JP4508001B2 - 温度補正回路 - Google Patents

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Description

本発明は、電子回路の温度特性を補正する温度補正回路に関する。
従来、この種の温度補正回路を備えた回路として、センサ素子によって検知された検出信号を増幅して出力するセンサ用半導体集積回路がある(例えば、特許文献1参照)。
このセンサ用半導体集積回路のブロック構成を図5に示す。半導体集積回路は、複数の抵抗素子を有するブリッジ回路(図示せず)によって構成されたセンサ素子20、センサ素子20のブリッジ回路から入力される検出信号を増幅する増幅部30、センサ素子20の各抵抗素子の抵抗値のばらつきによって生じるオフセットを補正するオフセット補正回路40、センサ素子の各抵抗素子が有する温度特性によって生じるオフセットを補正するオフセット温特補正回路50、外部から入力される信号に基づいて記憶回路70に補正用のデジタルデータを記憶させる制御部60、オフセット補正回路40およびオフセット温特補正回路50の各補正用のデジタルデータを記憶する記憶回路70、センサ素子20に流れる電流を駆動する駆動回路80を備えている。
オフセット補正回路40は、記憶回路70のメモリに記憶されたオフセット補正用のデジタルデータの値に応じてセンサ素子20のブリッジ回路のオフセットを補正するための電圧を増幅部30へ出力する。
オフセット温特補正回路50は、記憶回路70のメモリに記憶されたオフセットの温特補正用のデジタルデータの値に応じてセンサ素子20のブリッジ回路のオフセットの温度特性を補正するための電圧(補正信号電圧)を増幅部30へ出力する。
増幅部30は、センサ素子20から入力される検出信号を増幅するとともにオフセット補正回路40およびオフセット温特補正回路50から入力される各電圧により増幅した信号のオフセットおよびオフセットの温度特性の影響を低減するようになっている。
このように、記憶回路70のメモリに記憶された各補正用デジタルデータによって、オフセットの補正とオフセットの温度特性の補正を別々に調整できるように、オフセット補正回路40とオフセット温特補正回路50が別々に設けられている。
図5に示した半導体集積回路のオフセット温特補正回路50の構成を図6に示す。オフセット温特補正回路50は、抵抗51a〜51gによって構成されるR−2Rラダー抵抗群、ベース抵抗54、抵抗52、53、57〜59およびオペアンプ55、56を備えている。なお、ベース抵抗54は温度変化に伴って抵抗値が変化する感温抵抗によって構成されている。
図7(a)にオペアンプ55の出力端子の電圧V1の温度特性、図7(b)にオペアンプ56の出力端子の電圧V2の温度特性、図7(c)に抵抗58と抵抗59の接続点の電圧(補正信号電圧)V3の温度特性を示す。
R−2Rラダー抵抗群(抵抗51a〜51g)は、記憶回路70のメモリに記憶されたデジタルデータ(LSB〜MSB)の値に応じて合成抵抗の抵抗値が段階的に変化するように構成されている。また、オペアンプ55はボルテージフォロアとして構成されている。したがって、オペアンプ55の出力端子の電圧V1は、記憶回路70メモリから入力されるデジタルデータの値に応じて段階的に変化する。具体的には、図7(a)に示すように、デジタルデータの値が大きい程高くなり、デジタルデータの値が小さい程低くなる。
また、電源電圧Vccを抵抗52、53で分圧した電圧をV0、ベース抵抗54の室温における抵抗値をR1(RT)とすると、ベース抵抗54に流れる電流Iは、数式1で表される。
(数1)
I=(V1−V0)/R1(RT)
また、抵抗57に流れる電流はベース抵抗54に流れる電流Iと等しくなるため、抵抗57の抵抗値をR1とすると、抵抗57の端子間の電圧ΔVは、数式2で表される。
(数2)
ΔV=R1×I=R1(V1−V0)/R1(RT)
数式2より、オペアンプ56の出力端子の電圧V2は、数式3で表される。
(数3)
V2=V0−ΔV=V0―R1(V1−V0)/R1(RT)
数式3より、デジタルデータの値が大きくオペアンプ55の出力端子の電圧V1が電圧V0よりも高い場合、ΔVは正の値となりオペアンプ56の出力端子の電圧V2は相対的に低くなるが、温度上昇に伴ってベース抵抗54の抵抗値R1(RT)が大きくなりΔVの絶対値が小さくなるため、オペアンプ56の出力端子の電圧V2は温度上昇に伴って高くなる。したがって、このオペアンプ56の出力端子の電圧V2は、図7(b)の(デジタルデータ=大)に示すような特性となる。
