JP4417746B2 - 圧電発振器 - Google Patents

圧電発振器 Download PDF

Info

Publication number
JP4417746B2
JP4417746B2 JP2004052160A JP2004052160A JP4417746B2 JP 4417746 B2 JP4417746 B2 JP 4417746B2 JP 2004052160 A JP2004052160 A JP 2004052160A JP 2004052160 A JP2004052160 A JP 2004052160A JP 4417746 B2 JP4417746 B2 JP 4417746B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mounting substrate
container body
piezoelectric oscillator
piezoelectric
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004052160A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2005244643A (ja
Inventor
亮磨 笹川
浩之 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2004052160A priority Critical patent/JP4417746B2/ja
Publication of JP2005244643A publication Critical patent/JP2005244643A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4417746B2 publication Critical patent/JP4417746B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、通信機器や電子機器等のタイミングデバイスとして用いられる圧電発振器に関するものである。
従来より、携帯用通信機器等のタイミングデバイスとして温度補償型水晶発振器等の圧電発振器が用いられている。
かかる従来の温度補償型水晶発振器は、例えば図4に示す如く、内部に水晶振動素子が収容されている容器体23を、上面の中央域に凹部25を、下面に複数個の外部端子24を有した実装用基体21上に取着させるとともに、容器体21の下面と凹部25の内面とで囲まれる領域内に、水晶振動素子の振動に基づいて発振出力を制御するIC素子26を収容させた構造のものが知られている(例えば、特許文献1参照。)。
尚、容器体23及び実装用基体21は、通常、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成り、その内部及び表面には所定の配線パターンが形成され、従来周知のグリーンシート積層法等を採用することによって製作されている。そして、このような容器体23の下面や実装用基体21の上面には、それぞれ対応する箇所に接合電極が複数個ずつ設けられており、これらの接合電極同士を導電性接合材を介して接合することにより容器体23が実装用基体21の上面に固定されていた。
特開平10―98151号公報
しかしながら、上述した従来の圧電発振器においては、実装用基体21に設けられている凹部25の内壁がIC素子26を囲繞するように配されていることから、実装用基体21の面積が縦方向、横方向のいずれの方向にもIC素子26より一回り大きくなってしまい、これによって圧電発振器の小型化が困難なものとなっていた。
一方、圧電発振器の小型化を図るために凹部25の内壁厚みを一部薄く設定すると、IC素子26は容器体23による封止が不完全になるので樹脂材等を用いて封止する必要性が出てくる。かかるIC素子26としてフリップチップ型ICを用いた場合、IC素子26の回路形成面(下面)を上面側より赤外線検査する際に、IC素子26を覆う樹脂材の有機成分が赤外線の透過を阻害して検査精度を損ねることになってしまう。
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、小型化を図るとともに発振特性の良好にした圧電発振器を提供することにある。
本発明の圧電発振器は、内部に圧電振動素子を収容している矩形状の容器体を、前記圧電振動素子の発振周波数に対応した発振信号を出力するIC素子が搭載されている矩形状の実装用基体上に、その外周に沿って四隅部に配された複数のスペーサ部材を介して固定してなる圧電発振器であって、
前記IC素子の側面と前記複数のスペーサ部材の側面との間に、前記IC素子の上面が露出するようにして樹脂材を充填しており、前記樹脂材が、前記複数のスペーサ部材の各々の側面を全周にわたって覆っていることを特徴とするものである。
また本発明の圧電発振器は、前記スペーサ部材が金属ポストから成ることを特徴とするものである。
更に本発明の圧電発振器は、前記圧電振動素子として水晶振動素子が用いられるとともに、前記IC素子内に前記発振信号を温度状態に応じて補正するための温度補償データが格納されており、前記容器体と前記実装用基体との間に、前記IC素子に温度補償データを書き込むための金属ポストから成る書込制御端子が、容器体側面と実装用基体側面との間より一部を露出させた状態で介在されていることを特徴とするものである。
本発明の圧電発振器によれば、圧電振動素子を収容している容器体を、IC素子が搭載されている実装用基体上に、その外周に沿って配された金属ポストから成るスペーサ部材を介して固定するようにしたことから、実装用基体の上面のうちスペーサ部材が存在しない領域は全てIC素子や他の電子部品素子の搭載に使用することができ、例えば、スペーサ部材を実装用基体の四隅部にのみ設ける場合は、隣接するスペーサ部材間にIC素子の両端部が配置されるように設計することにより、実装用基体の長さをIC素子の長さと略等しくなすことができ、これによって圧電発振器の全体構造を小型化することが可能となる。
