JPS6189992A - 油回転真空ポンプ - Google Patents
油回転真空ポンプInfo
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- JPS6189992A JPS6189992A JP21230484A JP21230484A JPS6189992A JP S6189992 A JPS6189992 A JP S6189992A JP 21230484 A JP21230484 A JP 21230484A JP 21230484 A JP21230484 A JP 21230484A JP S6189992 A JPS6189992 A JP S6189992A
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- oil
- vacuum pump
- cylinder
- pump
- gas
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/18—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by varying the volume of the working chamber
- F04C28/22—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids characterised by varying the volume of the working chamber by changing the eccentricity between cooperating members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/30—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members
- F04C18/34—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members
- F04C18/344—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member
- F04C18/3441—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids having the characteristics covered by two or more of groups F04C18/02, F04C18/08, F04C18/22, F04C18/24, F04C18/48, or having the characteristics covered by one of these groups together with some other type of movement between co-operating members having the movement defined in group F04C18/08 or F04C18/22 and relative reciprocation between the co-operating members with vanes reciprocating with respect to the inner member the inner and outer member being in contact along one line or continuous surface substantially parallel to the axis of rotation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、油回転真空ポンプに関する。
（従来の技術）
容器内の空気、その他のガスを排気し、目的とする減圧
状態を保つために使用される機械類を総称して真空ポン
プという。その種類は多く、いずれも、容器内の排気ガ
スを吸入し、大気圧またはそれよりやや高目に圧縮して
排出するものである。
状態を保つために使用される機械類を総称して真空ポン
プという。その種類は多く、いずれも、容器内の排気ガ
スを吸入し、大気圧またはそれよりやや高目に圧縮して
排出するものである。
油回転真空ポンプ（以下「真空ポンプ」という）では、
油を含むシリンダ内部で偏心ロータを回転させ、圧縮室
の容積を変えて排気ガスの吸入、抽出を行なっている。
油を含むシリンダ内部で偏心ロータを回転させ、圧縮室
の容積を変えて排気ガスの吸入、抽出を行なっている。
そのような作動をすると、／リンダなどに多歌の熱が発
生する。この熱は速かに外部に放散されなければならず
、蓄積すると、真空ポンプに種々の悪影響を与える。例
えは、油の粘性低下によるシール作用の劣化、油の蒸発
による真空機能の低下、真空ポンプの各構成要素に対す
る熱歪の発生などである。一般に、従来の真空ポンプは
