JP2009105422A - 電子装置の製造方法 - Google Patents

電子装置の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2009105422A
JP2009105422A JP2008311928A JP2008311928A JP2009105422A JP 2009105422 A JP2009105422 A JP 2009105422A JP 2008311928 A JP2008311928 A JP 2008311928A JP 2008311928 A JP2008311928 A JP 2008311928A JP 2009105422 A JP2009105422 A JP 2009105422A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mother
cover
substrate
electronic device
crystal resonator
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008311928A
Other languages
English (en)
Inventor
Toshio Nakazawa
利夫 中澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2008311928A priority Critical patent/JP2009105422A/ja
Publication of JP2009105422A publication Critical patent/JP2009105422A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

【課題】組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる電子装置を提供する。
【解決手段】複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域を有する金属製の母カバーを、前記電子部品素子が封止されるようにして前記母基板上に載置・接合する工程Bと、前記母基板及び前記母カバーを前記複数個の基板領域間の境界に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得る工程Cと、を経て電子装置を製造する。
【選択図】図2

Description

本発明は、携帯用通信機器や電子計算機等の電子機器に用いられる水晶振動子等の電子装置に関するものである。
従来より、携帯用通信機器や電子計算機等の電子機器に水晶振動子が用いられている。
かかる従来の水晶振動子としては、例えば図7に示す如く、一対の接続パッドが設けられている絶縁基体21の上面に、前記接続パッドに導電性接着材を介して電気的に接続される一対の振動電極を有した水晶振動素子25と、該水晶振動素子25を囲繞するシールリング26とを取着させるとともに、前記シールリング26の上部に金属製の蓋体27をシーム溶接等で接合することにより水晶振動素子25の搭載領域を気密封止した構造のものが知られており(例えば、特許文献1参照。)、かかる水晶振動子は、絶縁基体21の下面に設けられる入出力端子を介して水晶振動素子25の振動電極間に外部からの変動電圧が印加されると、水晶振動素子25の特性に応じた所定の周波数で厚みすべり振動を起こすようになっており、その共振周波数に基づいて外部の発振回路で所定周波数の基準信号が発振・出力される。このような基準信号は携帯用通信機器等の電子機器におけるクロック信号として利用されることとなる。
また、上述した水晶振動子の絶縁基体21は、複数個の絶縁基体21を切り出すことができる大型の母基板を分割して個片を得る多数個取りの手法によって形成されるようになっており、得られた個片(絶縁基体21)に水晶振動素子25とシールリング26とを取着させた上、シールリング26の上部に蓋体27を接合することによって水晶振動子が製作される。
尚、上述した水晶振動素子の蓋体27も、絶縁基体21と同様に、複数個の蓋体27を切り出すことができる大型の金属板を分割して得るのが一般的であり、水晶振動子の使用時、この蓋体27をグランド電位に保持しておくことにより外部からのノイズが遮蔽される。このような蓋体27は、シールリング26や絶縁基体21の導体パターンを介して絶縁基体21下面のグランド端子に電気的に接続される。
特開2001−274649号公報
