WO2020059246A1

WO2020059246A1 - センサ処理回路及びセンサシステム

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Publication number: WO2020059246A1
Application number: PCT/JP2019/026345
Authority: WO
Inventors: 新村　雄一; 修造池田
Original assignee: パナソニックＩｐマネジメント株式会社
Priority date: 2018-09-21
Filing date: 2019-07-02
Publication date: 2020-03-26

Abstract

本開示の課題は、圧力センサの検出電圧へのノイズの影響を低減しやすくすることにある。センサ処理回路（１９は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）と、増幅回路（２）と、インピーダンス変換回路（８）と、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）と、を備える。増幅回路（２）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に入力される検出電圧（Ｖ１）を増幅する。インピーダンス変換回路（８）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）と増幅回路（２）との間に介在し、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）から見た入力インピーダンスと増幅回路（２）から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う。２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）は、インピーダンス変換回路（８）と増幅回路（２）との接続点である一対の対象点（Ｐ５，Ｐ６）間において電気的に直列に接続されている。２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の接続点（Ｐ１０）が基準電位点（Ｐ２０）に電気的に接続されている。

Description

センサ処理回路及びセンサシステム

　本開示は、一般にセンサ処理回路及びセンサシステムに関し、より詳細には、ブリッジ回路を有する抵抗変化型の圧力センサ用のセンサ処理回路、及びそれを備えるセンサシステムに関する。

　特許文献１には、ブリッジ回路構成の抵抗からなる圧力センサ用の回路として、オフセット補正回路と、差動増幅型の増幅器と、を備えている。オフセット補正回路は、圧力センサの出力オフセット電圧低減用の基準電圧を生成する。増幅器は、オフセット補正回路からの基準電圧で出力オフセット電圧を低減しながら、圧力センサの検出電圧を増幅する。増幅器は、標準型の差動増幅回路の基準電位に対して、オフセット補正回路で生成された基準電圧をボルテージホロワにて重畳することで、出力オフセット電圧を低減する。

　しかし、特許文献１に記載の構成では、基準電圧を生成する電圧源（オフセット補正回路）がノイズの発生源となることがあり、圧力センサの検出電圧へのノイズの影響を低減しにくいという問題がある。

特開２００１－９１３７３号公報

　本開示は、上記事由に鑑みてなされており、圧力センサの検出電圧へのノイズの影響を低減しやすいセンサ処理回路及びセンサシステムを提供することを目的とする。

　本開示の一態様に係るセンサ処理回路は、一対の入力端子と、増幅回路と、インピーダンス変換回路と、２つの抵抗成分と、を備える。前記一対の入力端子は、圧力センサの一対の出力点に電気的に接続される。前記圧力センサは、複数の抵抗素子を含むブリッジ回路を有し、圧力に応じた検出電圧を前記ブリッジ回路の前記一対の出力点から出力する抵抗変化型の圧力センサである。前記増幅回路は、前記一対の入力端子に入力される前記検出電圧を増幅する。前記インピーダンス変換回路は、前記一対の入力端子と前記増幅回路との間に介在する。前記インピーダンス変換回路は、前記一対の入力端子から見た入力インピーダンスと前記増幅回路から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う。前記２つの抵抗成分は、前記インピーダンス変換回路と前記増幅回路との接続点である一対の対象点間において電気的に直列に接続されている。前記２つの抵抗成分の接続点が基準電位点に電気的に接続されている。

　本開示の一態様に係るセンサシステムは、前記センサ処理回路と、前記圧力センサと、を備える。

図１は、実施形態１に係るセンサシステムの概略構成を示す回路図である。図２は、同上のセンサシステムのセンサ処理回路の要部を示す回路図である。図３は、実施形態２に係るセンサシステムの概略構成を示す回路図である。図４は、実施形態３に係るセンサシステムの概略構成を示す回路図である。図５は、同上のセンサシステムのセンサ処理回路の要部を示す回路図である。図６は、実施形態４に係るセンサシステムの概略構成を示す回路図である。図７は、参考例に係るセンサシステムの概略構成を示す回路図である。

　（実施形態１）
　（１）概要
　本実施形態に係るセンサ処理回路１は、図１に示すように、圧力センサ１０と共にセンサシステム１００を構成する。言い換えれば、センサシステム１００は、センサ処理回路１と、圧力センサ１０と、を備えている。

　圧力センサ１０は、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４を含むブリッジ回路１０１を有する。圧力センサ１０は、圧力に応じた検出電圧Ｖ１をブリッジ回路１０１の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４から出力する抵抗変化型のセンサである。本実施形態では、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４は、いずれも圧力センサ１０に作用する圧力に応じて抵抗値が変化する素子である。ブリッジ回路１０１は、これら複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４からなるホイートストンブリッジ（Wheatstone Bridge）である。そのため、ブリッジ回路１０１の一対の入力点Ｐ１，Ｐ２に駆動電圧Ｖｄ１が印加された状態で、圧力センサ１０に圧力が作用すると、ブリッジ回路１０１の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間の電位差が変化する。すなわち、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の抵抗値のバランスが変化することで、ブリッジ回路１０１の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４からは、圧力に応じた検出電圧Ｖ１が出力される。

　センサ処理回路１は、圧力センサ１０に電気的に接続され、圧力センサ１０から出力される検出電圧Ｖ１に対して、例えば、増幅及び補正等の適宜の処理を実行する回路である。

　本実施形態に係るセンサ処理回路１は、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２と、増幅回路２と、インピーダンス変換回路８と、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７と、を備えている。一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２は、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４に電気的に接続される。増幅回路２は、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に入力される検出電圧Ｖ１を増幅する。インピーダンス変換回路８は、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２と増幅回路２との間に介在する。インピーダンス変換回路８は、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２から見た入力インピーダンスと増幅回路２から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う。２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、一対の対象点Ｐ５，Ｐ６間において電気的に直列に接続されている。一対の対象点Ｐ５，Ｐ６は、インピーダンス変換回路８と増幅回路２との接続点である。ここで、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０が基準電位点Ｐ２０に電気的に接続されている。本開示でいう「抵抗成分」は、電気抵抗を有していればよく、例えば、抵抗器、半導体スイッチのオン抵抗、配線抵抗若しくはスイッチトキャパシタ等、又はこれらの組み合わせによって実現される。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、圧力センサ１０の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間において、インピーダンス変換回路８を介して電気的に直列に接続されることになる。言い換えれば、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、ブリッジ回路１０１における複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４のうち、一対の抵抗素子Ｒｓ１，Ｒｓ３（又はＲｓ２，Ｒｓ４）の直列回路の両端間において、インピーダンス変換回路８を介して電気的に直列に接続される。そして、これら２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０は、基準電位点Ｐ２０の電位に固定されているため、これら２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２に入力される検出電圧Ｖ１の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１のオフセット値を調整することが可能である。本開示でいう「オフセット値」は、圧力センサ１０に作用する圧力の大きさが所定値（０を含む）であるときの検出電圧Ｖ１の大きさである。

　要するに、本実施形態に係るセンサ処理回路１によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、本実施形態に係るセンサ処理回路１では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ１０の検出電圧Ｖ１へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。

　さらに、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７が接続されている一対の対象点Ｐ５，Ｐ６は、インピーダンス変換回路８と増幅回路２との接続点である。言い換えれば、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２と２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７との間には、インピーダンス変換回路８が介在している。インピーダンス変換回路８は、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２から見た入力インピーダンスと、増幅回路２から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う。そのため、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０のインピーダンスと、一対の対象点Ｐ５，Ｐ６に接続される２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７のインピーダンスとは、インピーダンス変換回路８にて切り離されることになる。したがって、例えば、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０が変わったとしても、圧力センサ１０から見た２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値、及び２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７から見た圧力センサ１０の抵抗値は変わらない。その結果、本実施形態に係るセンサ処理回路１では、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０の抵抗値によらず、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値にて、オフセット値を適切に調整しやすくなる。

　（２）詳細
　以下に、本実施形態に係るセンサ処理回路１及びそれを備えるセンサシステム１００の構成について、図１及び図２を参照して詳細に説明する。センサシステム１００は、圧力センサ１０で圧力を測定することにより、例えば、重量計及び荷重計（ロードセル）等に用いられる。センサシステム１００は、圧力センサ１０に物理的に加えられる圧力の測定用途に限らず、例えば、気圧計、水圧計又は高度計等にも使用可能である。

　（２．１）圧力センサ
　まず、本実施形態に係るセンサシステム１００の圧力センサ１０の構成について説明する。

　圧力センサ１０は、上述したようにブリッジ回路１０１を有する抵抗変化型のセンサである。ブリッジ回路１０１は、複数（ここでは４つ）の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４を含むホイートストンブリッジである。より詳細には、図１に示すように、ブリッジ回路１０１の一対の入力点Ｐ１，Ｐ２間には、抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ２が電気的に直列に接続され、かつ抵抗素子Ｒｓ３及び抵抗素子Ｒｓ４が電気的に直列に接続されている。さらに、ブリッジ回路１０１の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間には、抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ３が電気的に直列に接続され、かつ抵抗素子Ｒｓ２及び抵抗素子Ｒｓ４が電気的に直列に接続されている。

　言い換えれば、抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ３の接続点が入力点Ｐ１となり、抵抗素子Ｒｓ２及び抵抗素子Ｒｓ４の接続点が入力点Ｐ２となる。さらに、抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ２の接続点が出力点Ｐ３となり、抵抗素子Ｒｓ３及び抵抗素子Ｒｓ４の接続点が出力点Ｐ４となる。本実施形態では一例として、入力点Ｐ１を高電位側、入力点Ｐ２を低電位（グランド）側とする直流電圧が、駆動電圧Ｖｄ１として圧力センサ１０に印加される。詳しくは後述するが、本実施形態では、圧力センサ１０のブリッジ回路１０１に駆動電圧Ｖｄ１を印加する機能は、センサ処理回路１にある。

　これにより、一対の入力点Ｐ１，Ｐ２に駆動電圧Ｖｄ１が印加された状態で、抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ４の両抵抗値の積と、抵抗素子Ｒｓ２及び抵抗素子Ｒｓ３の両抵抗値の積と、が等しければ、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４の電位差はゼロ（０）である。一方、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の各々の抵抗値が変化し、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の抵抗値のバランスが変化すると、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４に電位差が生じる。したがって、一対の入力点Ｐ１，Ｐ２に駆動電圧Ｖｄ１が印加された状態で、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４からは、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の抵抗値のバランスに応じた検出電圧Ｖ１が出力される。

　ここで、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の各々は、受圧部としてのダイヤフラムが形成された半導体基板（例えばシリコン基板）において、ダイヤフラム上に配置されたゲージ抵抗（ピエゾ抵抗）である。このような構成では、圧力センサ１０に圧力が作用することでダイヤフラムが変形すると、ダイヤフラムの変形に伴って複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４に応力が作用し、ピエゾ抵抗効果により、複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の各々の抵抗値が変化する。４つの抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の各々は、金属ゲージでもよいし、拡散等により半導体基板に形成された半導体ゲージであってもよい。

　上述した構成によれば、ブリッジ回路１０１に駆動電圧Ｖｄ１が印加された状態で、圧力センサ１０に圧力が作用すると、ブリッジ回路１０１の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間の電位差が変化し、圧力センサ１０からは、圧力に応じた検出電圧Ｖ１が出力される。

　（２．２）センサ処理回路の基本構成
　次に、本実施形態に係るセンサ処理回路１の基本構成について説明する。センサ処理回路１は、圧力センサ１０に電気的に接続され、圧力センサ１０から出力される検出電圧Ｖ１に対して、例えば、増幅及び補正等の適宜の処理を実行する回路である。さらに、本実施形態では、センサ処理回路１は、上述したように、圧力センサ１０のブリッジ回路１０１に駆動電圧Ｖｄ１を印加する機能を有する。

