JP4488103B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
ここで、一般に、コア層は、基板の線膨張係数を低減させる目的で設けられている。従って、コア層を薄くしたり、ビルドアップ層のみからなる基板を使用したりした場合には、熱履歴を受けた際の基板のそりが増大してしまうという課題がある。
上記基板上に実装された半導体素子と、
上記基板と上記半導体素子とを接続するバンプ、および、バンプの周囲に充填されたアンダーフィルと、を備え、
上記バンプは融点が230℃以上の高融点半田であり、
上記アンダーフィルは、弾性率が30MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなり、
上記基板は、
樹脂を含有する絶縁層と導体配線層とが交互に積層され、各導体配線層が絶縁層のビアホールに形成された導体層で接続されてなるビルドアップ層を有し、
25℃以上ガラス転移点以下におけるビルドアップ層の絶縁層の基板面内方向の線膨張係数が35ppm/℃以下であり、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記バンプの線膨張係数との差が、10ppm/℃以下である
半導体装置
が提供される。
なお、ここでいうアンダーフィルの弾性率とは、125℃雰囲気下にて測定し得られた応力―ひずみ曲線より得られた弾性率である。
25℃以上ガラス転移点以下におけるアンダーフィルの線膨張係数とバンプの線膨張係数との差を10ppm/℃以下とすることで、アンダーフィルとバンプとの界面で発生する歪を低減することができる。
基板と、
上記基板上に実装された半導体素子と、
上記基板と上記半導体素子とを接続するバンプ、および、バンプの周囲に充填されたアンダーフィルと、を備え、
上記バンプは、鉛フリー半田であり、
上記アンダーフィルは、弾性率が160MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなり、
上記基板は、
樹脂を含有する絶縁層と導体配線層とが交互に積層され、各導体配線層が絶縁層のビアホールに形成された導体層で接続されてなるビルドアップ層を有し、
25℃以上ガラス転移点以下におけるビルドアップ層の絶縁層の基板面内方向の線膨張係数が35ppm/℃以下であり、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記バンプの線膨張係数との差が、10ppm/℃以下である
半導体装置
も提供することができる。
なお、ここでいうアンダーフィルの弾性率とは、125℃雰囲気下にて測定し得られた応力―ひずみ曲線より得られた弾性率である。
25℃以上ガラス転移点以下におけるアンダーフィルの線膨張係数とバンプの線膨張係数との差を10ppm/℃以下とすることで、アンダーフィルとバンプとの界面で発生する歪を低減することができる。
本発明にかかる半導体装置では、バンプのクラックを防止することができ、さらには、半導体素子の損傷も抑制することができる。
従って、半導体素子を比誘電率3.3以下の低誘電率膜(Low−k膜)を有するものとしても、半導体素子のLow−k膜の損傷を防止できる。
25℃以上ガラス転移点以下におけるアンダーフィルの線膨張係数とビルドアップ層の絶縁層の線膨張係数との差を25ppm/℃以下とすることでアンダーフィルと基板との間で発生する歪みを低減できる。
また、基板は、コア層を有しないものであってもよい。
まず、図1を参照して、本実施形態の半導体装置1の概要について説明する。
半導体装置1は、基板3と、基板3上に実装された半導体素子(半導体チップ)4と、基板3と、基板3と半導体チップ4とを接続するバンプ5、および、バンプ5の周囲に充填されたアンダーフィル6と、を備える。
バンプ5が、融点が230℃以上の高融点半田(例えば、鉛含有率が85wt%を超える錫/鉛ハンダ合金)である場合には、アンダーフィル6は、弾性率が30MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなる。
また、バンプ5が鉛フリー半田である場合には、アンダーフィル6は、弾性率が160MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなる。
また、基板3は、図2に示すように、樹脂を含有する絶縁層311と導体配線層312とが交互に積層され、各導体配線層312が絶縁層311のビアホール311Aに形成された導体層313で接続されてなるビルドアップ層31を有する。
25℃以上ガラス転移点以下におけるビルドアップ層31の絶縁層311の基板面内方向の線膨張係数は、35ppm/℃以下である。
まず、基板3について説明する。
基板3は、半導体チップ4をフリップチップ実装するための素子搭載基板である。
図2に示すように、基板3は、樹脂を含有する絶縁層311と導体配線層312とが交互に積層されたビルドアップ層31を有しており、いわゆるビルドアップ基板である。例えば、本実施形態では、ビルドアップ層31は、複数(5層)の絶縁層311と、複数(6層)の導体配線層312とが交互に積層されたものとなっている。この基板3は、コア層は有していない。