、熱を外部に放散させるため、ンリノグなどの発熱部の
大部分を、ポンプケース内に蓄えた油溜めの中に設置し
、熱をポンプケースに尊くと共に、さらに冷却効果を増
すため、そのケース外周壁にＷ数の冷却フィンを設けて
いる。このような油には、一般に鉱物油が用いられてお
り、単にシリンダの外周壁から熱を奪うばかりでなく、
真空ポンプの潤滑油として作用し、油溜めから細孔を通
り、軸シール部、回転軸部などを経て、シリンダ内部に
入り、その油溜めに戻るという循環を操り返す。その循
環過程で、油はシリンダのべ一７摺動部などから熱を取
り去る。また、／リングの死容積、例えばシリンダ内周
壁に開けたガス排出口から排出バルブに至るガス排出室
などを油で埋めて、ガスの逆流を防ぎ、真空ポンプの圧
縮比を上げる。また、隙間を埋めて気密にし、ソール効
果を高めるなどの作用も行なう。
生する。この熱は速かに外部に放散されなければならず
、蓄積すると、真空ポンプに種々の悪影響を与える。例
えは、油の粘性低下によるシール作用の劣化、油の蒸発
による真空機能の低下、真空ポンプの各構成要素に対す
る熱歪の発生などである。一般に、従来の真空ポンプは
、熱を外部に放散させるため、ンリノグなどの発熱部の
大部分を、ポンプケース内に蓄えた油溜めの中に設置し
、熱をポンプケースに尊くと共に、さらに冷却効果を増
すため、そのケース外周壁にＷ数の冷却フィンを設けて
いる。このような油には、一般に鉱物油が用いられてお
り、単にシリンダの外周壁から熱を奪うばかりでなく、
真空ポンプの潤滑油として作用し、油溜めから細孔を通
り、軸シール部、回転軸部などを経て、シリンダ内部に
入り、その油溜めに戻るという循環を操り返す。その循
環過程で、油はシリンダのべ一７摺動部などから熱を取
り去る。また、／リングの死容積、例えばシリンダ内周
壁に開けたガス排出口から排出バルブに至るガス排出室
などを油で埋めて、ガスの逆流を防ぎ、真空ポンプの圧
縮比を上げる。また、隙間を埋めて気密にし、ソール効
果を高めるなどの作用も行なう。
しかし、このような真空ポンプは冷却効率が悪く、直接
シリンダの外周壁に油を接触させて熱を外部に導くため
、当然油は高温となっている。それ故、このような真空
ポンプを半導体製造装置に用いると、それらの’Ｉｉｌ
！ ａ ｒ稈に用いられた反応１１の１“、−い排気ガ
ス、例えは塩素系ガスなとか吸入され、真空ポンプ内に
おける排気ガスの吸入から排出までの排気ガス流通経路
、例えばシリンダ内で・その排気ガスは高温の油と接触
することになる。
シリンダの外周壁に油を接触させて熱を外部に導くため
、当然油は高温となっている。それ故、このような真空
ポンプを半導体製造装置に用いると、それらの’Ｉｉｌ
！ ａ ｒ稈に用いられた反応１１の１“、−い排気ガ
ス、例えは塩素系ガスなとか吸入され、真空ポンプ内に
おける排気ガスの吸入から排出までの排気ガス流通経路
、例えばシリンダ内で・その排気ガスは高温の油と接触
することになる。
そのとき、排気ガスは温度が高いと反応速度を増すため
、高温の油は排気ガスとよく反応し、粘度が上がり、固
まるようになる。そのような油と排気ガスとの反応物は
、排気ガス流通経路などに付着する。
、高温の油は排気ガスとよく反応し、粘度が上がり、固
まるようになる。そのような油と排気ガスとの反応物は
、排気ガス流通経路などに付着する。
通常、真空ポンプは、圧縮比を上げるため、各偏心ロー
タの回転軸を同軸とする２段の真空ポンプを備えている
。その一段側真空ポンプ（高真空側）は、排気ガスを吸
入し、容器内の圧力を大気ｆ１１００ ＋ｌｌｍＨｇ付
近まで主として減圧するものである。容器内のガス圧力
が１ＱＱｌ１ｍＨｇ付近まで近づくと、もはや排出する
排気ガス量は、一段側真空ポンプの排出バルブを押し上
げるだけの力はない。そこで、その排気ガスは、今度は
一段 。
タの回転軸を同軸とする２段の真空ポンプを備えている
。その一段側真空ポンプ（高真空側）は、排気ガスを吸
入し、容器内の圧力を大気ｆ１１００ ＋ｌｌｍＨｇ付
近まで主として減圧するものである。容器内のガス圧力
が１ＱＱｌ１ｍＨｇ付近まで近づくと、もはや排出する
排気ガス量は、一段側真空ポンプの排出バルブを押し上
げるだけの力はない。そこで、その排気ガスは、今度は
一段 。
側真空ポンプを通り、二段側真空ポンプ（低真空側）に
送られ、容器内のガス圧力は１００１００ｆｉ付肛から
ＱｍｍＨｇに向って減圧される。なお、二段側真空ポン
プの吸入口は一段側真空ポンプの排出口に繋がっている
。
送られ、容器内のガス圧力は１００１００ｆｉ付肛から
ＱｍｍＨｇに向って減圧される。なお、二段側真空ポン
プの吸入口は一段側真空ポンプの排出口に繋がっている
。
それらの各真空ポンプのシリンダ内部に入る油は、オイ
ルポンプ（回転軸は各真空ポンプの回転軸と同軸）によ
って、油溜めから吸い上げられ、＋１０圧され、まず軸
シール部などを潤した後、二段側真空ポンプに入る。そ
こで、油中に含まれる脱ガス性不純物、気泡などは、排
気ガスと共に、乳量される。二段側真空ポンプを潤した
曲の一部（池はその排出口より油溜めに戻る）は、一段