　センサ処理回路１は、上述したように、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２と、増幅回路２と、インピーダンス変換回路８と、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７と、を備えている。また、本実施形態では、センサ処理回路１は、ＡＤ変換器３（図では「ＡＤＣ」と表記）、補正部４、出力部５、電源回路６及び接続端子Ｔ３を更に備えている。ここで、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、検出電圧Ｖ１のオフセット値を調整するためのオフセット調整回路７を構成する。オフセット調整回路７（２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）について詳しくは「（２．３）オフセット調整回路」の欄で説明する。

　本実施形態では一例として、センサ処理回路１は、特定の用途向けに複数の回路を１つにまとめた集積回路であるＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）にて実現される。すなわち、本実施形態では、増幅回路２、ＡＤ変換器３、補正部４、出力部５、電源回路６、オフセット調整回路７及びインピーダンス変換回路８は、ＡＳＩＣとして一体化されている。

　一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２は、上述したように、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４に電気的に接続される。ここでは、入力端子Ｔ１は、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４のうち出力点Ｐ３、つまり抵抗素子Ｒｓ１及び抵抗素子Ｒｓ２の接続点に電気的に接続されている。入力端子Ｔ２は、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４のうち出力点Ｐ４、つまり抵抗素子Ｒｓ３及び抵抗素子Ｒｓ４の接続点に電気的に接続されている。そのため、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２には、圧力センサ１０から検出電圧Ｖ１が入力される。本開示でいう「端子」は、電線等を接続するための部品でなくてもよく、例えば、電子部品のリード、又は回路基板に含まれる導体の一部等であってもよい。

　増幅回路２は、上述したように、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に入力される検出電圧Ｖ１を増幅する回路である。増幅回路２は、インピーダンス変換回路８を介して、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に電気的に接続されており、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２間に生じた電圧（検出電圧Ｖ１）を所定のゲインで増幅し、増幅後の電圧を出力電圧Ｖ２として出力する。増幅回路２は、差動入力に対して差動出力を行う差動アンプである。

　本実施形態では一例として、増幅回路２は、第１演算増幅器２１、第２演算増幅器２２、複数（ここでは５つ）の抵抗Ｒ１～Ｒ５、及びコンデンサＣ１を有している。第１演算増幅器２１の非反転入力端子は後述する第３演算増幅器８１の出力端子に電気的に接続され、第２演算増幅器２２の非反転入力端子は後述する第４演算増幅器８２の出力端子に電気的に接続されている。これにより、第１演算増幅器２１の非反転入力端子はインピーダンス変換回路８を介して入力端子Ｔ１に電気的に接続され、第２演算増幅器２２の非反転入力端子はインピーダンス変換回路８を介して入力端子Ｔ２に電気的に接続される。

　抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は、第１演算増幅器２１の出力端子と第２演算増幅器２２の出力端子との間において、電気的に直列に接続されている。これら抵抗Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３は、第１演算増幅器２１の出力端子側から抵抗Ｒ１、抵抗Ｒ２、抵抗Ｒ３の順で接続されている。ここで、第１演算増幅器２１の出力端子は、抵抗Ｒ１を介して第１演算増幅器２１の反転入力端子と電気的に接続されている。第２演算増幅器２２の出力端子は、抵抗Ｒ３を介して第２演算増幅器２２の反転入力端子と電気的に接続されている。言い換えれば、第１演算増幅器２１の反転入力端子と、第２演算増幅器２２の反転入力端子とは、抵抗Ｒ２を介して電気的に接続される。

　また、第１演算増幅器２１の出力端子は、抵抗Ｒ４を介してコンデンサＣ１の第１端に接続されている。第２演算増幅器２２の出力端子は、抵抗Ｒ５を介してコンデンサＣ１の第２端に接続されている。言い換えれば、第１演算増幅器２１の出力端子と第２演算増幅器２２の出力端子との間には、抵抗Ｒ４、コンデンサＣ１及び抵抗Ｒ５が、電気的に直列に接続されている。

　上記構成により、増幅回路２は、増幅後の電圧（出力電圧Ｖ２）を、コンデンサＣ１の両端（第１端及び第２端）間に発生する。つまり、コンデンサＣ１の両端電圧が、増幅回路２で増幅後の出力電圧Ｖ２となる。

　ＡＤ変換器３は、増幅回路２から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル信号を出力する。ＡＤ変換器３は、コンデンサＣ１の両端間に電気的に接続されている。これにより、ＡＤ変換器３には、コンデンサＣ１の両端間に発生する出力電圧Ｖ２がアナログ信号として入力される。増幅回路２は、上述したように差動出力を行う差動アンプであるので、ＡＤ変換器３は、差動電圧信号である出力電圧Ｖ２からデジタル信号への変換を行うことになる。したがって、増幅回路２から出力される出力電圧Ｖ２が、ＡＤ変換器３の入力値におけるダイナミックレンジ（つまりフルスケールレンジ）を超えない限り、ＡＤ変換器３からは、出力電圧Ｖ２に対応するデジタル信号（デジタル値）が出力される。

　補正部４は、デジタル信号に対して補正処理を実行する。補正部４は、ＡＤ変換器３の出力に電気的に接続されている。補正部４は、例えばＤＳＰ（Digital Signal Processor）にて実現される。ここで、補正部４が実行する補正処理としては、例えば、感度温度特性に関する補正、オフセット温度特性に関する補正、及び非線形－線形補正等がある。感度温度特性に関する補正は、温度による圧力センサ１０の感度変化について補正する処理である。オフセット温度特性に関する補正は、温度による圧力センサ１０のオフセット値の変化について補正する処理である。非線形－線形補正は、圧力センサ１０に作用する圧力と圧力センサ１０から出力された検出電圧Ｖ１との間の非線形成分を補正する処理である。本実施形態に係るセンサ処理回路１では、これらの補正処理をデジタル信号に対して行うことにより、回路規模の小型化を図ることが可能である。

　出力部５は、補正部４の出力に電気的に接続されている。出力部５は、補正部４で補正後のデジタル信号を出力する。出力部５による出力の態様としては、例えば、端子からの出力、通信（有線通信及び無線通信を含む）による出力、記録媒体への書込みによる出力、又は表示出力等、適宜の態様を採用可能である。

　電源回路６は、圧力センサ１０のブリッジ回路１０１に駆動電圧Ｖｄ１を印加する回路である。具体的には、電源回路６は、リニアレギュレータであって、本実施形態で一例として、低ドロップアウト（LDO：Low Drop Out）にて実現される。

　接続端子Ｔ３は、電源回路６の出力に電気的に接続されている。また、接続端子Ｔ３は、一対の入力点Ｐ１，Ｐ２のうち高電位側の入力点Ｐ１に電気的に接続される。ここで、圧力センサ１０における一対の入力点Ｐ１，Ｐ２のうち低電位側の入力点Ｐ２は、センサ処理回路１と共通のグランドに接続される。そのため、圧力センサ１０の一対の入力点Ｐ１，Ｐ２には、センサ処理回路１の電源回路６から駆動電圧Ｖｄ１が印加される。図１では、一対の入力点Ｐ１，Ｐ２のうち高電位側の入力点Ｐ１に接続される接続端子Ｔ３のみを図示しているが、センサ処理回路１は、実際には、低電位側の入力点Ｐ２に接続される接続端子、つまりグランド端子も備えている。

　インピーダンス変換回路８は、上述したように、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２と増幅回路２との間に介在する。言い換えれば、インピーダンス変換回路８の入力側は一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に電気的に接続され、インピーダンス変換回路８の出力側は増幅回路２に電気的に接続されている。

　本開示でいうインピーダンス変換回路８の「入力インピーダンス」は、インピーダンス変換回路８を入力側、つまり一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２側から見たときのインピーダンス変換回路８のインピーダンスである。一方、本開示でいうインピーダンス変換回路８の「出力インピーダンス」は、インピーダンス変換回路８を出力側、つまり増幅回路２側から見たときのインピーダンス変換回路８のインピーダンスである。そして、インピーダンス変換回路８は、入力インピーダンスと出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う回路である。要するに、インピーダンス変換回路８を入力側（つまり一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２側）から見た入力インピーダンスと、インピーダンス変換回路８を出力側（つまり増幅回路２側）から見た出力インピーダンスとの間では、インピーダンスの変換が行われる。インピーダンス変換回路８における増幅回路２との接続点は、一対の対象点Ｐ５，Ｐ６となる。一対の対象点Ｐ５，Ｐ６間には、後述するオフセット調整回路７（２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）が電気的に接続されている。

　ここにおいて、インピーダンス変換回路８は、少なくとも入力インピーダンスが、インピーダンス変換回路８から見た一対の対象点Ｐ５，Ｐ６のインピーダンスよりも大きくなるように、インピーダンス変換を行う。つまり、インピーダンス変換回路８を入力側（つまり一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２側）から見た入力インピーダンスは、インピーダンス変換回路８から見たオフセット調整回路７（２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）のインピーダンスよりも大きい。これにより、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２から見た、オフセット調整回路７（２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）側のインピーダンスは、インピーダンス変換回路８が介在することで大きくなる。

　さらにまた、インピーダンス変換回路８の入力インピーダンスは、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２間に電気的に接続される圧力センサ１０のインピーダンスより、十分に大きい（理想的には無限大）。これに対して、インピーダンス変換回路８の出力インピーダンスは、一対の対象点Ｐ５，Ｐ６間に電気的に接続されるオフセット調整回路７（２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）のインピーダンスより、十分に小さい（理想的には０）。

　本実施形態では一例として、インピーダンス変換回路８は、第３演算増幅器８１、第４演算増幅器８２、及び複数（ここでは５つ）の抵抗Ｒ１１～Ｒ１５を有している。第３演算増幅器８１の非反転入力端子は入力端子Ｔ１に電気的に接続され、第４演算増幅器８２の非反転入力端子は入力端子Ｔ２に電気的に接続されている。

　抵抗Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３は、第３演算増幅器８１の出力端子と第４演算増幅器８２の出力端子との間において、電気的に直列に接続されている。これら抵抗Ｒ１１，Ｒ１２，Ｒ１３は、第３演算増幅器８１の出力端子側から抵抗Ｒ１１、抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１３の順で接続されている。ここで、第３演算増幅器８１の出力端子は、抵抗Ｒ１１及び抵抗Ｒ１４を介して第３演算増幅器８１の反転入力端子と電気的に接続されている。第４演算増幅器８２の出力端子は、抵抗Ｒ１３及び抵抗Ｒ１５を介して第４演算増幅器８２の反転入力端子と電気的に接続されている。言い換えれば、第３演算増幅器８１の反転入力端子と、第４演算増幅器８２の反転入力端子との間には、抵抗Ｒ１４、抵抗Ｒ１２及び抵抗Ｒ１５が電気的に直列に接続されている。

　ここで、抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５はいずれも、抵抗値が固定ではなく、抵抗値が変更可能である。抵抗Ｒ１２は、第３演算増幅器８１及び第４演算増幅器８２間のオフセット調整用の抵抗である。抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５は、それぞれ第３演算増幅器８１及び第４演算増幅器８２のゲイン調整用の抵抗である。インピーダンス変換回路８は、増幅回路２と同様に、差動入力に対して差動出力を行う差動アンプを構成する。

　抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５は、例えば、可変抵抗器又は半固定抵抗器等で実現可能である。ただし、本実施形態では、センサ処理回路１はＡＳＩＣにて実現されるため、抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５は、後述する抵抗成分Ｒ６，Ｒ７と同様に、一例として、ラダー抵抗にて実現される（図２参照）。

　また、第３演算増幅器８１の出力端子は、第１演算増幅器２１の非反転入力端子に接続されている。第３演算増幅器８１の出力端子と第１演算増幅器２１の非反転入力端子との接続点が対象点Ｐ５である。第４演算増幅器８２の出力端子は、第２演算増幅器２２の非反転入力端子に接続されている。第４演算増幅器８２の出力端子と第２演算増幅器２２の非反転入力端子との接続点が対象点Ｐ６である。言い換えれば、第３演算増幅器８１及び第４演算増幅器８２の出力端子は、増幅回路２に電気的に接続されている。

