JP2005340662A - 電子装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる電子装置を提供する。
【解決手段】マトリクス状に配列された複数個の基板領域とこれら複数個の基板領域を囲繞する枠状の捨代領域とを有し、該捨代領域に仮止パターンが被着されている母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域、及び前記捨代領域と対応する仮止部を有する金属製の母カバーを前記母基板上に載置させ、前記捨代領域を前記仮止パターンに接合するとともに、前記電子部品素子が封止されるようにして各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部に接合させる工程Bと、前記母基板及び前記母カバーを各基板領域の外周に沿って一括的に切断する工程とを経て電子装置を製造する。
【選択図】図3

Description

本発明は、携帯用通信機器や電子計算機等の電子機器に用いられる水晶振動子等の電子装置に関するものである。
従来より、携帯用通信機器や電子計算機等の電子機器に水晶振動子が用いられている。
かかる従来の水晶振動子としては、例えば図6に示す如く、セラミック材料等から成る基体21の上面に凹部22を形成するとともに、該凹部22の底面に水晶振動素子25を搭載し、凹部22の開口部を金属製の蓋体27で塞ぐことによって水晶振動素子25の収納領域を気密封止した構造(例えば、特許文献1参照。)のものが知られており、かかる水晶振動子は、基体21の下面に設けられる入力端子等を介して水晶振動素子25に外部からの電力が供給されると、水晶振動素子25の特性に応じた所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっており、その周波数に基づいて外部の発振回路で所定周波数の基準信号が発振・出力される。このような基準信号は携帯用通信機器等の電子機器におけるクロック信号として利用されることとなる。
尚、上述した水晶振動子の基体21は、複数個の基体21を切り出すことができる大型の母基板を分割して個片を得る“多数個取り”の手法によって製作されるのが一般的であり、得られた個片(基体21)に水晶振動素子25と金属製のシールリング26とを取着させた上、シールリング26の上部に蓋体27を接合することによって水晶振動子が製作される。
また、水晶振動子の蓋体27も、先に述べた基体21と同様に、複数個の蓋体27を切り出すことができる大型の金属板を分割して得る“多数個取り”の手法によって製作されるのが一般的である。
特開2004−32556号公報
しかしながら、上述した従来の水晶振動子においては、その組み立てに先立って、大型の母基板を分割することにより基体21を、また大型の金属板を分割することにより蓋体27を得ておく必要があり、この2種類の部材をそれぞれ別個の分割工程で得るようにしていたことから、水晶振動子の組み立て工程が煩雑なものとなり、生産性の向上に供しないという欠点を有していた。
また上述したように、基体21と蓋体27とを事前に準備してから水晶振動子を組み立てる場合、複数個の基体21を個々にキャリアに保持させるための作業が必要となり、またキャリアに保持させた個々の基体21上には更に蓋体27を個々に位置合わせをして取り付けなければならず、これによっても水晶振動子の組み立て工程が煩雑なものとなる欠点を有していた。
本発明は上述の欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる電子装置の製造方法を提供することにある。
本発明の電子装置の製造方法は、マトリクス状に配列された複数個の基板領域とこれら複数個の基板領域を囲繞する枠状の捨代領域とを有し、該捨代領域に仮止パターンが被着されている母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域、及び前記捨代領域と対応する仮止部を有する金属製の母カバーを前記母基板上に載置させ、前記捨代領域を前記仮止パターンに接合するとともに、前記電子部品素子が被覆されるようにして各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部に接合させる工程Bと、前記母基板及び前記母カバーを各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得る工程Cとを含むことを特徴とするものである。
また本発明の電子装置の製造方法は、前記電子部品素子が水晶振動素子であることを特徴とするものである。
更に本発明の電子装置の製造方法は、前記仮止パターンが、隣接する基板領域を区画する境界線の延長線上に存在していないことを特徴とするものである。
また更に本発明の電子装置の製造方法は、前記工程Cにおいて前記母基板及び前記母カバーの切断箇所に両者を接合する接合材が存在していないことを特徴とするものである。