反対に、デジタルデータの値が小さくオペアンプ55の出力端子の電圧V1が電圧V0よりも低い場合、ΔVは負の値となりオペアンプ56の出力端子の電圧V2は相対的に高くなるが、温度上昇に伴ってベース抵抗54の抵抗値R1(RT)が大きくなりΔVの絶対値が小さくなるため、オペアンプ56の出力端子の電圧V2は温度上昇に伴って低くなる。したがって、このオペアンプ56の出力端子の電圧V2は、図7(b)の(デジタルデータ=小)に示すような特性となる。
また、抵抗58と抵抗59の接続点の電圧(補正信号電圧)V3は、電圧V2と電圧V1の中間の電圧となるため、図7(c)に示すように、室温ではデジタルデータの値と関係なく一定値となり、室温以外ではデジタルデータの値に応じて傾きの異なる電圧特性となる。
増幅部30は、このようなデジタルデータの値に応じて傾きの異なる電圧特性を有する補正信号電圧V3を用いてセンサ素子20のオフセットの温度特性を補正するようになっている。
特開2003−110367号公報
センサ素子20の各抵抗素子は、センサ素子20毎にその抵抗値の温度特性のばらつきが異なるため、センサ素子20毎にオフセットの温度特性を調整する作業が必要となる。この調整は、補正信号電圧をモニターしながら記憶回路70のメモリに補正データ(デジタルデータ)を書き換えて、最適な補正データを探すことにより行われる。
しかし、上記したような構成では、オペアンプ55、56を備えた構成となっているため、オペアンプの応答遅れによる回路の動作遅れが生じるといった問題がある。この結果、調整に時間がかかってしまう。
本発明は上記問題に鑑みたもので、オペアンプを用いることなく温度補正回路を実現することを目的とする。
また、本発明は、温度変化に伴って抵抗値が変化する感温抵抗と、当該感温抵抗よりも抵抗値の温度変化の小さな第1の固定抵抗と、を有し、第1の固定抵抗の一端と感温抵抗の一端は互いに接続されており、第1の固定抵抗の他端を電源および接地のいずれか一方の第1の電位に固定する第1の電位固定手段と、感温抵抗の他端を第1の電位と逆の第2の電位に固定する第2の電位固定手段と、を備えた回路が、互いの第1の固定抵抗と感温抵抗の接続点間に設けられた第2の固定抵抗を介して多段に接続され、最終段の第1の固定抵抗の一端と感温抵抗の一端の接続点が出力端子に接続されており、第1の固定抵抗の抵抗値は第2の固定抵抗の抵抗値の4倍となっていることを特徴としている。
このように、上記回路が互いの第1の固定抵抗と感温抵抗の接続点間に設けられた第2の固定抵抗を介して多段に接続されているので、各回路の第1の電位固定手段および第2の電位固定手段によって固定される第1、第2の電位によって出力端子の電圧に対する感温抵抗の影響を段階的に変化させることができる。
また、多段接続された回路の複数の感温抵抗はサーミスタによって構成されており、複数の感温抵抗は周囲を金属製のカバーで覆うことにより、感温抵抗間の温度差の低減を図ることができる。
また、感温抵抗の室温時の抵抗値は第1の固定抵抗の抵抗値と同一となっているので、室温時における出力端子の電位を、第1の電位固定手段によって固定される第1の電位および第2の電位固定手段によって固定される第2の電位と関係なく電源と接地の中点電位とすることができる。
また、第1、2電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号論理レベルに応じて第1、第2の電位を固定するので、出力端子の電圧特性を容易に変更することができる。
また、第1の電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号と同じ論理レベルの信号を出力するロジックバッファによって構成することができ、第2の電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号と逆の論理レベルの信号を出力するロジックインバータによって構成することができる。
