JP2006020001A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】
マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板を準備し、先の母基板の各基板領域に圧電振動子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応するカバー部材を、前記圧電振動子が封止されるようにして前記母基板上に載置し、スパッタリング方法によって封止接合する工程Bと、前記カバー部材の上面に形成されたスパッタリング面を被覆するように絶縁性樹脂を塗布する工程Cと、前記母基板及び前記絶縁性樹脂を各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより、複数個の圧電振動子を同時に得る工程Dとを経て圧電振動子を製造することにより課題を解決する。
【選択図】図2
Description
2・・・接続パッド
3・・・外部端子
4・・・導体層
5・・・水晶振動素子(圧電振動子)
6・・・振動電極
7・・・導電性接着材
8・・・カバー部材
9a・・・ビア導体
9b・・・ビア導体
10・・・絶縁性樹脂
11・・・カバー領域
12・・・スパッタリング面
15・・・母基板
21・・・絶縁基板
22・・・接続パッド
23・・・外部端子
25・・・水晶振動素子(圧電振動子)
26・・・シール部材
27・・・蓋体
Claims (3)
- マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各基板領域に圧電振動子を搭載する工程Aと、
前記基板領域と1対1に対応するカバー部材を、前記圧電振動子が封止されるようにして前記母基板上に載置し、スパッタリング方法によって封止接合する工程Bと、
前記カバー部材の上面に形成されたスパッタリング面を被覆するように絶縁性樹脂を塗布する工程Cと、
前記母基板及び前記絶縁性樹脂を各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の圧電振動子を同時に得る工程Dと、を含む圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子が水晶振動素子であることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記工程Cにおいて前記母基板の切断箇所に導体層が存在していないことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧電振動子の製造方法。
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