更にまた本発明の電子装置の製造方法は、前記工程Bにおいて、前記捨代領域を前記仮止パターンに接合した後、各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部にシーム溶接にて接合させるようにしたことを特徴とするものである。
本発明の電子装置の製造方法によれば、マトリクス状に配列された複数個の基板領域及びこれら複数個の基板領域を囲繞する枠状の捨代領域を有した母基板と、該母基板の基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域を有する金属製の母カバーとを準備し、前記母基板の各基板領域に電子部品素子を個々に搭載した後、前記母カバーを各カバー領域の外周部が各基板領域の外周部に接合されるようにして前記母基板の上面に取着せしめ、母基板及び母カバーを両者が一体化された状態で各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得るようにしたことから、電子装置の組み立てに先立って、母基板や母カバーを予め個片に分割する必要はなく、両者を一括的に分割して複数個の電子装置を同時に得ることができる。
しかもこの場合、電子装置の組み立てに際して、母基板そのものがキャリアとして機能するようになっていることから、母基板より分割した個片を個々にキャリアに保持させたり、或いは、各個片にカバー部材を個々に取り付ける等といった煩雑な作業は一切不要となる。
これにより、電子装置の組み立て工程が大幅に簡素化されるようになり、電子装置の生産性向上に供することが可能となる。
また本発明の電子装置の製造方法によれば、前記母基板の捨代領域には仮止パターンが被着されており、この仮止パターンを用いて母カバーを母基板に仮固定した後で、各カバー領域を各基板領域に接合させるようにしたことから、上述した接合作業の際に母カバーが母基板に対して位置ずれを起こすのが有効に防止されるようになり、各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部に対し確実に接合させることができる。これによって電子装置の製造歩留まりを高く維持することができる。
更に本発明の電子装置の製造方法によれば、上述の仮止パターンを、隣接する基板領域を区画する境界線の延長線上に存在しないよう配置させておくことにより、母基板及び母カバーをダイサー等を用いて前記境界線に沿って一直線状に切断する際、ダイサー等を仮止パターンに接触させることなく母基板及び母カバーを一括的に切断することができるようになるため、分割に係る作業性が良好となり、これによっても電子装置の生産性を向上させることができるようになる。
更に本発明の電子装置の製造方法によれば、前記工程Cにおいて母基板及び母カバーの切断箇所に両者を接合する接合材を存在させないでおくようにすれば、ダイサー等を接合材に接触させることなく母基板及び母カバーを一括的に切断することができるようになるため、分割に係る作業性が良好となり、これによっても電子装置の生産性を向上させることができるようになる。
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の製造方法を水晶振動子の製造方法に適用して得た水晶振動子の外観斜視図、図2は図1の水晶振動子の断面図であり、これらの図に示す水晶振動子は、大略的に、基体1と、電子部品素子としての水晶振動素子5と、カバー部材8とで構成されている。
前記基体1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成り、上面の中央域には凹部1aが設けられ、更に凹部1aの開口部の外方に位置する基体1の上面には凹部1aの開口部を囲繞するようにして環状の導体パターン6が被着されている。
前記基体1は、凹部1a内で水晶振動素子5を収容するためのものであり、その下面には入力端子、出力端子、グランド端子等を含む複数個の外部端子3が、凹部1aの底面には水晶振動素子5の振動電極に接続される一対の搭載パッド2等が設けられており、外部端子3は水晶振動子をマザーボード等の外部回路基板に搭載する際、水晶振動子を外部回路基板と電気的に接続するための端子として機能し、これらの外部端子3と凹部底面の搭載パッド2等は容器体表面の配線導体や容器体内部に埋設されているビアホール導体等を介して相互に電気的に接続される。
また前記導体パターン6は、例えば、タングステン、モリブデン等から成るメタライズ層(厚み:10μm〜20μm)の上面にニッケル層(厚み:2μm〜6μm)および金層(厚み:0.7μm〜1.4μm)を順次、被着・形成して成り、その表面には後述する蓋体4の下面がろう材層9を介して接合される。
また、前記基体1の上面に設けられている凹部1aの底面には、水晶振動素子5が搭載されている。
