JP2010047779A - 金属管の研磨方法および研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属管の研磨方法は、金属管内で、化学研磨液を往復動させることによって、管内周面を研磨することを特徴とし、金属管の研磨装置は、金属管の一端を研磨液貯蔵槽の化学研磨液に連通するとともに、他端をポンプに接続し、該ポンプを作動させることによって金属管内に化学研磨液の往復流を生成することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
ここで、上記化学研磨液の流れ方向の切り替えタイミングは、管全長の長さ以上の往復動を化学研磨液に生成させることを意味するが、この切り替えタイミングが長過ぎると、大量の化学研磨液を必要とすることとなり、また化学研磨液の流れの方向変換による乱流の生成率が少なくなり、研磨効率が低下することから好ましくない。また、現実には、金属管は、接続チューブ等を介してポンプ,貯蔵槽の化学研磨液に接続されるため、接続チューブ等の長さも考慮する必要がある。したがって、切り替えタイミングは、それらを勘案して、ポンプから貯蔵槽の化学研磨液までの系を通過する最小限の時間に対応する時間に設定することが、最も好ましい。
ここで、金属管毎に使用する化学研磨液の量は、金属管の研磨に必要な最小限の量とすることが好ましい。これにより、研磨能力を完全に使いきった液のみを廃液として出すことができるため、研磨液使用量を大幅に減らすことが可能となる。また、最小限の量にすることにより、研磨時間が過剰になってしまっても、過剰研磨を防止することができ、時間の管理を容易にすることができる。
ここで、上記ポンプとしては、如何なるタイプのものでも使用することができ、例えばシリンジポンプ、プランジャーポンプ、モーノポンプ、ベローズポンプ、ダイヤフラムポンプ等が挙げられる。
また、管内における化学研磨液の流方向が逆転する際に、化学研磨液が乱流になって攪拌されるため、管内周面に接触する化学研磨液が管中心部の化学研磨液と交換されるので、研磨効率が維持される。
さらにまた、化学研磨液の流方向が逆転される、すなわち、金属管における化学研磨液の上流と下流との関係が交互に変更されるので、全長に亘って均一な研磨が行われる。
また、攪拌によって反応効率が上がり、反応熱発生により短時間で温度が上昇するため、また、液量が少ないことで、反応熱による液温上昇作用も高まるため、特に、常温よりも高い温度下で処理される化学研磨液を採用する場合には、その温度の維持管理が容易になる。
また、管内における化学研磨液の流方向が逆転する際に、化学研磨液が乱流になって、攪拌されるため、管内周面に接触する化学研磨液が内部の化学研磨液と交換されるので、研磨効率が向上する。
さらにまた、化学研磨液の流方向が逆転される、すなわち、金属管における化学研磨液の上流と下流との関係が交互に変更されるので、全長に亘って均一な研磨が行われる。
また、攪拌によって温度が上昇するため、特に、常温よりも高い温度下で処理される化学研磨液を採用する場合には、その温度の維持管理が容易になる。
ここで、図1乃至図3は、本発明に係る金属管の研磨方法を実施するための研磨装置の種々の実施形態を、概念的に示した模式図である。
上記化学研磨液Bとしては、過酸化水素系研磨液,硫酸・過酸化水素系研磨液,シュウ酸・過酸化水素系研磨液,フッ素化合物・過酸化水素系研磨液,硝酸−硫酸−塩酸系研磨液,硝酸系研磨液,リン酸系研磨液,硫酸系研磨液,塩化銅系研磨液,塩化鉄系研磨液,過硫酸アンモニア系研磨液,アンモニア・アルカリ系研磨液など、公知の種々の化学研磨液を使用することができる。
したがって、研磨液貯蔵槽36の化学研磨液Bは、ポンプ31の吸引力によって、切換弁35を経て、金属管Aに流入し、金属管A内の化学研磨液Bは切換弁33,ポンプ31を介して研磨液貯蔵槽34に吐出される。
したがって、研磨液貯蔵槽34の化学研磨液Bは、ポンプ32の吸引力によって、切換弁33を経て、金属管Aに流入し、金属管A内の化学研磨液Bは切換弁35,ポンプ32を介して研磨液貯蔵槽36に吐出される。
11 往復動ポンプ
12 シリンダ
12a 圧力室
13 ピストン
14 ラック
15 モータ
16 ピニオン
17a,17b 接続チューブ
18 研磨液貯蔵槽
20 研磨装置
21 チューブポンプ
22 モータ
22a 駆動軸
23 回転体
24 ローラ
25 弾性チューブ
26a〜26d 接続チューブ
27 研磨液貯蔵槽
30 研磨装置
31,32 吸引ポンプ
33 切換弁
34 研磨液貯蔵槽
35 切換弁
36 研磨液貯蔵槽
A 金属管
B 化学研磨液
Claims (7)
- 金属管内で、化学研磨液を往復動させることによって、管内周面を研磨することを特徴とする、金属管の研磨方法。
- 化学研磨液の流れ方向を切り替えるタイミングは、化学研磨液が少なくとも管全長を通過する時間以上の時間であることを特徴とする、請求項1に記載の金属管の研磨方法。
- 研磨する金属管毎に化学研磨液の全量を交換することを特徴とする、請求項1または2に記載の金属管の研磨方法。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の金属管の研磨方法を実施する研磨装置であって、金属管の一端を研磨液貯蔵槽内の化学研磨液に連通させるとともに、他端をポンプに接続し、該ポンプを作動させることによって、金属管内に往復流を生成させることを特徴とする、金属管の研磨装置。
- 前記ポンプが、往復動ポンプであることを特徴とする、請求項4に記載の金属管の研磨装置。
- 前記ポンプが、チューブポンプであることを特徴とする、請求項4に記載の金属管の研磨装置。
- 前記ポンプを前記金属管の両端にそれぞれ接続したことを特徴とする、請求項4に記載の金属管の研磨装置。
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