また、基板3は、半田バンプBを介してプリント配線基板(マザーボード)2上に実装されるBGA基板である(図1参照)。さらに、基板3の厚みは800μm以下、好ましくは、500μm以下である。
ここで、絶縁層311を構成する樹脂としては、エポキシ樹脂、BTレジン、シアネート樹脂等が挙げられる。なかでも、シアネート樹脂を使用することが好ましい。シアネート樹脂としては、ノボラック型シアネート樹脂、ビスフェノールA型シアネート樹脂、ビスフェノールE型シアネート樹脂、テトラメチルビスフェノールF型シアネート樹脂等があげられる。なかでも、ノボラック型シアネート樹脂を使用することが好ましい。
ノボラック型シアネート樹脂としては、以下の化学式で挙げられるものを使用することができる。式中、nは整数を示す。
また、ノボラック型シアネート樹脂の重量平均分子量としては、例えば、500以上4500以下であることが好ましい。さらには、600以上3000以下であることが好ましい。
重量平均分子量が500未満である場合には、機械的強度が低下することがある。また、重量平均分子量が4500を超えると、樹脂組成物の硬化速度が速くなるため、保存性が低下する場合がある。
上記シアネート樹脂の含有量は、特に限定されないが、絶縁層311の樹脂組成物全体の5重量%以上50重量%以下であることが好ましい。さらに好ましくは10重量%以上40重量%以下である。シアネート樹脂の含有量を5重量%以上とすることで、耐熱性を高くすることができる。また、50重量%以下とすることで、耐湿性の低下を抑えることができる。
ここでは、実質的にハロゲン原子を含まないエポキシ樹脂を用いることが好ましい。これにより、耐熱性、難熱分解性を付与することができるとともに、絶縁層311の成膜性を向上させることができる。ここで、実質的にハロゲン原子を含まないとは、例えば、エポキシ樹脂中のハロゲン原子の含有量が1重量%以下のものをいう。
上記エポキシ樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、4,000以下であることが好ましい。さらに好ましくは500以上4,000以下であり、特に好ましくは800以上3,000以下である。重量平均分子量が上記下限値未満であると、絶縁層311にタック性を生じる場合がある。また、上記上限値を超えると半田耐熱性が低下する場合がある。
上記カップリング剤としては特に限定されないが、エポキシシランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アミノシランカップリング剤、及び、シリコーンオイル型カップリング剤の中から選ばれる1種以上のカップリング剤を使用することが好ましい。これにより、樹脂と無機充填材との界面の濡れ性を特に高めることができ、耐熱性をより向上させることができる。
さらに、絶縁層311は、以上に説明した成分のほか、必要に応じて、消泡剤、レベリング剤などの添加剤を含有することができる。
また、基板3のビルドアップ層31の絶縁層311の基板厚み方向の線膨張係数は、35ppm/℃以下であることが好ましく、さらには、30ppm/℃以下であることがより好ましい。
さらに、アンダーフィル6の線膨張係数とビルドアップ層31の絶縁層311の線膨張係数との差は、25ppm/℃以下、すなわち、基板3の基板面内方向の線膨張係数と、アンダーフィル6との線膨張係数との差は、25ppm/℃以下であることが好ましく、さらには、10ppm/℃以下であることが好ましい。
なお、絶縁層311、の線膨張係数は、TMA装置(TAインスツルメント(株)製)を用いて計測される。
絶縁層311及びアンダーフィル6の線膨張係数は、25℃以上ガラス転移点以下における線膨張係数である。
また、基板3のビルドアップ層31の絶縁層311は、高いガラス転移点を有していることが好ましい。例えば、絶縁層311のガラス転移点は、230℃以上であることが好ましく、さらには、250℃以上であることが好ましい。
絶縁層311を挟んで配置される一対の導体配線層312は、絶縁層311のビアホール311Aに形成された銅製の導体層313で接続されている。
導体配線層312のうち、最下層の導体配線層312Aは、例えば、銅製の配線層であり、図3に示すような構造となっている。図3のうち、黒い部分が銅を示している。
この導体配線層312Aの残銅率(絶縁層311を被覆する導体配線層312Aの占める割合)は、80%である。
導体配線層312A上に配置された導体配線層312Bは、図4に示すような平面形状であり、複数の略円形状の開口部312B1が形成されている。なお、図4の右下の図は、導体配線層312Bの拡大図である。
開口部312B1の径は、例えば、500μmである。また。この導体配線層312Aの残銅率は、60%以上90%以下であり、好ましくは、75%以上85%以下である。
半導体チップ4は、図1に示すように、シリコン基板41上に、いわゆるlow−k膜からなる配線層42を備えるものである。
その機能は特に限定されず、ロジックデバイス、メモリデバイスあるいはこれらの混載等が挙げられる。