側真空ポンプが高真空のため吸引され、続いて一段＋＋
＋ｌｌ真空ポンプに入る。そのため、前述した油と排気
ガスとの反応物は、それらの油循環回路、特に曲と排気
ガスとが直接接触する排気ガス流通経路に多く付着する
。
ルポンプ（回転軸は各真空ポンプの回転軸と同軸）によ
って、油溜めから吸い上げられ、＋１０圧され、まず軸
シール部などを潤した後、二段側真空ポンプに入る。そ
こで、油中に含まれる脱ガス性不純物、気泡などは、排
気ガスと共に、乳量される。二段側真空ポンプを潤した
曲の一部（池はその排出口より油溜めに戻る）は、一段
側真空ポンプが高真空のため吸引され、続いて一段＋＋
＋ｌｌ真空ポンプに入る。そのため、前述した油と排気
ガスとの反応物は、それらの油循環回路、特に曲と排気
ガスとが直接接触する排気ガス流通経路に多く付着する
。
（発明が解決しようとする問題点２
そのように排気ガス流通経路などのコーナ部付近には付
着物が付き易く、付着物が多く付くと、排気ガスの流通
、油の循環を妨げる。また、ノリフグ、排出バルブなど
その経路に設けられた作動部材に付くと、その動作を妨
げることになる。これは一段側真空ポンプでも、二段側
真空ポンプでも同じであるか、一段側には生ガス（容器
から抜いたばかりのガス）が直接人ってくるため、反応
物が固まり易く、それだけに油切れの可能性が大きい。
着物が付き易く、付着物が多く付くと、排気ガスの流通
、油の循環を妨げる。また、ノリフグ、排出バルブなど
その経路に設けられた作動部材に付くと、その動作を妨
げることになる。これは一段側真空ポンプでも、二段側
真空ポンプでも同じであるか、一段側には生ガス（容器
から抜いたばかりのガス）が直接人ってくるため、反応
物が固まり易く、それだけに油切れの可能性が大きい。
通常、２週間に１回オイル交換をしているが、このよう
なオイル交換だけでは、付着物を取り除くことができず
、障害を解消することができない。
なオイル交換だけでは、付着物を取り除くことができず
、障害を解消することができない。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
ものであり、排気ガス流通経路などに付く、付着物を取
り除き、油の供給・循環、偏心ロータの回転、排出バル
ブの作動などに支障のない、ポンプ寿命を長くし得る油
回転真空ポンプを提供することを目的とする。
ものであり、排気ガス流通経路などに付く、付着物を取
り除き、油の供給・循環、偏心ロータの回転、排出バル
ブの作動などに支障のない、ポンプ寿命を長くし得る油
回転真空ポンプを提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
上記目的を達成するために、本発明は、排気ガス流通経
路などに設けられた作動部材例えば排出バルブなど、付
着物の付き賜い個所に付く付γｆ物を？５シい流すｆｋ
ｍ油をｆＪｌ：給するものであり、そのための洗ｒ’ｆ
ｔ油供給回路を備える。また、ノリング内部では、その
付着物を洗い流すばかりでなく、特に油を増９する必要
があるので、それらを兼ねて貯１１辻油を供給するもの
であり、そのために増量油供給回路を備えるものである
。
路などに設けられた作動部材例えば排出バルブなど、付
着物の付き賜い個所に付く付γｆ物を？５シい流すｆｋ
ｍ油をｆＪｌ：給するものであり、そのための洗ｒ’ｆ
ｔ油供給回路を備える。また、ノリング内部では、その
付着物を洗い流すばかりでなく、特に油を増９する必要
があるので、それらを兼ねて貯１１辻油を供給するもの
であり、そのために増量油供給回路を備えるものである
。
（作用）
上記手段は次のように作用する。
排気ガス流通経路などに設けられた作動部材例えは排出
バルブなど、付着物の付き易い個所に付く付着物を洗い
流す洗浄油を供給する洗浄油供給回路を備えているため
、コーナ部、作動部材の複雑な構造部などを洗浄し、付
着物を洗い流して取り除き、油の供給・循環と各作動部
材の作動とを円滑にする。また、シリング内部に付く付
着物を洗い流し、シリンダ内部の油量を増す増量油供給
回路を備えているため、シリンダ内部のコーナ部、ベー
／設置部などを洗浄し、付着物を洗い流して取り除き、
油を増量して油切れを防ぎ、偏心ロータの回転動作を円
滑にすると共に、排気′ＩＡＡ度を」―昇する。
バルブなど、付着物の付き易い個所に付く付着物を洗い
流す洗浄油を供給する洗浄油供給回路を備えているため
、コーナ部、作動部材の複雑な構造部などを洗浄し、付
着物を洗い流して取り除き、油の供給・循環と各作動部
材の作動とを円滑にする。また、シリング内部に付く付
着物を洗い流し、シリンダ内部の油量を増す増量油供給
回路を備えているため、シリンダ内部のコーナ部、ベー
／設置部などを洗浄し、付着物を洗い流して取り除き、
油を増量して油切れを防ぎ、偏心ロータの回転動作を円
滑にすると共に、排気′ＩＡＡ度を」―昇する。
（実施例）
以下、添付図面に括づいて、本発明の実に１例を７悦明
する。
する。
第１図は、本発明の一実施例の要部を示す油供給回路図
である。第２図は、本発明の一実施例を示す正面図、＠
