JP4501450B2 - シリコンウェーハの評価方法 - Google Patents
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Description
電極にプローブ針を接触させるには、シリコンウェーハ上の電極パターンに光を照射し、その反射光をCCDカメラ等で取り込んで得られた画像から、電極パターンを認識することにより電極の位置を検出し、プローブ針が電極に接触するようにプローブ針又はシリコンウェーハの水平、垂直方向の位置をアライメントする。アライメントはマニュアルでもよいが、オートプローバ装置であれば、電極パターンを自動的に認識することにより電極の位置を検出し、オートアライメントを行なうので、多数のMOSキャパシタの絶縁破壊特性を自動的に測定でき、シリコンウェーハの電気特性評価を効率的に行なうことができる。
このように、絶縁膜の厚さを10nm以下としても、アライメントパターンを容易に認識してその位置を迅速に検出することができるので、絶縁破壊特性の測定スループットを向上させることができる。
このように、絶縁膜の絶縁破壊特性をオートプローバ装置を用いて測定すれば、アライメントパターンの認識が容易なためオートアライメントが失敗無く効率的に行なえるので、測定スループットをさらに向上させることができる。
このように、ラインアンドスペースパターンの線幅を0.4μm〜5μmとすれば、ウェーハ表面に照射する光の波長が紫外線程度の短波長から赤外線程度の長波長までの幅広い波長領域にあっても、その波長に応じて最適な線幅とできる。
尚、ここではラインアンドスペースパターンの線幅とは、隣り合うラインの中心線の間の幅のことを示す。
このように、アライメントパターンを互いに線幅の異なる複数のラインアンドスペースパターンからなるものとすれば、一つのアライメントパターンで異なる波長の光に対応できる。
このように、アライメントパターンの形状を、長さ又は1辺が0.01mm〜10mmの直線状又は正方形とすれば、パターン形成が容易であり、効率よく高精度にアライメントができる。
このように、アライメントパターンを、ウェーハ上に形成された各測定チップの中央の位置に形成すれば、多数の測定チップが形成された場合でも、効率よく高精度にアライメントができる。
このように、絶縁膜の絶縁破壊特性をTZDB法又はTDDB法により測定すれば、シリコンウェーハのCOPや金属汚染等による欠陥を高感度かつ高精度に検出でき、シリコンウェーハの品質を高精度に評価できる。
図1は本発明に係るシリコンウェーハの評価方法の工程フローの一例を示すフロー図である。
この工程フロー図に示すように、まず、シリコンウェーハ上に絶縁膜とポリシリコン膜とを順次形成する(A)。つぎに、電極パターンとラインアンドスペースパターンからなるアライメントパターンとが形成されたフォトマスクを用意し(B)、該フォトマスクを用いてフォトリソグラフィ技術により前記ポリシリコン膜に電極パターンとアライメントパターンとを形成する(C)。そして、ウェーハ表面に光を照射して発生する前記アライメントパターンによる干渉光を観測することにより前記アライメントパターンの位置を検出し(D)、該検出位置に基づいて、前記ウェーハの水平位置のアライメントを行ない(E)、その後、絶縁膜の絶縁破壊特性を測定する(F)。
以下、各工程について詳述する。
また、絶縁膜はシリコン酸化膜、シリコン窒化膜、または酸化窒化膜等からなるものとできる。これらは、酸素又は窒素雰囲気中で加熱することにより形成したり、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等により形成することもできる。後述するように、本発明では、このとき形成する絶縁膜の厚さを10nm以下としてもよい。なお、以下では絶縁膜が酸化膜の場合を例に説明する。
ポリシリコン膜は、例えばCVD法によりSiH4を熱分解して形成することができる。このポリシリコン膜は電極として用いるので、形成の際にリンやボロン等のドーパントをドープして抵抗率を下げておくことが好ましい。また、ドーパントのドープは、ポリシリコン膜形成の後、熱拡散法やイオン注入法により行なってもよい。
図2は、従来のアライメントパターンのないMOSキャパシタの断面概略図である。従来は、プローバ装置での絶縁破壊特性等の電気特性の測定において、ゲート酸化膜2の上に形成されたポリシリコン電極1の位置を検出する際には、電極パターン認識用CCDカメラ4の周辺部に取り付けられた電極パターン認識用照明5(例えばLight Emitting Diode、LED)によりシリコンウェーハ3の表面に光を照射してその反射光をCCDカメラ4により画像として取り込み、この取り込んだ画像上でポリシリコン電極1のパターンを認識することによりポリシリコン電極1の位置を検出していた。そして、該検出位置に基づいてシリコンウェーハの位置のアライメントを行なっていた。
そこで従来は、Al等の反射率の高い材料の膜をポリシリコン電極上に形成し、反射光の強度を高めて電極パターンを認識することも行われていたが、膜形成のための工程数が増加し、好ましくない。
しかし、アライメントパターン6に光が照射されると、ラインアンドスペースパターンの線幅や照射する光の波長により定まる方向に、各ラインからの反射光がお互いに強めあった干渉光が発生する。図3(b)は、各ラインからの反射光により干渉光が発生する様子を説明する説明図である。このように発生する干渉光は単なる反射光に比べて光強度を大幅に高いものとできるので、ゲート酸化膜の厚さが薄くともパターン認識が容易となる。特に、ゲート酸化膜の厚さが10nm以下と非常に薄い場合でもパターン認識ができる。
しかも、このようなアライメントパターンは、従来の方法により電極パターンと同時に且つ容易に形成できるし、従来のように反射率の高い材料の膜をポリシリコン電極上に形成する工程が不要であるので好ましい。
