JP2002355746A - 管の内面研磨方法およびその装置 - Google Patents
管の内面研磨方法およびその装置Info
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- JP2002355746A JP2002355746A JP2001161761A JP2001161761A JP2002355746A JP 2002355746 A JP2002355746 A JP 2002355746A JP 2001161761 A JP2001161761 A JP 2001161761A JP 2001161761 A JP2001161761 A JP 2001161761A JP 2002355746 A JP2002355746 A JP 2002355746A
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- polished
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 細管の内面を能率よく研磨できる方法および
その装置を提供すること。 【解決手段】 研磨対象となる管１の両側にそれぞれ沈
殿トラップ７と研磨材容器４を接続し、交互に向きを変
えて加圧することにより、管１内に研磨液３中に混入さ
せた研磨剤２を往復動圧送させ研磨を行う。高速で往復
動させることにより粗研磨を行い、低圧往復動で仕上げ
研磨を行うようにしている。
その装置を提供すること。 【解決手段】 研磨対象となる管１の両側にそれぞれ沈
殿トラップ７と研磨材容器４を接続し、交互に向きを変
えて加圧することにより、管１内に研磨液３中に混入さ
せた研磨剤２を往復動圧送させ研磨を行う。高速で往復
動させることにより粗研磨を行い、低圧往復動で仕上げ
研磨を行うようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は細管の内面を研磨す
るための管の内面研磨方法およびその装置に関するもの
である。
るための管の内面研磨方法およびその装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、管の内面研磨は、ホーニング研磨
法や電解研磨法によりおこなわれていた。前者は、管の
内部に挿入した砥石に回転運動と往復運動とを与えつ
つ、これを管内面に付勢させるようにし、後者は、陽極
とした管の内部に、陰極となる電極を挿入し、両電極間
に電解液を介して電流を通ずることにより、それぞれ管
内面を研磨するものである。また、後者に砥粒の擦過作
用を複合させた電解複合研磨法もある。
法や電解研磨法によりおこなわれていた。前者は、管の
内部に挿入した砥石に回転運動と往復運動とを与えつ
つ、これを管内面に付勢させるようにし、後者は、陽極
とした管の内部に、陰極となる電極を挿入し、両電極間
に電解液を介して電流を通ずることにより、それぞれ管
内面を研磨するものである。また、後者に砥粒の擦過作
用を複合させた電解複合研磨法もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近時は半導
体装置用のガス系の配管等において比較的長尺の細管が
用いられるようになったが、これらの細管は、上述した
従来の研磨方法では研磨することができないことが多
い。それは、いずれの方法においても、管の内部に砥石
や電極等を挿入しなければならないので、自ら研磨でき
る管の内径が制約されてしまうからである。
体装置用のガス系の配管等において比較的長尺の細管が
用いられるようになったが、これらの細管は、上述した
従来の研磨方法では研磨することができないことが多
い。それは、いずれの方法においても、管の内部に砥石
や電極等を挿入しなければならないので、自ら研磨でき
る管の内径が制約されてしまうからである。
【０００４】本発明はこのような実情に鑑みてなされ、
比較的に長尺な細管をも能率よく研磨することのできる
管の内面研磨方法およびその装置を提供することを目的
としている。
比較的に長尺な細管をも能率よく研磨することのできる
管の内面研磨方法およびその装置を提供することを目的
としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の課題を
解決するための手段を以下のように構成している。第１
の発明では、研磨対象となる管内に液体中に混入させた
研磨材を圧送することにより、その管内面を研磨するこ
とを特徴としている。
解決するための手段を以下のように構成している。第１
の発明では、研磨対象となる管内に液体中に混入させた