low−k膜は、層間絶縁膜として設けられている。
ここで、low−k膜とは、比誘電率が3.3以下の膜をいう。low−k膜としては、たとえば、SiOC、MSQ(メチルシルセスキオキサン)、ベンゾシクロブテン等の有機膜や、HSQ(ヒドロキシシルセスキオキサン)等の無機膜が挙げられ、これらを多孔質化した膜も好ましく用いられる。
デバイスの演算能力の向上および高速処理化が進んできており、従来のSiO2絶縁膜では対応できない状況である。そこで、配線間の寄生容量低減の観点から、層間絶縁膜として、低誘電率膜、特に多孔質低誘電率膜が好ましく用いられている。しかしながら、誘電率が3.3以下のlow−k膜は脆弱であり、low−k膜を有する半導体チップをフェイスダウン実装すると、導通不良や半導体チップクラックが発生するという問題が発生する。比誘電率2.7以下のlow−k膜では、多孔質化が必要となりlow−k膜の脆弱化がさらに進んできている。
この半導体チップ4の厚みは100μm以下である。
また、25℃以上ガラス転移点以下における半導体チップ4の線膨張係数は2ppm/℃以上、5ppm/℃以下であることが好ましい。さらに、半導体チップ4の線膨張係数と絶縁層311の基板面内方向の線膨張係数との差は、32ppm/℃以下であることが好ましい。
アンダーフィル6は、基板3と半導体チップ4とを接合するバンプ5の周囲に充填されており、バンプ5の周囲の空隙を埋めるように配置されている。
アンダーフィル6の構成材料としては、液状の熱硬化性樹脂やフィルム状の熱硬化性樹脂を用いることができる。このうち、液状の熱硬化性樹脂が好ましい。基板3と半導体チップ4との間の間隙を効率良く埋めることができるからである。
本実施形態では、バンプ5が、融点が230℃以上の高融点半田(例えば、鉛含有率が85wt%を超える錫/鉛ハンダ合金)である場合には、アンダーフィル6は、弾性率が30MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなる。なかでも、弾性率が45MPa以上であることがより好ましい。
一方、バンプ5が鉛フリー半田である場合には、アンダーフィル6は、弾性率が160MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなる。なかでも、弾性率が200MPa以上であることがより好ましい。
アンダーフィル6のペーストを幅10mm、長さ約150mm、厚さ4mmに成形し、200℃オーブン中30分間硬化した後、テンシロン試験機で速度1mm/分にて、125℃雰囲気下にて測定し得られた応力―ひずみ曲線の初期勾配より弾性率を算出する。
バンプ5は、鉛フリー半田、若しくは、高融点半田から構成される。
鉛フリー半田としては、例えば、錫−銀系半田、錫−ビスマス系半田、錫−亜鉛系半田錫−銅系半田、銅ピラーや銅ポスト等の銅系材料、金スタッド等の金系材料を用いることができる。
高融点半田としては、錫−鉛半田があげられる。
アンダーフィル6の線膨張係数とバンプ5の線膨張係数との差が、10ppm/℃以下であることが好ましい。
さらには、バンプ5の線膨張係数は、10ppm/℃以上、30ppm/℃以下であることが好ましい。
まず、絶縁層311を用意する。絶縁層311を構成する樹脂ワニスを調整し、この樹脂ワニスを基材上に塗布する。この基材上の樹脂ワニスを乾燥させて絶縁層311を形成する。ここで、基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル樹脂や、フッ素系樹脂、ポリイミド等の耐熱性を有する熱可塑性樹脂フィルムを使用することができる。
また、絶縁層311の厚みは、10μm以上100μm以下であることが好ましい。さらに好ましくは20〜80μmである。このような厚みとすることで絶縁層311の割れの発生を防止することができる。
次に、所定の厚みの銅板Cの表面に所定のパターンの導体配線層312Cを形成する。
この導体配線層312Cは、2層構成であり、第一金属層312C1と、この第一金属層上に積層され、前述した導体配線層312Aを構成する第二金属層312Aとを有する。
第一金属層312C1は、例えば、ニッケル製であり、第二金属層312Aは、前述したように銅製である。なお、導体配線層312Cのパターンは、図3に示したパターンである。
次に、銅板Cの表面および導体配線層312Cを薬液により粗化し、導体配線層312C上に絶縁層311をラミネートする(ラミネート工程)。ここでは、基材上の絶縁層311の表面を導体配線層312Cに当接させた後、加熱および加圧する。その後、基材を除去する。
さらに、この絶縁層311の所定の位置にレーザによりビアホール311Aを形成する(ビアホール形成工程)。
具体的には、無電解めっきにより、絶縁層311全面に銅膜(シード膜)を1μm程度形成する。次に、絶縁層311上に所定のパターンのフォトレジスト(マスク)を形成する。その後、電解めっきにより、マスクが形成されていない部分(例えば、ビアホール311A等)にめっき皮膜を形成する。これにより、ビアホール311A中に導体層313が形成され、さらには、導体配線層312Bが形成されることとなる(導体層313および導体配線層312B形成工程)。
