JP6924178B2 - 液体リングポンプ - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 処理チャンバ(10)からの腐食性排ガス流を処理するための液体リングポンプ(32)であって、前記腐食性排ガス流は、前記ポンプのサービス液と反応するか又はそれに溶解して腐食生成物を形成するものであり、前記液体リングポンプは、
中央ポンプチャンバ軸を中心とした円筒形で前記ガス流及び前記サービス液を受け入れる環状ポンプチャンバ(56,90)と、
前記中央ポンプチャンバ軸からオフセットしたロータ軸(58)を有するロータであって、複数のロータブレードを有し、前記ロータブレードは、前記ロータが回転すると、前記ポンプチャンバ内の液体が前記ポンプチャンバの中心軸と一致した中心を有するリングを形成するようにさせ、かつ前記ポンプチャンバの入口から出口へ運ばれる排ガスの圧縮を引き起こすロータ(54)と、
駆動チャンバであって前記環状ポンプチャンバと流体連通して該駆動チャンバおよび前記ポンプチャンバ内のサービス液の循環を可能にする駆動チャンバ(92)と、
前記ロータを駆動するための磁気駆動組立体であって、前記駆動チャンバに収容され前記駆動チャンバの外部の磁気駆動部と磁気結合することができ前記磁気駆動部がモータによって駆動されたとき前記磁気従動部が前記ロータに回転を伝えるように構成されている磁気従動部(74)を有する磁気駆動組立体と、を備え、
前記ポンプチャンバと駆動チャンバと磁気従動部とロータは、前記腐食性排ガス流と該ガス流がサービス液で処理された場合に発生する腐食生成物とに対して耐性を示す1又は2以上の材料から成り、
前記磁気従動部(74)が、前記ロータ(54)に対して固定され、前記磁気駆動部と磁気従動部との軸方向の整列が、使用時に、前記磁気駆動部が前記磁気従動部に軸方向スラストを与え前記ポンプチャンバ内での前記ロータの軸方向位置合わせさせるように前記ロータをポートプレート(82)内に配置されたスラストプレート(104)と協働させるように構成されている、
ことを特徴とする液体リングポンプ。 - 前記ロータ及び前記従動部は、前記ロータのオフセット軸と位置合わせされた中心を有する軸方向軸によって回転支持され、前記軸方向軸は、耐食性材料から作られている、
請求項1に記載の液体リングポンプ。 - 前記ポンプに入るサービス液は、前記軸方向軸の外面を潤滑及び洗浄するために、前記軸方向軸と、前記ロータ又は前記磁気従動部との間で運ばれる、
請求項2に記載の液体リングポンプ。 - 前記軸方向軸と前記磁気従動部又は前記ロータのうちの1つは、前記軸方向軸に沿ってサービス液を運ぶための軸方向に延びるチャンネルを備える、
請求項3に記載の液体リングポンプ。 - 前記磁気従動部及び前記ロータは、前記軸方向軸を支持するための軸受をそれぞれ備える、
請求項2から4のいずれか1項に記載の液体リングポンプ。 - 前記ロータは、前記スラストプレートと協働する軸受面を備え、前記ポンプに入るサービス液は、前記軸受面と前記スラストプレートとの間で運ばれ、前記スラストプレートは、非接触流体軸方向軸受を形成する、
請求項3から5のいずれか1項に記載の液体リングポンプ。 - 前記軸受面は、前記軸受面を横切ってサービス液を運び、前記流体軸受を形成する複数の略半径方向に延びるチャンネルを備える、
請求項6に記載の液体リングポンプ。 - 前記駆動チャンバの半径方向外側部は、処理又は廃棄目的でサービス液をポンプから排出させることができる排出ポートを備え、前記駆動チャンバ内での前記磁気従動部の回転は、前記排出ポートを通る前記サービス液に流体力を与える、前記駆動チャンバの半径方向外周の周りの液体リングを形成する、
請求項1から7のいずれか1項に記載の液体リングポンプ。 - 前記液体リング内の液体を前記ポンプチャンバの高圧領域から低圧領域へ運ぶために、前記ポンプチャンバに開口する第1のポート及び第2のポートで形成された端部を有する導管を備える、
請求項1から8のいずれか1項に記載の液体リングポンプ。 - 前記導管の端部は、前記液体リングの接線とほぼ一致しており、前記導管に流入する液体流を増加させる、及び/又は液体が前記液体リングの接線に沿って前記導管から流出することを可能にする、
請求項9に記載の液体リングポンプ。 - 処理チャンバからの腐食性排ガス流を処理するための装置であって、
請求項1ないし10のいずれか1項に記載の液体リングポンプを有するポンプ構成を備え、
前記ポンプチャンバが、前記処理チャンバからの排ガス流入と、サービス液源からの前記サービス液とを受入れる、ことを特徴とする装置。 - 前記液体リングポンプは、前記サービス液を受け入れるための入口と、腐食性生成物を含有するサービス液を排出するための出口とを備え、液体制御部は、前記排ガス流及び前記サービス液の成分に応じて、サービス液の供給源から前記ポンプに入る液体の割合を制御するように構成される、
請求項11に記載の装置。 - 前記液体制御部は、前記排ガスの成分の前記サービス液との溶解度又は反応度に応じて、サービス液の供給源から前記ポンプに入る液体の割合を制御するように構成される、
請求項12に記載の装置。 - 前記排ガス流はフッ素を含有し、前記サービス液は水であり、前記液体制御部は、サービス液の供給源から前記ポンプに流入する液体の割合を制御するように構成され、前記ポンプ内の前記サービス液の温度が所定の温度よりも高く維持されるのを保証するようになっている、
請求項12または13に記載の装置。 - 前記液体リングポンプは、略鉛直に配置され、前記ポンプへの入口は鉛直方向に延びており、排ガス流内の微粒子は重力下で前記ポンプ内に落下する、
請求項11から14のいずれか1項に記載の装置。
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