研磨材を圧送することにより、その管内面を研磨するこ
とを特徴としている。
【０００６】第２の発明では、研磨対象となる管の両端
に接続されてループを構成する配管に、液体中に混入し
た研磨材を貯留するための研磨材容器と、その研磨材容
器内の研磨材を液体とともに、前記研磨対象となる管内
に圧送させる圧送手段とを設けたことを特徴としてい
る。
に接続されてループを構成する配管に、液体中に混入し
た研磨材を貯留するための研磨材容器と、その研磨材容
器内の研磨材を液体とともに、前記研磨対象となる管内
に圧送させる圧送手段とを設けたことを特徴としてい
る。
【０００７】第３の発明では、研磨対象となる管の両側
に接続され、液体中に混入された研磨材を収納する左右
の研磨材容器と、前記各研磨材容器と接続され、前記液
体中の研磨材を沈殿させる左右の沈殿トラップと、前記
両沈殿トラップとの間に接続して設けられ、前記液体を
交互に方向を変えて加圧する加圧ユニットとを具備し、
前記加圧ユニットにより、前記液体を高圧で交互に向き
を変えて加圧することにより、前記左右の研磨材容器中
の液体中に混入された研磨材を、前記研磨対象となる管
の内面に高速で往復動させて粗研磨をおこなった後、低
圧で前記液体を交互に向きを変えて加圧することによ
り、前記液体中の研磨材を、前記管の内面に低速で往復
動させて仕上げ研磨をおこなうようにしたことを特徴と
している。
に接続され、液体中に混入された研磨材を収納する左右
の研磨材容器と、前記各研磨材容器と接続され、前記液
体中の研磨材を沈殿させる左右の沈殿トラップと、前記
両沈殿トラップとの間に接続して設けられ、前記液体を
交互に方向を変えて加圧する加圧ユニットとを具備し、
前記加圧ユニットにより、前記液体を高圧で交互に向き
を変えて加圧することにより、前記左右の研磨材容器中
の液体中に混入された研磨材を、前記研磨対象となる管
の内面に高速で往復動させて粗研磨をおこなった後、低
圧で前記液体を交互に向きを変えて加圧することによ
り、前記液体中の研磨材を、前記管の内面に低速で往復
動させて仕上げ研磨をおこなうようにしたことを特徴と
している。
【０００８】
【作用】第２の発明の装置では、圧送手段によって、研
磨材容器内に液体に混入されて貯えられている研磨材
が、その液体とともに、ループを構成する配管を介し
て、研磨対象となる管内に圧送循環され、これにより、
管内面が研磨される。
磨材容器内に液体に混入されて貯えられている研磨材
が、その液体とともに、ループを構成する配管を介し
て、研磨対象となる管内に圧送循環され、これにより、
管内面が研磨される。
【０００９】第３の発明の装置では、加圧手段により液
体を高圧で加圧すると、加圧された側の沈殿トラップを
介して研磨材容器中の研磨材が液体とともに、管の内面
に高圧で圧送される。上述の液体は、加圧手段によって
交互に方向を変えて圧送されるので、研磨材は液体とと
もに、管の内面を高圧高速で往復圧送され、これによ
り、管の内面が能率よく粗研磨される。
体を高圧で加圧すると、加圧された側の沈殿トラップを
介して研磨材容器中の研磨材が液体とともに、管の内面
に高圧で圧送される。上述の液体は、加圧手段によって
交互に方向を変えて圧送されるので、研磨材は液体とと
もに、管の内面を高圧高速で往復圧送され、これによ
り、管の内面が能率よく粗研磨される。
【００１０】次いで、液体を低圧で交互に方向を変えて
加圧することにより、研磨材を液体とともに管の内面を
低圧低速で往復圧送させ、これにより、管の内面が鏡面
に仕上げられる。
加圧することにより、研磨材を液体とともに管の内面を
低圧低速で往復圧送させ、これにより、管の内面が鏡面
に仕上げられる。
【００１１】上述の研磨工程中で、液体に混入した研磨
材の一部が研磨材容器から溢出すると、これを沈殿トラ
ップ内に沈殿させることができ、これにより、加圧手段
により構成される液体の駆動系が研磨材によって損傷を
受けるようなトラブルの発生を回避することができる。
材の一部が研磨材容器から溢出すると、これを沈殿トラ
ップ内に沈殿させることができ、これにより、加圧手段
により構成される液体の駆動系が研磨材によって損傷を
受けるようなトラブルの発生を回避することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。図１は本発明を実施するための研磨
装置の全体構成を示し、符号１は研磨対象となる細管
で、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の研磨材２を水３に混入
させて貯留する左右の研磨材容器４，４の上部に貫挿さ