その後、マスクを除去するとともに、露出したシード膜を除去する。
このような操作を繰り返すことで、図6に示すように、複数(5層)の絶縁層311と、複数(6層)の導体配線層312とを有するビルドアップ層31が得られる。
その後、最上層の導体配線層312B上にエッチングレジスト膜(図示略)を形成する。そして、銅板Cをエッチングにより除去する。
さらに、ニッケル除去液により、第一金属層312C1を除去する。これにより、図2に示したような基板3が得られる。
次に、基板3と、半導体チップ4との間にアンダーフィル6を充填する。
以上のような工程により、半導体装置1が得られることとなる。
このようにして得られた半導体装置1は、図1に示したように半田バンプBを介してプリント配線基板2上に実装されることとなる。
本実施形態では、バンプ5が、融点が230℃以上の高融点半田の場合、アンダーフィル6の弾性率を30MPa以上、510MPa以下とし、バンプ5が鉛フリー半田である場合には、アンダーフィル6の弾性率を160MPa以上、510MPa以下としている。
このような弾性率のアンダーフィル6を使用することで、バンプ5の周囲が強固に固定され、バンプ5のクラックが防止される。
また、25℃以上ガラス転移点以下におけるビルドアップ層31の絶縁層311の基板面内方向の線膨張係数が35ppm/℃以下であるため、ビルドアップ層31の反りが低減され、半導体チップ4の損傷、さらには、半導体チップ4とバンプ5の界面での損傷、バンプ5と基板3との界面等での損傷の発生が効果的に抑制される。
従って、半導体チップ4を比誘電率3.3以下の低誘電率膜(Low−k膜)を有するものとしても、半導体チップ4のLow−k膜の損傷を防止できる。
例えば、前記実施形態では、基板3は、ビルドアップ層31のみを有するものであったが、これに限らず、例えば、図7に示すような基板7(内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板)であってもよい。この基板7は、前記実施形態と同様のビルドアップ層31と、内部に導体層711が設けられるスルーホール712が形成され、このスルーホール712中の導体層711が、導体配線層312に接続されるコア層71とを有するものであってもよい。
また、コア層71の厚みは0.2mm以下であることが好ましい。コア層71の厚みを0.2mm以下とすることで、基板7のインダクタンスを低減することができる。
コア層71の絶縁層中には、スルーホール712が形成されている。
なお、基板7では、一対のビルドアップ層31が、コア層71を挟むようにして配置されている。コア層71の一方の側に配置されるビルドアップ層31(ビルドアップ層31A)は、絶縁層311と、導体配線層312Bとを有している。コア層71の他方の側に配置されるビルドアップ層31(ビルドアップ層31B)は、絶縁層311と、導体配線層312Bと、導体配線層312Aとを有する。
絶縁層311にガラスクロス、ザイロン(登録商標)、アラミドなど繊維布の骨格材を含有させてもよい。このようにすることで、絶縁層の面内方向の線膨張係数を低く抑えることが可能となる。
上記無機充填材としては特に限定されないが、例えば、タルク、アルミナ、ガラス、シリカ、マイカ等が挙げられる。これらの中でもシリカが好ましく、溶融シリカが低膨張性に優れる点で好ましい。溶融シリカの形状としては、破砕状、球状があるが、球状のものが好ましい。これにより、絶縁層311中における配合量を多くすることができ、その場合でも良好な流動性を付与することができる。
上記無機充填材の平均粒径としては特に限定されないが、0.01μm以上5μm以下であることが好ましい。さらに好ましくは0.2μm以上2μm以下である。
上記無機充填材の含有量として特に限定されないが、絶縁層311全体の20重量%以上70重量%以下であることが好ましい。さらに好ましくは30重量%以上60重量%以下である。含有量を20重量%以上とすることで、絶縁層311を低熱膨脹、低吸水とすることができる。また、70重量%以下とすることで、樹脂組成物の流動性の低下を防止することができる。
はじめに、アンダーフィル材料について述べる。
樹脂組成物の調整:ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を11重量部、N-[2-Methyl-4-(oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranylmethyl)oxiranemethanamine(住友化学株式会社製、ELM−100)を11重量部、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を10重量部、γ-グリシジルプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業株式会社製、KBE403)を1重量部、球状溶融シリカ(平均粒径0.5μm、株式会社アドマテックス社製、SO−25R)65重量部を秤量し、三本ロールにて混練し、真空脱泡後液状樹脂組成物を得た。