　上記構成により、インピーダンス変換回路８は、少なくとも入力インピーダンスが、インピーダンス変換回路８から見た一対の対象点Ｐ５，Ｐ６のインピーダンスよりも大きくなるように、インピーダンス変換を行う。

　（２．３）オフセット調整回路
　次に、本実施形態に係るセンサ処理回路１におけるオフセット調整回路７の構成について詳しく説明する。

　オフセット調整回路７は、検出電圧Ｖ１のオフセット値（圧力センサ１０に作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧Ｖ１の大きさ）を調整するための回路である。ここでは一例として、所定値がゼロ（０）であるとき、つまり圧力センサ１０に圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１の大きさを「オフセット値」とする。そして、オフセット調整回路７は、このようなオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整することと仮定する。つまり、ここでは、圧力センサ１０に圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１がゼロ（０）となるように、オフセット調整回路７がオフセット値を調整する場合を想定する。ここで、圧力の大きさがゼロ（０）である状態は、圧力センサ１０のダイヤフラムに作用する重力等を考慮するため、圧力センサ１０を、鉛直方向に対して実際の設置姿勢となるように、大気圧中に置いた状態とすることが好ましい。

　オフセット調整回路７は、上述したように２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７を有している。これら２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、一対の対象点Ｐ５，Ｐ６間において電気的に直列に接続されている。つまり、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、インピーダンス変換回路８を介して、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に電気的に接続されている。これら抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、対象点Ｐ５側から抵抗成分Ｒ６、抵抗成分Ｒ７の順で接続されている。また、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０は、基準電位点Ｐ２０に電気的に接続されている。言い換えれば、対象点Ｐ５と基準電位点Ｐ２０との間には、抵抗成分Ｒ６が電気的に接続され、対象点Ｐ６と基準電位点Ｐ２０との間には、抵抗成分Ｒ７が電気的に接続されている。

　本実施形態では、基準電位点Ｐ２０は、ブリッジ回路１０１において駆動電圧Ｖｄ１が印加される一対の入力点Ｐ１，Ｐ２のうちの高電位側の入力点Ｐ１と同電位である。つまり、基準電位点Ｐ２０は、入力点Ｐ１と電気的に等価になる点である。本実施形態では、基準電位点Ｐ２０は、接続端子Ｔ３に電気的に接続されており、接続端子Ｔ３に圧力センサ１０が接続されることにより、入力点Ｐ１と同電位になる。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、圧力センサ１０の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間において電気的に直列に接続されることになる。そして、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、ブリッジ回路１０１における複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４のうち、一対の抵抗素子Ｒｓ１，Ｒｓ３の直列回路の両端間において、インピーダンス変換回路８を介して電気的に直列に接続される。しかも、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０は、一対の抵抗素子Ｒｓ１，Ｒｓ３の接続点である入力点Ｐ１と同電位の基準電位点Ｐ２０に電気的に接続されている。つまり、抵抗成分Ｒ６は、抵抗素子Ｒｓ１が接続された入力点Ｐ１及び出力点Ｐ３間において、第３演算増幅器８１と電気的に直列に接続される。抵抗成分Ｒ７は、抵抗素子Ｒｓ３が接続された入力点Ｐ１及び出力点Ｐ４間において、第４演算増幅器８２と電気的に直列に接続される。

　そのため、これら２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２に入力される検出電圧Ｖ１の大きさが変化する。要するに、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比が変化すれば、抵抗素子Ｒｓ１，Ｒｓ３の抵抗値の比を変化させた場合と同様に、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間の電位差が変化し、検出電圧Ｖ１の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１のオフセット値を調整することが可能である。

　言い換えれば、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、圧力センサ１０に作用する圧力の大きさが所定値（ここでは０）であるときの検出電圧Ｖ１の大きさであるオフセット値を調整するように構成されている。特に、本実施形態では、オフセット調整回路７は、圧力センサ１０に圧力が作用していないときのオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整する。つまり、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、オフセット値を小さくするように構成されている。オフセット値が小さくなれば、増幅回路２から出力される出力電圧Ｖ２が、ＡＤ変換器３の入力値におけるダイナミックレンジを超えにくくなる。２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、センサ処理回路１の中で、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７が無い場合に比べて、オフセット値を小さくするように作用すればよく、オフセット値を完全にゼロ（０）とすることは必須ではない。

　ここにおいて、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方は、抵抗値が可変である。つまり、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方については、抵抗値が固定ではなく、抵抗値が変更可能である。本実施形態では、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７のいずれも抵抗値が可変に構成されている。このように、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方の抵抗値が可変であることにより、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比を任意のタイミングで調整でき、結果的に、検出電圧Ｖ１のオフセット値を任意のタイミングで調整することが可能である。

　抵抗値が可変の抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、例えば、可変抵抗器又は半固定抵抗器等で実現可能である。ただし、本実施形態では、センサ処理回路１はＡＳＩＣにて実現されるため、抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、一例として、図２に示すように構成される。

　すなわち、図２に示すように、抵抗成分Ｒ６は、複数（ここでは５つ）の抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５を含むラダー抵抗にて実現されている。複数の抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５は、対象点Ｐ５及び接続点Ｐ１０間において電気的に直列に接続されている。さらに、複数の抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５のうちの抵抗要素Ｒ６２～Ｒ６５には、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５が電気的に並列に接続されている。つまり、複数の抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５は、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５と共にラダー抵抗を構成し、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５の各々のオン／オフの切替えにより抵抗成分Ｒ６の抵抗値を変化させる。例えば、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５の全てがオフであれば、抵抗成分Ｒ６の抵抗値は複数の抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５の合成抵抗となる。一方、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５のうちスイッチＱ６１，Ｑ６２のみがオンであれば、抵抗要素Ｒ６２がバイパスされるため、抵抗成分Ｒ６の抵抗値は複数の抵抗要素Ｒ６１，Ｒ６３～Ｒ６５の合成抵抗となる。

　同様に、抵抗成分Ｒ７は、複数（ここでは５つ）の抵抗要素Ｒ７１～Ｒ７５を含むラダー抵抗にて実現されている。複数の抵抗要素Ｒ７１～Ｒ７５は、対象点Ｐ６及び接続点Ｐ１０間において電気的に直列に接続されている。さらに、複数の抵抗要素Ｒ７１～Ｒ７５のうちの抵抗要素Ｒ７２～Ｒ７５には、複数のスイッチＱ７１～Ｑ７５が電気的に並列に接続されている。つまり、複数の抵抗要素Ｒ７１～Ｒ７５は、複数のスイッチＱ７１～Ｑ７５と共にラダー抵抗を構成し、複数のスイッチＱ７１～Ｑ７５の各々のオン／オフの切替えにより抵抗成分Ｒ７の抵抗値を変化させる。

　すなわち、オフセット調整回路７は、上述したように構成されるラダー抵抗の接続関係を切り替えることにより、抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の各々の抵抗値を変化させることが可能である。ここで、複数のスイッチＱ６１～Ｑ６５，Ｑ７１～Ｑ７５の切替えについては、センサ処理回路１の外部から入力される制御信号にて行われることが好ましい。抵抗要素Ｒ６１～Ｒ６５及び抵抗要素Ｒ７１～Ｒ７５の各々は、例えば、拡散抵抗等により実現される。ただし、図２の回路構成は本実施形態の一例に過ぎず、例えば、具体的な接続関係、及び抵抗要素の数等を限定する趣旨ではない。

　上述した構成のオフセット調整回路７によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、本実施形態に係るセンサ処理回路１では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ１０の検出電圧Ｖ１へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。さらに、センサ処理回路１によれば、受動素子（抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）のみでオフセット調整回路７を実現できるため、基準電圧を生成する電圧源（オフセット補正回路）を有する構成に比べて、回路構成の簡略化を図ることも可能である。

　ところで、例えば、圧力センサ１０に要求される感度及び温度特性により、圧力センサ１０としては、抵抗値が異なる複数種類のセンサが存在する。一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２には、これら複数種類のセンサのうちのいずれかのセンサが、圧力センサ１０として接続される。そのため、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０が変わると、圧力センサ１０の抵抗値も変化する場合がある。この場合に、インピーダンス変換回路８が無ければ、つまりオフセット調整回路７が直接的に一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続されていれば、圧力センサ１０の抵抗値とオフセット調整回路７における２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値との比が変化する。そうすると、オフセット調整回路７における２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値が一定量だけ変化したときの、オフセット値の調整幅が異なることになる。例えば、圧力センサ１０の抵抗値が大きくなると、オフセット値の調整の分解能は向上するが、オフセット値のダイナミックレンジは小さくなる。一方、圧力センサ１０の抵抗値が小さくなると、オフセット値のダイナミックレンジは大きくなるが、オフセット値の調整の分解能が低下する。その結果、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０の抵抗値によっては、オフセット調整回路７における２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値にて、オフセット値を適切に調整できないケースが生じ得る。

　本実施形態に係るセンサ処理回路１によれば、オフセット調整回路７と一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２との間には、入力インピーダンスと出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う、インピーダンス変換回路８が介在している。そのため、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０のインピーダンスと、オフセット調整回路７（抵抗成分Ｒ６，Ｒ７）のインピーダンスとは、インピーダンス変換回路８にて切り離されることになる。したがって、例えば、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０が変わったとしても、圧力センサ１０から見たオフセット調整回路７の２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値、及びオフセット調整回路７から見た圧力センサ１０の抵抗値は変わらない。その結果、本実施形態に係るセンサ処理回路１では、一対の入力端子Ｔ１，Ｔ２に接続される圧力センサ１０の抵抗値によらず、オフセット調整回路７における２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値にて、オフセット値を適切に調整しやすくなる。

　（３）変形例
　実施形態１は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。実施形態１は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

　センサ処理回路１は、例えば、補正部４等の一部の構成要素が、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とするコンピュータにて実現されていてもよい。この場合、メモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、センサ処理回路１の一部の機能が実現される。プログラムは、コンピュータのメモリに予め記録されていてもよいが、電気通信回線を通じて提供されてもよいし、コンピュータで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１ないし複数の電子回路で構成される。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。

　また、センサ処理回路１は、ＡＳＩＣのように一体化された構成に限らず、例えば、基板上に別々に実装される複数の回路にて実現されていてもよい。さらに、例えば、補正部４等、センサ処理回路１の一部の機能が、他の機能から分離して設けられていてもよく、この場合、複数の機能間の情報（データ）のやり取りは、通信により実現可能である。さらに、補正部４等、センサ処理回路１の少なくとも一部の機能は、例えば、サーバ装置又はクラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。反対に、センサシステム１００を構成する圧力センサ１０とセンサ処理回路１とは、１つの筐体内に集約されて一体化されていてもよい。

　また、実施形態１では、所定値がゼロ（０）であるとき、つまり圧力センサ１０に圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１の大きさを「オフセット値」としたが、この構成に限らない。すなわち、オフセット調整回路７で調整されるオフセット値は、圧力センサ１０に作用する圧力の大きさがゼロ以外の所定値であるときの検出電圧Ｖ１の大きさであってもよい。例えば、センサシステム１００、容器に収容された物体の重量を測定する重量計に用いられる場合において、容器を除く内容物の重量のみを測定するには、容器分の重量に相当する圧力が圧力センサ１０に作用した状態で、オフセット値が調整される。オフセット調整回路７は、このようなオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整してもよい。言い換えれば、圧力センサ１０に圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１については、あるオフセット値が付与されることになる。

　また、ブリッジ回路１０１を構成する複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の全てが圧力に応じて抵抗値が変化する素子であることは、圧力センサ１０に必須の構成ではない。つまり、ブリッジ回路１０１を構成する複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４の少なくとも１つが、圧力に応じて抵抗値が変化する素子であればよい。