れたパイプ５，５の外端に設けられている両管継手６，
６間に架設固定され、そのパイプ５の内端は、研磨材容
器４内の下部まで垂下し、水面下底部に開口している。
一方、その水面には、研磨材容器４と沈殿トラップ７と
の間に貫挿されるパイプ８の一端が臨んでおり、そのパ
イプ８が沈殿トラップ７内でやや径が大きくなって垂下
し、その他端を水面下底部に開口させている。そして、
その沈殿トラップ７内の水面に一端を臨ませたパイプ９
が沈殿トラップ７の上部に貫挿されて、その他端が、水
３とそれよりも比重の軽い液体13とを境界面14を形成し
て貯留する境界面トラップ15の下部に接続されている。
て詳細に説明する。図１は本発明を実施するための研磨
装置の全体構成を示し、符号１は研磨対象となる細管
で、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）等の研磨材２を水３に混入
させて貯留する左右の研磨材容器４，４の上部に貫挿さ
れたパイプ５，５の外端に設けられている両管継手６，
６間に架設固定され、そのパイプ５の内端は、研磨材容
器４内の下部まで垂下し、水面下底部に開口している。
一方、その水面には、研磨材容器４と沈殿トラップ７と
の間に貫挿されるパイプ８の一端が臨んでおり、そのパ
イプ８が沈殿トラップ７内でやや径が大きくなって垂下
し、その他端を水面下底部に開口させている。そして、
その沈殿トラップ７内の水面に一端を臨ませたパイプ９
が沈殿トラップ７の上部に貫挿されて、その他端が、水
３とそれよりも比重の軽い液体13とを境界面14を形成し
て貯留する境界面トラップ15の下部に接続されている。
【００１３】上述の境界面トラップ15は縦長に形成され
てその各上部が、左右の配管16，16を介して加圧手段10
を構成する増圧シリンダの左右の油室21，22に接続さ
れ、その左右の油室21，22内を往復動する両ピストン2
3，24と一体の大ピストン25が左右に空圧室26，27を画
成するシリンダ内を往復動することにより、所定の増圧
効果（10倍）が得られるようになっている。各空圧室2
6，27は、配管28，29を介して、コントローラ30によっ
て制御切換される四方切換弁31の各出口と接続され、そ
の四方切換弁31の入口がエアパイプ32と接続されてい
る。そのエアパイプ32の上流端は高圧パイプ33と低圧パ
イプ34に分岐し、その高圧パイプ33には圧力計35と手動
調圧弁37および電磁開閉弁39が、低圧パイプ34には圧力
計36と手動調圧弁38および電磁開閉弁40がそれぞれ装着
され、各電磁開閉弁39，40はそれぞれコントローラ30に
よって制御開閉される一方、その高圧パイプ33と低圧パ
イプ34の上流端は合流してエアコンプレッサー41と接続
されている。
てその各上部が、左右の配管16，16を介して加圧手段10
を構成する増圧シリンダの左右の油室21，22に接続さ
れ、その左右の油室21，22内を往復動する両ピストン2
3，24と一体の大ピストン25が左右に空圧室26，27を画
成するシリンダ内を往復動することにより、所定の増圧
効果（10倍）が得られるようになっている。各空圧室2
6，27は、配管28，29を介して、コントローラ30によっ
て制御切換される四方切換弁31の各出口と接続され、そ
の四方切換弁31の入口がエアパイプ32と接続されてい
る。そのエアパイプ32の上流端は高圧パイプ33と低圧パ
イプ34に分岐し、その高圧パイプ33には圧力計35と手動
調圧弁37および電磁開閉弁39が、低圧パイプ34には圧力
計36と手動調圧弁38および電磁開閉弁40がそれぞれ装着
され、各電磁開閉弁39，40はそれぞれコントローラ30に
よって制御開閉される一方、その高圧パイプ33と低圧パ
イプ34の上流端は合流してエアコンプレッサー41と接続
されている。
【００１４】かかる構成の研磨装置による研磨作業の好
ましい一例を説明すると、内径 0.4mm、長さ1000mmで内
表面のあらさ２μｍ程度の細管１を研磨する場合、研磨
材２として粒度20〜60μｍのアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を
水３に対して５〜30 vol％混合させたものを研磨材容器
４，４内に充填するとともに、図示のように、沈殿トラ
ップ７，７と、境界面トラップ15，15の下部に水３を注
入し、かつその境界面トラップ15，15内に油13を注入し
て水３との間に境界面14を形成する。
ましい一例を説明すると、内径 0.4mm、長さ1000mmで内
表面のあらさ２μｍ程度の細管１を研磨する場合、研磨
