JP4512186B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
2・・・接続パッド
3・・・外部端子
4・・・導体層
5・・・水晶振動素子(圧電振動子)
6・・・振動電極
7・・・導電性接着材
8・・・カバー部材
9a・・・ビア導体
9b・・・ビア導体
10・・・絶縁性樹脂
11・・・カバー領域
12・・・スパッタリング面
15・・・母基板
21・・・絶縁基板
22・・・接続パッド
23・・・外部端子
25・・・水晶振動素子(圧電振動子)
26・・・シール部材
27・・・蓋体
Claims (1)
- マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各々の該基板領域に圧電振動素子を搭載する工程Aと、
該基板領域と1対1に対応するカバー部材を、該圧電振動素子が封止されるように該母基板上に載置した後に、スパッタリング方法によってカバー部材の表面にスパッタリング面を形成し、該スパッタリング面と該基板領域の該カバー部材側表面に形成された接合用の導体層とを封止接合する工程Bと、
該カバー部材表面に形成された該スパッタリング面を被覆するように絶縁性樹脂を塗布する工程Cと、
該母基板及び該絶縁性樹脂を、各々の該基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の圧電振動子を同時に得る工程Dと、から成る圧電振動子の製造方法。
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