前記水晶振動素子5は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極を被着・形成した構造を有し、一対の振動電極を導電性接着材7を介して凹部底面の対応する搭載パッド2に電気的に接続させることによって基体1の凹部底面に搭載され、これによって水晶振動素子5と基体1とが電気的・機械的に接続される。
かかる水晶振動素子5は、外部からの変動電圧が一対の振動電極を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっている。
そして、先に述べた基体1の上面には、凹部1aの開口部を塞ぐようにして蓋体4が取着されている。
前記蓋体4は、42アロイやコバール、リン青銅等の金属によって平板状をなすように形成されており、その下面外周部を基体上面の導体パターン6に対し接合させることによって基体1の上面に取着され、凹部1aの内面と蓋体4の下面とで囲まれた領域内に前記水晶振動素子5が収納される。尚、前記蓋体4と基体1とは、例えば、金80%、錫20%の組成比率を有したろう材層9を介して接合される。
また、このような蓋体4は、基体1の配線導体等を介してグランド端子用の外部端子3に接続させておくことが好ましく、そのようになしておくことにより、水晶振動子の使用時、蓋体4がアースされてシールド機能が付与されるようになり、水晶振動素子5を外部からの不要な電気的作用より良好に保護することができる。従って、蓋体4は基体1の配線導体を介してグランド端子用の外部端子3に接続させておくことが好ましい。
かくして上述した水晶振動子は、基体1の下面に設けられている入出力端子を介して水晶振動素子5の振動電極間に外部からの変動電圧を印加し、水晶振動素子5を所定の周波数で厚みすべり振動させることによって水晶振動子として機能する。そして、このような水晶振動子の周波数に基づいて外部の発振回路で生成・出力された発振信号は、例えば、携帯用通信機器等の電子機器における基準信号(クロック信号)として利用されることとなる。
次に上述した水晶振動子の製造方法について図3を用いて説明する。
(工程A)
まず、図3(a)に示す如く、マトリクス状に配列された複数個の基板領域11とこれら複数個の基板領域11を囲繞する枠状の捨代領域とを有し、該捨代領域に仮止パターン10が被着されている母基板15を準備し、該母基板15の各基板領域11に水晶振動素子5を搭載する。
前記母基板15は、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料によって矩形状をなすように形成されており、例えば、2層のセラミック層を間に導体パターン6を介して積層した構造を有している。
また前記母基板15は、その中央域に、マトリクス状、即ち、縦m列×横n行(m,nは2以上の自然数)の行列状に配置された複数個の基板領域11を有し、これらの基板領域11を囲繞するように前記捨代領域が配置されている。
このような母基板15の各基板領域11には、その上面側に、底面に一対の搭載パッドを有した凹部1aと該凹部1aの開口部を取り囲む環状の導体パターン6とが設けられ、下面側に、入力端子や出力端子,グランド端子等の外部端子3が設けられている。
また、母基板15の捨代領域には、その上面側に、複数個の基板領域11を囲繞するようにして環状に配された仮止パターン10が被着・形成されている。本実施形態において、仮止パターン10は、隣接する基板領域11を区画する境界線の延長線上に存在しないように形成される。
かかる母基板15は、例えば、アルミナセラミックス等から成るセラミック材料粉末に適当な有機溶剤、有機バインダ、ガラスフリット等を添加・混合した上、これをシート状に成形して得たセラミックグリーンシートの表面等に搭載パッドや導体パターン6,外部端子3,仮止パターン10等となる導体ペーストを従来周知のスクリーン印刷等によって所定パターンに印刷・塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。
そして、得られた母基板15の各基板領域11には、凹部1aの底面に水晶振動素子5が1個ずつ搭載され、水晶振動素子5の振動電極と凹部底面の対応する搭載パッド2とを導電性接着材7を介してボンディングすることにより水晶振動素子5が母基板15の各基板領域11と電気的・機械的に接続される。
(工程B)
次に、図3(b)に示す如く、母基板15の基板領域11と1対1に対応する複数個のカバー領域12を有した金属製の母カバー16を準備し、これを図4に示す如く、母基板15の上面に載置させた上、母基板15の上面に取着・接合させる。
前記母カバー16のカバー領域12は、先に述べた母基板15の基板領域11と1対1に対応するようにマトリクス状に配されており、かかる母カバー16の外周域にも、母基板15と同様に捨代領域が設けられ、この部分の下面側(母基板15側)には、母基板15の仮止パターン10と対応する形状を有した仮止部が設けられている。