しかしながら、上述した従来の水晶振動子においては、その組み立てに先立って、大型の母基板を分割することにより絶縁基体21を、また大型の金属板を分割することにより蓋体27を得ておく必要があり、この2種類の部材をそれぞれ別個の分割工程で得るようにしていたことから、水晶振動子の組み立て工程が煩雑なものとなり、生産性の向上に供しないという欠点を有していた。
また上述したように、絶縁基体21と蓋体27とを事前に準備してから水晶振動子を組み立てる場合、複数個の絶縁基体21を個々にキャリアに保持させるための作業が必要となり、またキャリアに保持させた個々の絶縁基体21上には更に蓋体27を個々に位置合わせをして取り付けなければならず、これによっても水晶振動子の組み立て工程が煩雑なものとなる欠点を有していた。
本発明は上述の欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、組み立て工程を簡略化して
生産性を向上させることができる電子装置を提供することにある。
本発明の電子装置の製造方法は、複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域を有する金属製の母カバーを、前記電子部品素子が封止されるようにして前記母基板上に載置・接合する工程Bと、前記母基板及び前記母カバーを前記複数の基板領域間の境界に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得る工程Cと、を含んでいる。
本発明の電子装置の製造方法によれば、まず各基板領域に電子部品素子が搭載された母基板と該母基板の基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域を有する金属製の母カバーとを準備し、この母カバーを電子部品素子が封止されるようにして前記母基板上に載置・接合し、しかる後、前記母基板及び前記母カバーを各基板領域の外周に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得るようにしたことから、電子装置の組み立てに先立って、基板やカバーを予め個片に分割しておく必要はなく、一括的な分割によって基板とカバーとを同時に切断することができる。
しかもこの場合、電子装置の組み立てに際して、母基板そのものがキャリアとして機能するようになっていることから、母基板より分割した個片を個々にキャリアに保持させたり、或いは、各個片にカバーを個々に取り付けるといった煩雑な作業は一切不要となる。
これにより、電子装置の組み立て工程が大幅に簡素化されるようになり、電子装置の生産性向上に供することが可能となる。
また本発明の電子装置の製造方法によれば、工程Cにおいて母基板及び母カバーの切断箇所に両者を接合する接合材を存在させないでおくようにすれば、母基板及び母カバーの切断に際してダイサーが接合材に接触することは少なく、これによってダイサーとの接触により接合材にクラック等の不具合が生じるのを有効に防止することができる。
以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明の製造方法を水晶振動子の製造に適用した場合に得られる水晶振動子の断面図であり、同図に示す水晶振動子は、大略的に、絶縁基体1と、電子部品素子としての水晶振動素子5と、カバー部材8とで構成されている。
絶縁基体1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料によって上部に開口するキャビティ部を有するように形成されており、その上面側には、キャビティ部底面の一対の接続パッド2とキャビティ開口周縁を囲む接合用の導体層4とが設けられており、また下面側には入力端子、出力端子、グランド端子等の外部端子3が設けられている。
かかる絶縁基体1のキャビティ部底面に設けられている一対の接続パッド2は、その上面側で後述する水晶振動素子5の振動電極6に導電性接着材を介して電気的に接続され、下面側で絶縁基体1上の導体パターンや絶縁基体内部のビア導体等を介して絶縁基体下面の入出力端子(入力端子、出力端子)に電気的に接続される。
一方、前記導体層4は、その上面側で後述するカバー部材8に接合材9を介して電気的に接続され、下面側で絶縁基体内部のビア導体等を介して絶縁基体下面のグランド端子に電気的に接続される。
尚、上述した外部端子は、水晶振動子をマザーボード等の外部電気回路に搭載する際、外部電気回路の回路配線と半田等の導電性接着材を介して電気的に接続されるようになっている。
また、上述した絶縁基体1のキャビティ部底面には水晶振動素子5が搭載される。