３図は、その平面図、第４図は、その右側面図、第５図
は、第６図の八−に断面図であり、一段側真空ポンプか
らオイルタンクに至る排気ガス流通経路を示すものであ
る。図中、１０はモータ、１２はポンプ本体、１４はオ
イルタ／りである。１６は一段側真空ポンプのシリンダ
であり、ポンプ本体のほぼ中央部に設置されている。１
８はそのンリンダ壁１７内に偏心状態で位；ニゲする偏
心ロータであり、その回転＠（図示なし）は力、ブリン
グを介して、モータ１Ｇの回転軸（図示なし）に連結し
ている。２０（２０＆、２０１））は一対のベーンであ
り、それらの一端はスジ１１ング２２により互いに結合
され、その偏心ロータ１８の径方向に移動自在に支持さ
れている。なお、２３（２３ａ〜２３ｅ）はシリンダ外
周壁２４に設けられた多数の冷却フィン、２５（２５＆
、２５ｂ）はそのシリンダ外周壁２４から突出し、シリ
ング１６を支えるンリンダ脚である。
である。第２図は、本発明の一実施例を示す正面図、＠
３図は、その平面図、第４図は、その右側面図、第５図
は、第６図の八−に断面図であり、一段側真空ポンプか
らオイルタンクに至る排気ガス流通経路を示すものであ
る。図中、１０はモータ、１２はポンプ本体、１４はオ
イルタ／りである。１６は一段側真空ポンプのシリンダ
であり、ポンプ本体のほぼ中央部に設置されている。１
８はそのンリンダ壁１７内に偏心状態で位；ニゲする偏
心ロータであり、その回転＠（図示なし）は力、ブリン
グを介して、モータ１Ｇの回転軸（図示なし）に連結し
ている。２０（２０＆、２０１））は一対のベーンであ
り、それらの一端はスジ１１ング２２により互いに結合
され、その偏心ロータ１８の径方向に移動自在に支持さ
れている。なお、２３（２３ａ〜２３ｅ）はシリンダ外
周壁２４に設けられた多数の冷却フィン、２５（２５＆
、２５ｂ）はそのシリンダ外周壁２４から突出し、シリ
ング１６を支えるンリンダ脚である。
２６はガス吸入路であり、他の容器（図示なし）内の排
気ガス例えば反応性ガスを吸入し、／リンダ１６内に導
く管路などである。 、 ２７はガス排出路であり、シリンダ１６から排出された
ガスをタンク着脱管２８と連結してオイルタンク１４に
導く管路などである。２９は排出バルブであり、スプリ
ング６０により常閉力が与えられている。そのため、ガ
ス排出圧力が一定１１σ以上にならないと、シリンダ１
６からガス排出路２７への通路は形成されない。３１は
ガス排出室であり、シリング内周壁３２に開けたガス排
出口３５から排出バルブ２９に至るガス溜まりである。
気ガス例えば反応性ガスを吸入し、／リンダ１６内に導
く管路などである。 、 ２７はガス排出路であり、シリンダ１６から排出された
ガスをタンク着脱管２８と連結してオイルタンク１４に
導く管路などである。２９は排出バルブであり、スプリ
ング６０により常閉力が与えられている。そのため、ガ
ス排出圧力が一定１１σ以上にならないと、シリンダ１
６からガス排出路２７への通路は形成されない。３１は
ガス排出室であり、シリング内周壁３２に開けたガス排
出口３５から排出バルブ２９に至るガス溜まりである。
このように容器（図示なし）から排出すべき排気ガスは
、ガス吸入路２６を通り、ガス吸入０１９からシリング
１６内に入り、偏心ロータ１８の９１周壁２）、そのシ
リング内周壁３２、ヘー／２０などで形成された圧縮室
３６を経て、ガスＵ１出口６５からガス排出室ろ１に至
り、さらに一定値以上の圧力で力′ス１，１１出バルゾ
２９を押し上げ、ガス排出路２７へとその流通経路をた
どって、オイルタンク１４から導出される。
、ガス吸入路２６を通り、ガス吸入０１９からシリング
１６内に入り、偏心ロータ１８の９１周壁２）、そのシ
リング内周壁３２、ヘー／２０などで形成された圧縮室
３６を経て、ガスＵ１出口６５からガス排出室ろ１に至
り、さらに一定値以上の圧力で力′ス１，１１出バルゾ
２９を押し上げ、ガス排出路２７へとその流通経路をた
どって、オイルタンク１４から導出される。
５４はポンプケースであり、その中に設置されるノリン
グ１６などのポンプ本体構成要素の支持体である。３６
（３６ａ〜６６ｄ）は空冷室であり、シリンダ外周壁２
４とそのポンプケース３４の内面間に形成されている。
グ１６などのポンプ本体構成要素の支持体である。３６
（３６ａ〜６６ｄ）は空冷室であり、シリンダ外周壁２
４とそのポンプケース３４の内面間に形成されている。
３８はポンプ台であり、ポンプ本体１２とそこに外付け
されたオイルタンク１４の総重量を支えるものである。
されたオイルタンク１４の総重量を支えるものである。
オイルタンク１４はその上方にガス導出管（図示なし）
などに連なるガス導出口４０、その側壁４２上方にガス
導入口４４などを有する。そのガスｙ入口４４にはポン
プ本体１２に備えられたタンク着脱管２８と着脱自在の
連結機構４６を設けである。タンク内部は、上部がガス
がま９４８、）ｊ′亀か浦溜まり５０であり、その油の
状態を油面１ｉ１５１により知ることかできる。５３は
タック１４内への油注入口、５５はそのｈ口であり、油
交換時以外はいずれもそれらは閉じられている。