本発明の一実施形態に係る温度補正回路の回路構成を図1に示す。この温度補正回路1は、半導体集積回路として構成されている。温度補正回路1は、温度特性を有しない固定抵抗10a、11a、12a、13a、14〜16と、温度特性を有する感温抵抗10b、11b、12b、13bと、ロジックバッファ17a、18a、19aと、ロジックインバータ17b、18b、19bを備えている。
固定抵抗10a、11a、12a、13a、14〜16には、抵抗温度係数(TCR)の小さな薄膜抵抗が用いられ、感温抵抗10b、11b、12b、13bには、固定抵抗10a、11a、12a、13a、14〜16よりも抵抗温度係数(TCR)の大きな拡散抵抗が用いられている。具体的には、固定抵抗として、抵抗温度係数(TCR)がほぼ0ppm/℃となるCrSi(クロムシリコン)薄膜抵抗が用いられており、感温抵抗として、ベース拡散を用いて抵抗温度係数(TCR)が2000ppm/℃程度となるように形成された拡散抵抗が用いられている。
また、固定抵抗14〜16の各抵抗値をRとした場合、固定抵抗10a、11a、12a、13aの各抵抗値は4Rとなるように構成されており、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は、室温(例えば、25℃)において4Rとなるように構成されている。また、本実施形態における感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は温度上昇に伴って大きくなるように構成されている。また、感温抵抗10b、11b、12b、13bは、各感温抵抗間の温度差の低減を図るため、互いに近接して配置されている。
図1に示すように、電源端子Vccと接地端子GND間に、直列接続された固定抵抗10aと感温抵抗10bが設けられている。
固定抵抗10aと感温抵抗10bの接続点Aには、固定抵抗11aの一端と感温抵抗11bの一端がそれぞれ接続されている。また、固定抵抗11aの他端にはロジックバッファ17aの出力端子が接続され、感温抵抗11bの他端にはロジックインバータ17bの出力端子が接続されている。
ロジックバッファ17aは、外部から入力されるデジタルデータのLSBの電位に応じて固定抵抗11aの他端を電源または接地のいずれか一方の電位に固定する。また、ロジックインバータ17bは、感温抵抗11bの他端をロジックバッファ17aの出力端子と逆の電位に固定する。
また、固定抵抗10aと感温抵抗10bの接続点Aには、固定抵抗14を介して固定抵抗12aの一端と感温抵抗12bの一端がそれぞれ接続されている。固定抵抗12aの他端にはロジックバッファ18aの出力端子が接続され、感温抵抗12bの他端にはロジックインバータ18bの出力端子が接続されている。
ロジックバッファ18aは、外部から入力されるデジタルデータの中間ビットの電位に応じて固定抵抗12aの他端を電源または接地のいずれか一方の電位に固定する。また、ロジックインバータ18bは、感温抵抗12bの他端をロジックバッファ18aの出力端子と逆の電位に固定する。
また、固定抵抗12aと感温抵抗12bの接続点Bには、固定抵抗15を介して固定抵抗13aの一端と感温抵抗13bの一端がそれぞれ接続されている。固定抵抗13aの他端にはロジックバッファ19aの出力端子が接続され、感温抵抗13bの他端にはロジックインバータ19bの出力端子が接続されている。
ロジックバッファ19aは、外部から入力されるデジタルデータのMSBの電位に応じて固定抵抗13aの他端を電源または接地のいずれか一方の電位に固定する。また、ロジックインバータ19bは、感温抵抗13bの他端をロジックバッファ19aの出力端子と逆の電位に固定する。
また、固定抵抗12aと感温抵抗12bの接続点Cは、固定抵抗16を介して出力端子に接続されている。
このように、固定抵抗11a、感温抵抗11b、ロジックバッファ17a、ロジックインバータ17bを備えた回路に、固定抵抗12a、感温抵抗12b、ロジックバッファ18a、ロジックインバータ18bを備えた回路と、固定抵抗13a、感温抵抗12b、ロジックバッファ19a、ロジックインバータ19bを備えた回路とが、それぞれ固定抵抗14、15を介して多段接続されている。