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−1と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を18重量部、N-[2-Methyl-4-(oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranylmethyl)oxiranemethanamine(住友化学株式会社製、ELM−100)を6重量部、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を10重量部用いた。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−1と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を25重量部、N-[2-Methyl-4-(oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranylmethyl)oxiranemethanamine(住友化学株式会社製、ELM−100)を用いず、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を8重量部用いた。
樹脂組成物の調整:ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を5重量部、N-[4-(Oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranyl-methyl)oxiranemethanamine(ジャパンエポキシレジン株式会社製、jER630)を10重量部、Phenol, 4,4'-(1-methylethylidene)bis[2-(2-propenyl)]-, polymer with (chloromethyl)oxirane (日本化薬株式会社製、RE-810NM)5重量部、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を6重量部、4,4'-methylenebis(N-methylaniline)(三洋化成工業株式会社製、T12)を6重量部、γ-グリシジルプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業株式会社製、KBE403)を1重量部、球状溶融シリカ(平均粒径0.5μm、株式会社アドマテックス社製、SO−25R)65重量部を秤量し、三本ロールにて混練し、真空脱泡後液状樹脂組成物を得た。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−4と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を9重量部、N-[4-(Oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranyl-methyl)oxiranemethanamine(ジャパンエポキシレジン株式会社製、jER630)を6重量部用いた。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−4と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を17重量部、N-[4-(Oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranyl-methyl)oxiranemethanamine(ジャパンエポキシレジン株式会社製、jER630)を用いず、Phenol, 4,4'-(1-methylethylidene)bis[2-(2-propenyl)]-, polymer with (chloromethyl)oxirane (日本化薬株式会社製、RE-810NM)6重量部、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を4重量部、4,4'-methylenebis(N-methylaniline)(三洋化成工業株式会社製、T12)を4重量部用いた。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−1と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を27重量部、N-[2-Methyl-4-(oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranylmethyl)oxiranemethanamine(住友化学株式会社製、ELM−100)を用いず、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を5重量部用いた。
樹脂組成物の配合を以下のようにした以外は、実験例1−1と同様にした。
ビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量165)を20重量部、N-[2-Methyl-4-(oxiranylmethoxy)phenyl]-N-(oxiranylmethyl)oxiranemethanamine(住友化学株式会社製、ELM−100)を20重量部、4,4´-Methylenbis-(2-ethylanilin)(日本化薬株式会社製、カヤハードAA)を19重量部、γ-グリシジルプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業株式会社製、KBE403)を1重量部、球状溶融シリカSO−25R(平均粒径0.5μm、株式会社アドマテックス社製)を40重量部用いた。
実験例において用いた原材料は以下の通りである。
(2)シアネート樹脂B/ノボラック型シアネート樹脂:ロンザ社製・「プリマセットPT−60」、重量平均分子量2600
(3)エポキシ樹脂/ビフェニルジメチレン型エポキシ樹脂:日本化薬社製・「NC−3000P」、エポキシ当量275、重量平均分子量2000
(4)フェノキシ樹脂A/ビフェニルエポキシ樹脂とビスフェノールSエポキシ樹脂との共重合体であり、末端部はエポキシ基を有している:ジャパンエポキシレジン社製・「YX−8100H30」、重量平均分子量30000
(5)フェノキシ樹脂B/ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂との共重合体であり、末端部はエポキシ基を有している:ジャパンエポキシレジン社製・「エピコート4275」、重量平均分子量60000
(6)硬化触媒/イミダゾール化合物:四国化成工業社製・「2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール」
(7)無機充填材/球状溶融シリカ:アドマテックス社製・「SO−25H」、平均粒径0.5μm
(8)カップリング剤/エポキシシランカップリング剤:日本ユニカー社製・「A−187」
なお、(1),(2)のノボラック型シアネート樹脂は、式(I)で示した構造を有するものである。
(1)樹脂ワニスの調製
シアネート樹脂A25重量部、エポキシ樹脂25重量部、フェノキシ樹脂A5重量部、フェノキシ樹脂B5重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
(1)で得られた樹脂ワニスを、厚さ38μmのPET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム(基材)の片面に、コンマコーター装置を用いて塗布した。その後、これを160℃の乾燥装置で10分間乾燥した。乾燥後の絶縁層の厚みは60μmである。
所定の内層回路が両面に形成された内層回路基板の表裏に、上記で得られた基材付き絶縁層の絶縁層表面を内側にして、重ね合わせた。その後、真空加圧式ラミネーター装置を用いて、圧力0.5MPa、温度100℃で60秒間、真空加熱加圧成形を行った。さらに、基材を剥離除去し、熱風乾燥機にて温度150℃、時間60分間で加熱硬化させた。その後、一般的なアディティブ法で銅メッキした。これを繰り返し、各ビルドアップ層が3層構成である内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板を得た。
なお、内層回路層(コア層)としては、下記のものを使用した。
・絶縁層:ハロゲンフリー FR−5相当材(日立化成工業株式会社製、MCL−E−679F)、厚さ0.2mm
・導体層:銅箔厚み18μm、L/S=120/180μm、クリアランスホール1mmφ、3mmφ、スリット2mm
200μm厚みの銅板に、上記で得られた基材付き絶縁層の絶縁層表面を内側にして、重ね合わせた。その後、これを、真空加圧式ラミネーター装置を用いて、圧力0.5MPa、温度100℃で60秒間、真空加熱加圧成形を行った。次に、基材を剥離除去し、熱風乾燥機にて温度150℃、時間60分間で加熱硬化させた。その後、一般的なアディティブ法で銅メッキした。これを繰り返し、所定の層数を得た後、銅板をエッチングで除去し、層の数が8層のコア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A15重量部、シアネート樹脂B10重量部、エポキシ樹脂25重量部、フェノキシ樹脂A5重量部、フェノキシ樹脂B5重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A40重量部、エポキシ樹脂10重量部、フェノキシ樹脂A5重量部、フェノキシ樹脂B5重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A20重量部、エポキシ樹脂30重量部、フェノキシ樹脂A5重量部、フェノキシ樹脂B5重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A30重量部、エポキシ樹脂15重量部、フェノキシ樹脂A10重量部、フェノキシ樹脂B5重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A17重量部、エポキシ樹脂17重量部、フェノキシ樹脂A3重量部、フェノキシ樹脂B3重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材60重量部とカップリング剤0.3重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
