JP5394024B2 - 金属管の研磨方法 - Google Patents
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Description
ここで、上記化学研磨液の流れ方向の切り替えタイミングは、金属管全長の長さ以上の往復動を化学研磨液に生成させることを意味するが、この切り替えタイミングが長過ぎると、大量の化学研磨液を必要とすることとなり、また化学研磨液の流れの方向変換による乱流の生成率が少なくなり、研磨効率が低下することから好ましくない。また、現実には、金属管は、接続チューブ等を介してポンプ,貯蔵槽の化学研磨液に接続されるため、接続チューブ等の長さも考慮する必要がある。したがって、切り替えタイミングは、それらを勘案して、ポンプから貯蔵槽の化学研磨液までの系を通過する最小限の時間に対応する時間に設定することが、最も好ましい。
ここで、金属管毎に使用する化学研磨液の量は、金属管の研磨に必要な最小限の量とすることが好ましい。これにより、研磨能力を完全に使いきった液のみを廃液として出すことができるため、研磨液使用量を大幅に減らすことが可能となる。また、最小限の量にすることにより、研磨時間が過剰になってしまっても、過剰研磨を防止することができ、時間の管理を容易にすることができる。
ここで、上記ポンプとしては、如何なるタイプのものでも使用することができ、例えばシリンジポンプ、プランジャーポンプ、モーノポンプ、ベローズポンプ、ダイヤフラムポンプ等が挙げられる。
また、管内における化学研磨液の流方向が逆転する際に、化学研磨液が乱流になって攪拌されるため、管内周面に接触する化学研磨液が管中心部の化学研磨液と交換されるので、研磨効率が維持される。
さらにまた、化学研磨液の流方向が逆転される、すなわち、金属管における化学研磨液の上流と下流との関係が交互に変更されるので、全長に亘って均一な研磨が行われる。
また、攪拌によって反応効率が上がり、反応熱発生により短時間で温度が上昇するため、また、液量が少ないことで、反応熱による液温上昇作用も高まるため、特に、常温よりも高い温度下で処理される化学研磨液を採用する場合には、その温度の維持管理が容易になる。
ここで、図1乃至図3は、本発明に係る金属管の研磨方法を実施するための研磨装置の種々の実施形態を、概念的に示した模式図である。
上記化学研磨液Bとしては、過酸化水素系研磨液,硫酸・過酸化水素系研磨液,シュウ酸・過酸化水素系研磨液,フッ素化合物・過酸化水素系研磨液,硝酸−硫酸−塩酸系研磨液,硝酸系研磨液,リン酸系研磨液,硫酸系研磨液,塩化銅系研磨液,塩化鉄系研磨液,過硫酸アンモニア系研磨液,アンモニア・アルカリ系研磨液など、種々の化学研磨液が存在するが、本発明においては、特に過酸化水素系研磨液,硫酸・過酸化水素系研磨液,シュウ酸・過酸化水素系研磨液などの過酸化水素を含有した研磨液を使用する。
したがって、研磨液貯蔵槽36の化学研磨液Bは、ポンプ31の吸引力によって、切換弁35を経て、金属管Aに流入し、金属管A内の化学研磨液Bは切換弁33,ポンプ31を介して研磨液貯蔵槽34に吐出される。
したがって、研磨液貯蔵槽34の化学研磨液Bは、ポンプ32の吸引力によって、切換弁33を経て、金属管Aに流入し、金属管A内の化学研磨液Bは切換弁35,ポンプ32を介して研磨液貯蔵槽36に吐出される。
11 往復動ポンプ
12 シリンダ
12a 圧力室
13 ピストン
14 ラック
15 モータ
16 ピニオン
17a,17b 接続チューブ
18 研磨液貯蔵槽
20 研磨装置
21 チューブポンプ
22 モータ
22a 駆動軸
23 回転体
24 ローラ
25 弾性チューブ
26a〜26d 接続チューブ
27 研磨液貯蔵槽
30 研磨装置
31,32 吸引ポンプ
33 切換弁
34 研磨液貯蔵槽
35 切換弁
36 研磨液貯蔵槽
A 金属管
B 化学研磨液
Claims (4)
- 金属管内で、過酸化水素を含有した化学研磨液を往復動させることによって、金属管内周面を研磨する金属管の研磨方法であって、金属管の一端を化学研磨液貯蔵槽内の化学研磨液に連通させるとともに、他端をポンプに接続し、該ポンプを作動させることによって、金属管内に化学研磨液の往復流を生成させることとし、前記化学研磨液の流れ方向を切り替えるタイミングは、化学研磨液が金属管全長を含む上記ポンプから上記化学研磨液貯蔵槽までの化学研磨液の流れ系を通過する時間に対応する時間とし、研磨する金属管毎に使用する化学研磨液の全量を交換することを特徴とする、金属管の研磨方法。
- 上記ポンプが、往復動ポンプであることを特徴とする、請求項1に記載の金属管の研磨方法。
- 上記ポンプが、チューブポンプであることを特徴とする、請求項1に記載の金属管の研磨方法。
- 上記ポンプ及び上記研磨液貯蔵槽が、切換弁を介して上記金属管の両端にそれぞれ接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の金属管の研磨方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008210266A JP5394024B2 (ja) | 2008-08-19 | 2008-08-19 | 金属管の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008210266A JP5394024B2 (ja) | 2008-08-19 | 2008-08-19 | 金属管の研磨方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010047779A JP2010047779A (ja) | 2010-03-04 |
JP5394024B2 true JP5394024B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=42065096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008210266A Active JP5394024B2 (ja) | 2008-08-19 | 2008-08-19 | 金属管の研磨方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5394024B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013137283A1 (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | パナソニック株式会社 | 三次元形状造形物の製造方法および三次元形状造形物 |
EP3417090B1 (en) * | 2016-02-15 | 2021-07-28 | REM Technologies, Inc. | Chemical processing of additive manufactured workpieces |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2872573B2 (ja) * | 1994-06-23 | 1999-03-17 | サンコール株式会社 | 精密部品の洗浄装置 |
JP3957857B2 (ja) * | 1998-02-10 | 2007-08-15 | 臼井国際産業株式会社 | 細径金属管の内周面清浄化方法およびその装置 |
JP4032017B2 (ja) * | 2003-09-02 | 2008-01-16 | 株式会社不二越 | ランプ状ワーク内面の流動加工装置 |
-
2008
- 2008-08-19 JP JP2008210266A patent/JP5394024B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010047779A (ja) | 2010-03-04 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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