また、ロジックバッファ17aとロジックインバータ17bの各入力端子、ロジックバッファ18aとロジックインバータ18bの各入力端子、ロジックバッファ19aとロジックインバータ19bの各入力端子は、それぞれ互いに接続されており、これらの各入力端子には、デジタル端子群Pを介して外部のメモリ(図示せず)から3ビットの補正データ(デジタルデータ)が入力される。具体的には、ロジックバッファ17aとロジックインバータ17bの各入力端子には、補正データのLSBが入力され、ロジックバッファ18aとロジックインバータ18bの各入力端子には、補正データの中間ビットが入力され、ロジックバッファ19aとロジックインバータ19bの各入力端子には、補正データのMSBが入力される。
上記した構成において、外部から全ビットがハイレベルの補正データが入力された場合の等価回路を図2(a)に示す。図に示すように、電源端子Vcc側に固定抵抗10a、11a、12a、13aが接続され、接地端子GND側に感温抵抗10b、11b、12b、13bが接続された回路として表される。
室温の場合、接続点A、B、Cおよび出力端子OUTの電位は、それぞれ電源端子Vccの電位の半分、すなわち電源端子Vccの電位の中点電位となる。
周囲温度が室温よりも低下すると、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は小さくなり、接続点A、B、Cおよび出力端子OUTの電圧は低下する。
反対に、周囲温度が室温よりも上昇すると、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は大きくなり、接続点A、B、Cおよび出力端子OUTの電圧は上昇する。
次に、外部から全ビットがローレベルの補正データが入力された場合について説明する。このようにローレベルの補正データが入力された場合の等価回路を図2(b)に示す。図に示すように、電源端子Vcc側に固定抵抗10a、感温抵抗11b、12b、13bが接続され、接地端子GND側に感温抵抗10b、固定抵抗11a、12a、13aが接続された回路として表される。
室温の場合、接続点A、B、Cおよび出力端子OUTの電圧は、それぞれ電源端子Vccの電圧の半分、すなわち源端子Vccの電圧の中点電圧となる。
周囲温度が室温よりも低下すると、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は小さくなり、接続点Aの電圧は感温抵抗10bと感温抵抗11bの各抵抗値の変化によって相殺されるため一定となるが、接続点B、Cおよび出力端子OUTの電圧は上昇する。
反対に、周囲温度が室温よりも上昇すると、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値は大きくなり、接続点Aの電圧は感温抵抗10bと感温抵抗11bの各抵抗値の変化によって相殺されるため一定となるが、接続点B、Cおよび出力端子OUTの電圧は低下する。
このように、温度補正回路1は、外部から入力される補正データの値に応じて、固定抵抗11a、12a、13aおよび感温抵抗11b、12b、13bが電源端子Vcc側に接続されるか、接地端子GND側に接続されるかが異なる。したがって、補正データの値に応じて、出力端子OUTから出力される電圧の温度特性を正負いずれの方向にも変化させることができる。
また、感温抵抗11bは抵抗14〜16を介して出力端子OUTに接続され、感温抵抗12bは抵抗15、16を介して出力端子OUTに接続され、感温抵抗13bは抵抗16を介して出力端子OUTに接続されている。このように抵抗14〜16が設けられているため、各感温抵抗11b〜13bの抵抗値の変化による出力端子OUTの電圧への影響は、感温抵抗13b、12b、11bの順に小さくなる。
したがって、補正データの値を(000)、(001)、(010)、…、(111)のように順番に変化させることにより、補正データの全ビットをハイレベルに設定した場合と全ビットをローレベルに設定した場合の間で、出力端子OUTから出力される電圧の温度特性を段階的に変化させることができる。なお、(000)は、MSB、中間ビット、LSBの全ビットがローレベル、(001)は、MSBと中間ビットがローレベルで、LSBがハイレベル、(111)は、MSB、中間ビット、LSBの全ビットがハイレベルを意味する。
従って、出力端子OUTから出力される電圧の温度特性は、図7(c)に示した特性と同様の特性となる。
次に、図5に示したセンサ用半導体集積回路に温度補正回路1を適用した場合におけるセンサ素子20のオフセットの温度特性の調整について説明する。