エポキシ樹脂50重量部、フェノキシ樹脂A7重量部、フェノキシ樹脂B3重量部、硬化触媒0.4重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させた。さらに、無機充填材40重量部とカップリング剤0.2重量部を添加して、高速攪拌装置を用いて10分間攪拌して、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
シアネート樹脂A30重量部、シアネート樹脂B10重量部、エポキシ樹脂50重量部、フェノキシ樹脂A3重量部、フェノキシ樹脂B7重量部、硬化触媒0.8重量部をメチルエチルケトンに溶解、分散させて、固形分50重量%の樹脂ワニスを調製した。
この樹脂ワニスを用い、実験例2−1と同様にして、基材付き絶縁層、内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を得た。
(1)ガラス転移点
基材付き絶縁層2枚の絶縁層側どうしを内側にして重ね合わせ、これを、真空プレス装置を用いて圧力2MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形を行った。その後、基材を剥離除去した。得られた絶縁層の硬化物から、10mm×30mmの評価用試料を切り出し、DMA(TAインスツルメント社製)を用いて、5℃/分で昇温し、tanδのピーク位置をガラス転移点とした。
(2)線膨張係数
基材付き絶縁層2枚の絶縁シート側どうしを内側にして重ね合わせ、これを、真空プレス装置を用いて圧力2MPa、温度200℃で2時間加熱加圧成形を行った。その後、基材を剥離除去した。得られた絶縁層の硬化物から4mm×20mmの評価用試料を採取し、TMA装置(TAインスツルメント社製)を用いて、10℃/分で昇温して測定した。
なお、ここでは、25℃以上ガラス転移点以下の線膨張係数を測定した。また、絶縁層の硬化物の平面方向(基板面内方向)の線膨張係数を測定した。ただし、本実験例では、絶縁層の硬化物の厚み方向(基板厚み方向)の線膨張係数は、絶縁層の硬化物の平面方向(基板面内方向)の線膨張係数と同じである。
実験例2−1〜2−8で作成した内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板およびコア層無しビルドアップ基板に、バンプ電極を形成した。
次に、フリップチップボンダーを用いて、鉛フリーはんだ(組成:Sn-3.5Ag、融点:221℃、熱膨張率:22ppm/℃、弾性率44GPa)を位置決めして、低誘電率材料(CVDで形成したポーラス化SiOC膜、比誘電率=2.2)を層間絶縁膜として用いた半導体素子(以下、半導体素子Aという)と仮接合した。さらに、リフロー(リフロー条件:最高温度260℃、最低温度183℃で60秒のIRリフロー)炉に通してはんだバンプを接合させた。
同様に、高融点はんだ(組成:Sn-95Pb、融点:314℃、熱膨張率:30ppm/℃、弾性率16GPa)を用いて、半導体素子Aを接合した。基板側のプリソルダーには共晶はんだを用い、リフロー条件は最高温度245℃、最低温度183℃で60秒のIRリフローで行った。
一方、高融点はんだバンプの線膨張係数は30ppm/℃であるので、(アンダーフィルの線膨張係数)−(高融点はんだバンプの線膨張係数)の値は、実験例1−1,実験例1−2,実験例1−3,実験例1−7,実験例1−8の順に、5,4,4,4,4,4,4,15ppm/℃となっている。
さらに、表3には、各試験サンプルについて、(アンダーフィルの線膨張係数)−(ビルドアップ層の絶縁層の線膨張係数)の値を示す。
冷熱サイクル試験(冷却状態-55℃、加熱状態125℃で1000サイクル)後、導通試験を行い、すべてのバンプが導通したものを良品としてカウントした。表4〜表7に結果を示す。
導通試験結果は、試料数10に対して、導通品数の比率をもって、その指標とする。
これに対して、実験例1−7,1−8のアンダーフィルを用いて作成した評価用半導体装置では、導通不良が発生した。
これに対して、実験例1−3,実験例1−7, 1−8の樹脂組成物を用いて作成した評価用半導体装置では、導通不良が発生した。
結果を表8〜表11に示す。
これに対して、実験例2−7,2−8の内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を用いた評価用半導体装置では、層間絶縁膜のクラックが発生した。
この結果から、半導体素子の層間絶縁膜のクラック防止には、線膨張係数が小さい絶縁層を有する基板を用いることが重要であることがわかる。