然も前記IC素子の側面と前記スペーサ部材の側面との間に、前記IC素子の上面が露出するようにして樹脂材を充填したことから、IC素子の赤外線検査が精度良く行われるので、発振特性の良好な圧電発振器を選別することができる。
また本発明の圧電発振器は、前記スペーサ部材が金属ポストから成ることから、発振回路の電気抵抗値が低くなり発振動作が低損失になるので、出力の効率を高めることができる。
更に本発明の圧電発振器によれば、前記圧電振動素子として水晶振動素子を用いるとともに、前記IC素子内に前記発振信号を温度状態に応じて補正するための温度補償データを格納し、前記容器体と前記実装用基体との間に、前記IC素子に温度補償データを書き込むための金属ポストから成る書込制御端子を、容器体側面と実装用基体側面との間より一部を露出させた状態で介在させておくことにより、圧電発振器を組み立てる際、金属ポストから成る書込制御端子を実装用基体上面の所定位置に取着させておくだけで圧電発振器を製作することができ、圧電発振器の生産性向上に供することが可能となる。
また更に本発明の圧電発振器によれば、前記スペーサ部材が前記実装用基体上面の四隅部に取着された3個もしくは4個の金属ポストから成ることから、前記実装用基体に容器体が強固に固定した状態で搭載されるので、前記発振信号を安定して出力することができる。
更にまた本発明の圧電発振器によれば、前記樹脂材が隣接するスペーサ部材の側面間にも充填されていることから、スペーサ部材を形成する金属ポストの酸化腐食が有効に防止されて、圧電発振器の信頼性を高く維持することができるとともに、実装用基体に対するスペーサ部材の取着強度を前記樹脂材でもって補強することができる利点もある。
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の圧電発振器を温度補償型水晶発振器に適用した一実施形態を示す分解斜視図、図2は図1の温度補償型水晶発振器の断面図であり、これらの図に示す温度補償型水晶発振器は、内部に圧電振動素子としての水晶振動素子5を収容している矩形状の容器体1を、下面に複数個の外部端子10が、上面にIC素子7が設けられている矩形状の実装用基体6上に、スペーサ部材12を介して載置・固定した構造を有している。
前記容器体1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成る基板2と、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成るシールリング3と、該シールリング3と同様の金属から成る蓋体4とから成り、前記基板2の上面にシールリング3を取着させ、その上面に蓋体4を載置・固定させることによって容器体1が構成され、シールリング3の内側に位置する基板2の上面に水晶振動素子5が実装される。
前記容器体1は、その内部、具体的には、基板2の上面とシールリング3の内面と蓋体4の下面とで囲まれる空間内に水晶振動素子5を収容して気密封止するためのものであり、基板2の上面には水晶振動素子5の振動電極に接続される一対の搭載パッド等が、基板2の下面には後述するスペーサ部材12に接続される複数個の接合電極がそれぞれ設けられ、これらのパッド等は基板表面の配線導体や基板内部に埋設されているビアホール導体等を介して、対応するもの同士、相互に電気的に接続されている。
尚、前記容器体1の基板2は、ガラス−セラミック等のセラミック材料から成る場合、例えば、セラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得たセラミックグリーンシートの表面等に配線導体となる導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。
また前記容器体1のシールリング3及び蓋体4は、従来周知の金属加工法を採用し、42アロイ等の金属を所定形状に成形することによって製作され、得られたシールリング3を基板2の上面に予め被着させておいた導体層にロウ付けし、続いて水晶振動素子5を、導電性接着剤を用いて基板2の上面に実装・固定した後、上述の蓋体4を従来周知の抵抗溶接等によってシールリング3の上面に接合することによって容器体1が組み立てられる。このようにシールリング3と蓋体4とを抵抗溶接によって接合する場合、シールリング3や蓋体4の表面には予めNiメッキ層やAuメッキ層等が被着される。
一方、前記容器体1の内部に収容される水晶振動素子5は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極を被着・形成してなり、外部からの変動電圧が一対の振動電極を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こす。前記水晶振動素子5は、一対の振動電極を導電性接着剤を介して基板上面の対応する搭載パッドに電気的に接続させることによって基板2の上面に搭載され、これによって水晶振動素子5と容器体1との電気的接続及び機械的接続が同時になされる。
ここで容器体1の蓋体4を、容器体1や実装用基体6の配線導体を介して実装用基体下面に配されるグランド端子用の外部端子10に接続させておけば、その使用時、蓋体4がアースされることによりシールド機能が付与されることとなるため、水晶振動素子5や後述するIC素子7を外部からの不要な電気的作用より良好に保護することができる。従って、容器体1の蓋体4は容器体1や実装用基体6の配線導体を介してグランド端子用の外部端子10に接続させておくことが好ましい。
そして、上述した容器体1が載置・固定される実装用基体6は概略矩形状を成しており、該実装用基体上面の四隅部にはスペーサ部材12が個々に取着・立設され、これらのスペーサ部材12で囲まれた実装用基体上面の中央域にはIC素子7が搭載される。