材２として粒度20〜60μｍのアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を
水３に対して５〜30 vol％混合させたものを研磨材容器
４，４内に充填するとともに、図示のように、沈殿トラ
ップ７，７と、境界面トラップ15，15の下部に水３を注
入し、かつその境界面トラップ15，15内に油13を注入し
て水３との間に境界面14を形成する。
【００１５】そして、一方の手動調圧弁37を５kg／c
m2 、他方の手動調圧弁38を２kg／cm2にそれぞれ設定
し、まず、一方の電磁開閉弁39を開いて他方の電磁開閉
弁40を閉じた状態でエアコンプレッサー41を作動させる
とともに四方切換弁31により、所定時間間隔で配管28と
配管29とを交互にエアパイプ32と継接切り換える。する
と、研磨材容器４中の研磨材２が水３とともに、約50kg
／cm2 の高圧で細管１内を往復圧送され、これにより、
細管１の内表面が 0.3〜 0.5μｍの表面粗さに仕上げら
れる。
m2 、他方の手動調圧弁38を２kg／cm2にそれぞれ設定
し、まず、一方の電磁開閉弁39を開いて他方の電磁開閉
弁40を閉じた状態でエアコンプレッサー41を作動させる
とともに四方切換弁31により、所定時間間隔で配管28と
配管29とを交互にエアパイプ32と継接切り換える。する
と、研磨材容器４中の研磨材２が水３とともに、約50kg
／cm2 の高圧で細管１内を往復圧送され、これにより、
細管１の内表面が 0.3〜 0.5μｍの表面粗さに仕上げら
れる。
【００１６】次いで、一方の電磁開閉弁39を閉じて他方
の電磁開閉弁40を開いた状態で、同様に、所定時間間隔
で配管28と配管29とを交互にエアパイプ32と継接切り換
え、約20kg／cm2 の低圧で研磨材２を水３とともに、細
管１内を往復圧送させ、これにより、細管１の内表面を
0.05〜 0.2μｍの鏡面に仕上げることができる。
の電磁開閉弁40を開いた状態で、同様に、所定時間間隔
で配管28と配管29とを交互にエアパイプ32と継接切り換
え、約20kg／cm2 の低圧で研磨材２を水３とともに、細
管１内を往復圧送させ、これにより、細管１の内表面を
0.05〜 0.2μｍの鏡面に仕上げることができる。
【００１７】このような方法で、内径が 0.1〜３mm程度
の比較的長尺な細管１を粗研磨から仕上げ研磨まで連続
して能率よく研磨することができる。液状の研磨材２と
しては、上述のアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）は10〜 100μｍ
程度の粒度のものを、５〜30vol％で水と混合して用い
ればよく、研磨を効率よくおこなうためには、研磨材２
を含んだ水３が細管１内を乱流となるように高速で流過
させればよく、その流れの方向を交互に変えてもよく、
あるいは一定方向に流過させてもよい。
の比較的長尺な細管１を粗研磨から仕上げ研磨まで連続
して能率よく研磨することができる。液状の研磨材２と
しては、上述のアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）は10〜 100μｍ
程度の粒度のものを、５〜30vol％で水と混合して用い
ればよく、研磨を効率よくおこなうためには、研磨材２
を含んだ水３が細管１内を乱流となるように高速で流過
させればよく、その流れの方向を交互に変えてもよく、
あるいは一定方向に流過させてもよい。
【００１８】能率のよい研磨をおこなうためには、管の
内径および長さに応じて研磨材２の圧送圧力、その濃
度、その研磨材２を担持する水３の温度等を個々に設定
する必要がある。一般的に研磨効率をよくするために
は、圧送圧力は高く、濃度は低く、水３の温度は高くな
るようにすればよく、圧送圧力、すなわち流速を変化さ
せることにより、単位時間当たりの研磨量、研磨面の仕
上がり表面粗さを変えることができる。しかして、ま
ず、大きな流速で大きな凹凸、うねりをなくした後、小
さな流速で小さな凹凸をなくして鏡面に仕上げればよ
い。
内径および長さに応じて研磨材２の圧送圧力、その濃
度、その研磨材２を担持する水３の温度等を個々に設定
する必要がある。一般的に研磨効率をよくするために
は、圧送圧力は高く、濃度は低く、水３の温度は高くな
るようにすればよく、圧送圧力、すなわち流速を変化さ
せることにより、単位時間当たりの研磨量、研磨面の仕
上がり表面粗さを変えることができる。しかして、ま
ず、大きな流速で大きな凹凸、うねりをなくした後、小
さな流速で小さな凹凸をなくして鏡面に仕上げればよ
い。
【００１９】なお、上述の研磨工程で、研磨された後の
研磨材２が徐々に黒変し、研磨材容器４の中の水が黒濁