次に、半導体素子Aにかえて、半導体素子Bを使用し、<半導体装置の作製および評価1>と同様に評価用半導体装置を作製した。ここで、半導体素子Bは、層間絶縁膜として、SiO2を使用しており、比誘電率3.3以下の低誘電率膜を使用していないものである。半導体チップBは厚みが100μmの薄型チップである。
次に、得られた評価用半導体装置を用いて、冷熱サイクル試験(冷却状態-55℃、加熱状態125℃で1000サイクル)を行なった。
その後、半導体素子Bの割れを評価した。結果を表12〜表15に示す。
これに対して、実験例2−7,2−8の内層回路層(コア層)付ビルドアップ基板、コア層無しビルドアップ基板を用いた評価用半導体装置では、半導体素子にクラックが発生した。
この結果から、半導体素子のクラック防止には、線膨張係数が小さい絶縁層を有する基板を用いることが重要であることがわかる。
Claims (12)
- 基板と、
前記基板上に実装された半導体素子と、
前記基板と前記半導体素子とを接続するバンプ、および、前記バンプの周囲に充填されたアンダーフィルと、を備え、
前記バンプは融点が230℃以上の高融点半田であり、
前記アンダーフィルは、弾性率が30MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなり、
前記基板は、
樹脂を含有する絶縁層と導体配線層とが交互に積層され、前記各導体配線層が前記絶縁層のビアホールに形成された導体層で接続されてなるビルドアップ層を有し、
25℃以上ガラス転移点以下における前記ビルドアップ層の絶縁層の基板面内方向の線膨張係数が35ppm/℃以下であり、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記バンプの線膨張係数との差が、10ppm/℃以下である
半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記半導体素子は、シリコン基板と、該シリコン基板上に設けられた、比誘電率3.3以下の低誘電率膜を含む層間絶縁膜と、該層間絶縁膜中に設けられた配線と、を含む半導体装置。 - 請求項1又は2記載の半導体装置において、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記ビルドアップ層の絶縁層の線膨張係数との差が、25ppm/℃以下である半導体装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置において、
前記基板は、
絶縁層の内部に導体層が設けられたスルーホールが形成され、このスルーホール中の前記導体層が、前記ビルドアップ層の前記導体配線層に接続されるコア層を有する半導体装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置において、
前記ビルドアップ層の絶縁層の樹脂は、シアネート樹脂を含む半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記シアネート樹脂は、ノボラック型シアネート樹脂である半導体装置。 - 基板と、
前記基板上に実装された半導体素子と、
前記基板と前記半導体素子とを接続するバンプ、および、前記バンプの周囲に充填されたアンダーフィルと、を備え、
前記バンプは、鉛フリー半田であり、
前記アンダーフィルは、弾性率が160MPa以上、510MPa以下の樹脂材料からなり、
前記基板は、
樹脂を含有する絶縁層と導体配線層とが交互に積層され、前記各導体配線層が前記絶縁層のビアホールに形成された導体層で接続されてなるビルドアップ層を有し、
25℃以上ガラス転移点以下における前記ビルドアップ層の絶縁層の基板面内方向の線膨張係数が35ppm/℃以下であり、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記バンプの線膨張係数との差が、10ppm/℃以下である
半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記半導体素子は、シリコン基板と、該シリコン基板上に設けられた、比誘電率3.3以下の低誘電率膜を含む層間絶縁膜と、該層間絶縁膜中に設けられた配線と、を含む半導体装置。 - 請求項7又は8に記載の半導体装置において、
25℃以上ガラス転移点以下における前記アンダーフィルの線膨張係数と前記ビルドアップ層の絶縁層の線膨張係数との差が、25ppm/℃以下である半導体装置。 - 請求項7乃至9のいずれかに記載の半導体装置において、
前記基板は、
絶縁層の内部に導体層が設けられたスルーホールが形成され、このスルーホール中の前記導体層が、前記ビルドアップ層の前記導体配線層に接続されるコア層を有する半導体装置。 - 請求項7乃至10のいずれかに記載の半導体装置において、
前記ビルドアップ層の絶縁層の樹脂は、シアネート樹脂を含む半導体装置。 - 請求項11に記載の半導体装置において、
前記シアネート樹脂は、ノボラック型シアネート樹脂である半導体装置。
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