まず、室温(例えば、25℃)においてセンサ用半導体集積回路の増幅部30から出力される電圧を計測し、電源端子Vccの中点電位となっていることを確認する。なお、室温では温度補正回路1の出力電圧は記憶回路70から入力される補正データの設定値と関係なく一定となり、増幅部30の出力の電圧に影響しないため、温度補正回路1の補正データの値はいくつに設定されていてもよい。
次に、センサ用半導体集積回路の周囲温度を室温と異なる温度(例えば、100℃)に変化させ、センサ用半導体集積回路の増幅部30から出力される電圧を計測する。
ここで、室温で計測した電圧と室温と異なる温度で計測した電圧の差は、センサ素子20のオフセットの温度特性によるものと考えることができる。
したがって、センサ用半導体集積回路の増幅部30から出力される電圧が室温に計測された電圧と同じになるような補正データを探して温度補正回路1の記憶回路70のメモリに記憶させる。これにより、センサ用半導体集積回路の増幅部30から出力される電圧が周囲温度の変化の影響を受けないようにすることができる。
このように、室温と異なる温度に変化させたときのセンサ用半導体集積回路の増幅部30から出力される電圧が室温で計測された電圧と同じになるような補正データを探して温度補正回路1の記憶回路70のメモリに記憶させることによって、センサ素子20のオフセットの温度特性を補正することができる。
本実施形態に係る温度補正回路1は、上記したようなセンサ用半導体集積回路の他に、定電流回路にも適用することができる。次に、温度補正回路1を定電流回路に適用した場合の作動について説明する。温度補正回路1を用いた定電流回路の構成を図3に示す。定電流回路は、温度補正回路1、ダーリントン接続されたトランジスタ2、3および抵抗4を備えている。
トランジスタ2のベースに温度補正回路1の出力電圧が印加されると、この印加電圧に応じた定電流(コレクタ電流Ic)が流れるように構成されている。
ここで、温度補正回路1の出力端子の電圧をV4、トランジスタ2、3の各ベース−エミッタ間電圧をVbe、抵抗4の抵抗値をRLとすると、コレクタ電流Icは、数式4で表される。
(数4)
Ic=(V4−2Vbe)/RL
また、トランジスタ2、3の各ベース−エミッタ間電圧Vbeは、−2mV/℃程度の温度特性を有している。したがって、温度補正回路1の出力電圧の特性を調整することにより、周囲温度が変化しても定電流(コレクタ電流Ic)を一定にすることができる。
上記した構成によれば、温度補正回路1は、温度変化に伴って抵抗値が変化する感温抵抗11bと、この感温抵抗11bよりも抵抗値の温度変化の小さな固定抵抗11aと、を有し、固定抵抗11aと感温抵抗11bは互いに接続され、固定抵抗11aの他端を電源および接地のいずれか一方の第1の電位に固定するロジックバッファ17aと、感温抵抗11bの他端を第1の電位と逆の第2の電位に固定するロジックインバータ17bと、を備えている。
このように、ロジックバッファ17aによって固定抵抗11aの他端が電源および接地のいずれか一方の第1の電位に固定され、ロジックインバータ17bによって感温抵抗11bの他端が第1の電位と逆の第2の電位に固定されるので、温度変化に伴って感温抵抗11bの抵抗値が変化し、固定抵抗11aと感温抵抗11bの接続点の電位も変化する。したがって、オペアンプを用いることなく温度補正回路を実現することができる。この結果、オペアンプを用いて温度補正回路を構成したときに生じる回路の動作遅れをなくすことができる。
なお、上記実施形態における構成と特許請求の範囲の構成との対応関係について説明すると、固定抵抗11a、12a、13aが第1の固定抵抗に相当し、固定抵抗14、15が第2の固定抵抗に相当し、固定抵抗16が第3の固定抵抗に相当し、ロジックバッファ17a、18a、19aが第1の電位固定手段に相当し、ロジックインバータ17b、18b、19bが第2の電位固定手段に相当する。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々なる形態で実施することができる。
例えば、上記実施形態では、温度補正回路1をセンサ用半導体集積回路や定電流回路に適用した例を示したが、例えば、ピエゾ抵抗素子を用いた圧力センサ、容量式加速度センサ、MREを用いた回転角センサ等の各種センサや、温度変化によって出力信号特性が変化する周波数調整回路等、各種電子回路に適用することができる。