水晶振動素子5は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極6を被着・形成してなり、外部からの変動電圧が一対の振動電極6を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こす。
このような水晶振動素子5は、その両主面に被着されている振動電極6と絶縁基体上面の対応する接続パッド2とを導電性接着材7を介して電気的・機械的に接続することによって絶縁基体1のキャビティ部底面に搭載される。
そして更に、絶縁基体1のキャビティ部の開口周縁には、金属から成るカバー部材8が取着されている。カバー部材8としては、42アロイやコバール,リン青銅等を用いれば良く、その下端部をAu−Ni等の接合材9を介して導体層4にロウ付けし、カバー部材8の外周部に沿って絶縁基体1の上面に環状に接合することによって絶縁基体1の上面に取着されている。
カバー部材8は、絶縁基体1とで囲まれる領域に水晶振動素子5を収容して気密封止するためのものであり、また先に述べた導体層4を介して絶縁基体下面のグランド端子に電気的に接続される。よって、水晶振動子の使用時、カバー部材8はグランド電位に保持されることとなり、水晶振動素子5がカバー部材8のシールド効果によって外部からの不要な電気的作用、例えばノイズ等から良好に保護される。
かくして上述した水晶振動子は、絶縁基体1の下面に設けられる入出力端子を介して水晶振動素子5の振動電極6−6間に外部からの変動電圧を印加し、水晶振動素子5の特性に応じた所定の周波数で厚みすべり振動を起こさせることによって水晶振動子として機能し、かかる水晶振動子の共振周波数に基づいて外部の発振回路で所定周波数の基準信号が発振・出力される。そして、このような基準信号は携帯用通信機器等の電子機器におけるクロック信号として利用されることとなる。
次に上述した水晶振動子の製造方法について図2を用いて説明する。
(工程A)
まず、図2(a)に示す如く、マトリクス状に配列された複数個の基板領域を有する母基板15を準備し、母基板15の各基板領域に水晶振動素子5を搭載する。
前記母基板15は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料からなる矩形状の平板状基板が2層積層され、さらにセラミック材料からなるマトリクス状、即ち、縦m列×横n行の行列状に配置された多数の矩形状の孔を有する基板を
積層して形成されており、マトリクス状に配置された前記孔を中心に有する個々の基板領域には、上面側にキャビティ部底面の一対の接続パッド2と開口周縁を囲む接合用の導体層4が被着・形成され、下面側には入出力端子やグランド端子等の外部端子3が被着・形成されている。
このような母基板15は、例えば、アルミナセラミックス等から成るセラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加・混合して得たセラミックグリーンシートの表面等に接続パッド2や外部端子3、導体パターン等となる導体ペーストを所定パターンに印刷・塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。
また、得られた母基板15の各基板領域のキャビティ部底面には水晶振動素子5が1個ずつ搭載され、水晶振動素子5の振動電極6と母基板上面の搭載パッド2とが導電性接着剤7を介して電気的・機械的に接続される。
尚、本実施形態においては、図3に示すように、マトリクス状に配された基板領域の間に所定の捨代領域が設けられている。
(工程B)
次に、図2(b)に示す如く、母基板15の基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域11を有する金属製の母カバー16を、水晶振動素子5が封止されるようにして母基板15上に載置接合する。
前記母カバー16は、例えば、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成る、厚み60μm〜100μmの金属板を従来周知の板金加工にて所定形状に加工することによって製作され、得られた母カバー16には上述した複数個のカバー領域11が母基板15の基板領域と1対1に対応するようにしてマトリクス状に配される。本実施形態においては、この母カバー16にも、母基板15と同様に、所定の捨代領域が設けられている。
このような母カバー16を、各カバー領域11の内側に対応する基板領域の水晶振動素子5が配されるようにして母基板15上に載置させ、しかる後、これを例えば、300℃〜350℃の温度に保たれた加熱炉の中に入れ、前記接合材9を高温で加熱・溶融させることによって母カバー16が母基板15に接合される。その後、一体化された母基板15と母カバー16は徐々に室温まで冷却される。