　また、電源回路６は、定電圧を発生する定電圧源に限らず、例えば、定電流を発生する定電流源であってもよい。電源回路６が定電流源である場合においても、圧力センサ１０のブリッジ回路１０１の一対の入力点Ｐ１，Ｐ２間に定電流が流れることで、一対の入力点Ｐ１，Ｐ２間には駆動電圧Ｖｄ１が印加されることになる。

　また、オフセット調整回路７は、少なくとも２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７を備えていればよく、抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の数は２つに限らない。すなわち、センサ処理回路１は、オフセット調整回路７として少なくとも２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７を備えていればよく、３つ以上の抵抗成分を備えていてもよい。

　また、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方の抵抗値が可変であればよく、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の一方の抵抗値は固定であってもよい。２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の一方の抵抗値が固定であっても、他方の抵抗値を任意のタイミングで調整することで、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比を任意のタイミングで調整できる。

　また、そもそも２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方の抵抗値が可変であることは、センサ処理回路１に必須の構成ではなく、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値はいずれも固定であってもよい。両方の抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値が固定である場合でも、例えば、センサ処理回路１の製造過程において、レーザトリミング等により、抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の少なくとも一方の抵抗値を調節することで、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比を調整可能である。これにより、検出電圧Ｖ１のオフセット値を調整することが可能である。

　また、実施形態１では、ＡＤ変換器３に増幅回路２からの差動出力（出力電圧Ｖ２）が入力されているが、この構成に限らず、増幅回路２は差動信号をシングルエンド信号に変換してＡＤ変換器３に出力してもよい。つまり、増幅回路２は、オフセット調整回路７としての２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７が接続される入力側において差動信号に対応していればよく、出力側においては、差動出力に限らずシングルエンド信号であってもよい。

　また、インピーダンス変換回路８において、抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５の抵抗値が変更可能であることは、センサ処理回路１に必須の構成ではなく、抵抗Ｒ１２、抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５の少なくとも１つの抵抗値が固定であってもよい。さらに、第３演算増幅器８１及び第４演算増幅器８２のゲイン調整用の抵抗Ｒ１４及び抵抗Ｒ１５は、センサ処理回路１に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

　（実施形態２）
　本実施形態に係るセンサシステム１００Ａは、図３に示すように、センサ処理回路１Ａにおけるオフセット調整回路７Ａの構成が、実施形態１に係るセンサシステム１００と相違する。以下、実施形態１と同様の構成については、共通の符号を付して適宜説明を省略する。

　本実施形態に係るセンサ処理回路１Ａでは、オフセット調整回路７Ａにおける２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０は、基準電位点Ｐ３０に電気的に接続されている。基準電位点Ｐ３０は、ブリッジ回路１０１において駆動電圧Ｖｄ１が印加される一対の入力点Ｐ１，Ｐ２のうちの低電位側の入力点Ｐ２と同電位である。つまり、基準電位点Ｐ３０は、入力点Ｐ２と電気的に等価になる点である。本実施形態では、基準電位点Ｐ３０は、グランドに電気的に接続されており、圧力センサ１０がセンサ処理回路１と共通のグランドに接続されることにより、入力点Ｐ２と同電位になる。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、圧力センサ１０の一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間において電気的に直列に接続されることになる。そして、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７は、ブリッジ回路１０１における複数の抵抗素子Ｒｓ１～Ｒｓ４のうち、一対の抵抗素子Ｒｓ２，Ｒｓ４の直列回路の両端間において、インピーダンス変換回路８を介して電気的に直列に接続される。しかも、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の接続点Ｐ１０は、一対の抵抗素子Ｒｓ２，Ｒｓ４の接続点である入力点Ｐ２と同電位の基準電位点Ｐ３０に電気的に接続されている。つまり、抵抗成分Ｒ６は、抵抗素子Ｒｓ２が接続された入力点Ｐ２及び出力点Ｐ３間において、第３演算増幅器８１と電気的に直列に接続される。抵抗成分Ｒ７は、抵抗素子Ｒｓ４が接続された入力点Ｐ２及び出力点Ｐ４間において、第４演算増幅器８２と電気的に直列に接続される。

　そのため、これら２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２に入力される検出電圧Ｖ１の大きさが変化する。要するに、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比が変化すれば、抵抗素子Ｒｓ２，Ｒｓ４の抵抗値の比を変化させた場合と同様に、一対の出力点Ｐ３，Ｐ４間の電位差が変化し、検出電圧Ｖ１の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６，Ｒ７の抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１のオフセット値を調整することが可能である。

　実施形態２で説明した構成は、実施形態１で説明した種々の構成（変形例を含む）と適宜組み合わせて採用可能である。
（実施形態３）
　（１）概要
　本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘは、図４に示すように、圧力センサ１０Ｘと共にセンサシステム１００Ｘを構成する。言い換えれば、センサシステム１００Ｘは、センサ処理回路１Ｘと、圧力センサ１０Ｘと、を備えている。

　圧力センサ１０Ｘは、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘを含むブリッジ回路１０１Ｘを有する。圧力センサ１０Ｘは、圧力に応じた検出電圧Ｖ１Ｘをブリッジ回路１０１Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘから出力する抵抗変化型のセンサである。本実施形態では、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘは、いずれも圧力センサ１０Ｘに作用する圧力に応じて抵抗値が変化する素子である。ブリッジ回路１０１Ｘは、これら複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘからなるホイートストンブリッジ（Wheatstone Bridge）である。そのため、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加された状態で、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用すると、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間の電位差が変化する。すなわち、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの抵抗値のバランスが変化することで、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘからは、圧力に応じた検出電圧Ｖ１Ｘが出力される。

　センサ処理回路１Ｘは、圧力センサ１０Ｘに電気的に接続され、圧力センサ１０Ｘから出力される検出電圧Ｖ１Ｘに対して、例えば、増幅及び補正等の適宜の処理を実行する回路である。

　本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘは、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘと、増幅回路２Ｘと、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘと、を備えている。一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘは、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘに電気的に接続される。増幅回路２Ｘは、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘに入力される検出電圧Ｖ１Ｘを増幅する。２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ間において電気的に直列に接続されている。ここで、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘが基準電位点Ｐ２０Ｘに電気的に接続されている。本開示でいう「抵抗成分」は、電気抵抗を有していればよく、例えば、抵抗器、半導体スイッチのオン抵抗、配線抵抗若しくはスイッチトキャパシタ等、又はこれらの組み合わせによって実現される。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、圧力センサ１０Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間において電気的に直列に接続されることになる。言い換えれば、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、ブリッジ回路１０１Ｘにおける複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘのうち、一対の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ，Ｒｓ３Ｘ（又はＲｓ２Ｘ，Ｒｓ４Ｘ）と電気的に並列に接続される。そして、これら２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘは、基準電位点Ｐ２０Ｘの電位に固定されているため、これら２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２Ｘに入力される検出電圧Ｖ１Ｘの大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を調整することが可能である。本開示でいう「オフセット値」は、圧力センサ１０Ｘに作用する圧力の大きさが所定値（０を含む）であるときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさである。

　要するに、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘによれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘを用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘでは、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ１０Ｘの検出電圧Ｖ１Ｘへのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。

　（２）詳細
　以下に、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘ及びそれを備えるセンサシステム１００Ｘの構成について、図４及び図５を参照して詳細に説明する。センサシステム１００Ｘは、圧力センサ１０Ｘで圧力を測定することにより、例えば、重量計及び荷重計（ロードセル）等に用いられる。センサシステム１００Ｘは、圧力センサ１０Ｘに物理的に加えられる圧力の測定用途に限らず、例えば、気圧計、水圧計又は高度計等にも使用可能である。

　（２．１）圧力センサ
　まず、本実施形態に係るセンサシステム１００Ｘの圧力センサ１０Ｘの構成について説明する。

　圧力センサ１０Ｘは、上述したようにブリッジ回路１０１Ｘを有する抵抗変化型のセンサである。ブリッジ回路１０１Ｘは、複数（ここでは４つ）の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘを含むホイートストンブリッジである。より詳細には、図４に示すように、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘ間には、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ２Ｘが電気的に直列に接続され、かつ抵抗素子Ｒｓ３Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘが電気的に直列に接続されている。さらに、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間には、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ３Ｘが電気的に直列に接続され、かつ抵抗素子Ｒｓ２Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘが電気的に直列に接続されている。

　言い換えれば、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ３Ｘの接続点が入力点Ｐ１Ｘとなり、抵抗素子Ｒｓ２Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘの接続点が入力点Ｐ２Ｘとなる。さらに、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ２Ｘの接続点が出力点Ｐ３Ｘとなり、抵抗素子Ｒｓ３Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘの接続点が出力点Ｐ４Ｘとなる。本実施形態では一例として、入力点Ｐ１Ｘを高電位側、入力点Ｐ２Ｘを低電位（グランド）側とする直流電圧が、駆動電圧Ｖｄ１Ｘとして圧力センサ１０Ｘに印加される。詳しくは後述するが、本実施形態では、圧力センサ１０Ｘのブリッジ回路１０１Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘを印加する機能は、センサ処理回路１Ｘにある。

　これにより、一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加された状態で、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘの両抵抗値の積と、抵抗素子Ｒｓ２Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ３Ｘの両抵抗値の積と、が等しければ、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘの電位差はゼロ（０）である。一方、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの各々の抵抗値が変化し、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの抵抗値のバランスが変化すると、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘに電位差が生じる。したがって、一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加された状態で、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘからは、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの抵抗値のバランスに応じた検出電圧Ｖ１Ｘが出力される。

　ここで、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの各々は、受圧部としてのダイヤフラムが形成された半導体基板（例えばシリコン基板）において、ダイヤフラム上に配置されたゲージ抵抗（ピエゾ抵抗）である。このような構成では、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用することでダイヤフラムが変形すると、ダイヤフラムの変形に伴って複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘに応力が作用し、ピエゾ抵抗効果により、複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの各々の抵抗値が変化する。４つの抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの各々は、金属ゲージでもよいし、拡散等により半導体基板に形成された半導体ゲージであってもよい。

　上述した構成によれば、ブリッジ回路１０１Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加された状態で、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用すると、ブリッジ回路１０１Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間の電位差が変化し、圧力センサ１０Ｘからは、圧力に応じた検出電圧Ｖ１Ｘが出力される。

　（２．２）センサ処理回路の基本構成
　次に、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘの基本構成について説明する。センサ処理回路１Ｘは、圧力センサ１０Ｘに電気的に接続され、圧力センサ１０Ｘから出力される検出電圧Ｖ１Ｘに対して、例えば、増幅及び補正等の適宜の処理を実行する回路である。さらに、本実施形態では、センサ処理回路１Ｘは、上述したように、圧力センサ１０Ｘのブリッジ回路１０１Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘを印加する機能を有する。

　センサ処理回路１Ｘは、上述したように、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘと、増幅回路２Ｘと、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘと、を備えている。また、本実施形態では、センサ処理回路１Ｘは、ＡＤ変換器３Ｘ（図では「ＡＤＣ」と表記）、補正部４Ｘ、出力部５Ｘ、電源回路６Ｘ及び接続端子Ｔ３Ｘを更に備えている。ここで、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を調整するためのオフセット調整回路７Ｘを構成する。オフセット調整回路７Ｘ（２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）について詳しくは「（２．３）オフセット調整回路」の欄で説明する。

　本実施形態では一例として、センサ処理回路１Ｘは、特定の用途向けに複数の回路を１つにまとめた集積回路であるＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）にて実現される。すなわち、本実施形態では、増幅回路２Ｘ、ＡＤ変換器３Ｘ、補正部４Ｘ、出力部５Ｘ、電源回路６Ｘ及びオフセット調整回路７Ｘは、ＡＳＩＣとして一体化されている。