し、その研磨材２の一部が沈殿トラップ７に移って沈殿
するが、その研磨材２が、境界面トラップ15内の境界面
14を越えて比重の軽い液体13に移ることはなく、これに
より、増圧シリンダ10の良好な耐久性が確保される。
研磨材２が徐々に黒変し、研磨材容器４の中の水が黒濁
し、その研磨材２の一部が沈殿トラップ７に移って沈殿
するが、その研磨材２が、境界面トラップ15内の境界面
14を越えて比重の軽い液体13に移ることはなく、これに
より、増圧シリンダ10の良好な耐久性が確保される。
【００２０】ちなみに、境界面トラップ15を充分細長に
形成した場合には、比重の軽い液体との間に境界面を形
成しなくても、水のみで充分研磨材阻止効果を得ること
ができる。つまり、とくに比重の軽い液体を用いるには
及ばない。
形成した場合には、比重の軽い液体との間に境界面を形
成しなくても、水のみで充分研磨材阻止効果を得ること
ができる。つまり、とくに比重の軽い液体を用いるには
及ばない。
【００２１】図２は異なる実施の形態を示し、圧力調整
可能なポンプ45を、細管１の上流端に一端を接続されて
他端を研磨材容器４中の底部に開口させた配管46に設け
るとともに、細管１の下流端に一端を接続された配管47
の他端を研磨材容器４中の水面に臨ませている。かかる
構成によっても、ポンプ45によって、まず、高圧力で細
管１中に所定時間研磨材２を水３とともに流過させて粗
研磨をおこなった後、低圧に切り換えて所定時間同一の
研磨材２を水３とともに緩速で流過させ、前述の実施例
と略同様に、細管１の内面を能率よく鏡面仕上げするこ
とができる。
可能なポンプ45を、細管１の上流端に一端を接続されて
他端を研磨材容器４中の底部に開口させた配管46に設け
るとともに、細管１の下流端に一端を接続された配管47
の他端を研磨材容器４中の水面に臨ませている。かかる
構成によっても、ポンプ45によって、まず、高圧力で細
管１中に所定時間研磨材２を水３とともに流過させて粗
研磨をおこなった後、低圧に切り換えて所定時間同一の
研磨材２を水３とともに緩速で流過させ、前述の実施例
と略同様に、細管１の内面を能率よく鏡面仕上げするこ
とができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の管の内面
研磨方法によれば、研磨対象となる管内に液体中に混入
させた研磨材を圧送させるようにしたので、比較的長尺
な細管の内面をも能率よく研磨することができる。
研磨方法によれば、研磨対象となる管内に液体中に混入
させた研磨材を圧送させるようにしたので、比較的長尺
な細管の内面をも能率よく研磨することができる。
【００２３】また、本発明の第１の装置によれば、研磨
対象となる管の両端に接続されてループを構成する配管
に、液体中に混入した研磨材を貯留するための研磨材容
器と、その研磨材容器内の研磨材を液体とともに、前記
研磨対象となる管の内面に圧送させる圧送手段とを設け
たので、圧送手段により、研磨材容器中の研磨材を液体
とともに、管内に圧送させることにより、比較的長尺な
細管の内面をも能率よく研磨することができる。
対象となる管の両端に接続されてループを構成する配管
に、液体中に混入した研磨材を貯留するための研磨材容
器と、その研磨材容器内の研磨材を液体とともに、前記
研磨対象となる管の内面に圧送させる圧送手段とを設け
たので、圧送手段により、研磨材容器中の研磨材を液体
とともに、管内に圧送させることにより、比較的長尺な
細管の内面をも能率よく研磨することができる。
【００２４】そして、第２の装置では、研磨対象となる
管の両側に接続され、液体中に混入された研磨材を収納
する左右の研磨材容器と、前記各研磨材容器と接続さ
れ、前記液体中の研磨材を沈殿させる左右の沈殿トラッ
プと、前記両沈殿トラップとの間に接続して設けられ、
前記液体を交互に方向を変えて加圧する加圧手段とを具
備し、前記加圧手段により、前記液体を高圧で交互に向
きを変えて加圧することにより、前記左右の研磨材容器
中の液体中に混入された研磨材を、前記研磨対象となる
管の内面に高速で往復動させて粗研磨をおこなった後、
低圧で前記液体を交互に向きを変えて加圧することによ
り、前記液体中の研磨材を、前記管の内面で低速で往復
動させて仕上げ研磨をおこなうようにしたので、細管の
内面を粗研磨から仕上げ研磨まで連続して能率よく研磨
することができる。なお、この場合、研磨対象となる管
内でのみ研磨材を往復させ、かつ沈殿トラップを設けて
いるので、加圧手段に直接研磨材を侵入させることな
く、装置の耐久性を向上させることができる。
管の両側に接続され、液体中に混入された研磨材を収納
する左右の研磨材容器と、前記各研磨材容器と接続さ