尚、上述した一連の接合工程は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス雰囲気中で行うのが好ましく、これによって水晶振動素子5が収納される空間には不活性ガスが充満されるため、水晶振動素子5が酸素や大気中の水分等によって腐食・劣化するのを有効に防止することができる。
また、例えば図5に示すように、母カバー16を母基板15上に載置させる際に、母基板15及母カバー16の外周部に設けた捨代領域の4隅部に所定の貫通孔を形成しておき、これらの貫通孔に位置決めピンを嵌挿させることによって母基板15と母カバー16とを位置合わせするようにしても良いし、更には図6に示すように、クリップを用いて母基板15と母カバー16とを仮固定した上で両者を接合し、後述する切断工程においても前記クリップを取り付けておくことで固定用治具として用いるようにしても良い。
(工程C)
そして最後に、図2(c)に示す如く、工程Bにおいて一体化した母基板15及び母カバー16を各基板領域の外周に沿って分割・切断する。
母基板15及び母カバー16の切断は、例えば、ダイサー等を用いて母基板15と母カバー16とを母基板側から一括的に切断することによって行われ、これによって複数個の水晶振動子が同時に得られる。切断の方向としては、上述のように母基板側から行なわず、母カバー16側から行っても良く、切断手段及び母基板15、母カバー16に用いられる材料などとの関係で適当に選択することができる。
このような工程により水晶振動子を製作する場合、水晶振動子の組み立てに先立って、絶縁基体1やカバー部材8を予め個片に分割しておく必要はなく、一括的な分割によって絶縁基体1とカバー部材8とを同時に切断することができる。
しかもこの場合、水晶振動子の組み立てに際して、母基板そのものがキャリアとして機能するようになっていることから、母基板15より分割した個片を個々にキャリアに保持させたり、或いは、各個片にカバー部材8を個々に取り付けるといった煩雑な作業は一切不要となる。
これにより、水晶振動子の組み立て工程が大幅に簡素化されるようになり、水晶振動子の生産性向上に供することが可能となる。
尚、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。
例えば、上述した実施形態において、図4(a)に示す如く、母カバー16に基板領域の外周に沿った溝部19を形成するようにしておけば、この溝部19に沿って母カバー16と母基板15とを切断するだけで、母基板15を基板領域の外周に沿って正確に分割することができる。これによっても水晶振動子の生産性が向上される上に、寸法精度の高い電子装置を得ることができる。従って、母カバー16には基板領域の外周に沿った溝部19を形成しておくことが好ましい。
また上述した実施形態の工程Cにおいて、図4(b)に示す如く、母基板15及び母カバー16の切断箇所に両者を接合する接合材9を存在させないでおくようにすれば、母基板15及び母カバー16の切断に際してダイサーが接合材9に接触することは少なく、これによってダイサーとの接触により接合材9にクラック等の不具合が生じて封止性が劣化するのを有効に防止することができる。従って、工程Cにおいて母基板15及び母カバー16の切断箇所に両者を接合する接合材9を存在させないでおくことが好ましい。
更に上述した実施形態においては、母基板15の基板領域間に捨代領域を設けるようにしたが、間に捨代領域を設けることなく基板領域同士を近接させて配置するようにしても構わない。このことは母カバー16においても同様である。
更にまた上述した実施形態においては、電子部品素子として水晶振動素子を用いることにより水晶振動子を構成するようにしたが、それ以外の電子装置、例えば、電子部品素子としてIC素子や他の圧電素子を用いるようにした電子装置においても本発明は適用可能である。
本発明の製造方法によって製作した水晶振動子(電子装置)の断面図である。 (a)乃至(c)は本発明の一実施形態にかかる製造方法を説明するための断面図である。 本発明の一実施形態にかかる製造方法を説明するための斜視図である。 (a)乃至(b)は本発明の他の実施形態にかかる製造方法を説明するための断面図である。 本発明の他の実施形態にかかる製造方法を説明するための斜視図である。 本発明の他の実施形態にかかる製造方法を説明するための斜視図である。 従来の水晶振動子の断面図である。
符号の説明
1・・・絶縁基体
2・・・接続パッド
3・・・外部端子
4・・・導体層
5・・・水晶振動素子(電子部品素子)
6・・・振動電極
7・・・導電性接着材
8・・・カバー部材
9・・・接合材
11・・・カバー領域
15・・・母基板
16・・・母カバー
19・・・溝部