　一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘは、上述したように、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘに電気的に接続される。ここでは、入力端子Ｔ１Ｘは、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘのうち出力点Ｐ３Ｘ、つまり抵抗素子Ｒｓ１Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ２Ｘの接続点に電気的に接続されている。入力端子Ｔ２Ｘは、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘのうち出力点Ｐ４Ｘ、つまり抵抗素子Ｒｓ３Ｘ及び抵抗素子Ｒｓ４Ｘの接続点に電気的に接続されている。そのため、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘには、圧力センサ１０Ｘから検出電圧Ｖ１Ｘが入力される。本開示でいう「端子」は、電線等を接続するための部品でなくてもよく、例えば、電子部品のリード、又は回路基板に含まれる導体の一部等であってもよい。

　増幅回路２Ｘは、上述したように、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘに入力される検出電圧Ｖ１Ｘを増幅する回路である。増幅回路２Ｘは、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘに電気的に接続されており、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ間に生じた電圧（検出電圧Ｖ１Ｘ）を所定のゲインで増幅し、増幅後の電圧を出力電圧Ｖ２Ｘとして出力する。増幅回路２Ｘは、差動入力に対して差動出力を行う差動アンプである。

　本実施形態では一例として、増幅回路２Ｘは、第１演算増幅器２１Ｘと、第２演算増幅器２２Ｘと、複数（ここでは５つ）の抵抗Ｒ１Ｘ～Ｒ５Ｘ、及びコンデンサＣ１Ｘを有している。第１演算増幅器２１Ｘの非反転入力端子は入力端子Ｔ１Ｘに電気的に接続され、第２演算増幅器２２Ｘの非反転入力端子は入力端子Ｔ２Ｘに電気的に接続されている。

　抵抗Ｒ１Ｘ，Ｒ２Ｘ，Ｒ３Ｘは、第１演算増幅器２１Ｘの出力端子と第２演算増幅器２２Ｘの出力端子との間において、電気的に直列に接続されている。これら抵抗Ｒ１Ｘ，Ｒ２Ｘ，Ｒ３Ｘは、第１演算増幅器２１Ｘの出力端子側から抵抗Ｒ１Ｘ、抵抗Ｒ２Ｘ、抵抗Ｒ３Ｘの順で接続されている。ここで、第１演算増幅器２１Ｘの出力端子は、抵抗Ｒ１Ｘを介して第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子と電気的に接続されている。第２演算増幅器２２Ｘの出力端子は、抵抗Ｒ３Ｘを介して第２演算増幅器２２Ｘの反転入力端子と電気的に接続されている。言い換えれば、第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子と、第２演算増幅器２２Ｘの反転入力端子とは、抵抗Ｒ２Ｘを介して電気的に接続される。

　また、第１演算増幅器２１Ｘの出力端子は、抵抗Ｒ４Ｘを介してコンデンサＣ１Ｘの第１端に接続されている。第２演算増幅器２２Ｘの出力端子は、抵抗Ｒ５Ｘを介してコンデンサＣ１Ｘの第２端に接続されている。言い換えれば、第１演算増幅器２１Ｘの出力端子と第２演算増幅器２２Ｘの出力端子との間には、抵抗Ｒ４Ｘ、コンデンサＣ１Ｘ及び抵抗Ｒ５Ｘが、電気的に直列に接続されている。

　上記構成により、増幅回路２Ｘは、増幅後の電圧（出力電圧Ｖ２Ｘ）を、コンデンサＣ１Ｘの両端（第１端及び第２端）間に発生する。つまり、コンデンサＣ１Ｘの両端電圧が、増幅回路２Ｘで増幅後の出力電圧Ｖ２Ｘとなる。

　ＡＤ変換器３Ｘは、増幅回路２Ｘから出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル信号を出力する。ＡＤ変換器３Ｘは、コンデンサＣ１Ｘの両端間に電気的に接続されている。これにより、ＡＤ変換器３Ｘには、コンデンサＣ１Ｘの両端間に発生する出力電圧Ｖ２Ｘがアナログ信号として入力される。増幅回路２Ｘは、上述したように差動出力を行う差動アンプであるので、ＡＤ変換器３Ｘは、差動電圧信号である出力電圧Ｖ２Ｘからデジタル信号への変換を行うことになる。したがって、増幅回路２Ｘから出力される出力電圧Ｖ２Ｘが、ＡＤ変換器３Ｘの入力値におけるダイナミックレンジ（つまりフルスケールレンジ）を超えない限り、ＡＤ変換器３Ｘからは、出力電圧Ｖ２Ｘに対応するデジタル信号（デジタル値）が出力される。

　補正部４Ｘは、デジタル信号に対して補正処理を実行する。補正部４Ｘは、ＡＤ変換器３Ｘの出力に電気的に接続されている。補正部４Ｘは、例えばＤＳＰ（Digital Signal Processor）にて実現される。ここで、補正部４Ｘが実行する補正処理としては、例えば、感度温度特性に関する補正、オフセット温度特性に関する補正、及び非線形－線形補正等がある。感度温度特性に関する補正は、温度による圧力センサ１０Ｘの感度変化について補正する処理である。オフセット温度特性に関する補正は、温度による圧力センサ１０Ｘのオフセット値の変化について補正する処理である。非線形－線形補正は、圧力センサ１０Ｘに作用する圧力と圧力センサ１０Ｘから出力された検出電圧Ｖ１Ｘとの間の非線形成分を補正する処理である。本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘでは、これらの補正処理をデジタル信号に対して行うことにより、回路規模の小型化を図ることが可能である。

　出力部５Ｘは、補正部４Ｘの出力に電気的に接続されている。出力部５Ｘは、補正部４Ｘで補正後のデジタル信号を出力する。出力部５Ｘによる出力の態様としては、例えば、端子からの出力、通信（有線通信及び無線通信を含む）による出力、記録媒体への書込みによる出力、又は表示出力等、適宜の態様を採用可能である。

　電源回路６Ｘは、圧力センサ１０Ｘのブリッジ回路１０１Ｘに駆動電圧Ｖｄ１Ｘを印加する回路である。具体的には、電源回路６Ｘは、リニアレギュレータであって、本実施形態で一例として、低ドロップアウト（LDO：Low Drop Out）にて実現される。

　接続端子Ｔ３Ｘは、電源回路６Ｘの出力に電気的に接続されている。また、接続端子Ｔ３Ｘは、一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘのうち高電位側の入力点Ｐ１Ｘに電気的に接続される。ここで、圧力センサ１０Ｘにおける一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘのうち低電位側の入力点Ｐ２Ｘは、センサ処理回路１Ｘと共通のグランドに接続される。そのため、圧力センサ１０Ｘの一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘには、センサ処理回路１Ｘの電源回路６Ｘから駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加される。図４では、一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘのうち高電位側の入力点Ｐ１Ｘに接続される接続端子Ｔ３Ｘのみを図示しているが、センサ処理回路１Ｘは、実際には、低電位側の入力点Ｐ２Ｘに接続される接続端子、つまりグランド端子も備えている。

　（２．３）オフセット調整回路
　次に、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘにおけるオフセット調整回路７Ｘの構成について詳しく説明する。

　オフセット調整回路７Ｘは、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値（圧力センサ１０Ｘに作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさ）を調整するための回路である。ここでは一例として、所定値がゼロ（０）であるとき、つまり圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさを「オフセット値」とする。そして、オフセット調整回路７Ｘは、このようなオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整することと仮定する。つまり、ここでは、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１Ｘがゼロ（０）となるように、オフセット調整回路７Ｘがオフセット値を調整する場合を想定する。ここで、圧力の大きさがゼロ（０）である状態は、圧力センサ１０Ｘのダイヤフラムに作用する重力等を考慮するため、圧力センサ１０Ｘを、鉛直方向に対して実際の設置姿勢となるように、大気圧中に置いた状態とすることが好ましい。

　オフセット調整回路７Ｘは、上述したように２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘを有している。これら２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、一対の入力端子Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ間において電気的に直列に接続されている。これら抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、入力端子Ｔ１Ｘ側から抵抗成分Ｒ６Ｘ、抵抗成分Ｒ７Ｘの順で接続されている。また、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘは、基準電位点Ｐ２０Ｘに電気的に接続されている。言い換えれば、入力端子Ｔ１Ｘと基準電位点Ｐ２０Ｘとの間には、抵抗成分Ｒ６Ｘが電気的に接続され、入力端子Ｔ２Ｘと基準電位点Ｐ２０Ｘとの間には、抵抗成分Ｒ７Ｘが電気的に接続されている。

　本実施形態では、基準電位点Ｐ２０Ｘは、ブリッジ回路１０１Ｘにおいて駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加される一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘのうちの高電位側の入力点Ｐ１Ｘと同電位である。つまり、基準電位点Ｐ２０Ｘは、入力点Ｐ１Ｘと電気的に等価になる点である。本実施形態では、基準電位点Ｐ２０Ｘは、接続端子Ｔ３Ｘに電気的に接続されており、接続端子Ｔ３Ｘに圧力センサ１０Ｘが接続されることにより、入力点Ｐ１Ｘと同電位になる。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、圧力センサ１０Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間において電気的に直列に接続されることになる。そして、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、ブリッジ回路１０１Ｘにおける複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘのうち、一対の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ，Ｒｓ３Ｘと電気的に並列に接続される。しかも、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘは、一対の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ，Ｒｓ３Ｘの接続点である入力点Ｐ１Ｘと同電位の基準電位点Ｐ２０Ｘに電気的に接続されている。つまり、抵抗成分Ｒ６Ｘは、入力点Ｐ１Ｘ及び出力点Ｐ３Ｘ間において、抵抗素子Ｒｓ１Ｘと電気的に並列に接続され、抵抗成分Ｒ７Ｘは、入力点Ｐ１Ｘ及び出力点Ｐ４Ｘ間において、抵抗素子Ｒｓ３Ｘと電気的に並列に接続される。

　そのため、これら２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２Ｘに入力される検出電圧Ｖ１Ｘの大きさが変化する。要するに、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比が変化すれば、抵抗素子Ｒｓ１Ｘ，Ｒｓ３Ｘの抵抗値の比を変化させた場合と同様に、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間の電位差が変化し、検出電圧Ｖ１Ｘの大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を調整することが可能である。

　言い換えれば、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、圧力センサ１０Ｘに作用する圧力の大きさが所定値（ここでは０）であるときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさであるオフセット値を調整するように構成されている。特に、本実施形態では、オフセット調整回路７Ｘは、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときのオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整する。つまり、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、オフセット値を小さくするように構成されている。オフセット値が小さくなれば、増幅回路２Ｘから出力される出力電圧Ｖ２Ｘが、ＡＤ変換器３Ｘの入力値におけるダイナミックレンジを超えにくくなる。２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、センサ処理回路１Ｘの中で、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘが無い場合に比べて、オフセット値を小さくするように作用すればよく、オフセット値を完全にゼロ（０）とすることは必須ではない。

　ここにおいて、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方は、抵抗値が可変である。つまり、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方については、抵抗値が固定ではなく、抵抗値が変更可能である。本実施形態では、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘのいずれも抵抗値が可変に構成されている。このように、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方の抵抗値が可変であることにより、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比を任意のタイミングで調整でき、結果的に、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を任意のタイミングで調整することが可能である。

　抵抗値が可変の抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、例えば、可変抵抗器又は半固定抵抗器等で実現可能である。ただし、本実施形態では、センサ処理回路１ＸはＡＳＩＣにて実現されるため、抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、一例として、図５に示すように構成される。