前記実装用基体6は、その上面でIC素子7やスペーサ部材12を介して容器体1を支持するためのものであり、ガラス布基材エポキシ樹脂やポリカーボネイト,エポキシ樹脂,ポリイミド樹脂等の樹脂材料やガラス−セラミック,アルミナセラミックス等のセラミック材料等によって平板状をなすように形成される。
また前記実装用基体6の上面に取着・立設されているスペーサ部材12は、銅等の金属材料を四角柱状に成形した金属ポストによって形成されており、その下端部で実装用基体6の配線導体に電気的・機械的に接続され、上端部で半田等の導電性接合材を介して容器体下面の接続電極に電気的・機械的に接続されている。
このように本実施形態の圧電発振器は、スペーサ部材12が金属ポストから成ることから、発振回路の電気抵抗値が低くなり発振動作が低損失になるので、出力の効率を高めることができる。
尚、前記スペーサ部材12の上端面には、容器体1との接合に用いられる導電性接合材の接合状態を良好となすために、例えば、ニッケルめっきや金めっき等が所定厚みに被着される。
また前記実装用基体6の下面には、4つの外部端子10(電源電圧端子、グランド端子、発振出力端子、発振制御端子)が設けられており、これらの外部端子10は、温度補償型水晶発振器をマザーボード(図示せず)等の外部電気回路に搭載する際、半田付け等によって外部電気回路の回路配線と電気的に接続されることとなる。
ここで、4個の外部端子10のうち、グランド端子と発振出力端子を近接させて配置するようにすれば、発振出力端子より出力される発振信号にノイズが干渉するのを有効に防止することができる。従って、グランド端子と発振出力端子は近接させて配置することが好ましい。
更に、上述した実装用基体6の上面には、その中央域に複数個の電極パッドが被着・形成されており、これら電極パッドの形成領域に上述したIC素子7が搭載される。
前記IC素子7は、Siからなる半導体素子が用いられ、例えば、下面に実装用基体6の電極パッドと1対1に対応する複数個の接続パッドを有した矩形状のフリップチップ型IC等が用いられ、その回路形成面(下面)には、周囲の温度状態を検知する感温素子(サーミスタ)、水晶振動素子5の温度特性を補償する温度補償データを格納するためのメモリ、温度補償データに基づいて水晶振動素子5の振動特性を温度変化に応じて補正する温度補償回路、該温度補償回路に接続されて所定の発振出力を生成する発振回路等が設けられ、該発振回路で生成された発振出力は、外部に出力された後、例えば、クロック信号等の基準信号として利用されることとなる。
また前記IC素子7は、その両端部が隣接するスペーサ部材間に配されており、略平行に配されている2個の端面が後述する樹脂材13により被覆された状態で隣接するスペーサ部材間より露出している。
このようなIC素子7の露出側面は、容器体1や実装用基体6の外周部よりも若干内側、例えば、実装用基体6の外周より1μm〜500μmだけ内側に、実装用基体6の外周部に沿って配されており、この場合、IC素子7の露出側面と直交する方向に係る実装用基体6の幅寸法はIC素子7の一辺の長さと略等しくなるよう設計されているため、温度補償型水晶発振器の全体構造を小型に構成することができる。
尚、前記IC素子7は、その下面に設けた接続パッド7aを実装用基体上面の対応する電極パッドに半田や金バンプ等の導電性接合材を介して個々に接合させることによってIC素子7が実装用基体6に取着され、これによってIC素子7内の電子回路が容器体1の配線導体や実装用基体6の配線導体等を介して水晶振動素子5や外部端子10等に電気的に接続される。
また、上述した実装用基体6が樹脂材料から成る場合、ベースとなる銅板の表面に樹脂層及び配線導体層をビルドアップ法を用いて交互に逐次形成してなる有機多層基体から成る実装用基体6を形成し、次にベースとした銅板の一部を金属ポストとして残りを化学的に除去することにより、スペーサ部材12が実装用基体6上に取り付けられたものが得られる。実装用基体6となる有機多層基体を形成するビルドアップ法としては、層状になした感光性樹脂材料のスルーホール接続部をフォトエッチングにより形成した後に配線導体をアディティブ法により形成する工程を繰り返して形成する方法を用いてもよいが、その他にも、銅箔をサブトラクティブ法により不要な部分を除去してスルーホール接続ポストを予め形成してその周りにプリプレグを形成する工程を逐次繰り返した後に熱硬化させて形成する方法等を用いることも可能である。
更に、上述したIC素子7の側面と前記スペーサ部材12の側面との間には、IC素子7の上面が露出するようにして、例えばエポキシ樹脂等から成る樹脂材13が充填されている。
前記樹脂材13はIC素子7を保護するためのものであり、このような樹脂材13の外周部を、実装用基体6の外周部まで延在させた上、該延在部で各スペーサ部材12の側面を、例えば20μm〜250μmの厚みで被覆しておくことにより、温度補償型水晶発振器を半田付け等によってマザーボード等の外部配線基板上に実装する際、温度補償型水晶発振器と外部配線基板とを接合する半田が金属ポストから成るスペーサ部材12に付着して短絡を発生するといった不都合が有効に防止されるようになり、取扱いが簡便な温度補償型水晶発振器を得ることができるようになる。
しかもこの場合、樹脂材13が隣接するスペーサ部材12の側面間にも充填されていることにより、スペーサ部材12を形成する金属ポストの酸化腐食が有効に防止されて、温度補償型水晶発振器の信頼性を高く維持することができるとともに、実装用基体6に対するスペーサ部材12の取着強度を前記樹脂材13でもって補強することができる利点もある。
尚、このようなスペーサ部材12の側面は、全面積の90%以上を樹脂材13で被覆しておくことが好ましいものであるが、例えば、スペーサ部材12の上端より25%程度の領域において側面が露出している場合であっても、それ以外の部位が樹脂材13で被覆されていれば、外部配線基板への実装に際して半田の付着に起因した短絡を発生することは有効に防止されるし、また大気中に含まれている水分等の接触による酸化腐食の影響も殆どない。
