JPH03239415A

JPH03239415A - 放電加工機の加工液処理装置

Info

Publication number: JPH03239415A
Application number: JP3215290A
Authority: JP
Inventors: Takuji Magara; 卓司真柄
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1990-02-13
Filing date: 1990-02-13
Publication date: 1991-10-25
Anticipated expiration: 2010-12-13
Also published as: EP0442119A2; EP0442119A3; JPH07115259B2; EP0442119B1; DE69009039D1; DE69009039T2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は粉末物質を混入した加工液を介在させて被加工
物の放電加工を行う放電加工機の加工液路に発生する高
温エネルギーを利用して溶融加工、あるいは表面処理を
行う放電加工技術は周知である。この技術を応用した放
電加工機における放電間隙は、放電に２・要な電気的絶
縁を得るために、−船釣には電気絶縁性を備えた加工液
で充満されている。加工液はこの電気的絶縁を得ること
の他に、加工粉の排出や加工熱を冷却させる機能を果た
しており、安定した放電加工を持続させるための重要な
要素となっている。

ところで、加工液中にある種の物質を粒径が約ｌＯ〜４
０μｍ程度の粉末で、ｌβの加工液中にほぼ２０ｇの物
質を混入させることにより得られる濃度で、放電の安定
度を向上させたり、あるいは被加工物の加工面粗度を向
上させたり、更に混入物質によっては電極および被加工
物加工面の機械的特性、例えば耐食性や耐摩耗性等を向
上させることが本出願人の実験により明らかとなってい
る。

すなわち、金属の除去加工以外に、放電加工によって金
属の表面改質あるいは加工面粗度の向上を行うことち可
能なこの種の粉末物質には、例えばシリコンＳｉ、酸化
亜鉛ＺｎＯ１二酸化亜鉛ＺｎＯ，、ケイ酸亜鉛Ｚｎ５ｉ
Ｏｔ、タングステンカーバイドｗＣ１硼化ジルコニウム
ＺｒＢ　２などの半導体物質や炭化物や硼化物すなわち
ファインセラミック材あるいはカーボンやグラファイト
Ｃなどの炭素系物質、アルミニュームＡ１．亜鉛Ｚｎな
どの軽金属などが使用される。

なお、この加工液中に上記のような物質を粉末状態にし
て混入することにより、被加工物の加工あるいは表面層
の改質を行わせる技術が本出願人の出願に係る特許類平
成０１−１５８１３号に詳述されている。

この技術は放電加工の応用範囲を飛躍的に拡大させるも
のであり、その実用上の制約の解決が今後の大きな課題
となっているが、その制約の一つで、Ｒ４ｖ重要な事項
として放電加工に使用した加工液の処理装置を挙げるこ
とができる。

銅Ｅ耘輛棲斬士第２３図は従来技術による放電加工機の加工液処理装置
の構成説明図である。

第２３図において、（１）は電極、（２）は被加工物、
（３）は加工槽、（４）は加工液タンク、（５）は第１
の加工１例えば荒加工時に生成された荒加工粉、（６）
は第２の加工、例えば仕上げ加工時に生成された仕上げ
加工粉、（７）は前記シリコン等半導体の粉末物質であ
る。（８）は粉末物質での加工用タンク、（９）は粉末
物質補給器、（１０）はドレイン用の加工液流ＩＩ＋御
手段、例えば制御弁、（１１）および（１２）は加工液
中の加工粉を除去する加工液濾過手段、　（１３１は加
工液を加工槽（３）に搬送するポンプ、（１４）は加工
液タンク（４）の加工液を粉末物質用のタンク（８）へ
搬送するポンプ、（１５）は粉末物質での加工用タンク
（８）から加工液を放電間隙へ搬送するポンプである。

上記のような従来の構成の放電加工機の動作を図に基づ
いて説明する。

通常の荒加工時においては、加工液タンク（４）内の加
工液は、加工液濾過手段（１１）によって加工粉ｆ５）
　　（６）が除去されて加工槽（３）内にｉ流される。

加工槽（３）には被加工物（２）が設置されており、こ
の被加工物（２）は電極（１）との間の放電により加工
される。荒加工の終了後、仕上げ加工に移って表面処理
等を行う場合は、ポンプ（１５）によって粉末物質（７
）の混入された加工液が、タンク（８）から電極（１１
と被加工物（２）で形成される放電間隙に搬送される。

一方、タンク（８）内には加工液タンク（４）より、ポ
ンプ（１４）と加工液濾過手段（１２）によって加工粉
（５１［６１および粉末物質（７）を取り除いた加工液
が搬送される。また、放電加工により消費された粉末物
質（７）を補うために、粉末物質補給器（９）が動作し
て粉末物質（７）がタンク（８）に自動的に補給される
。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の放電加工機は上述のように、粉末物質と加工粉と
の分離が配慮されず、両者混合したままの状態で処理さ
れていた。一方、荒加工時においては、被加工物の放電
加工に伴って多量の加工粉が発生ずるが、荒加工の後、
特に表面処理を伴う仕上げ加工を行なう場合、仕上げ加
工用の加工液内に多量の加工粉が含まれていると仕上げ
精度に多大な悪影響を与える。よって従来は加工粉を常
時濾過することが必要であったが、この場合には粉末物
質も一賭に除去されてしまうため、その結果として多量
の粉末物質を供給する必要があるなど経済性、コストの
点で課題があった。

本発明は、この様な従来技術による課題を解決するため
になされたもので、粉末物質を長時間使用することので
きる放電加工機の加工液処理装置を実現するものである
。

［課題を解決するための手段］この発明に係る放電加工機の加工液処理装置は、電極と
被加工物で形成される放電間隙に、第１の加工液を収納
する第１の加工液収納手段と、粉末物質を混入した第２
の加工液を収納する第２の加工液収納手段と、前記第１
の加工液収納手段と前記第２の加工液収納手段の夫々と
前記放電間隙を含む加工槽の相互間を結ぶ経路に配置さ
れ、前記加工液の流れを制御する加工液流制御手段と、
前記第１の加工液を濾過する第１の加工液濾過手段と、
前記第２の加工液を濾過する第２の加工液濾過手段を備
えたものである。

又、この発明の別の発明に係る放電加工機の加工液処理
装置は、第１の加工液を収納する第１の加工液収納手段
と、粉末物質を混入した第２の加工液を収納する第２の
加工液収納手段と、前記第１の加工液収納手段と前記第
２の加工液収納手段の夫々と放電間隙を含む加工槽の相
互間を結ぶ経路に配置され、前記加工液の流れを制御す
る加工液流制御手段と、前記第１の加工液を濾過する加
工液濾過手段と、前記第１の加工液から第２の加工液に
切換える手段を備えたちのである。

更に又、この発明の別の発明に係る放電加工機の加工液
処理装置は、第１の加工液と粉末物質を混入した第２の
加工液を収納する加工液収納手段と、前記加工液収納手
段と放電間隙を含む加工槽の間を結ぶ経路に配置され、
前記第１の加工液を濾過する加工液濾過手段と、前記第
１の加工液から第２の加工液に切換える手段を備えたも
のである。

〔作用］この発明においては、被加工物に例えば荒加工を行う第
１の加工時に第１の加工液濾過手段が作用し、加工中に
発生する加工粉を除去しつつ加工が行れる。又、被加工
物に例えば仕上加工を行う第２の加工時には第２の加工
液濾過手段が作用して加工液中の粉末物質の濾過を行う
。

又、この発明の別の発明においては、第１の加工液から
粉末物質を混入した第２の加工液に切換えられて、例え
ば荒加工を行う第１の加工から、例えば仕上げ加工を行
う第２の加工が行われる。

〔発明の実施例〕

第１図は本発明の第１実施例を示す構成説明図、第２図
から第４図はその動作説明図で、第２３図に示した従来
技術と同一もしくは相当部分には同一符号を付してその
説明を省略している。

（２０）は第１の加工、例えば荒加工用の加工液収納手
段、例えばタンク、（２１）は加工槽（３）から回収さ
れる汚液を収容する汚液槽、（２２）は汚液槽（２１）
内の汚液を濾過した清液を収容する清液槽、（２３）は
仕上げ加工用の加工液収納手段、例えばタンク、（２４
）〜（２６）は加工液流制御手段、例えば制御弁である
。制御弁（１０１（２６１は荒加工時および仕上げ加工
時のドレイン用で、加工槽（３）からのドレインはそれ
ぞれタンク（２１）および（２３）に流入・回収される
。荒加工用のタンク（２０）にはポンプ（２７）が取り
付けられ、制御弁（２４）を経て加工槽（３）と接続さ
れている。また、ポンプ（２８）は荒加工粉濾適用のポ
ンプで、加工液濾過手段（２９）を介して汚液槽ｆ２１
）、清液槽（２２）の間に接続されている。

仕上げ加工用のタンク（２３）にはポンプ（３０）が取
り付けられ、制御弁（２５）を介して加工槽（３）と接
続されている。ポンプ（３１）は粉末物質のバッチ処理
用ポンプで、加工液濾過手段（１２）を介して仕上げ加
工用タンク（２３）内の粉末物質および加工粉を除去す
るよう仕上げ加工用タンク（２３）に取り付けられてい
る。

次に本実施例の動作を図に基づいて説明する。

第２図には荒加工時における加工液の流れが示されてい
る。荒加工用タンク（２０）の清液槽（２２）内の加工
液はポンプ（２７）で汲み上げられ、加工槽（３）に導
かれる。加工槽（３）内の加工液は、制御弁（１０）に
より荒加工用タンク（２０）の汚液槽（２１）内に戻さ
れた後、ポンプ（２８）および加工液濾過手段（２９）
によって荒加工粉（５）が除去され、清液槽（２２）に
蓄えられる。荒加工粉（５）の濾過は加工中常時または
間欠的に行なわれ、常に荒加工粉（５）の含まれない清
液を加工１　（３）に供給することにより、荒加工が行
なわれる。

次に、仕上げ加工時の加工液の流れを、第３図により説
明する。仕上げ加工用タンク（２３）内の加工液として
は、仕上げ加工特性に優れた仕上げ加工用加工液が用い
られ、作業者または粉末物質補給器（９）等により粉末
物質（７）が混入された状態となっている。この加工液
はポンプ（３０）によって汲み上げられ、加工槽（３）
と放電間隙に供給される。加工に使用された加工槽（３
）内の加工液は、ドレイン用の制御弁（２６）を通して
仕上げ加工用タンク（２３）に回収される。

通常、このようにして加工液に混入された粉末物質（７
）が放電加工に繰り返し使用されるが、長時間の放電加
工を繰り返すと、加工液内の加工粉が増加するとともに
粉末物質が劣化し、加工特性が悪化する。そのため第４
図に示すように通常の仕上げ加工時においては、定期的
にポンプ（３１）を作動させて粉末物質（７）および加
工粉（６）を濾過し、粉末物質（７）の除去を行なうが
、粉末物質〔７）の寿命が比較的長いこと、および加工
粉（６）の生成量が仕上げ加工時においては少量である
ことから、数百時間に一度バッチ処理的に除去してちま
い。

加工液を加工液濾過手段（１２ｊによりｒ１ｉ通したの
ち、仕上げ加工用タンク（２３）内に溜められた清浄な
加工液には、作業者または粉末物質補給器（９）により
新たな粉末物質（７）が補給されて新しい仕上げ加工液
が準備される。

第５図は本発明の第２実施例を示す構成説明図で、仕上
げ加工用の加工液収納手段、例えばタンク（２３）内に
加工粉末濃度測定器（３２）を設けることにより、自動
的に加工粉の除去、粉末物質の交換を行なうようにした
ものである。

本実施例においては、加工量の多少に応じて自動的に粉
末物質のバッチ交換処理が可能である。

さらには、粉末物質の劣化の度合は、粉末の粒径の変化
として現われるため、仕上げ加工用タンク（２３）に粉
末粒径測定器あるいは単位体積あたりの粉末含有数を光
学的に計測する粒度分布測定器（３３）などを設けて自
動的に粉末物質の交換処理を行なうことができる。

なお、上記各実施例においては、荒加工用タンク（２０
）と仕上げ加工用タンク（２３）”Ｅを別々のタンクと
して構成した例を示したが、夫々の加工液が混入しない
よう構成するのであれば第６図にある本発明の第３実施
例を示す構成説明図のように、２つの加工液収納手段を
多槽の１つの加工液収納手段としても同様の効果が得ら
れる６又、第７図は本発明の第４実施例の構成説明図。

第８図から第１Ｏ図はその動作説明図で、第２３図に示
した従来技術と同一もしくは相当部分には前記同様同一
符号を付してその説明を省略している。

（４０）は加工液収納手段、例えばタンク、（４１１（
４２）は加工液流制御手段、例えば制御弁で、夫々第１
の加工、例えば荒加工時および第２の加工、例えば仕上
げ加工時のドレイン用で、加工槽（３）からのドレイン
は夫々加工液タンク（４０）に流入・回収される。加工
液タンク（４０）にはポンプ（４３）が取り付けられ、
加工槽（３）と接続されている。

また、ポンプ（４４）は排出液用のポンプで、加工液濾
過手段（４５）およびバイパス排出液流路（４６）を介
して加工液タンク（４０）に接続されている。

ポンプ（４７）は粉末物質の濾過用ポンプで、加工液濾
過手段（４８）を介して加工液内の粉末物質および加工
粉を除去するよう加工液タンク（４０）に取り付けられ
ている。

さらにポンプ（４９）は粉末物質逆流用ポンプで、ポン
プ（４７）による方向と逆方向に加工液を流して加工液
濾過手段（４８）内の粉末物質（７）を加工液タンク〔
４０）内の加工液に混入させるよう、加工液タンク（４
０）に取り付けられている。

次に本実施例の動作を図に基づいて説明する。

第８図には荒加工時における加工液の流れが示されてい
る。加工液タンク（４０）内の加工液はポンプ（４３）
で汲み上げられ、加工槽（３）に導かれる。

加工１１１（３１内の加工液は、ドレイン用の制御弁（
４１）を経由し、排出液用ポンプ（４４）によって加工
液濾過手段（４５）に搬送され、荒加工粉（５）が除去
されたのち加工液タンク（４０）に回収される。荒加工
粉（５）の濾過は荒加工中宮時または間欠的に行なわれ
、排出液は常に荒加工粉（５）が除去された状態で加工
液タンク（４０）に回収されるため、常に荒加工粉（５
）の含まれない清液が加工槽（３）に供給されて荒加工
が行なわれる。

次に、仕上げ加工時の加工液の流れを、第９図により説
明する。仕上げ加工に先立ち、ポンプ（４９）を作動さ
せて加工液濾過手段（４８）に加工液を逆流させ、加工
液濾過手段（４８）に蓄えられた粉末物質（７）を加工
液タンク（４ｏ）に混入する。粉末物質（７）が十分混
入された加工液は、ポンプ（４３）により汲み上げられ
て、加工槽（３）と放電間隙に供給される。加工に使用
された加工１（３１内の加工液は、ドレイン用の制御弁
（４２）を通してバイパス排出液流路（４６）により加
工液タンク（４ｏ）に回収される。

すなわち、仕上げ加工中の排出液は濾過が行われること
なく加工液タンク（４ｏ）に回収されるが、仕上げ加工
中の加工粉の生成量はきわめて微量であるため、実用上
の問題はない。

仕上げ加工後は第１Ｏ図に示すように、ポンプ（４７）
を作動させて加工液濾過手段（４８）によって加工液タ
ンク（４０）内の粉末物質（７）および加工粉（６）を
除去し、加工液タンク（４ｏ）内の加工液を清浄にする
。

第１１図は本発明の第５実施例の構成説明図で、加工液
収納手段、例えばタンク（４ｏ）内に加工粉末濃度測定
器（５０）を設けたものであり、更には、粉末物質の劣
化の度合が粉末の粒径の変化として現われるため、加工
液タンク（４ｏ）内に粉末粒径測定器あるいは単位体積
あたりの粉末含有数を光学的に計測する粒度分布測定器
（５１）などを設けて粉末物質の交換時期を表示させる
ものである。

上記各実施例においては、バイパス排出液流路（４６）
をポンプ（４４）と直列に設けた例を示したが、第１２
図にある本発明の第６実施例を示す構成説明図のように
、排出液用ポンプ（４４）を介さずに並列に設けるよう
にしてもよい。

更に又、第１３図は本発明の第７実施例の構成説明図、
第１４図から第１６図はその動作説明図で、第２３図に
示した従来技術と同一もしくは相当部分には前記同様同
一符号を付してその説明を省略している。

（５０）は加工液収納手段、例えばタンク、（５１）は
加工槽（３）から回収される汚液を収納する汚液槽、（
５２）は汚液槽（５１）内の汚液を濾過した清液を収容
する清液槽である。　ｆ５３Ｈ５４）は加工液流制御手
段、例えば制御弁で、夫々第１の加工、例えば荒加工時
、および第２の加工、例えば仕上げ加工時のドレイン用
で、加工槽（３）からのドレインは夫々タンク（５１１
（５２１に流入・回収される。加工液タンク（５０）に
はポンプ（４３）が取り付けられ、加工槽（３）と接続
されている。また、ポンプ（５５）は荒加工粉濾適用の
ポンプで、加工液濾過手段（５６）を介して汚液槽ｆ２
０）　ｆ５１１　、清液槽（５２）の間に接続されてい
る。

ポンプ（５７）は粉末物質の濾過用ポンプで、加工液濾
過手段（５８）を介して清液槽（５２）内の粉末物質お
よび加工粉を除去するよう漬液槽（５２）に取り付けら
れている。

さらにポンプ（５９）は粉末物質逆流用ポンプで、ポン
プ（５７）と逆方向に加工液を流して加工液濾過手段（
５８）内の粉末物質（７）を清液槽（５２）に混入させ
るよう清液槽（５２）に取り付けられている。

次に本実施例の動作を図に基づいて説明する。

第１４図には荒加工時における加工液の流れが示されて
いる。荒加工用タンク（５０）の清液槽（５１）内の加
工液はポンプ（４３）で汲み上げられ、加工？！（３）
に搬送される。加工槽（３）内の加工液は、制御弁（５
３）により汚液槽（５Ｉ）内に戻されたのち、ポンプ（
５５）および加工液濾過手段（５６）によって荒加工粉
（５）が除去され、清液槽（５２）に清液が蓄えられる
。

荒加工粉（５）の濾過は加工中常時または間欠的に行な
われ、常に荒加工粉（５）の含まれない清液を加工槽（
３）に供給することにより、荒加工が行なわれる。

次に、仕上げ加工時の加工液の流れを第１５図により説
明する。仕上げ加工に先立ち、ポンプ（５９）を作動さ
せて加工液濾過手段（５８）に加工液を逆流させ、加工
液濾過手段（５８）内に蓄えられた粉末物質（７）を清
液槽（５２）に混入する。粉末物質が十分混入された加
工液はポンプ（４３）により汲み上げられ、加工槽（３
）に搬送される。加工に使用された加工１１　（３）内
の加工液は、ドレイン用の制御弁（５４）を通して元の
清液槽（５２）に回収される。

仕上げ加工後は第１６図に示すように、ポンプ（５７）
を作動させて加工液濾過手段（５８）により清液槽（５
２）内の粉末物質（７）および加工粉（６）を除去し、
清液槽内の加工液を清浄にする。

第１７図は本発明の第８実施例の構成説明図で、清液槽
（５２）内に加工粉末ａ度測定器（６０）を設けたもの
で、さらには、粉末物質の劣化の度合が粉末の粒径の変
化として現われるため、清液１’！　ｆ５２）内に粉末
粒径測定器あるいは単位体積あたりの粉末含有数を光学
的に計測する粒度分布測定器（６１）などを設けて粉末
物質の交換時期を表示させるものである。

更に、第１８図は本発明の第９実施例の構成説明図、第
１９図から第２１図はその動作説明図で、第２３図に示
した従来技術と同一もしくは相当部分には前記同様同一
符号を付してその説明を省略している。

（７０）は加工液収納手段、例えばタンク、（７１１［
７２）は加工液流制御手段、例えば制御弁で、夫々第１
の加工、例えば荒加工時、および第２の加工、例えば仕
上げ加工時の加工液供給用で、加工液タンク（７０）か
らの加工液は夫々加工槽（３）ｌこ流入−回収される。

また、ポンプ（７３）は加工液供給用のポンプで、加工
液濾過手段（７４）およびバイパス加工液供給路（７５
）を介して加工液タンク（７０）と加工槽（３）の間に
接続されている。なお、制御弁（７１）　（７２１は加
工液濾過手段（７４）とバイパス加工液供給路（７５）
を切り換える作用を行なう。ポンプ（７６）は粉末物質
の濾過ポンプで、加工液濾過手段（７７）を介して加工
液タンク（７０）の粉末物質および加工粉を除去するよ
う加工液タンク（７０）に取り付けられている。

さらにポンプ（７８）は粉末物質逆流用ポンプで、ポン
プ（７６］と逆方向に加工液を流して加工液濾過手段（
７７）内の粉末物質（７）を加工液タンク（７０）内の
加工液に混入させるよう加工液タンク（７０）に取り付
けられている。

次に本実施例の動作を図について説明する。

第１９図には荒加工時における加工液の流れが示されて
いる。加工液タンク（７０）内の加工液供給用ポンプ（
７３）によって加工液濾過手段（７４）に送られ、荒加
工粉（５）が除去されたのち加工槽（３）ｌこ送られる
。荒加工粉（５）の濾過は荒加工中常時行なわれ、常に
荒加工粉（５）の含まれない清液が加工槽（３）に供給
されて荒加工が行なわれる。

次に、仕上げ加工時の加工液の流れを、第２０図により
説明する。仕上げ加工に先立ちポンプ（７８）を作動さ
せて加工液濾過手段（７７）に加工液を逆流させて、加
工液濾過手段（７７）内に蓄えられた粉末物質（７）を
加工液タンク（７０）に混入する。

粉末物質（７）が十分混入された加工液は、ポンプ（７
３）により汲み上げられ、加工液供給用の制御弁（７２
）を通じてバイパス加工液供給路（７５）により加工槽
（３）に搬送される。すなわち、仕上げ加工中の加工液
は濾過が行われることなく加工槽（３）に搬送されるが
、仕上げ加工中の加工粉の生成量はきわめて微量であり
、実用上の問題はない。

仕上げ加工後は第２１図に示すようにポンプ（７６）を
作動させて加工液濾過手段（７７）によって加工液タン
ク（７０）内の粉末物質（７）および加工粉（６）を除
去し、加工液タンク（７０）の加工液を清浄にする。

第２２図は本発明の第１Ｏ実施例の構成説明図で、加工
液収納手段、例えばタンク（７０）内に加工粉濃度測定
器（７９）を設けたものであり、さらには、粉末物質の
劣化の度合は粉末の粒径の変化として現４゜ねれるため、加工液タンク（７０）内に粉末粒径測定器
あるいは単位体積あたりの粉末含有数を光学的に計測す
る粒度分布測定器（８０）などを設けて粉末物質の交換
時間を表示させるものである。

〔発明の効果］以上説明したように本発明は、粉末物質を含む加工液を
繰り返して長時間使用することのできる放電加工機の加
工液処理装置が提供でき、この結果、高価な粉末物質を
効率的に使用でき、放電を利用した加工あるいは表面処
理もしくは表面改質等を経済的に実施できる。

従って、本発明によれば、加工精度、加工特性に優れ、
しかもランニング・コストの安い経済的な放電加工機を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の構成説明図、第２図がら第４図
は第１図の動作説明図、第５図は本発明の第２実施例の
構成説明図、第６図は本発明の第３実施例の構成説明図
、第７図は本発明の第４実施例の構成説明図、第８図か
ら第１Ｏ図は第７図の動作説明図、第１１図は本発明の
第５実施例の構成説明図、第１２図は本発明の第６実施
例の構成説明図、第１３図は本発明の第７実施例の構成
説明図、第１４図から第１６図は第１３図の動作説明図
、第１７図は本発明の第８実施例の構成説明図、第１８
図は本発明の第９実施例の構成説明図、第１９図から第
２１図は第１８図の動作説明図、第２２図は本発明の第
１０実施例の構成説明図、第２３図は一般的な加工液処
理装置を備えた従来の放電加工機の構成説明図である。図において、（１）は電極、（２）は被加工物、（３）
は加工槽、ｆ４）　（２０）　（２３）　［４０）　（
５０）　（７０）は加工液収納手段、（５）　ｆ６１は
加工粉、（７）は粉末物質、　（３２）（ｓｏｌ　ｆ６
ｏ１　（７９）は加工粉濃度測定器、ｆ３３）　（５１
１（６１１（８０）は粉末粒径測定器、（２４）〜ｆ２
６１　（４１）　（４２１（５３）［５４１（７１１（
７２１は制御弁、（４５１（４８１（５６）　ｆ５１１
）　（７４１（７７）は加工液濾過手段、（２７１（２
８１（３０１（３１１（４３）　（４４）　（４７）（
４９１ｆ５５）　（５７１ｆ５９＞　（７３）　（７６
１ｆ７８１はポンプである。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電極と被加工物で形成される放電間隙に、第１の
加工液と粉末物質を混入した第２の加工液を供給して前
記被加工物の放電加工を行なう放電加工機において、前
記第１の加工液を収納する第１の加工液収納手段と、前
記第２の加工液を収納する第２の加工液収納手段と、前
記第１の加工液収納手段と前記第２の加工液収納手段の
夫々と前記放電間隙を含む加工槽の相互間を結ぶ経路に
配置され、前記加工液の流れを制御する加工液流制御手
段と、前記第１の加工液を濾過する第１の加工液濾過手
段と、前記第２の加工液を濾過する第２の加工液濾過手
段を備えたことを特徴とする放電加工機の加工液処理装
置。
（２）電極と被加工物で形成される放電間隙に、第１の
加工液と粉末物質を混入した第２の加工液を供給して前
記被加工物の放電加工を行なう放電加工機において、前
記第１の加工液を収納する第１の加工液収納手段と、前
記第２の加工液を収納する第２の加工液収納手段と、前
記第１の加工液収納手段と前記第２の加工液収納手段の
夫々と前記放電間隙を含む加工槽の相互間を結ぶ経路に
配置され、前記加工液の流れを制御する加工液流制御手
段と、前記第１の加工液を濾過する加工液濾過手段と、
前記第１の加工液から第２の加工液に切換える手段を備
えたことを特徴とする放電加工機の加工液処理装置。
（３）電極と被加工物で形成される放電間隙に、第１の
加工液と粉末物質を混入した第２の加工液を供給して前
記被加工物の放電加工を行なう放電加工機において、前
記加工液を収納する加工液収納手段と、前記加工液収納
手段と前記放電間隙を含む加工槽の間を結ぶ経路に配置
され、前記第１の加工液を濾過する加工液濾過手段と、
前記第１の加工液から第２の加工液に切換える手段を備
えたことを特徴とする放電加工機の加工液濾過装置。