Claims (4)

  1. 複数個の基板領域を有する母基板を準備し、該母基板の各基板領域に電子部品素子を搭載する工程Aと、
    前記基板領域と1対1に対応する複数個のカバー領域を有する金属製の母カバーを、前記電子部品素子が封止されるようにして前記母基板上に載置・接合する工程Bと、
    前記母基板及び前記母カバーを前記複数の基板領域間の境界に沿って一括的に切断することにより複数個の電子装置を同時に得る工程Cと、
    を含む電子装置の製造方法。
  2. 前記電子部品素子が水晶振動素子であることを特徴とする請求項1に記載の電子装置の製造方法。
  3. 前記工程Cにおいて前記母基板及び前記母カバーの切断箇所に両者を接合する接合材が存在していないことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の電子装置の製造方法。
  4. 前記工程Cにおいて前記母基板及び前記母カバーをダイサーを用いて切断することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の電子装置の製造方法。
JP2008311928A 2003-10-30 2008-12-08 電子装置の製造方法 Pending JP2009105422A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008311928A JP2009105422A (ja) 2003-10-30 2008-12-08 電子装置の製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003369963 2003-10-30
JP2008311928A JP2009105422A (ja) 2003-10-30 2008-12-08 電子装置の製造方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004052154A Division JP4262116B2 (ja) 2003-10-30 2004-02-26 電子装置の製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2009105422A true JP2009105422A (ja) 2009-05-14

Family

ID=40706754

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008311928A Pending JP2009105422A (ja) 2003-10-30 2008-12-08 電子装置の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2009105422A (ja)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11103233A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Citizen Electronics Co Ltd 圧電振動子とその製造方法
JP2002016161A (ja) * 2000-06-27 2002-01-18 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc パッケ−ジ部品とその製造方法、及び該パッケ−ジ部品を用いたパッケ−ジの封止方法。
JP2002100694A (ja) * 2000-09-20 2002-04-05 Daishinku Corp 電子部品用ベース及びそのベースを備えた電子部品並びに電子部品の製造方法
JP2002110833A (ja) * 2000-10-04 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2002246493A (ja) * 2001-02-21 2002-08-30 Nippon Carbide Ind Co Inc 電子部品用パッケージ及びその製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11103233A (ja) * 1997-09-26 1999-04-13 Citizen Electronics Co Ltd 圧電振動子とその製造方法
JP2002016161A (ja) * 2000-06-27 2002-01-18 Sumitomo Metal Electronics Devices Inc パッケ−ジ部品とその製造方法、及び該パッケ−ジ部品を用いたパッケ−ジの封止方法。
JP2002100694A (ja) * 2000-09-20 2002-04-05 Daishinku Corp 電子部品用ベース及びそのベースを備えた電子部品並びに電子部品の製造方法
JP2002110833A (ja) * 2000-10-04 2002-04-12 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP2002246493A (ja) * 2001-02-21 2002-08-30 Nippon Carbide Ind Co Inc 電子部品用パッケージ及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8056198B2 (en) Method of manufacturing electronic device
JP2007060593A (ja) 圧電デバイス及びその製造方法
JP4493382B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP4262116B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP4380419B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP4512186B2 (ja) 圧電振動子の製造方法
JP4262117B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP4585908B2 (ja) 圧電デバイスの製造方法
JP4384546B2 (ja) 電子部品の製造の方法
JP2005347881A (ja) 圧電発振器の製造方法
JP4409361B2 (ja) 電子装置の製造方法
JP4673670B2 (ja) 圧電デバイスの製造方法
JP4113465B2 (ja) 温度補償型水晶発振器の製造方法
JP4549158B2 (ja) 水晶発振器の製造方法
JP2009065205A (ja) 電子装置の製造方法
JP4113459B2 (ja) 温度補償型水晶発振器の製造方法
JP4384567B2 (ja) 温度補償型水晶発振器の製造方法
JP2009105422A (ja) 電子装置の製造方法
JP2007097040A (ja) 圧電振動子及び圧電発振器
JP4472445B2 (ja) 圧電発振器の製造方法
JP2006129303A (ja) 圧電発振器の製造方法
JP2006074291A (ja) 電子装置の製造方法
JP4512185B2 (ja) 圧電発振器の製造方法、及びそのシート型基板
JP2005184759A (ja) 電子装置の製造方法
JP2006129188A (ja) 水晶発振器

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110420

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20110426

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20110627

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110719

A521 Written amendment

Effective date: 20110920

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111018