また、上記実施形態では、CrSiによって構成された固定抵抗を用いた例を示したが、例えば、poly、チタンタングステン、ニッケルクロム等によって構成される薄膜抵抗を用いてもよい。
また、上記実施形態では、3ビットのデジタルデータに応じて傾きの異なる温度特性を有する電圧を出力する場合を例に示したが、3ビット未満のデジタルデータに応じて傾きの異なる温度特性を有する電圧を出力する構成としてもよい。例えば、デジタルデータが1ビットのみの場合、図1に示した回路のうち、固定抵抗11a、感温抵抗11b、ロジックバッファ17aおよびロジックインバータ17bのみによって回路を構成し、固定抵抗11aと感温抵抗11bの接続点が出力端子に接続されるように構成すればよい。
また、上記実施形態では、3ビットのデジタルデータに応じて傾きの異なる温度特性を有する電圧を出力するため、固定抵抗11a、感温抵抗11b、ロジックバッファ17a、ロジックインバータ17bを備えた回路に、固定抵抗12a、感温抵抗12b、ロジックバッファ18a、ロジックインバータ18bを備えた回路と、固定抵抗13a、感温抵抗12b、ロジックバッファ19a、ロジックインバータ19bを備えた回路とが、それぞれ固定抵抗14、15を介して多段接続された例を示したが、4ビット以上のデジタルデータに対応して傾きの異なる温度特性を有する電圧を出力する構成としてもよい。この場合、多段接続する回路を追加して構成すればよい。
また、感温抵抗の数が多くなると感温抵抗の配置によっては各感温抵抗間の温度差が大きくなることが考えられるため、感温抵抗をクロス配置するのが好ましい。例えば、図4に示すように、感温抵抗11bを並列接続された4つの感温抵抗110b、111b、112b、113bによって構成し、感温抵抗12bを並列接続された4つの感温抵抗120b、121b、122b、123bによって構成し、感温抵抗13bを並列接続された4つの感温抵抗130b、131b、132b、133bによって構成した場合、各感温抵抗をクロス配置するのが好ましい。
また、上記実施形態では、温度補正回路1が半導体集積回路として構成された例を示したが、例えば、ハイブリッド回路として構成してもよい。この場合、例えば、感温抵抗としてサーミスタ等を用いることができる。また、ハイブリッド回路として構成する場合、図4に示すように熱伝導率の高いアルミニウム製のカバー5を用いて感温抵抗を覆い、各感温抵抗間の温度差の低減を図るのが好ましい。
また、上記実施形態では、直列接続された固定抵抗10aと感温抵抗10bのうち、固定抵抗10aが電源端子Vcc側に配置され、感温抵抗10bが接地端子GND側に配置された例を示したが、感温抵抗10bを電源端子Vcc側に配置し、固定抵抗10aを接地端子GND側に配置してもよい。
また、上記実施形態では、感温抵抗10b、11b、12b、13bの各抵抗値が温度上昇に伴って大きくなるように構成した例を示したが、各抵抗値が温度上昇に伴って小さくなるように構成してもよい。
また、上記実施形態では、第1の電位固定手段としてのロジックバッファ17a、18a、19aおよび第2の電位固定手段としてのロジックインバータ17b、18b、19bを用いて固定抵抗11a、12a、13aと感温抵抗11b、12b、13bの端子電位を電源と接地のいずれか一方の電位に固定する例を示したが、ロジックバッファ17a、18a、19a、ロジックインバータ17b、18b、19bを用いることなく、例えば、電源端子に接続されたランドパターンと接地端子に接続されたランドパターンを基板上に形成し、これらのランドパターンと各抵抗の端子間の必要箇所を半田等を用いてショートさせることによって、固定抵抗11a、12a、13aと感温抵抗11b、12b、13bの端子電位を電源と接地のいずれか一方の電位に固定してもよい。この場合、各ランドパターンと各抵抗の端子間の必要箇所をショートさせる半田等によって第1、2の電位固定手段を構成することができる。
また、上記実施形態では、電源端子Vccと接地端子GND間に、直列接続された固定抵抗10aと感温抵抗10bを設けた例を示したが、固定抵抗10aと感温抵抗10bを設けない構成としてもよい。この場合、固定抵抗11a〜13a、14〜16および感温抵抗11b〜13bの各抵抗値を見直すことにより、温度補正回路1全体のインピーダンスを適当な値にすることができる。