などに連なるガス導出口４０、その側壁４２上方にガス
導入口４４などを有する。そのガスｙ入口４４にはポン
プ本体１２に備えられたタンク着脱管２８と着脱自在の
連結機構４６を設けである。タンク内部は、上部がガス
がま９４８、）ｊ′亀か浦溜まり５０であり、その油の
状態を油面１ｉ１５１により知ることかできる。５３は
タック１４内への油注入口、５５はそのｈ口であり、油
交換時以外はいずれもそれらは閉じられている。
５２は送油滑１管であり、油はその管を経て、オイルポ
ンプ５９によりタンク１４内から吸い上げら１１、シリ
ンダ１６内部などに供給される。５７はタック１４の取
っ手、５８はポンプ本体１２へのオイルタンク１４の取
付は具である。
ンプ５９によりタンク１４内から吸い上げら１１、シリ
ンダ１６内部などに供給される。５７はタック１４の取
っ手、５８はポンプ本体１２へのオイルタンク１４の取
付は具である。
６０は二Ｍ２ （ｔｌＱ真空ポンプのシリンダである。
この二段憤１真空ポンプ６０は、上述した一段側真空ボ
、ブの７リンダ１６とけは同一の構成を有するか、その
容量は小さい。６２はその偏心ロータであり、その回転
軸６４は一段側真空ポンプと同軸である。このような二
段側真空ポンプに入る排気ガスは、一段側真空ポンプの
ガス排出室６１から軸往路（図示なし）を通り、そのガ
ス吸入口（図示なし）に送り込まれる。シリンダ６０内
に入った排気ガスは、偏心ロータ６２の外周壁６８、そ
のシリンダ内周壁７０、ベーン６６などで形成さねた圧
縮室７２を経て、ガス初出ロア４からガスリド出等−７
６に余り、さらに一定値以上の圧力でｊ１１出バルブ７
８をスプリ／り８０に抗して押し」−は、ガス排出路８
２へとその流通経路をたどって、オイルタンク１４から
導出される。なお、８６はそのオイルタンク１４とのタ
ンク着脱管である。
、ブの７リンダ１６とけは同一の構成を有するか、その
容量は小さい。６２はその偏心ロータであり、その回転
軸６４は一段側真空ポンプと同軸である。このような二
段側真空ポンプに入る排気ガスは、一段側真空ポンプの
ガス排出室６１から軸往路（図示なし）を通り、そのガ
ス吸入口（図示なし）に送り込まれる。シリンダ６０内
に入った排気ガスは、偏心ロータ６２の外周壁６８、そ
のシリンダ内周壁７０、ベーン６６などで形成さねた圧
縮室７２を経て、ガス初出ロア４からガスリド出等−７
６に余り、さらに一定値以上の圧力でｊ１１出バルブ７
８をスプリ／り８０に抗して押し」−は、ガス排出路８
２へとその流通経路をたどって、オイルタンク１４から
導出される。なお、８６はそのオイルタンク１４とのタ
ンク着脱管である。
８４はポンプ停止時油流入防止バルブであり、ホ゛ンプ
停止後（すべてのポンプは同軸であるから同時に停止す
る）に、オイルタンク１４からオ・イルポンプ５９の間
隔を通って、油か真空状態の各真空ポンプに流れ込むの
を防止するものである。
停止後（すべてのポンプは同軸であるから同時に停止す
る）に、オイルタンク１４からオ・イルポンプ５９の間
隔を通って、油か真空状態の各真空ポンプに流れ込むの
を防止するものである。
８６はポンプ停止時逆流防止バルブであり、ポンプ停止
後に、排気ガス流通経路などに設けられた作動部材、例
えば各排出バルブ２９．７８のふガス排出路２７．８２
側に注がれた洗浄油やオイルタンク１４、各ガス排出路
２７．８２中の排気ガスなどが、６ンリ／ダ１６．６０
内に逆流して流れ込むのを防止するものである。
後に、排気ガス流通経路などに設けられた作動部材、例
えば各排出バルブ２９．７８のふガス排出路２７．８２
側に注がれた洗浄油やオイルタンク１４、各ガス排出路
２７．８２中の排気ガスなどが、６ンリ／ダ１６．６０
内に逆流して流れ込むのを防止するものである。
８８はシリンダ１６．６０に各々潤滑油を供給する通常
のｎｍ油供給回路である。この供給回路 ５
ごの供給回路８８では、油はオイルポンプ５９によりメ
イルタンク１４から送油細管５２を通って吸い上げ加圧
され、ポンプ停止時油流入防止バルブ８４を経て、二段
側真空ポンプのシリンダ６０内部へ供給され、さらに細
孔を経て一段側真空ポンプのシリンダ１６へと供給され
て行く。
のｎｍ油供給回路である。この供給回路 ５
ごの供給回路８８では、油はオイルポンプ５９によりメ
イルタンク１４から送油細管５２を通って吸い上げ加圧
され、ポンプ停止時油流入防止バルブ８４を経て、二段
側真空ポンプのシリンダ６０内部へ供給され、さらに細
孔を経て一段側真空ポンプのシリンダ１６へと供給され
て行く。
９０は排気ガス流通経路などに設けられた作動部材例え
ば排出バルブなど、付着物の付き易い個所に付く付着物
を洗い流す洗浄油を、／ヤワー状に供給する洗浄油供給
回路である。この供給回路９０では、油は通常の潤滑油
供給回路から分枝し、ポンプ停止時逆流防止バルブ８６
を経て、二段側真空ポンプの排気ガス流通経路などに設
けられた作動部材例えば排出バルブ８０のガス排出路８
２七など、付着物の付き易い個所に付く付着物にシャワ
ー状に供給される。また、排出バルブ２９などにも、同
様にシャワー状に供給される。
ば排出バルブなど、付着物の付き易い個所に付く付着物
を洗い流す洗浄油を、／ヤワー状に供給する洗浄油供給
回路である。この供給回路９０では、油は通常の潤滑油
供給回路から分枝し、ポンプ停止時逆流防止バルブ８６
を経て、二段側真空ポンプの排気ガス流通経路などに設
けられた作動部材例えば排出バルブ８０のガス排出路８
２七など、付着物の付き易い個所に付く付着物にシャワ
ー状に供給される。また、排出バルブ２９などにも、同
様にシャワー状に供給される。
９２はノリシダ１６内部に付く付着物を洗い流し、シリ
ンダ１６内部の油量を増す増量油供給回路である。この
供給回路９２では、油は通常の７１■滑油供給回路８８
から分快し、供給停止１−バルブ９４を経て、一段側真
空ポンプのシリンダ１６内部に直接供給される。
ンダ１６内部の油量を増す増量油供給回路である。この
供給回路９２では、油は通常の７１■滑油供給回路８８
から分快し、供給停止１−バルブ９４を経て、一段側真
空ポンプのシリンダ１６内部に直接供給される。
次に、以上の構成に基づく本実施例の動作を説明する。
まず、減圧しようとする容器（図示なし）に配偶し、そ
の容器内の反応性ガスなどをガス吸入管２６からシリン
ダ１６内に吸入する。このとき、偏心ロータ１８はその
回転＠（図示なし）がモータ１０に連結し、高速な回転
状態にある。そのため、排気ガスはシリンダ１６のガス
吸入口１９から圧縮室６３に入ってくる。口の圧縮室６
ろ内で、シリンダ内周壁６２と摺動しているベーン２０
に押されて圧縮され、容積を変え（減少）ながら１周し
てシリンダ１６のガス排出口６５に向かう。
の容器内の反応性ガスなどをガス吸入管２６からシリン
ダ１６内に吸入する。このとき、偏心ロータ１８はその
回転＠（図示なし）がモータ１０に連結し、高速な回転
状態にある。そのため、排気ガスはシリンダ１６のガス
吸入口１９から圧縮室６３に入ってくる。口の圧縮室６
ろ内で、シリンダ内周壁６２と摺動しているベーン２０
に押されて圧縮され、容積を変え（減少）ながら１周し
てシリンダ１６のガス排出口６５に向かう。
このシリンダ１６内には、二段側真空ポンプのシリンダ
６０から細孔（図示なし）を通じ、潤滑油が供給されて
いる。しかし、この潤滑油だけでは、その油と反応性ガ
スとが良く反応し、／す／ゲ内部のベーン摺動部などに
付着物が多積に付き、作動を妨げると共に、油切れの状
態となり易い。このため、増は油供給回路９２を通して
油が供給さ１１、その付着物を洗い流すと共に、百滑油
の増１ｉ）をも行なう。この結果、油切れがなく回転も
円滑となり、ソール効果のため排気速度（ガス排出用）
も−１，昇する。だが、油が増量されると、その中に含
まれていた不純分がガスとなってでてくるため、それだ
け到達真空度（到達圧力）が悪くなる。そこで、到達真
空度の高さを要求する場合には、洪蛤イ・り止パルプ９
４を閉じておき、付着物を洗い流す方を重視するならば
、供給停止バルブ９４を開けておくようにする。圧縮さ
れｊＪ口圧された排気ガスが送り込まれるガス排出室３
１内の圧力が一定値以上になると、スプリング６０の力
に抗して、排出バルブ２９が押し７上げられ、ガスはガ
ス排出’ｉｉ’ ２７へと送り出される。その排出バル
ブ２９にはノヤワー状に洗浄油が供給されており、スプ
リング５０などを洗浄し、付着物を洗い流して取り除く
、排出ガスはタンク着脱管２８を通り、油と一緒にオイ
ルタンク１４に入る。そこで、排気ガスはガス導出口４
０から人気中へ放出、あるいは配管により所定の場所に
導かれる。油は油溜まり５０へ戻り、タック壁４２に触
れる外気により冷Ｊｌされる。なお、二段側真空ポンプ
の排出バルブ７８にも、同様に洗浄油が供給されており
、その付着物を洗い流して取り除く。
６０から細孔（図示なし）を通じ、潤滑油が供給されて
いる。しかし、この潤滑油だけでは、その油と反応性ガ
スとが良く反応し、／す／ゲ内部のベーン摺動部などに
付着物が多積に付き、作動を妨げると共に、油切れの状
態となり易い。このため、増は油供給回路９２を通して
油が供給さ１１、その付着物を洗い流すと共に、百滑油
の増１ｉ）をも行なう。この結果、油切れがなく回転も
円滑となり、ソール効果のため排気速度（ガス排出用）
も−１，昇する。だが、油が増量されると、その中に含
まれていた不純分がガスとなってでてくるため、それだ
け到達真空度（到達圧力）が悪くなる。そこで、到達真
空度の高さを要求する場合には、洪蛤イ・り止パルプ９
４を閉じておき、付着物を洗い流す方を重視するならば
、供給停止バルブ９４を開けておくようにする。圧縮さ
れｊＪ口圧された排気ガスが送り込まれるガス排出室３
１内の圧力が一定値以上になると、スプリング６０の力
に抗して、排出バルブ２９が押し７上げられ、ガスはガ
ス排出’ｉｉ’ ２７へと送り出される。その排出バル
ブ２９にはノヤワー状に洗浄油が供給されており、スプ
リング５０などを洗浄し、付着物を洗い流して取り除く
、排出ガスはタンク着脱管２８を通り、油と一緒にオイ
ルタンク１４に入る。そこで、排気ガスはガス導出口４
０から人気中へ放出、あるいは配管により所定の場所に
導かれる。油は油溜まり５０へ戻り、タック壁４２に触
れる外気により冷Ｊｌされる。なお、二段側真空ポンプ
の排出バルブ７８にも、同様に洗浄油が供給されており
、その付着物を洗い流して取り除く。
このような＋ＪＦ Ｋガスの吸入、圧縮、排出過程にお
いて、シリンダ１６．６０などに発生した熱は、／リン
グ外周壁２４などから空冷室６６中に導入びれた大気に
放散される。この各空冷室３６に入る人気は、ポンプケ
ースろ４の右側面の取入口５４から力、ブリング場所に
設置したファン（図示ｔｌ）の回転により取り入れられ
、遍心ロータ１８．６２の回転軸方向（回転軸６４の軸
線方向）に流通し、ファンの遠心力で、その位置に開け
たポンプケース６４の放出口５６から外気中に放出され
る。
いて、シリンダ１６．６０などに発生した熱は、／リン
グ外周壁２４などから空冷室６６中に導入びれた大気に
放散される。この各空冷室３６に入る人気は、ポンプケ
ースろ４の右側面の取入口５４から力、ブリング場所に
設置したファン（図示ｔｌ）の回転により取り入れられ
、遍心ロータ１８．６２の回転軸方向（回転軸６４の軸
線方向）に流通し、ファンの遠心力で、その位置に開け
たポンプケース６４の放出口５６から外気中に放出され
る。
（発明の効果）
以上説明した本発明によれば、排気ガス流通経路などに
設けられた作動部材例えば排出バルブなど、付着物の付
き易い個所に付く付１″Ｌ物を洗い流す洗浄油を供給す
る洗浄油供給回路を備えているたぬ、それらの個所に付
く付着物を洗い流して取り除き、油の供給・循環を良好
にし、作動部材の作動を円滑に行なうことができる。ま
た、シリンダ内部に付く付着物を洗い流し、シリンダ内
部の油かを増す増量油供給回路を備えると、シリンダ内
部に付く何着物を洗い流すと共に、ｅＨけ油が増えるた
め、偏心ロータなどの作動が円滑となり、ポンプ寿命を
長くすることができる。
設けられた作動部材例えば排出バルブなど、付着物の付
き易い個所に付く付１″Ｌ物を洗い流す洗浄油を供給す
る洗浄油供給回路を備えているたぬ、それらの個所に付
く付着物を洗い流して取り除き、油の供給・循環を良好
にし、作動部材の作動を円滑に行なうことができる。ま
た、シリンダ内部に付く付着物を洗い流し、シリンダ内
部の油かを増す増量油供給回路を備えると、シリンダ内
部に付く何着物を洗い流すと共に、ｅＨけ油が増えるた
め、偏心ロータなどの作動が円滑となり、ポンプ寿命を
長くすることができる。
第１図は、本発明の一実施例の要部を示す油供給回路図
である。 第２図は、本発明の一実施例を示す正面図、第３図は、
その平面図、第４図は、その右側面図である。 第５図は、第３図のＡ−Ｎ断面図である。 １０・・・モータ １２・・・ポンプ本体 １４ ・オ
イルタック １６．６０・・・シリンダ １８．６２
・偏心ロータ １９ ・ガス給入口 ２０．６６・・
ベーン ２６．、、ガス吸入路 ２７．８２ 、ガス排
出路 ２８．８６． タンク着脱管２９．７８ 排出
バルブ ３１．７６０． ガス排出室 ３３．７２．
、、、 圧縮室 ３５．７４゜ガス排出口 ４８９．
ガス溜まり ５０１． 油溜まり ５２）．送油細管
５９．、、 オイルポンプ ８・４ 、 ポンプ停
止時油流入防止バルブ ８６ 、ポンプ停止時逆流防止
バルブ ８８１通７１５の潤ｔａ油供給回路 ９０ 、
、、洗浄油供給回路９２ 、、、増量油供給回路 ９４
、、、供給停止バルブ 特許出願人 い山工業株式会社 代 理 人 弁理士 師沢大作 第２図 ５１曲面計 ５２送油細管 ５５油注入
ロ５６空気放出口 ５７取っ手 ５８取付
具第６図 ２６ガス吸入路 ２８一段側貞空ボンブのタック着
脱管４０ガスコ、・メ出口 ８３二段側真空ポンプ
のクンク府脱管第４図 ６４ポンプケース ５１油 面 計５２送油細管
５４外気取入口５５泊注出口
である。 第２図は、本発明の一実施例を示す正面図、第３図は、
その平面図、第４図は、その右側面図である。 第５図は、第３図のＡ−Ｎ断面図である。 １０・・・モータ １２・・・ポンプ本体 １４ ・オ
イルタック １６．６０・・・シリンダ １８．６２
・偏心ロータ １９ ・ガス給入口 ２０．６６・・
ベーン ２６．、、ガス吸入路 ２７．８２ 、ガス排
出路 ２８．８６． タンク着脱管２９．７８ 排出
バルブ ３１．７６０． ガス排出室 ３３．７２．
、、、 圧縮室 ３５．７４゜ガス排出口 ４８９．
ガス溜まり ５０１． 油溜まり ５２）．送油細管
５９．、、 オイルポンプ ８・４ 、 ポンプ停
止時油流入防止バルブ ８６ 、ポンプ停止時逆流防止
バルブ ８８１通７１５の潤ｔａ油供給回路 ９０ 、
、、洗浄油供給回路９２ 、、、増量油供給回路 ９４
、、、供給停止バルブ 特許出願人 い山工業株式会社 代 理 人 弁理士 師沢大作 第２図 ５１曲面計 ５２送油細管 ５５油注入
ロ５６空気放出口 ５７取っ手 ５８取付
具第６図 ２６ガス吸入路 ２８一段側貞空ボンブのタック着
脱管４０ガスコ、・メ出口 ８３二段側真空ポンプ
のクンク府脱管第４図 ６４ポンプケース ５１油 面 計５２送油細管
５４外気取入口５５泊注出口
Claims (3)
- （１）油を含むシリンダ内部で偏心ロータを回転させ、
圧縮室の容積を変えて排気ガスの吸入、排出を行なう油
回転真空ポンプにおいて、上記排気ガス流通経路などに
設けられた作動部材など、付着物の付き易い個所に付く
付着物を洗い流す洗浄油を供給する洗浄油供給回路を備
えることを特徴とする油回転真空ポンプ。 - （２）前記作動部材が排出バルブであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の油回転真空ポンプ。 - （３）油を含むシリンダ内部で偏心ロータを回転させ、
圧縮室の容積を変えて排気ガスの吸入、排出を行なう油
回転真空ポンプにおいて、上記シリンダ内部に付く付着
物を洗い流し、シリンダ内部の油量を増す増量油供給回
路を備えることを特徴とする油回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21230484A JPS6189992A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 油回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21230484A JPS6189992A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 油回転真空ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6189992A true JPS6189992A (ja) | 1986-05-08 |
Family
ID=16620349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21230484A Pending JPS6189992A (ja) | 1984-10-08 | 1984-10-08 | 油回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6189992A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1800006A2 (en) * | 2004-09-22 | 2007-06-27 | Gregory S. Sundheim | Portable, rotary vane vacuum pump with removable oil reservoir cartridge |
| WO2018007443A1 (de) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | Gebr. Becker Gmbh | Ölgeschmierte drehschieber-vakuumpumpe |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147592A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Canon Inc | 油回転ポンプ |
-
1984
- 1984-10-08 JP JP21230484A patent/JPS6189992A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147592A (ja) * | 1984-01-13 | 1985-08-03 | Canon Inc | 油回転ポンプ |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1800006A2 (en) * | 2004-09-22 | 2007-06-27 | Gregory S. Sundheim | Portable, rotary vane vacuum pump with removable oil reservoir cartridge |
| EP1800006A4 (en) * | 2004-09-22 | 2012-08-15 | Gregory S Sundheim | ROTARY PORTABLE ROTARY PUMP PUMP WITH REMOVABLE OIL TANK-CARTRIDGE |
| EP2587059A1 (en) * | 2004-09-22 | 2013-05-01 | Gregory S. Sundheim | Portable, rotary vane vacuum pump with removable oil reservoir cartridge |
| WO2018007443A1 (de) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | Gebr. Becker Gmbh | Ölgeschmierte drehschieber-vakuumpumpe |
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