れ、前記液体中の研磨材を沈殿させる左右の沈殿トラッ
プと、前記両沈殿トラップとの間に接続して設けられ、
前記液体を交互に方向を変えて加圧する加圧手段とを具
備し、前記加圧手段により、前記液体を高圧で交互に向
きを変えて加圧することにより、前記左右の研磨材容器
中の液体中に混入された研磨材を、前記研磨対象となる
管の内面に高速で往復動させて粗研磨をおこなった後、
低圧で前記液体を交互に向きを変えて加圧することによ
り、前記液体中の研磨材を、前記管の内面で低速で往復
動させて仕上げ研磨をおこなうようにしたので、細管の
内面を粗研磨から仕上げ研磨まで連続して能率よく研磨
することができる。なお、この場合、研磨対象となる管
内でのみ研磨材を往復させ、かつ沈殿トラップを設けて
いるので、加圧手段に直接研磨材を侵入させることな
く、装置の耐久性を向上させることができる。
【図１】本発明の管の内面研磨方法を実施するための装
置の一実施形態を示す全体構成図である。
置の一実施形態を示す全体構成図である。
【図２】異なる実施形態の全体構成図である。
１…管（細管）、２…研磨材、３…液体（水）、４…研
磨材容器、７…沈殿トラップ、10…加圧手段（増圧シリ
ンダ）、14…境界面、15…境界面トラップ。
磨材容器、７…沈殿トラップ、10…加圧手段（増圧シリ
ンダ）、14…境界面、15…境界面トラップ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三平 博 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社エステック内 Ｆターム(参考） 3C043 AC03 CC07 DD06 3C047 FF09 GG07 3C058 AA07 AA11 AA16 AC04 BA02 BA05 BB04 CA02 CB03
Claims (3)
- 【請求項１】 研磨対象となる管内に液体中に混入させ
た研磨材を圧送することにより、その管内面を研磨する
ことを特徴とする管の内面研磨方法。 - 【請求項２】 研磨対象となる管の両端に接続されてル
ープを構成する配管に、液体中に混入した研磨材を貯留
するための研磨材容器と、その研磨材容器内の研磨材を
液体とともに、前記研磨対象となる管の内面に圧送させ
る圧送手段とを設けたことを特徴とする管の内面研磨装
置。 - 【請求項３】 研磨対象となる管の両側に接続され、液
体中に混入された研磨材を収納する左右の研磨材容器
と、前記各研磨材容器と接続され、前記液体中の研磨材
を沈殿させる左右の沈殿トラップと、前記両沈殿トラッ
プとの間に接続して設けられ、前記液体を交互に方向を
変えて加圧する加圧手段とを具備し、前記加圧手段によ
り、前記液体を高圧で交互に向きを変えて加圧すること
により、前記左右の研磨材容器中の液体中に混入された
研磨材を、前記研磨対象となる管の内面に高速で往復動
させて粗研磨をおこなった後、低圧で前記液体を交互に
向きを変えて加圧することにより、前記液体中の研磨材
を、前記管の内面に低速で往復動させて仕上げ研磨をお
こなうようにしたことを特徴とする管の内面研磨装置。
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006063430A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Sii Micro Parts Ltd | 耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 |
| JP2006181666A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Nachi Fujikoshi Corp | 微細穴の流動加工装置 |
| JP2007083330A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Denso Corp | 流体研磨加工方法及び装置 |
| JP2011067902A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Kanazawa Univ | 研磨材混合流体研磨装置及び研磨方法 |
| WO2019003477A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 三菱製鋼株式会社 | 中空スタビライザー及びその製造方法 |
| CN110153869A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-23 | 河南四方达超硬材料股份有限公司 | 一种非平面pdc表面抛光设备 |
