JP4482404B2 - 耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 - Google Patents
耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 Download PDFInfo
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Description
半導体製造プロセスに使用する特殊ガスは、HCl、HBrなど腐食性が強いガスの他に、SiH4などのように触媒作用により容易に分解するガスがあり、パイプの内面は耐食性とともにガスを分解させない非触媒作用性が必要である。このためステンレス製パイプの場合にはクロム酸化処理などの特別な表面処理を施す必要があり、製造工程が煩雑であった。特にパイプ内径が小さい場合に、パイプ内径の表面処理を行うのは困難であった。
マスフロ−センサに用いるキャピラリ(極細径管)の場合には、250℃位まで加熱され、今後さらに高温加熱の要求があるが、ステンレス製パイプでは高温強度や高温耐食性が不十分で劣化するという課題があった。
また、パイプ内径が1mm以下である細径パイプの内面研磨を行う場合に、磁性研磨では研磨に用いる磁性メディアが微細となり、ほとんど研磨能力がなくなってしまう。また、電解研磨や機械研磨は電極や研磨器具をパイプ内に挿入できないために研磨できないという課題があった。
表1に、本発明のパイプに使用したCo―Ni基合金である合金a〜合金iと、比較例に使用したCo基耐食合金の一例であるCo基(イ)、Ni基耐食合金の一例であるNi基(ロ)、及びSUS316Lの合金組成を質量%で示した。これらの合金を用いてパイプ外径1.5mm、パイプ内径0.5mmのパイプを作製し、パイプの内面にピアノ線と研磨剤を用いて研磨を施して完成させて、各パイプの特性を評価した。表2に、評価結果として、パイプ加工の難易度、パイプ内面の耐食性、パイプ内面の非触媒作用性を示した。
2 ワイヤ
3 キャピラリ
4 ガス流入口
5 ガス流出口
6 上流側抵抗体
7 下流側抵抗体
Claims (13)
- 合金の組成が少なくともCo、Ni、Cr、Mo、Feの元素を含み、前記合金の組成の質量%がCo25〜45%、Ni25〜40%、Cr18〜26%、Mo7〜12%、Fe1.2〜3%、及びNb、Tiのうち一種類以上の元素を質量%で各々、Nb0.3〜1.5%、Ti0.3〜0.8%の範囲で含み、残部が不可避不純物よりなり、
結晶構造が、FCC構造の状態で変形双晶を有することを特徴とするCo−Ni基合金からなる耐食性パイプ。 - 表面にCrを主体とする不動態被膜が形成されたことを特徴とする請求項1に記載の耐食性パイプ。
- 内面研磨が施されていることを特徴とする請求項2に記載の耐食性パイプ。
- 焼鈍が施されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の耐食性パイプ。
- 時効処理が施されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の耐食性パイプ。
- 合金の組成が少なくともCo、Ni、Cr、Mo、Feの元素を含み、前記合金の組成の質量%がCo25〜45%、Ni25〜40%、Cr18〜26%、Mo7〜12%、Fe1.2〜3%、及びNb、Tiのうち一種類以上の元素を質量%で各々、Nb0.3〜1.5%、Ti0.3〜0.8%の範囲で含み、残部が不可避不純物よりなるCo−Ni基合金を、
真空溶解する工程と、鋳造工程と、鍛造工程と、熱間スウェージング工程と、容体化工程と、冷間スウェージング工程と、直線矯正工程と、センタレス研磨工程と、くり抜き工程とを有し、
焼鈍工程と、冷間伸管工程とを繰り返しながらパイプに仕上げることを特徴とする耐食性パイプ製造方法。 - 前記焼鈍工程と、前記冷間伸管工程とを繰り返しながら前記パイプに仕上げた後に、前記パイプの内面を研磨する工程を有することを特徴とする請求項6に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 前記耐食性パイプの内面を研磨する工程は、前記耐食性パイプ内にワイヤと研磨剤を挿入して、前記ワイヤ及び前記耐食性パイプの片方、あるいは両方を動かして研磨剤を介してワイヤ側面と前記耐食性パイプ内面とをこすり合わせることを特徴とする請求項7に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 前記焼鈍工程において、焼鈍温度は800℃〜1200℃であることを特徴とする請求項6に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 時効処理工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 時効処理工程において、時効処理温度は400℃〜650℃であることを特徴とする請求項10に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 切断部のバリ除去工程を含むことを特徴とする請求項6に記載の耐食性パイプ製造方法。
- 請求項2〜5のいずれか一項に記載の耐食性パイプを用いたことを特徴とするマスフローセンサ。
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