを測定したところ、シクロペンタシランのピークもシリルシクロペンタシランのピークも観察されず、開環重合した高沸点のポリシランに変換されていることが判った。この溶液をアルゴン雰囲気中でガラス基板上に2,000rpmでスピンコートし無色透明のポリシラン膜が得られた。このポリシラン膜を500℃で焼成したところ、金属光沢を有するシリコン膜が得られた。このシリコン膜をアルファステップでシリコンの膜厚を測定したところ1,500オングストロームであった。さらにこのシリコン膜のESCAを測定したところ、99eVにSi2pに由来するピークが観察されただけで他のピークは観察されなかった。またこのシリコン膜のラマンスペクトルを図7に示す。波形分離して解析した結果、480cm-1付近にTOフォノンに帰属されるラマン線が、また420cm-1付近にLOフォノンに帰属されるラマン線が、さらに320cm-1付近にLAフォノンに帰属されるラマン線が観察され、100%アモルファス状のシリコン膜であった。
【0033】
実施例4
温度計、コンデンサーおよび攪拌装置を取り付けた内容量が200mlの3つ口フラスコ内をアルゴンガスで置換した後、トルエン80gとメチルメタクリレートモノマー20gを仕込み、これに上記実施例1で得られたシリルシクロペンタシラン0.1gを加え、100℃で5時間攪拌した。反応混合物をメタノール1,000mlに注ぎ、ポリマーを沈殿させた。これを濾別後、減圧乾燥することにより11.5gのポリメチルメタクリレートを得た。このものをテトラヒドロフランに溶解しGPCで分子量を測定したところポリスチレン換算重量平均分子量が45,000であった。
【0034】
実施例5
上記実施例3において、実施例1で得られたシリルシクロペンタシランに替え、実施例2で得られたシリルシクロペンタシランを用いて高沸点のポリシランに変換し、他は実施例3と同様にしてポリシラン膜、金属性シリコン膜を形成した。これらの分析結果は実施例3の場合と全く同一であった。
【0035】
比較例1
実施例4において、シリルシクロペンタシラン0.1gに替えて、参考例1で得られたシクロペンタシラン0.1gを用い、他は実施例4と同様にしてメチルメタクリレートの重合を試みたが重合反応は進まず、反応混合物をメタノールに注いだが沈殿物は何も得られなかった。
【図面の簡単な説明】
【図1】シリルシクロペンタシランの赤外線吸収スペクトル図である。
【図2】シリルシクロペンタシランのマススペクトル図である。
【図3】シクロペンタシランの赤外線吸収スペクトル図である。
【図4】シクロペンタシランのマススペクトル図である。
【図5】シクロペンタシランとシリルシクロペンタシラン混合物(重量比9/1)のトルエン溶液のGLC(ガスクロマトグラム)である。
【図6】シクロペンタシランのトルエン溶液のGLC(ガスクロマトグラム)である。
【図7】シリコン膜のラマンスペクトル図である。
Claims (3)
- 下記式
- 請求項1に記載されたシリルシクロペンタシランのシクロペンタシランの開環重合用ラジカル開始剤としての使用。
- 請求項1に記載されたシリルシクロペンタシランのビニルモノマーの重合開始剤としての使用。
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