また前記母カバー16は、例えば、42アロイやコバール,リン青銅等の金属によって平板状をなすように形成されており、その下面には、前記仮止部と各カバー領域12の少なくとも外周部に金錫合金等から成るろう材層9がそれぞれ被着されている。かかる母カバー16の厚みは、例えば、60μm〜100μmに設定される。
このような母カバー16を母基板15の上面に取着・接合させるには、母基板15の各基板領域11上に母カバー16の対応するカバー領域12が配置されるようにして母カバー16を母基板15上に載置させ、次に母カバー16及び母基板15の捨代領域に対しYAGレーザー等を用いて母カバー側より仮止パターンの形成箇所に合わせてレーザー光を照射し、母カバー16の下面に被着させておいたろう材層9を加熱・溶融させることによって母カバー16の捨代領域を母基板15の仮止パターン10に接合させ、しかる後、母カバー16の各カバー領域12の外周部をカーボン治具等を用いて部分的に高温で加熱し、母カバー16の下面に被着させておいたろう材層9を加熱・溶融させるとともに、該溶融したろう材層9を介して各カバー領域12の外周部を対応する基板領域11の外周部にろう付けすることによって水晶振動素子5の収納領域が気密封止される。その後、一体化された母基板15と母カバー16は徐々に室温まで冷却される。
尚、上述した一連の接合工程は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス雰囲気中で行うのが好ましく、これによって水晶振動素子5が収納される空間には不活性ガスが充満することとなるため、水晶振動素子5が酸素や大気中の水分等によって腐食・劣化するのを有効に防止することができる。
(工程C)
そして最後に、図3(c)に示す如く、工程Bにおいて一体化した母基板15及び母カバー16を、各基板領域11の外周に沿って一括的に切断・分離する。
かかる切断作業は、例えば、ダイサー等のカッターを用いて一体化された母基板15及び母カバー16を母カバー16側から一括的に切断することによって行われ、これによって複数個の水晶振動子が同時に得られる。尚、母基板15や母カバー16の捨代領域は、複数個の水晶振動子を切り出した後、廃棄される。
この場合、水晶振動子の組み立てに先立って、母基板15や母カバー16を予め個片に分割しておく必要はなく、両者を一括的に分割して複数個の水晶振動子が同時に得られることから、水晶振動子の組み立て工程が大幅に簡素化されるようになり、水晶振動子の生産性向上に供することが可能となる。
しかも、前記母基板15は、水晶振動子の組立に際し、それ自体がキャリアとして機能するようになっていることから、母基板15より分割した個片を個々にキャリアに保持させたり、或いは、各個片にカバー部材を個々に取り付ける等といった煩雑な作業は一切不要であり、これによっても水晶振動子の組み立て工程が大幅に簡素化され、電子装置の生産性向上に供することができる。
また上述した実施形態においては、母基板15の捨代領域に仮止パターン10が被着されており、この仮止パターン10を用いて母カバー16を母基板15に仮止めした後で、各カバー領域12を各基板領域11に接合させるようにしたことから、両領域を接合する際に母カバー16が母基板15に対して位置ずれを起こすのが有効に防止されるようになり、各カバー領域12の外周部を各基板領域11の外周部に対し確実に接合させることができる。これによって水晶振動子の製造歩留まりを高く維持することができる。
更に上述した実施形態においては、仮止パターン10が隣接する基板領域11を区画する境界線の延長線上に存在しないよう配置されているため、母基板15及び母カバー16をダイサー等を用いて前記境界線に沿って一直線状に切断する際、ダイサー等を仮止パターン10に接触させることなく母基板15及び母カバー16を一括的に切断することができ、分割に係る作業性が良好となる。これによっても水晶振動子の生産性を向上させることができるようになる。
また更に上述した工程Cにおいて、母基板15及び母カバー16の切断箇所に両者を接合するろう材9を存在させないでおくようにすれば、ダイサー等を接合材に接触させることなく母基板15及び母カバー16を一括的に切断することができるようになるため、分割に係る作業性が良好となり、これによっても水晶振動子の生産性を向上させることができる利点がある。従って、母基板15及び母カバー16の切断箇所に両者を接合するろう材9を存在させないでおくことが好ましい。
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、上述した実施形態においては、母基板15及び母カバー16を工程Cにおいてカッターで切断する際に母基板側より切断するようにしたが、これに代えて、母カバー16側より切断するようにしても構わない。
また上述した実施形態において、母基板15の隣接する基板領域11間に捨代領域を設けるようにしても良い。この場合、母カバー16にも同様の捨代領域が設けられることとなる。
更に上述した実施形態においては、母カバー16を母基板15に対して仮止めするのにレーザー光を照射するようにしたが、これに代えて、母基板15上に載置させた母カバー15の捨代領域を枠状のカーボン治具等を用いて部分的に加熱することによって仮止めするようにしても良い。
また更に上述した実施形態においては、母カバー16の各カバー領域12の外周部をカーボン治具等のヒータを用いて部分的に加熱することにより各カバー領域12を母基板15の各基板領域11に接合するようにしたが、これに代えて、母カバー16の各カバー領域12を母基板15の各基板領域11に接合させるのに従来周知のシーム溶接(抵抗溶接)を採用するようにしても構わない。
更にまた上述した実施形態においては、母基板15の捨代領域に設けられる仮止パターン10を不連続な環状パターンとして形成するようにしたが、これに代えて、仮止パターン10を図5に示す如く連続的な環状パターンとして形成するようにしても良い。
また更に上述した実施形態においては、電子部品素子として水晶振動素子を用いることにより水晶振動子を構成するようにしたが、それ以外の電子装置、例えば、電子部品素子としてIC素子や他の圧電素子を用いるようにした電子装置においても本発明は適用可能である。
本発明の製造方法によって製作した水晶振動子(電子装置)の斜視図である。 図1の水晶振動子の断面図である。 (a)乃至(c)は本発明の一実施形態にかかる製造方法を説明するための工程毎の断面図である。 本発明の一実施形態に係る製造方法に用いられる母基板15と母カバー16の斜視図である。 本発明の他の実施形態に係る製造方法に用いられる母基板15と母カバー16の斜視図である。 従来の水晶振動子の断面図である。
符号の説明
1・・・基体
2・・・接続パッド
3・・・外部端子
4・・・蓋体
5・・・水晶振動素子(電子部品素子)
6・・・導体パターン
7・・・導電性接着材
8・・・カバー部材
9・・・ろう材層
10・・・仮止パターン
11・・・基板領域
12・・・カバー領域
15・・・母基板
16・・・母カバー

Claims (5)

  1. マトリクス状に配列された複数個の基板領域とこれら複数個の基板領域を囲繞する枠状の捨代領域とを有し、該捨代領域に仮止パターンが被着されている母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、
    前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域、及び前記捨代領域と対応する仮止部を有する金属製の母カバーを前記母基板上に載置させ、前記捨代領域を前記仮止パターンに接合するとともに、前記電子部品素子が被覆されるようにして各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部に接合させる工程Bと、
    前記母基板及び前記母カバーを各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得る工程Cと、を含む電子装置の製造方法。
  2. 前記電子部品素子が水晶振動素子であることを特徴とする請求項1に記載の電子装置の製造方法。
  3. 前記仮止パターンが、隣接する基板領域を区画する境界線の延長線上に存在していないことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子装置の製造方法。
  4. 前記工程Cにおいて、前記母基板及び前記母カバーの切断箇所に両者を接合する接合材が存在していないことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
  5. 前記工程Bにおいて、前記捨代領域を前記仮止パターンに接合した後、各カバー領域の外周部を各基板領域の外周部にシーム溶接にて接合させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子装置の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009135599A (ja) * 2007-11-28 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶デバイス
JP2009272352A (ja) * 2008-04-30 2009-11-19 Fujitsu Media Device Kk 電子デバイスの製造方法
JP2018046046A (ja) * 2016-09-12 2018-03-22 新日本無線株式会社 中空パッケージ及びその製造方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009135599A (ja) * 2007-11-28 2009-06-18 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 表面実装用の水晶デバイス
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