| JP2020146800A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社松井製作所 | 流体研磨装置 |
| JP2021003798A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 天陽航太科技股▲分▼有限公司 | ワークピースの内部表面の粗さを低減する処理装置 |
| CN114750078A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-07-15 | 中国航发上海商用航空发动机制造有限责任公司 | 喷嘴、喷挡阀、以及光整装置 |
| WO2023241411A1 (zh) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | 中国航发上海商用航空发动机制造有限责任公司 | 光整装置以及光整方法 |
-
2001
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Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006063430A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Sii Micro Parts Ltd | 耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 |
| JP4482404B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2010-06-16 | セイコーインスツル株式会社 | 耐食性パイプとその製造方法及び耐食性パイプを用いたマスフローセンサ。 |
| JP2006181666A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Nachi Fujikoshi Corp | 微細穴の流動加工装置 |
| JP4492872B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-06-30 | 株式会社不二越 | 微細穴の流動加工装置 |
| JP2007083330A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Denso Corp | 流体研磨加工方法及び装置 |
| JP2011067902A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Kanazawa Univ | 研磨材混合流体研磨装置及び研磨方法 |
| WO2019003477A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | 三菱製鋼株式会社 | 中空スタビライザー及びその製造方法 |
| JP2020146800A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社松井製作所 | 流体研磨装置 |
| JP7194996B2 (ja) | 2019-03-13 | 2022-12-23 | 株式会社松井製作所 | 流体研磨装置 |
| CN110153869A (zh) * | 2019-05-29 | 2019-08-23 | 河南四方达超硬材料股份有限公司 | 一种非平面pdc表面抛光设备 |
| JP2021003798A (ja) * | 2019-06-25 | 2021-01-14 | 天陽航太科技股▲分▼有限公司 | ワークピースの内部表面の粗さを低減する処理装置 |
| CN114750078A (zh) * | 2022-06-13 | 2022-07-15 | 中国航发上海商用航空发动机制造有限责任公司 | 喷嘴、喷挡阀、以及光整装置 |
| CN114750078B (zh) * | 2022-06-13 | 2022-10-21 | 中国航发上海商用航空发动机制造有限责任公司 | 喷嘴、喷挡阀、以及光整装置 |
| WO2023241411A1 (zh) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | 中国航发上海商用航空发动机制造有限责任公司 | 光整装置以及光整方法 |
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