また、上述した樹脂材13を透明材料により形成しておけば、隣接するスペーサ部材間12−12より露出されるIC素子7の側面が樹脂材13で被覆されていても、実装用基体6に対する接合部を直視できることから、製品の検査等に際してIC素子7の接合状態を目視等によって容易に確認することができ、検査の作業性を良好となすことが可能となる。
本実施形態の樹脂材13は、IC素子7を覆うようにして未硬化樹脂液を塗布・硬化した後に、IC素子7の上面が露出するまで削ることにより形成することができる。続いて、Siを透過する赤外線を用いてIC素子7下面の回路形成面を外観検査する。IC素子7下面は、ウエハーより分離されたときに特に端側部が欠落することがあるためにこのような検査工程が不可欠であるが、本実施形態のように形成された樹脂材13は、図2に示されるように、IC素子7の側面とスペーサ部材12の側面との間に、IC素子7の上面が露出するようにして樹脂材13を充填した構造となっていることから、赤外線を吸収する樹脂材の有機成分が阻害されないので、IC素子7の赤外線検査が精度良く行われ、発振特性の良好な圧電発振器を選別することができる。
尚、樹脂材を削る際にIC素子7やスペーサ部材12の上面についても若干削られることがあるが特に構わないものである。
そして、先に述べた容器体1と実装用基体6との間には、IC素子7に温度補償データを書き込むための書込制御端子11が複数個、介在されている。
前記書込制御端子11は、上述したスペーサ部材12と同様に、銅等の金属材料を柱状に成形した金属ポストによって形成されており、側面の一部が容器体側面と実装用基体側面との間より露出するようにして実装用基体6の上面に取着されている。
これらの書込制御端子11は、実装用基体6のエッジに沿って並設されており、実装用基体6の配線導体等を介してIC素子7に電気的に接続されている。従って、温度補償型水晶発振器を組み立てた後、これらの書込制御端子11に側方より温度補償データ書込装置のプローブ針を当て、水晶振動素子5の温度特性に応じた温度補償データを書き込むことによってIC素子7のメモリ内に温度補償データが格納される。
このように、温度補償データをIC素子7に書き込むための書込制御端子11を金属ポストにて形成するとともに、該書込制御端子11の一部を容器体側面と実装用基体側面との間より露出させておくことにより、温度補償型水晶発振器を組み立てる際、金属ポストから成る書込制御端子11を実装用基体上面の所定位置に取着させておくだけで温度補償型水晶発振器を製作することができ、温度補償型水晶発振器の生産性を向上させることが可能となる。
また、前記書込制御端子11は、その上端部を容器体1の下面に設けられるダミーの接合パッドに接合材を介して接合させておくことが好ましく、このようになしておくことで実装用基体6と容器体1との接合強度を向上せしめ、温度補償型水晶発振器の信頼性を更に高く維持することができるようになる。
かくして上述した温度補償型水晶発振器は、マザーボード等の外部配線基板上に半田付け等によって搭載され、IC素子7の温度補償回路によって発振出力を補正しながら、水晶振動素子5の共振周波数に応じた所定の発振信号を出力することによって温度補償型水晶発振器として機能する。
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、上述した実施形態においては、圧電振動素子として水晶振動素子を用いた水晶発振器を例にとって説明したが、これに代えて、水晶振動素子以外の圧電振動子、具体的には弾性表面波素子等の圧電振動素子を用いて圧電発振器を構成する場合にも本発明は適用可能である。
また上述した実施形態においては、容器体1と実装用基体6上のスペーサ部材12とを接合するのに導電性接合材を用いるようにしたが、この導電性接合材は半田等の一般的な導電材料に限られるものではなく、例えば、導電性接合材として異方性導電接着材等を用いるようにしても良く、その場合、実装用基体6に対する容器体1の取着作業が極めて簡単になり、温度補償型水晶発振器の組立工程が更に簡略化される利点もある。
更に上述した実施形態においては、実装用基体上面の四隅部に4個のスペーサ部材12を取着させた例について説明したが、スペーサ部材12の個数は4個に限られるものではなく、例えば、3個もしくは5個以上のスペーサ部材12を用いて容器体1を実装用基体6上に固定する場合にも本発明は適用可能である。
また更に上述した実施形態においては、容器体1の蓋体4をシールリング3を介して基板2に接合させるようにしたが、これに代えて、基板2の上面に接合用のメタライズパターンを形成しておき、このメタライズパターンに対して蓋体4をダイレクトに溶接するようにしても構わない。
更にまた上述した実施形態においては、容器体1の基板上面に直接シールリング3を取着させるようにしたが、これに代えて、基板2の上面に基板2と同材質のセラミック材料等から成る枠体を一体的に取着させた上、該枠体の上面にシールリング3を取着させるようにしても構わない。
また更に上述した実施形態において、例えば図3に示す如く、隣接するスペーサ部材間12−12に位置する実装用基体6の上面にIC素子以外の電子部品素子、例えば、ノイズ除去用のチップ状コンデンサ等を配置させるようにしても良く、この場合、実装用基体上面の空いた領域がより有効に活用されることとなるため、圧電発振器の更なる小型化が可能である
本発明の圧電発振器を温度補償型水晶発振器に適用した一実施形態を示す分解斜視図である。 図1の温度補償型水晶発振器の断面図である。 本発明の他の実施形態にかかる圧電発振器に使用される実装用基体の分解斜視図である。 従来の温度補償型水晶発振器の分解斜視図である。
符号の説明
1・・・容器体
2・・・基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5・・・水晶振動素子(圧電振動素子)
6・・・実装用基体
7・・・IC素子
7a・・・接続パッド
10・・・外部端子
11・・・書込制御端子
12・・・スペーサ部材
13・・・樹脂材