また、ラインの本数は、干渉光の強度が観測に十分なものとなれば何本でもよい。例えばフォトマスクを用意する際のパターン形成の簡便さを考えれば、2〜10本とできる。
また、工程Eにおいては、例えばプローバ装置を用いる場合は、プローブ針が電極に接触するように、シリコンウェーハ又はプローブ針の水平位置や垂直位置をアライメントすればよい。前記のようにアライメントパターンによる干渉光は容易に認識できるので、アライメントが容易にできる。
本発明に従って電極パターン及び図示しないアライメントパターンを形成したシリコンウェーハ(この例ではP型)の裏面に形成されたポリシリコン膜やシリコン酸化膜を除去し、その後裏面を接地する。また、出力する電流の大きさを変化させることができる可変電源7の陽極を接地し、陰極はプローブ針8に接続され、プローブ針8は工程Eで位置をアライメントしたポリシリコン電極1´に接続されており、プローブ針8により測定に用いる電気ストレスを印加することができる。なお、陰極とプローブ針8の間には電流計9が接続されている。
また、絶縁膜の絶縁破壊特性を、オートプローバ装置を用いて測定すれば、アライメントパターンの認識が容易なためオートアライメントが失敗無く効率的に行なえるため、測定スループットをさらに向上させることができる。
(実施例)
試料として用いたシリコンウェーハは、CZ法にて引き上げた直径300mm、伝導型としては、ボロンをドープしたP型である。
このウェーハに900℃の乾燥酸素雰囲気中でゲート酸化を行って厚さ5nmのゲート酸化膜を形成し、この上にCVD法によりリンをドープしながらポリシリコン膜を形成した。この際のポリシリコン膜の厚さは約300nm、抵抗率はシート抵抗にして約25Ω/sq.であった。つぎにこれにフォトリソグラフィ工程とエッチング工程によりポリシリコン膜を測定用電極とするMOSキャパシタとアライメントパターンとを含む測定チップをウェーハ面内に25個作製した。
図7は、本実施例で用いたアライメントパターンの全体図と、アライメントパターンの円で囲まれた部分を拡大した拡大図を示す。本実施例では2μmのラインアンドスペースを5本いれたアライメントパターンとした。
尚、パターン認識用照明としては、LEDを光源とする可視光(波長400〜700nm)を使用して、CCDカメラにより干渉光の観測を行なった。
実施例と同じCZ法にて引き上げた直径300mm、ボロンをドープしたP型シリコンウェーハを用いて、ポリシリコン膜を測定用電極とするMOSキャパシタを含む測定チップをウェーハ面内に25個作製した。ゲート酸化膜の厚さについては5nm又は25nmの2種類とした。本比較例では、1測定チップの大きさや測定チップ内の測定用電極の大きさ、配置については実施例の場合と同じとしたが、今回の発明によるアライメントパターンの配置は行わず、アライメントマークとしては従来のようにMOSキャパシタのエッジ部を利用した。
そのために、フルオートプローバ装置に接続したテスタを用いTZDB測定を行った場合では、実施例と同じ測定条件の場合に、1ウェーハの測定に要するおよそ1時間ごとにマニュアルアライメントが必要になり、1カセットに収容された25枚の測定を完了させるためには、昼夜を問わずオペレーション要員が必要になり、自動的に測定を完了させることができず極めて非効率であった。
4…電極パターン認識用CCDカメラ、
5…電極パターン認識用照明、 6、6´…アライメントパターン、
7…可変電源、 8…プローブ針、 9…電流計、 10…測定チップ、
11…測定用電極。
Claims (6)
- シリコンウェーハ上に絶縁膜と電極を作製し、該絶縁膜の絶縁破壊特性を測定するシリコンウェーハの評価方法であって、シリコンウェーハ上に厚さが10nm以下の絶縁膜と、ポリシリコン膜とを順次形成し、電極パターンと互いに線幅の異なる複数のラインアンドスペースパターンからなるアライメントパターンとが形成されたフォトマスクを用意し、該フォトマスクを用いてフォトリソグラフィ技術により前記ポリシリコン膜に電極パターンと互いに線幅の異なる複数のラインアンドスペースパターンからなるアライメントパターンとを同時に形成し、前記ウェーハ表面に光を照射して発生する前記アライメントパターンによる干渉光を観測することにより、前記アライメントパターンの位置を検出し、該検出位置に基づいて、前記ウェーハの水平位置のアライメントを行なった後に、前記電極を通して前記絶縁膜の絶縁破壊特性を測定することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
- 前記絶縁膜の絶縁破壊特性を、オートプローバ装置を用いて測定することを特徴とする請求項1に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記ラインアンドスペースパターンの線幅を、0.4μm〜5μmとすることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記アライメントパターンの形状を、長さ又は1辺が0.01mm〜10mmの直線状又は正方形とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記アライメントパターンを、前記ウェーハ上に形成された複数の測定チップの中央の位置にそれぞれ形成することを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記絶縁膜の絶縁破壊特性を、TZDB法又はTDDB法により測定することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
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