　すなわち、図５に示すように、抵抗成分Ｒ６Ｘは、複数（ここでは５つ）の抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘを含むラダー抵抗にて実現されている。複数の抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘは、入力端子Ｔ１Ｘ及び接続点Ｐ１０Ｘ間において電気的に直列に接続されている。さらに、複数の抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘのうちの抵抗要素Ｒ６２Ｘ～Ｒ６５Ｘには、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５Ｘが電気的に並列に接続されている。つまり、複数の抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘは、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５Ｘと共にラダー抵抗を構成し、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５Ｘの各々のオン／オフの切替えにより抵抗成分Ｒ６Ｘの抵抗値を変化させる。例えば、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５Ｘの全てがオフであれば、抵抗成分Ｒ６Ｘの抵抗値は複数の抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘの合成抵抗となる。一方、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５ＸのうちスイッチＱ６１Ｘ，Ｑ６２Ｘのみがオンであれば、抵抗要素Ｒ６２Ｘがバイパスされるため、抵抗成分Ｒ６Ｘの抵抗値は複数の抵抗要素Ｒ６１Ｘ，Ｒ６３Ｘ～Ｒ６５Ｘの合成抵抗となる。

　同様に、抵抗成分Ｒ７Ｘは、複数（ここでは５つ）の抵抗要素Ｒ７１Ｘ～Ｒ７５Ｘを含むラダー抵抗にて実現されている。複数の抵抗要素Ｒ７１Ｘ～Ｒ７５Ｘは、入力端子Ｔ２Ｘ及び接続点Ｐ１０Ｘ間において電気的に直列に接続されている。さらに、複数の抵抗要素Ｒ７１Ｘ～Ｒ７５Ｘのうちの抵抗要素Ｒ７２Ｘ～Ｒ７５Ｘには、複数のスイッチＱ７１Ｘ～Ｑ７５Ｘが電気的に並列に接続されている。つまり、複数の抵抗要素Ｒ７１Ｘ～Ｒ７５Ｘは、複数のスイッチＱ７１Ｘ～Ｑ７５Ｘと共にラダー抵抗を構成し、複数のスイッチＱ７１Ｘ～Ｑ７５Ｘの各々のオン／オフの切替えにより抵抗成分Ｒ７Ｘの抵抗値を変化させる。

　すなわち、オフセット調整回路７Ｘは、上述したように構成されるラダー抵抗の接続関係を切り替えることにより、抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの各々の抵抗値を変化させることが可能である。ここで、複数のスイッチＱ６１Ｘ～Ｑ６５Ｘ，Ｑ７１Ｘ～Ｑ７５Ｘの切替えについては、センサ処理回路１Ｘの外部から入力される制御信号にて行われることが好ましい。抵抗要素Ｒ６１Ｘ～Ｒ６５Ｘ及び抵抗要素Ｒ７１Ｘ～Ｒ７５Ｘの各々は、例えば、拡散抵抗等により実現される。ただし、図５の回路構成は本実施形態の一例に過ぎず、例えば、具体的な接続関係、及び抵抗要素の数等を限定する趣旨ではない。

　上述した構成のオフセット調整回路７Ｘによれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘを用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、本実施形態に係るセンサ処理回路１Ｘでは、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ１０Ｘの検出電圧Ｖ１Ｘへのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。さらに、センサ処理回路１Ｘによれば、受動素子（抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）のみでオフセット調整回路７Ｘを実現できるため、基準電圧を生成する電圧源（オフセット補正回路）を有する構成に比べて、回路構成の簡略化を図ることも可能である。

　（３）変形例
　実施形態３は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。実施形態３は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

　センサ処理回路１Ｘは、例えば、補正部４Ｘ等の一部の構成要素が、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とするコンピュータにて実現されていてもよい。この場合、メモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、センサ処理回路１Ｘの一部の機能が実現される。プログラムは、コンピュータのメモリに予め記録されていてもよいが、電気通信回線を通じて提供されてもよいし、コンピュータで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１ないし複数の電子回路で構成される。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。

　また、センサ処理回路１Ｘは、ＡＳＩＣのように一体化された構成に限らず、例えば、基板上に別々に実装される複数の回路にて実現されていてもよい。さらに、例えば、補正部４Ｘ等、センサ処理回路１Ｘの一部の機能が、他の機能から分離して設けられていてもよく、この場合、複数の機能間の情報（データ）のやり取りは、通信により実現可能である。さらに、補正部４Ｘ等、センサ処理回路１Ｘの少なくとも一部の機能は、例えば、サーバ装置又はクラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。反対に、センサシステム１００Ｘを構成する圧力センサ１０Ｘとセンサ処理回路１Ｘとは、１つの筐体内に集約されて一体化されていてもよい。

　また、実施形態３では、所定値がゼロ（０）であるとき、つまり圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさを「オフセット値」としたが、この構成に限らない。すなわち、オフセット調整回路７Ｘで調整されるオフセット値は、圧力センサ１０Ｘに作用する圧力の大きさがゼロ以外の所定値であるときの検出電圧Ｖ１Ｘの大きさであってもよい。例えば、センサシステム１００Ｘ、容器に収容された物体の重量を測定する重量計に用いられる場合において、容器を除く内容物の重量のみを測定するには、容器分の重量に相当する圧力が圧力センサ１０Ｘに作用した状態で、オフセット値が調整される。オフセット調整回路７Ｘは、このようなオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整してもよい。言い換えれば、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときの検出電圧Ｖ１Ｘについては、あるオフセット値が付与されることになる。

　また、ブリッジ回路１０１Ｘを構成する複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの全てが圧力に応じて抵抗値が変化する素子であることは、圧力センサ１０Ｘに必須の構成ではない。つまり、ブリッジ回路１０１Ｘを構成する複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘの少なくとも１つが、圧力に応じて抵抗値が変化する素子であればよい。

　また、電源回路６Ｘは、定電圧を発生する定電圧源に限らず、例えば、定電流を発生する定電流源であってもよい。電源回路６Ｘが定電流源である場合においても、圧力センサ１０Ｘのブリッジ回路１０１Ｘの一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘ間に定電流が流れることで、一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘ間には駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加されることになる。

　また、オフセット調整回路７Ｘは、少なくとも２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘを備えていればよく、抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの数は２つに限らない。すなわち、センサ処理回路１Ｘは、オフセット調整回路７Ｘとして少なくとも２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘを備えていればよく、３つ以上の抵抗成分を備えていてもよい。

　また、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方の抵抗値が可変であればよく、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの一方の抵抗値は固定であってもよい。２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの一方の抵抗値が固定であっても、他方の抵抗値を任意のタイミングで調整することで、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比を任意のタイミングで調整できる。

　また、そもそも２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方の抵抗値が可変であることは、センサ処理回路１Ｘに必須の構成ではなく、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値はいずれも固定であってもよい。両方の抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値が固定である場合でも、例えば、センサ処理回路１Ｘの製造過程において、レーザトリミング等により、抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの少なくとも一方の抵抗値を調節することで、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比を調整可能である。これにより、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を調整することが可能である。

　また、実施形態３では、ＡＤ変換器３Ｘに増幅回路２Ｘからの差動出力（出力電圧Ｖ２Ｘ）が入力されているが、この構成に限らず、増幅回路２Ｘは差動信号をシングルエンド信号に変換してＡＤ変換器３Ｘに出力してもよい。つまり、増幅回路２Ｘは、オフセット調整回路７Ｘとしての２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘが接続される入力側において差動信号に対応していればよく、出力側においては、差動出力に限らずシングルエンド信号であってもよい。

　（実施形態４）
　本実施形態に係るセンサシステム１００ＡＸは、図６に示すように、センサ処理回路１ＡＸにおけるオフセット調整回路７ＡＸの構成が、実施形態３に係るセンサシステム１００Ｘと相違する。以下、実施形態３と同様の構成については、共通の符号を付して適宜説明を省略する。

　本実施形態に係るセンサ処理回路１ＡＸでは、オフセット調整回路７ＡＸにおける２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘは、基準電位点Ｐ３０Ｘに電気的に接続されている。基準電位点Ｐ３０Ｘは、ブリッジ回路１０１Ｘにおいて駆動電圧Ｖｄ１Ｘが印加される一対の入力点Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘのうちの低電位側の入力点Ｐ２Ｘと同電位である。つまり、基準電位点Ｐ３０Ｘは、入力点Ｐ２Ｘと電気的に等価になる点である。本実施形態では、基準電位点Ｐ３０Ｘは、グランドに電気的に接続されており、圧力センサ１０Ｘがセンサ処理回路１Ｘと共通のグランドに接続されることにより、入力点Ｐ２Ｘと同電位になる。

　上記構成によれば、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、圧力センサ１０Ｘの一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間において電気的に直列に接続されることになる。そして、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘは、ブリッジ回路１０１Ｘにおける複数の抵抗素子Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘのうち、一対の抵抗素子Ｒｓ２Ｘ，Ｒｓ４Ｘと電気的に並列に接続される。しかも、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの接続点Ｐ１０Ｘは、一対の抵抗素子Ｒｓ２Ｘ，Ｒｓ４Ｘの接続点である入力点Ｐ２Ｘと同電位の基準電位点Ｐ３０Ｘに電気的に接続されている。つまり、抵抗成分Ｒ６Ｘは、入力点Ｐ２Ｘ及び出力点Ｐ３Ｘ間において、抵抗素子Ｒｓ２Ｘと電気的に並列に接続され、抵抗成分Ｒ７Ｘは、入力点Ｐ２Ｘ及び出力点Ｐ４Ｘ間において、抵抗素子Ｒｓ４Ｘと電気的に並列に接続される。

　そのため、これら２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比が変化すれば、増幅回路２Ｘに入力される検出電圧Ｖ１Ｘの大きさが変化する。要するに、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比が変化すれば、抵抗素子Ｒｓ２Ｘ，Ｒｓ４Ｘの抵抗値の比を変化させた場合と同様に、一対の出力点Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ間の電位差が変化し、検出電圧Ｖ１Ｘの大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘの抵抗値の比によって、検出電圧Ｖ１Ｘのオフセット値を調整することが可能である。

　実施形態４で説明した構成は、実施形態３で説明した種々の構成（変形例を含む）と適宜組み合わせて採用可能である。

　（まとめ）
　以上説明したように、第１の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）と、増幅回路（２）と、インピーダンス変換回路（８）と、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）と、を備える。一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）は、圧力センサ（１０）の一対の出力点（Ｐ３，Ｐ４）に電気的に接続される。圧力センサ（１０）は、複数の抵抗素子（Ｒｓ１～Ｒｓ４）を含むブリッジ回路（１０１）を有し、圧力に応じた検出電圧（Ｖ１）をブリッジ回路（１０１）の一対の出力点（Ｐ３，Ｐ４）から出力する抵抗変化型の圧力センサである。増幅回路（２）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に入力される検出電圧（Ｖ１）を増幅する。インピーダンス変換回路（８）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）と増幅回路（２）との間に介在する。インピーダンス変換回路（８）は、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）から見た入力インピーダンスと増幅回路（２）から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行う。２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）は、インピーダンス変換回路（８）と増幅回路（２）との接続点である一対の対象点（Ｐ５，Ｐ６）間において電気的に直列に接続されている。２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の接続点（Ｐ１０）が基準電位点（Ｐ２０，Ｐ３０）に電気的に接続されている。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路（２）に入力される検出電圧（Ｖ１）の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比によって、検出電圧（Ｖ１）のオフセット値を調整することが可能である。したがって、センサ処理回路（１，１Ａ）によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、センサ処理回路（１，１Ａ）では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ（１０）の検出電圧（Ｖ１）へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。さらに、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に接続される圧力センサ（１０）のインピーダンスと、一対の対象点（Ｐ５，Ｐ６）に接続される２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）のインピーダンスとは、インピーダンス変換回路（８）にて切り離されている。したがって、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に接続される圧力センサ（１０）の抵抗値によらず、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値にて、オフセット値を適切に調整しやすくなる。

　第２の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）では、第１の態様において、インピーダンス変換回路（８）は、演算増幅器（８１，８２）を含む。

　この態様によれば、インピーダンス変換回路（８）を比較的簡単に実現可能である。

　第３の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）では、第１又は２の態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の少なくとも一方は、抵抗値が可変である。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比を任意のタイミングで調整でき、結果的に、検出電圧（Ｖ１）のオフセット値を任意のタイミングで調整することが可能である。

　第４の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）は、第１～３のいずれかの態様において、ＡＤ変換器（３）を更に備える。ＡＤ変換器（３）は、増幅回路（２）から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル信号を出力する。

　この態様によれば、オフセット値を調整後のアナログ信号がＡＤ変換器（３）に入力されるので、増幅回路（２）から出力される出力電圧（Ｖ２）が、ＡＤ変換器（３）の入力値におけるダイナミックレンジを超えにくくなる。

　第５の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）は、第４の態様において、補正部（４）を更に備える。補正部（４）は、デジタル信号に対して補正処理を実行する。

　この態様によれば、オフセット値の調整以外の補正処理についてはデジタル回路で実行されるので、補正処理に係る回路規模を小さく抑えることが可能である。

　第６の態様に係るセンサ処理回路（１）では、第１～５のいずれかの態様において、基準電位点（Ｐ２０）は、ブリッジ回路（１０１）において駆動電圧（Ｖｄ１）が印加される一対の入力点（Ｐ１，Ｐ２）のうちの高電位側の入力点（Ｐ１）と同電位である。

　この態様によれば、基準電位点（Ｐ２０）を駆動電圧（Ｖｄ１）の発生源で規定することが可能である。

　第７の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）では、第１～６のいずれかの態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）は、オフセット値を調整するように構成されている。オフセット値は、圧力センサ（１０）に作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧（Ｖ１）の大きさである。

　この態様によれば、圧力センサ（１０）に作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧（Ｖ１）の大きさを、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比にて調整することが可能である。

　第８の態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）では、第７の態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）は、オフセット値を小さくするように構成されている。

　この態様によれば、オフセット値を小さくする補正が可能である。

　第９の態様に係るセンサシステム（１００，１００Ａ）は、第１～８のいずれかの態様に係るセンサ処理回路（１，１Ａ）と、圧力センサ（１０）と、を備える。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路（２）に入力される検出電圧（Ｖ１）の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値の比によって、検出電圧（Ｖ１）のオフセット値を調整することが可能である。したがって、センサシステム（１００，１００Ａ）によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、センサシステム（１００，１００Ａ）では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ（１０）の検出電圧（Ｖ１）へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。さらに、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に接続される圧力センサ（１０）のインピーダンスと、一対の対象点（Ｐ５，Ｐ６）に接続される２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）のインピーダンスとは、インピーダンス変換回路（８）にて切り離されている。したがって、一対の入力端子（Ｔ１，Ｔ２）に接続される圧力センサ（１０）の抵抗値によらず、２つの抵抗成分（Ｒ６，Ｒ７）の抵抗値にて、オフセット値を適切に調整しやすくなる。

　第１０の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）は、一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）と、増幅回路（２Ｘ）と、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）と、を備える。一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）は、圧力センサ（１０Ｘ）の一対の出力点（Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ）に電気的に接続される。圧力センサ（１０Ｘ）は、複数の抵抗素子（Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘ）を含むブリッジ回路（１０１Ｘ）を有し、圧力に応じた検出電圧（Ｖ１）をブリッジ回路（１０１Ｘ）の一対の出力点（Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ）から出力する抵抗変化型の圧力センサである。増幅回路（２Ｘ）は、一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）に入力される検出電圧（Ｖ１Ｘ）を増幅する。２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）は、一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）間において電気的に直列に接続されている。２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の接続点（Ｐ１０Ｘ）が基準電位点（Ｐ２０Ｘ，Ｐ３０Ｘ）に電気的に接続されている。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路（２Ｘ）に入力される検出電圧（Ｖ１Ｘ）の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比によって、検出電圧（Ｖ１Ｘ）のオフセット値を調整することが可能である。したがって、センサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、センサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ（１０Ｘ）の検出電圧（Ｖ１Ｘ）へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。

　第１１の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）では、第１０の態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の少なくとも一方は、抵抗値が可変である。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比を任意のタイミングで調整でき、結果的に、検出電圧（Ｖ１Ｘ）のオフセット値を任意のタイミングで調整することが可能である。

　第１２の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）は、第１０又は１１の態様において、ＡＤ変換器（３Ｘ）を更に備える。ＡＤ変換器（３Ｘ）は、増幅回路（２Ｘ）から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル信号を出力する。

　この態様によれば、オフセット値を調整後のアナログ信号がＡＤ変換器（３Ｘ）に入力されるので、増幅回路（２Ｘ）から出力される出力電圧（Ｖ２Ｘ）が、ＡＤ変換器（３Ｘ）の入力値におけるダイナミックレンジを超えにくくなる。

　第１３の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）は、第１２の態様において、補正部（４Ｘ）を更に備える。補正部（４Ｘ）は、デジタル信号に対して補正処理を実行する。

　第１４の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ）では、第１０～１３のいずれかの態様において、基準電位点（Ｐ２０Ｘ）は、ブリッジ回路（１０１Ｘ）において駆動電圧（Ｖｄ１Ｘ）が印加される一対の入力点（Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘ）のうちの高電位側の入力点（Ｐ１Ｘ）と同電位である。

　この態様によれば、基準電位点（Ｐ２０Ｘ）を駆動電圧（Ｖｄ１Ｘ）の発生源で規定することが可能である。

　第１５の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）では、第１０～１４のいずれかの態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）は、オフセット値を調整するように構成されている。オフセット値は、圧力センサ（１０Ｘ）に作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧（Ｖ１Ｘ）の大きさである。

　この態様によれば、圧力センサ（１０Ｘ）に作用する圧力の大きさが所定値であるときの検出電圧（Ｖ１Ｘ）の大きさを、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比にて調整することが可能である。

　第１６の態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）では、第１５の態様において、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）は、オフセット値を小さくするように構成されている。

　第１７の態様に係るセンサシステム（１００Ｘ，１００ＡＸ）は、第１０～１６のいずれかの態様に係るセンサ処理回路（１Ｘ，１ＡＸ）と、圧力センサ（１０Ｘ）と、を備える。

　この態様によれば、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比が変化すれば、増幅回路（２Ｘ）に入力される検出電圧（Ｖ１Ｘ）の大きさが変化する。結果的に、２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）の抵抗値の比によって、検出電圧（Ｖ１Ｘ）のオフセット値を調整することが可能である。したがって、センサシステム（１００Ｘ，１００ＡＸ）によれば、能動素子を用いなくとも、受動素子である２つの抵抗成分（Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ）を用いるだけで、オフセット値の調整が可能になる。そのため、センサシステム（１００Ｘ，１００ＡＸ）では、オフセット値の調整に能動素子が用いられる場合に比べて、圧力センサ（１０Ｘ）の検出電圧（Ｖ１Ｘ）へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。

　（参考例）
　本参考例に係るセンサシステム１００ＢＸは、図７に示すように、センサ処理回路１ＢＸにおけるオフセット調整回路７ＢＸの構成が、実施形態３に係るセンサシステム１００Ｘと相違する。以下、実施形態３と同様の構成については、共通の符号を付して適宜説明を省略する。

　オフセット調整回路７ＢＸは、出力電圧Ｖ２Ｘのオフセット値（圧力センサ１０Ｘに作用する圧力の大きさが所定値であるときの出力電圧Ｖ２Ｘの大きさ）を調整するための回路である。ここでは一例として、所定値がゼロ（０）であるとき、つまり圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していないときの出力電圧Ｖ２Ｘの大きさを「オフセット値」とする。そして、オフセット調整回路７ＢＸは、このようなオフセット値をゼロ（０）とするように、オフセット値を調整することと仮定する。

　本参考例では、オフセット調整回路７ＢＸは、補助電源７１Ｘ及び記憶部７２Ｘを有している。すなわち、本参考例に係るセンサ処理回路１ＢＸは、２つの抵抗成分Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ（図４参照）に代えて、補助電源７１Ｘと、記憶部７２Ｘと、を備えている。

　補助電源７１Ｘは、抵抗Ｒ２Ｘの両端間に電気的に接続されている。すなわち、増幅回路２Ｘにおける第１演算増幅器２１Ｘの出力端子と第２演算増幅器２２Ｘの出力端子との間には、抵抗Ｒ１Ｘ，Ｒ２Ｘ，Ｒ３Ｘが電気的に直列に接続されている。補助電源７１Ｘは、これら３つの抵抗Ｒ１Ｘ，Ｒ２Ｘ，Ｒ３Ｘのうち、真ん中に位置する抵抗Ｒ２Ｘに対して電気的に並列に接続されている。

　補助電源７１Ｘは、抵抗Ｒ２Ｘに対して電流Ｉ１Ｘを流すように構成されている。補助電源７１Ｘは、例えば、定電流源である。補助電源７１Ｘが出力する電流Ｉ１Ｘの大きさ、つまり電流Ｉ１Ｘの電流値は、記憶部７２Ｘに記憶されている指令値によって決まる。補助電源７１Ｘが出力する電流Ｉ１Ｘの向き、つまり抵抗Ｒ２Ｘを流れる電流Ｉ１Ｘの向きについても、記憶部７２Ｘに記憶されている指令値によって決まる。ここでは、抵抗Ｒ１Ｘ側（第１演算増幅器２１Ｘ側）から抵抗Ｒ３Ｘ側（第２演算増幅器２２Ｘ側）に抵抗Ｒ２Ｘを流れるときの電流Ｉ１Ｘの電流値を「正」とする。つまり、補助電源７１Ｘが「負」の電流Ｉ１Ｘを流すと、抵抗Ｒ３Ｘ側（第２演算増幅器２２Ｘ側）から抵抗Ｒ１Ｘ側（第１演算増幅器２１Ｘ側）に、抵抗Ｒ２Ｘを電流Ｉ１Ｘが流れることになる。

　ここで、第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子と、第２演算増幅器２２Ｘの反転入力端子とは、抵抗Ｒ２Ｘを介して電気的に接続されている。そして、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘに電流Ｉ１Ｘを流すと、抵抗Ｒ２Ｘの両端間には、電圧降下により、電流Ｉ１Ｘの大きさ（電流値）に応じたバイアス電圧が発生する。そのため、抵抗Ｒ２Ｘに電流Ｉ１Ｘが流れることで、第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子と、第２演算増幅器２２Ｘの反転入力端子との間には、バイアス電圧分の電位差が付加されることになる。これにより、増幅回路２から出力される出力電圧Ｖ２Ｘは、バイアス電圧に応じて補正されることになる。例えば、圧力センサ１０Ｘに圧力が作用していない状態で、入力端子Ｔ１Ｘが高電位側となる検出電圧Ｖ１Ｘが生じるような場合には、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘに「正」の電流Ｉ１Ｘを流すことで、オフセット値を小さくすることができる。つまり、この場合、第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子と、第２演算増幅器２２Ｘの反転入力端子との間に、第１演算増幅器２１Ｘの反転入力端子を高電位側とするバイアス電圧が付加されるため、オフセット値を小さくするようにオフセット調整回路７ＢＸが作用する。

　記憶部７２Ｘは、上述したように電流Ｉ１Ｘの電流値を決定する指令値を記憶している。そのため、記憶部７２Ｘに記憶されている指令値が変化すれば、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘに流す電流Ｉ１Ｘの大きさが変化する。さらに、本参考例では、記憶部７２Ｘに記憶されている指令値の符号（正又は負）によって、抵抗Ｒ２Ｘを流れる電流Ｉ１Ｘの向きも変化する。記憶部７２Ｘに記憶される指令値は、センサ処理回路１ＢＸの外部から書換え可能であることが好ましい。また、記憶部７２Ｘには、予め複数の指令値が記憶されており、これら複数の指令値の中からいずれかの指令値が択一的に選択されてもよい。

　上記構成によれば、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘに流す電流Ｉ１Ｘの電流値、つまり抵抗Ｒ２Ｘに印加するバイアス電圧の電圧値が変化すれば、増幅回路２Ｘから出力される出力電圧Ｖ２Ｘの大きさが変化する。要するに、補助電源７１Ｘの出力が変化すれば、出力電圧Ｖ２Ｘの大きさが変化する。結果的に、補助電源７１Ｘの出力によって、出力電圧Ｖ２Ｘのオフセット値を調整することが可能である。

　以上説明した本参考例の構成によれば、補助電源７１Ｘは、抵抗Ｒ２Ｘに電流Ｉ１Ｘを流すことで、増幅回路２Ｘの差動出力（出力電圧Ｖ２Ｘ）に対してバイアス電圧分の電位差を付加して、出力電圧Ｖ２Ｘのオフセット値を調整する。したがって、補助電源７１Ｘの出力に含まれるノイズは、増幅回路２Ｘの出力においてはコモンモードノイズとなり、差動出力である出力電圧Ｖ２Ｘへは影響しにくく、圧力センサ１０Ｘの検出電圧Ｖ１Ｘへのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。また、センサ処理回路１ＢＸでは、補助電源７１Ｘのみでオフセット値を調整できるため、基準電圧を生成する電圧源（オフセット補正回路）を有する構成に比べて、回路構成の簡略化を図ることが可能である。

　本参考例の変形例として、補助電源７１Ｘは、定電流を発生する定電流源に限らず、例えば、定電圧を発生する定電圧源であってもよい。補助電源７１Ｘが定電圧源である場合においても、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘにバイアス電圧を印加することで、抵抗Ｒ２Ｘには電流Ｉ１Ｘが流れることになる。したがって、上記参考例と同様に、補助電源７１Ｘの出力によって、出力電圧Ｖ２Ｘのオフセット値を調整することが可能である。

　また、補助電源７１Ｘが抵抗Ｒ２Ｘに流す電流Ｉ１Ｘの電流値（抵抗Ｒ２Ｘに印加するバイアス電圧の電圧値）が可変であることは、センサ処理回路１ＢＸに必須の構成ではなく、補助電源７１Ｘの出力は固定であってもよい。この場合でも、例えば、センサ処理回路１ＢＸの製造過程において、補助電源７１Ｘを構成する素子の回路定数を調節することで、補助電源７１Ｘの出力を調整することは可能である。これにより、出力電圧Ｖ２Ｘのオフセット値を調整することが可能である。この場合、記憶部７２Ｘは適宜省略可能である。

　本参考例で説明した構成（変形例を含む）は、実施形態３及び実施形態４で説明した種々の構成（変形例を含む）と適宜組み合わせて採用可能である。

　以上説明したように、参考例の第１の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）は、一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）と、増幅回路（２Ｘ）と、補助電源（７１Ｘ）と、を備える。一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）は、圧力センサ（１０Ｘ）の一対の出力点（Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ）に電気的に接続される。圧力センサ（１０Ｘ）は、複数の抵抗素子（Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘ）を含むブリッジ回路（１０１Ｘ）を有し、圧力に応じた検出電圧（Ｖ１Ｘ）をブリッジ回路（１０１Ｘ）の一対の出力点（Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ）から出力する抵抗変化型の圧力センサである。増幅回路（２Ｘ）は、一対の入力端子（Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ）に入力される検出電圧（Ｖ１Ｘ）を増幅し、増幅後の検出電圧（Ｖ１Ｘ）を差動出力である出力電圧（Ｖ２Ｘ）として出力する。増幅回路（２Ｘ）は、第１演算増幅器（２１Ｘ）、第２演算増幅器（２２Ｘ）、第１抵抗（Ｒ１Ｘ）、第２抵抗（Ｒ２Ｘ）及び第３抵抗（Ｒ３Ｘ）を有する。第１演算増幅器（２１Ｘ）の出力端子は、第１抵抗（Ｒ１Ｘ）を介して第１演算増幅器（２１Ｘ）の反転入力端子と電気的に接続されている。第２演算増幅器（２２Ｘ）の出力端子は、第３抵抗（Ｒ３Ｘ）を介して第２演算増幅器（２２Ｘ）の反転入力端子と電気的に接続されている。第１演算増幅器（２１Ｘ）の反転入力端子と、第２演算増幅器（２２Ｘ）の反転入力端子とは、第２抵抗（Ｒ２Ｘ）を介して電気的に接続される。補助電源（７１Ｘ）は、第２抵抗（Ｒ２Ｘ）の両端間に電気的に接続されており、第２抵抗（Ｒ２Ｘ）に電流（Ｉ１Ｘ）を流す。

　この態様によれば、補助電源（７１Ｘ）が第２抵抗（Ｒ２Ｘ）に流す電流（Ｉ１Ｘ）の電流値が変化すれば、増幅回路（２Ｘ）から出力される出力電圧（Ｖ２Ｘ）の大きさが変化する。結果的に、補助電源（７１Ｘ）の出力によって、出力電圧（Ｖ２Ｘ）のオフセット値を調整することが可能である。補助電源（７１Ｘ）の出力に含まれるノイズは、増幅回路（２Ｘ）の出力においてはコモンモードノイズとなり、差動出力である出力電圧（Ｖ２Ｘ）へは影響しにくい。そのため、センサ処理回路（１ＢＸ）によれば、圧力センサ（１０Ｘ）の検出電圧（Ｖ１Ｘ）へのノイズの影響を低減しやすい、という利点がある。

　参考例に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）においても、実施形態３及び実施形態４（変形例を含む）と同様の適宜の構成を採用可能である。

　すなわち、参考例の第２の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）では、参考例の第１の態様において、補助電源（７１Ｘ）の出力する電流値又は電圧値は可変である。

　参考例の第３の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）は、参考例の第１又は２の態様において、ＡＤ変換器（３Ｘ）を更に備える。ＡＤ変換器（３Ｘ）は、増幅回路（２Ｘ）から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換してデジタル信号を出力する。

　参考例の第４の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）は、参考例の第３の態様において、補正部（４Ｘ）を更に備える。補正部（４Ｘ）は、デジタル信号に対して補正処理を実行する。

　参考例の第５の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）では、参考例の第１～４のいずれかの態様において、補助電源（７１Ｘ）は、オフセット値を調整するように構成されている。オフセット値は、圧力センサ（１０Ｘ）に作用する圧力の大きさが所定値であるときの出力電圧（Ｖ２Ｘ）の大きさである。

　参考例の第６の態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）では、参考例の第５の態様において、補助電源（７１Ｘ）は、オフセット値を小さくするように構成されている。

　参考例の第７の態様に係るセンサシステム（１００ＢＸ）は、参考例の第１～８のいずれかの態様に係るセンサ処理回路（１ＢＸ）と、圧力センサ（１０Ｘ）と、を備える。

　１，１Ａ　センサ処理回路
　２　増幅回路
　３　ＡＤ変換器
　４　補正部
　８　インピーダンス変換回路
　１０　圧力センサ
　８１，８２　演算増幅器
　１００，１００Ａ　センサシステム
　１０１　ブリッジ回路
　Ｐ１，Ｐ２　入力点
　Ｐ３，Ｐ４　出力点
　Ｐ５，Ｐ６　対象点
　Ｐ１０　接続点
　Ｐ２０，Ｐ３０　基準電位点
　Ｒ６，Ｒ７　抵抗成分
　Ｒｓ１～Ｒｓ４　抵抗素子
　Ｔ１，Ｔ２　入力端子
　Ｖ１　検出電圧
　Ｖｄ１　駆動電圧
　１Ｘ，１ＡＸ　センサ処理回路
　２Ｘ　増幅回路
　３Ｘ　ＡＤ変換器
　４Ｘ　補正部
　１０Ｘ　圧力センサ
　１００Ｘ，１００ＡＸ　センサシステム
　１０１Ｘ　ブリッジ回路
　Ｐ１Ｘ，Ｐ２Ｘ　入力点
　Ｐ３Ｘ，Ｐ４Ｘ　出力点
　Ｐ１０Ｘ　接続点
　Ｐ２０Ｘ，Ｐ３０Ｘ　基準電位点
　Ｒ６Ｘ，Ｒ７Ｘ　抵抗成分
　Ｒｓ１Ｘ～Ｒｓ４Ｘ　抵抗素子
　Ｔ１Ｘ，Ｔ２Ｘ　入力端子
　Ｖ１Ｘ　検出電圧
　Ｖｄ１Ｘ　駆動電圧

Claims

　複数の抵抗素子を含むブリッジ回路を有し圧力に応じた検出電圧を前記ブリッジ回路の一対の出力点から出力する抵抗変化型の圧力センサの、前記一対の出力点に電気的に接続される一対の入力端子と、
　前記一対の入力端子に入力される前記検出電圧を増幅する増幅回路と、
　前記一対の入力端子と前記増幅回路との間に介在し、前記一対の入力端子から見た入力インピーダンスと前記増幅回路から見た出力インピーダンスとの間でインピーダンス変換を行うインピーダンス変換回路と、
　前記インピーダンス変換回路と前記増幅回路との接続点である一対の対象点間において電気的に直列に接続された２つの抵抗成分と、を備え、
　前記２つの抵抗成分の接続点が基準電位点に電気的に接続されている、
　センサ処理回路。
　前記インピーダンス変換回路は、演算増幅器を含む、
　請求項１に記載のセンサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分の少なくとも一方は、抵抗値が可変である、
　請求項１又は２に記載のセンサ処理回路。
　前記増幅回路から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換して前記デジタル信号を出力するＡＤ変換器を更に備える、
　請求項１～３のいずれか１項に記載のセンサ処理回路。
　前記デジタル信号に対して補正処理を実行する補正部を更に備える、
　請求項４に記載のセンサ処理回路。
　前記基準電位点は、前記ブリッジ回路において駆動電圧が印加される一対の入力点のうちの高電位側の入力点と同電位である、
　請求項１～５のいずれか１項に記載のセンサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分は、前記圧力センサに作用する圧力の大きさが所定値であるときの前記検出電圧の大きさであるオフセット値を調整するように構成されている、
　請求項１～６のいずれか１項に記載のセンサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分は、前記オフセット値を小さくするように構成されている、
　請求項７に記載のセンサ処理回路。
　請求項１～８のいずれか１項に記載のセンサ処理回路と、
　前記圧力センサと、を備える、
　センサシステム。
　複数の抵抗素子を含むブリッジ回路を有し圧力に応じた検出電圧を前記ブリッジ回路の一対の出力点から出力する抵抗変化型の圧力センサの、前記一対の出力点に電気的に接続される一対の入力端子と、
　前記一対の入力端子に入力される前記検出電圧を増幅する増幅回路と、
　前記一対の入力端子間において電気的に直列に接続された２つの抵抗成分と、を備え、
　前記２つの抵抗成分の接続点が基準電位点に電気的に接続されている、
　センサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分の少なくとも一方は、抵抗値が可変である、
　請求項１０に記載のセンサ処理回路。
　前記増幅回路から出力されたアナログ信号をデジタル信号に変換して前記デジタル信号を出力するＡＤ変換器を更に備える、
　請求項１０又は１１に記載のセンサ処理回路。
　前記デジタル信号に対して補正処理を実行する補正部を更に備える、
　請求項１２に記載のセンサ処理回路。
　前記基準電位点は、前記ブリッジ回路において駆動電圧が印加される一対の入力点のうちの高電位側の入力点と同電位である、
　請求項１０～１３のいずれか１項に記載のセンサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分は、前記圧力センサに作用する圧力の大きさが所定値であるときの前記検出電圧の大きさであるオフセット値を調整するように構成されている、
　請求項１０～１４のいずれか１項に記載のセンサ処理回路。
　前記２つの抵抗成分は、前記オフセット値を小さくするように構成されている、
　請求項１５に記載のセンサ処理回路。
　請求項１０～１６のいずれか１項に記載のセンサ処理回路と、
　前記圧力センサと、を備える、
　センサシステム。