Claims (3)

  1. 内部に圧電振動素子を収容している矩形状の容器体を、前記圧電振動素子の発振周波数に対応した発振信号を出力するIC素子が搭載されている矩形状の実装用基体上に、その外周に沿って四隅部に配された複数のスペーサ部材を介して固定してなる圧電発振器であって、
    前記IC素子の側面と前記複数のスペーサ部材の側面との間に、前記IC素子の上面が露出するようにして樹脂材を充填しており、前記樹脂材が、前記複数のスペーサ部材の各々の側面を全周にわたって覆っていることを特徴とする圧電発振器。
  2. 前記スペーサ部材が金属ポストから成ることを特徴とする請求項1に記載の圧電発振器。
  3. 前記圧電振動素子として水晶振動素子が用いられるとともに、前記IC素子内に前記発振信号を温度状態に応じて補正するための温度補償データが格納されており、前記容器体と前記実装用基体との間に、前記IC素子に温度補償データを書き込むための金属ポストから成る書込制御端子が、容器体側面と実装用基体側面との間より一部を露出させた状態で介在されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電発振器。
JP2004052160A 2004-02-26 2004-02-26 圧電発振器 Expired - Fee Related JP4417746B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004052160A JP4417746B2 (ja) 2004-02-26 2004-02-26 圧電発振器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004052160A JP4417746B2 (ja) 2004-02-26 2004-02-26 圧電発振器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005244643A JP2005244643A (ja) 2005-09-08
JP4417746B2 true JP4417746B2 (ja) 2010-02-17