また、上記実施形態では、固定抵抗と感温抵抗を、抵抗温度係数(TCR)の小さなCrSi薄膜抵抗と抵抗温度係数(TCR)が2000ppm/℃程度の感温抵抗を用いて構成した例を示したが、固定抵抗として用いられる抵抗の抵抗温度係数(TCR)は必ずしも0ppm/℃である必要はなく、例えば、固定抵抗として抵抗温度係数(TCR)が1000ppm/℃程度の抵抗を用いて構成してもよい。
本発明の一実施形態に係る温度補正回路の回路構成を示す図である。 (a)は全ビットがハイレベルの補正データが入力された場合の等価回路を示す図、(b)は全ビットがローレベルの補正データが入力された場合の等価回路を示す図である。 温度補正回路を定電流回路に適用した場合の構成例を示す図である。 感温抵抗の数が多い場合の感温抵抗の配置例を示す図である。 背景技術のセンサ用半導体集積回路のブロック構成を示す図である。 背景技術のセンサ用半導体集積回路のオフセット温特補正回路の回路構成を示す図である。 背景技術のセンサ用半導体集積回路のオフセット温特補正回路の各ポイントの温度特性を示す図である。
符号の説明
1…温度補正回路、10a〜13a、14〜16…固定抵抗、
10b〜13b…感温抵抗、17a〜19a…ロジックバッファ、
17b〜19b…ロジックインバータ。

Claims (7)

  1. 温度変化に伴って抵抗値が変化する感温抵抗と、当該感温抵抗よりも抵抗値の温度変化の小さな第1の固定抵抗と、を有し、前記第1の固定抵抗の一端と前記感温抵抗の一端は互いに接続されており、
    前記第1の固定抵抗の他端を電源および接地のいずれか一方の第1の電位に固定する第1の電位固定手段と、前記感温抵抗の他端を前記第1の電位と逆の第2の電位に固定する第2の電位固定手段と、を備えた回路が、互いの前記第1の固定抵抗と前記感温抵抗の接続点間に設けられた第2の固定抵抗を介して多段に接続され、最終段の前記第1の固定抵抗の一端と前記感温抵抗の一端の接続点が出力端子に接続されており、前記第1の固定抵抗の抵抗値は前記第2の固定抵抗の抵抗値の4倍となっていることを特徴とする温度補正回路。
  2. 前記多段接続された初段の回路の前記感温抵抗と前記第1の固定抵抗との接続点に一端が接続され、他端が電源端子に接続された第1の固定抵抗と、
    前記初段の回路の前記感温抵抗と前記第1の固定抵抗との接続点に一端が接続され、他端が接地端子に接続された感温抵抗と、を備えたことを特徴とする請求項に記載の温度補正回路。
  3. 前記多段接続された最終段の回路の前記第1の固定抵抗と前記感温抵抗の接続点と前記出力端子との間に第3の固定抵抗を備えたことを特徴とする請求項またはに記載の温度補正回路。
  4. 前記多段接続された回路の複数の感温抵抗はサーミスタによって構成されており、前記複数の感温抵抗は周囲を金属製のカバーで覆われていることを特徴とする請求項ないしのいずれか1つに記載の温度補正回路。
  5. 前記感温抵抗の室温時の抵抗値は前記第1の固定抵抗の抵抗値と同一であることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つに記載の温度補正回路。
  6. 前記第1、2電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号論理レベルに応じて前記第1、第2の電位を固定することを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つに記載の温度補正回路。
  7. 前記第1の電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号と同じ論理レベルの信号を出力するロジックバッファによって構成され、前記第2の電位固定手段は、外部から入力されるデジタル信号と逆の論理レベルの信号を出力するロジックインバータによって構成されていることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1つに記載の温度補正回路。
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