Family

ID=35025881

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004052160A Expired - Fee Related JP4417746B2 (ja) 2004-02-26 2004-02-26 圧電発振器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4417746B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007060411A (ja) 2005-08-25 2007-03-08 Fujitsu Media Device Kk 分波器

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005244643A (ja) 2005-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005244639A (ja) 温度補償型水晶発振器
JP4724518B2 (ja) 圧電発振器
JP4484545B2 (ja) 圧電発振器
JP4417746B2 (ja) 圧電発振器
JP4429034B2 (ja) 圧電発振器
JP4284143B2 (ja) 圧電発振器
JP2004260598A (ja) 表面実装型温度補償水晶発振器
JP4328226B2 (ja) 圧電発振器
JP4384567B2 (ja) 温度補償型水晶発振器の製造方法
JP4472445B2 (ja) 圧電発振器の製造方法
JP2008187751A (ja) 表面実装型圧電発振器
JP2005244641A (ja) 温度補償型水晶発振器
JP2005210673A (ja) 表面実装型水晶発振器
JP4376148B2 (ja) 圧電発振器
JP2005244644A (ja) 圧電発振器
JP2005244925A (ja) 圧電発振器
JP4471787B2 (ja) 圧電発振器
JP4328225B2 (ja) 温度補償型水晶発振器
JP2005253007A (ja) 温度補償型水晶発振器
JP2005217731A (ja) 圧電発振器
JP4336213B2 (ja) 圧電発振器
JP2005217730A (ja) 圧電発振器
JP4472479B2 (ja) 圧電発振器、及びその製造方法
JP2005244922A (ja) 圧電発振器
JP2005244921A (ja) 圧電発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070213

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090513

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20090721

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20091029

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20091126

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4417746

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121204

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131204

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees