JPH07185947A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、金属または半導体の微粉末を混入
した加工液を用いて放電加工する装置に関わり、特に粉
末混入加工液の攪はんと濾過に関するものである。 【構成】 本発明に関わる放電加工装置は、加工槽内に
送液装置の吸引口と吐出口を配置し、加工槽内の粉末混
入加工液を循環させるようにしたものである。第１の噴
射装置の各々のノズルから前後または左右に切り換えな
がら噴射させるとともに、該第２の噴射装置の各々のノ
ズルから同時に噴射させるようにしたものである。ま
た、加工液を貯溜するタンクに水の添加装置を設け、該
水により該加工液から微粉末を分離するようにしたもの
である。 【効果】 以上のようにしたので加工槽内の加工液の攪
はん性能を向上するとともに装置の大型化に対応するこ
とができる。また、使用後の加工液から微粉末の分離回
収を効率よく行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、導電性を有する粉末物
質を混入した加工液を用いてワークを放電加工する装置
に関わり、特に粉末混入加工液の撹はんと濾過に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図１０は従来の放電加工装置の構成を示
す。図において、１は電極、２はワーク、３は加工槽、
４ａ、４ｂは第１の加工液を噴射する噴射装置のノズ
ル、５ａ、５ｂはノズル４ａ、４ｂの入切を制御するバ
ルブ、６は油タンク、７は加工槽３からの排液を制御す
るバルブ、８はフィルタポンプ、９は油加工液１１から
スラッジを除去するフィルタ、１０は油送液ポンプ、１
１は油加工液、１２は粉末タンク、１３は加工槽３から
の排液を制御するバルブ、１４は撹はんポンプ、１５は
タンク内撹はんノズル、１６はフィルタ１７への液路を
開閉するバルブ、１７はフィルタ、１８は粉末送液ポン
プ、１９は油加工液１１の送液を制御するバルブ、２０
は粉末混入加工液２３の送液を制御するバルブ、２１は
加工液温度を制御するクーラ、２２は金属または半導体
の微粉末、２３は加工液に微粉末２２を混入した粉末混
入加工液である。

【０００３】次に動作について説明する。電極１とワー
ク２は加工槽３に充満された加工液中で放電加工され
る。この時の加工液には従来から用いられている油加工
液１１と、特開平３−２７７４２１号公報に開示されて
いる粉末混入加工液２３がある。粉末混入加工液２３
は、油加工液に金属または半導体等の導電性を有する微
粉末２２、例えばシリコンを混入した加工液である。一
般に、油加工液１１は荒加工特性に優れ、粉末混入加工
液２３は仕上加工特性に優れるので、２種類の加工液を
切り換えながら加工を行う。この時粉末混入加工液２３
に混入される微粉末２２は、一般に油よりも比重が大き
く放置すれば沈澱してしまう。そこで粉末混入加工液２
３を撹はんし、微粉末２２を分散させる装置が必要とな
る。第１の噴射装置のノズル４ａ、４ｂ、及びバルブ５
ａ、５ｂで構成される加工槽撹はん装置は、例えば左右
交互に加工液を噴射して加工槽全域での微粉末２２の沈
澱を防止する。

【０００４】加工槽３から排出された加工液は、バルブ
７または１３を通ってそれぞれのタンクに回収される。
タンク６は油加工液１１を貯溜するものである。ポンプ
８で汲み上げられた油加工液１１はフィルタ９によりス
ラッジ（加工屑）が除去される。スラッジの除去された
油加工液１１はポンプ１０で汲み上げられ、バルブ１９
を通ってクーラ２１で液温制御された後、加工槽３へと
循環する。

【０００５】タンク１２は粉末混入加工液２３を貯溜す
るものである。ポンプ１４が汲み上げた粉末混入加工液
２３はノズル１５より噴射されることにより、粉末タン
ク１２内での微粉末２２の沈澱を防止する。ポンプ１８
で汲み上げられた粉末混入加工液２３は、バルブ２０を
通ってクーラ２１で液温制御された後、加工槽３へと循
環される。また粉末混入加工液が寿命にくると、バルブ
１６を開いてフィルタ１７で濾過する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の放電加工装置
は、以上のように構成されているので、加工槽３はワー
ク２の大きさにより決定されるので、大きなワーク２を
加工する放電加工装置では加工槽３も大きいものが必要
となる。加工槽３が大きくなると加工槽内の撹はん性能
も上げなければならない。粉末送液ポンプ１８の容量を
大きくし、バルブ２０、５ａ、５ｂの口径を大きくし、
途中の配管も口径を大きくしなければならず、装置が大
きくなりまた高価なものになるという問題点があった。
また加工槽の大きさに合わせてポンプ１８、及びバルブ
２０、５ａ、５ｂを変更しなければならないという欠点
があった。

【０００７】また、油加工液１１と粉末混入加工液２３
とを加工条件に合わせて切り換えて使うが、切り換えの
際液の混じり合いを防ぐために洗浄という行程を経る。
加工槽３の排液口はバルブ７、１３を介して２つに分か
れており、油タンク６と粉末タンク１２につながってい
る。加工槽３が大きいとき、排出流量を大きくしたいが
バルブ７、１３のため困難かまたは装置が大型化すると
いう問題点があった。特に粉末混入加工液２３を用いる
放電加工装置においては、排出時間が長いとその排出時
間内に微粉末２２が沈澱するという問題点があった。

【０００８】またスラッジは微粉末２２と同じような粒
径分布であり粉末混入加工液２３から分離して除去する
ことが不可能なため、粉末混入加工液２３の寿命も短い
という問題点があった。またスラッジを微粉末２２と分
離して除去できないため、油タンク６と粉末タンク１２
と２つのタンクを有するためスペースを必要とするとい
う問題点があった。また、油量も多くなるため、消防法
の規制に対して制約をうけるという問題点があった。油
加工液１１と粉末混入加工液２３とを切り換えて使うた
め、両加工液の混じり合いを防ぐため加工槽３の洗浄と
いう工程が必要となるという煩雑さがあり、自動化の妨
げとなっていた。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に関わる放電加工
装置は、導電性を有する粉末物質を混入した加工液をワ
ークを収納した加工槽内に充填し、電極とワークの間隙
に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工装置におい
て、前記加工液を加工液を貯留する加工液タンクから加
工槽に供給し、供給した加工液をワークに対して噴射
し、加工に供した加工液を前記加工液タンクに回収する
第１の加工液循環手段と、加工液の吸引口と吐出口を加
工槽内に配置し、前記加工槽内の加工液を循環させる第
２の加工液循環手段とを設けたものである。

【００１０】また、前記第２の加工液循環手段におい
て、前記第２の加工液循環手段の吐出口の配管途中に３
方弁を配置し、前記３方弁の一方の出口を加工槽に設
け、残りの出口を加工液に加工槽に供給するために加工
液を貯溜する加工液タンクに設けたものである。

【００１１】また、導電性を有する粉末物質を混入した
加工液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワ
ークの間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工
装置において、前記加工槽の下部に複数の噴射部からな
り加工槽の中央部にむけて加工液を噴射する第１の加工
液噴射手段と、この第１の加工液噴射手段より上部に配
置され、複数の噴射部からなり加工槽の中央部にむけて
加工液を噴射する第２の加工液噴射手段とを設け、前記
第１の加工液噴射手段及び第２の加工液噴射手段のう
ち、一方の噴射手段の複数の噴射部の加工液の噴射を切
り替えながら交互に行うと共に、他方の噴射手段の複数
の噴射部の加工液の噴射を同時に行うものである。

【００１２】また、導電性を有する粉末物質を混入した
加工液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワ
ークの間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工
装置において、前記加工槽のワークをセットする定盤の
位置に高さを合わせて配置され、複数の噴射部からなり
定盤にむけて加工液を噴射する第１の加工液噴射手段
と、この第１の加工液噴射手段の各々の噴射部の切替を
制御する切り替え手段と、前記ワークの位置に高さを合
わせて配置され、複数の噴射部からなりワークに向けて
加工液を噴射する第２の加工液噴射手段とを設け、前記
第１の加工液噴射手段の複数の噴射部の加工液の噴射を
切り替えながら交互に行うと共に、第２の加工液噴射手
段の複数の噴射部の加工液の噴射を同時に行うものであ
る。

【００１３】また、前記放電加工装置において、前記加
工液を貯溜するただ１つのタンクと、７ＭＧＯｅ以上の
最大エネルギ積を示す強力磁石を用いて加工槽から回収
した加工液のスラッジを分離するスラッジ分離器とを備
えたものである。

【００１４】また、導電性を有する粉末物質を混入した
加工液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワ
ークの間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工
装置において、加工液を加工槽に供給するために加工液
を貯溜するタンクに油に混じり合わない水を添加し、添
加した水により加工液から前記粉末物質を分離するもの
である。

【００１５】また、前記加工液を貯溜するタンクに水を
添加する時に、添加装置により行い水を少量づつ一定量
添加することにより、水を均一に加工液に分散するもの
である。

【００１６】

【作用】本発明における放電加工装置は加工液循環手段
が加工槽用に設けられ、加工液を貯溜し、加工槽に供給
するタンクからの加工液の送液とは別に加工槽内を撹は
んするので、加工槽の撹はん性能が向上する。

【００１７】また、３方弁により、加工槽の加工液循環
手段から吸引された加工液を加工槽に循環させるととも
に、排液時には自然落下による排出ではなく短時間で強
制排出するので、加工槽内での排液時の粉末物質の沈澱
が防止される。

【００１８】また、加工槽内に複数の噴射部を有する加
工液噴射手段を加工液の上、下に設け、一方の加工液噴
射手段は各々の噴射部の噴射を切替えながら加工液を噴
射し、他方は同時に加工液を噴射するので、撹はん効果
を向上させるとともに撹はん流量を大にすることが可能
になる。

【００１９】また、定盤とワークの位置に合わせて複数
の噴射部を有する第１及び第２の加工液噴射手段を第１
の噴射手段は複数の噴射部から切替えにより左右、前後
に交互に加工液を噴射し第２の噴射手段は、複数本のノ
イズから同時に加工液を噴射するので、加工槽の撹はん
性能が向上するとともにワーク、定盤付近の加工液の均
一性が改善される。

【００２０】また、強力磁石を使用したスラッジ分離器
は、粉末混入加工液からスラッジのみを分離する。

【００２１】また、加工液を貯溜するタンクに水を添加
することにより寿命により分離するべき粉末物質を水の
親和力により加工液の媒質である油中より取込み、沈殿
させることで粉末物質を回収する。

【００２２】また、加工液を貯溜するタンクに水を添加
するときに専用の添加装置を使用し、少量ずつ一定量の
水を添加するので、粉末混入加工液から粉末を効率よく
分離する。

【００２３】

【実施例】

実施例１．以下、本発明の放電加工装置の実施例１を図
について説明する。図１〜４において、５０は従来の放
電加工装置の加工液タンク、加工槽、加工液タンクと加
工液を循環させる第１の加工液循環手段４９に付加して
加工槽３に吸引口と吐出口を持つ加工槽内の加工液を循
環する第２の加工液循環手段、５１ａ、５１ｂは複数本
の噴射部からなる加工液噴射手段である。残りの符号は
従来例と同等又は相当であるので説明は省略する。ま
た、図中省略されている部分は従来例と同等である。

【００２４】図１の第２の加工液循環手段５０の吸引口
はタンクではなく加工槽３にあり、加工槽内の加工液を
吸引・吐出することにより加工槽内の加工液を撹はんす
る。加工槽３が大きい場合、従来はタンクから加工槽３
までの液系を大きくしなければならなかった。本発明に
よれば、加工槽３の漏れ量を補うような小さな液系でよ
い。加工槽内の撹はんをする液系は引き回す配管の長さ
も小さく第２の加工液循環手段５０は比較的小型でも十
分な撹はん効果がある。また加工槽の大きさに合わせて
従来は、ポンプ１０、１８の容量、タンク６、１２から
加工槽３までの配管及び途中のバルブの口径と変更が煩
雑であったのに対して、本発明では第２の加工液循環手
段５０の容量のみを変更すればよく適応性が高い。

【００２５】図２の第２の加工液循環手段５０は水中ポ
ンプの場合である。図３は第２の加工液循環手段５０に
２本の噴射部を有する加工液噴射手段５１ａ、５１ｂを
配管した場合である。図３の加工液噴射手段の噴射部を
２本としたが加工槽の大きさ、形状に応じて数を増加す
ることも可能である。図４は第２の加工液循環手段５０
にバルブ５ａ、５ｂ及び加工液噴射手段４ａ、４ｂを配
管した場合である。第２の加工液循環手段５０の吐出口
または加工液噴射手段５１ａ、５１ｂ、４ａ、４ｂの高
さに液面があるかどうかのセンサ（図示せず）を設ける
ことが有効であり、該設定液面を下回るときには第２の
加工液循環手段５０を停止させる制御を行うのが望まし
い。いづれも配管等の圧損を減らし小型で簡便な装置で
加工槽３の撹はんを行うものである。特に大型の加工槽
や多種類の加工槽への対応に有効である。

【００２６】実施例２．図５は本発明の放電加工装置の
実施例２を示したものであり、５２は３方弁であり、第
２の加工液循環手段５０からの加工液を加工槽３と、タ
ンクへの排液へと切り換えている。加工槽３に加工液が
あるときは、加工槽３の加工液を第２の加工液循環手段
５０が吸引して３方弁５２を通って加工槽３に循環され
る。加工液を排出するとき、第２の加工液循環手段５０
を始動させ加工槽内の加工液３を３方弁５２を通って排
液系に強制送出する。粉末混入加工液２３の微粉末２２
を沈澱させないように撹はんしていても排液時に沈澱す
るので、排液時間を短くする必要がある。排液時に第２
の加工液循環手段５０利用して強制排出すれば排液時間
を大幅に短縮することができ、微粉末２２の沈澱を防止
する。また第２の加工液循環手段５０の吸引口の高さの
液面を検出するセンサ（図示せず）を設けることが有効
であり、吸引口の高さを下回るときには第２の加工液循
環手段５０を停止させる制御が必要である。

【００２７】実施例３．図３を用いて本発明の実施例３
を説明する。第２の加工液循環手段５０については前記
実施例１で述べているが、加工液噴射手段５１ａ、５１
ｂ及び４ａ、４ｂの取付位置や制御法について説明す
る。加工槽の大型化にともない撹はん流量を増やす場
合、従来例のような加工液噴射手段の噴射部の噴射を前
後／左右に切り換える方式だけでは噴射部の切替手段た
るバルブ５ａ、５ｂの圧損のため装置を相当大型化せざ
るをえない。しかしながら加工槽下面では前後／左右に
噴射を切り換えることが有効であり、従って定盤高さに
合わせて設置されて複数本の噴射部を切替える第１の加
工液噴射手段４ａ、４ｂよりも高い位置、例えばワーク
上面の位置に合わせて第２の加工液噴射手段５１ａ、５
１ｂを設置し、前記第２の加工液噴射手段の噴射部から
同時に噴射させる。同時噴射の場合のバルブ等の圧損の
原因となるものがないので第２の加工液循環手段５０を
小型化できる。同時噴射と交互噴射を併用することによ
り撹はん効果と撹はん流量アップをともに実現すること
ができる。また、第１、及び第２の噴射手段の位置を各
々定盤又はワークの位置に合せて加工液を噴射すること
により加工槽主要部の加工液の均一性を向上させる効果
がある。また、第１、及び第２の噴射手段の加工槽内で
の上、下の位置を逆にしてもほぼ同等の効果を実現する
ことが可能である。

【００２８】実施例４．本発明の実施例４を図６、７、
８を用いて説明する。図において５３はポンプ、５４は
スラッジ分離器、５４ａは磁石ホルダ、５４ｂはかきだ
し板、５４ｃは磁石、特に最大エネルギー積ＢＨｍａ
ｘ：７ＭＧＯｅ以上の希土類磁石を使用することか効果
的である。

【００２９】従来粉末加工液２３からスラッジのみを除
去する装置がなかったため、特開平３−２３９４１５号
公報に開示されているように定期的に寿命にきた微粉末
とスラッジと一緒に濾過する方式が採られていた。この
ため初期の加工性能を維持しにくいとか、粉末混入加工
液２３の寿命が短いとかの問題があった。従来からある
磁石、フェライト磁石では磁力が弱いため（ＢＨｍａｘ
≦４ＭＧＯｅ）荒加工スラッジの一部しか吸着できなか
った。希土類磁石は磁力が強いため、あらゆるスラッジ
を吸着できる。粉末混入加工液２３は仕上加工に主に使
用されるので、フェライト磁石では仕上スラッジを分
離、除去ことができなかった。希土類磁石を用いること
により仕上げスラッジを除去し、粉末混入加工液２３の
寿命を長くし、長期にわたって安定した加工特性を維持
できるという大きな効果がある。スラッジ分離器５４で
スラッジを除去する前の粉末混入加工液と、スラッジの
除去後の粉末混入加工液とを粉末タンク内１２でしきい
板で分離することは望ましい。

【００３０】スラッジ分離器５４の構成例が図７に示さ
れている。ＳＵＳ系の磁石ホルダ５４ａに磁石５４ｃを
装着し、吸着したスラッジをかきだし板５４ｂでそぎ落
とす。スラッジの吸着面としては、円周面か側面が望ま
しい。

【００３１】図８はスラッジ分離器５４を用いることに
より、粉末タンク１２のみで加工する装置を示す。粉末
混入加工液２３はスラッジによる加工特性の劣化のた
め、スラッジ発生量の少ない仕上加工に用いられてき
た。そのためスラッジ発生量の多い荒加工用に別の加工
液が必要となり、スペースの大型化、油量の多量化、加
工液の切り換えの煩雑さなどの問題点があった。スラッ
ジ分離器５４により粉末混入加工液中のスラッジが連続
的に除去されれば、粉末混入加工液２３をもっと大きな
加工条件でも使用できる。そうすれば従来の荒加工液を
貯溜していたタンクが必要なくなり、スペースの小型
化、油量の減少、加工液の切り換え不要となり非常に効
果は大きい。

【００３２】実施例５．本発明の実施例５を図９を用い
て説明する。５５は水の添加装置、５６はドレインであ
る。シリコンなどの微粉末２２は基本的に油よりも水に
馴染み易い（親水性が高い）。そこで粉末混入加工液２
３に水の添加装置５５より水を混入すると、油中に分散
していたシリコン微粉末は、添加された水の中に取り込
まれる。水は油とは混じりあわず分離して、比重の重い
水が微粉末とともに底に沈む。従来粉末混入加工液２３
が寿命にくると、ポンプ１４を始動しバルブ１７を開い
てフィルタ１７で濾過していた。しかしながらノズル１
５により加工液が撹はんされない所では寿命にきた粉末
／スラッジが濾過されにくい、また非常に微細な微粉末
２２／スラッジが濾過されにくいという問題点があっ
た。そこで水の添加装置５５より水を添加し、ポンプ１
４により適宜撹はんして後しばらく放置すると、シリコ
ン微粉末は完全に油と分離して水中に捕獲される。そこ
でドレイン５６よりシリコンとともに水を廃棄すれば、
濾過精度は非常に高い。粉末タンク１２の底部に溝や傾
斜を設けることにより効率的にシリコン微粉末を含んだ
水を回収できる。前記はシリコン微粉末の例を示したが
親水性のある微粉末であれば他の微粉末でも同等の効果
がある。

【００３３】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば放電加工
装置の加工槽に第２の加工液循環手段を設けたので加工
槽の大型化に対応して放電加工装置の全体的変更をする
ことなく加工槽内の加工液の撹はん能力を高めることが
でき、一方、逆に装置の小型化に対して貢献することが
できる。

【００３４】また、第２の加工液循環手段の吐出口の配
管途中に、３方弁を配置したので排液の強制排出か可能
となり、排液時間を短縮し、加工槽図において排出時間
中の微粉末の沈殿を防止することができる。

【００３５】また、複数の噴射部を有する加工液噴射手
段を加工槽の加工液の中に上、下２段に設け、一方の噴
射手段を噴射部ごとに交互に加工液を噴射し、他方の噴
射手段は同時に噴射するようにしたので撹はん装置を大
型にすることなく加工液の撹はん性能を向上することが
できる。

【００３６】また、前記加工液噴射手段の内第１の噴射
手段を定盤付近に設置し、第２の噴射手段をワークの位
置付近に設け、第１の噴射手段を左右、交互に噴射し、
第２の噴射手段を同時に噴射するようにしたので、加工
液の撹はん性能が向上するとともに、ワーク、定盤付近
の加工槽主要部の加工液の均一性を向上することができ
る。

【００３７】また、強力磁石を使用したスラッジ分離器
を設けたので、効率よくスラッジを加工液から分離、除
去か可能となり、加工液貯溜タンクを一つにすることが
できる。

【００３８】また、使用ずみの加工液に水を添加する装
置により加工液から劣化した粉末物質を回収することに
より粉末濾過能力を向上する効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１による放電加工装置の構成図
を示したものである。

【図２】本発明の実施例１による放電加工装置の他の構
成図を示したものである。

【図３】本発明の実施例１及び３による放電加工装置の
構成図を示したものである。

【図４】本発明の実施例１による放電加工装置のさらに
他の構成図を示したものである。

【図５】本発明の実施例２による放電加工装置の構成図
を示したものである。

【図６】本発明の実施例４による放電加工装置の粉末タ
ンクの構成図を示したものである。

【図７】本発明の実施例４によるスラッジ分離器の斜視
図を示したものである。

【図８】本発明の実施例４による放電加工装置の構成図
を示したものである。

【図９】本発明の実施例５による粉末タンクの構成図を
示したものである。

【図１０】従来の放電加工装置の構成図を示したもので
ある。

【符号の説明】

１ 電極 ２ ワーク ３ 加工槽 ４ 第１の加工液噴射手段 ５ バルブ（噴射部切替手段） ６ 油タンク １２ 粉末タンク ２２ 金属または半導体の微粉末（導電性を有する粉末
物質） ２３ 粉末混入加工液 ５０ 第２の加工液循環手段 ５１ 第２の加工液噴射手段 ５２ ３方弁 ５４ スラッジ分離器 ５５ 水の添加装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性を有する粉末物質を混入した加工
   液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワーク
   の間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工装置
   において、前記加工液を加工液を貯留する加工液タンク
   から加工槽に供給し、供給した加工液をワークに対して
   噴射し、加工に供した加工液を前記加工液タンクに回収
   する第１の加工液循環手段と、加工液の吸引口と吐出口
   を加工槽内に配置し、前記加工槽内の加工液を循環させ
   る第２の加工液循環手段とを設けたことを特徴とする放
   電加工装置。
2. 【請求項２】 前記第２の加工液循環手段において、前
   記第２の加工液循環手段の吐出口の配管途中に３方弁を
   配置し、前記３方弁の一方の出口を加工槽に設け、残り
   の出口を加工液を加工槽に供給するために加工液を貯溜
   する加工液タンクに設けたことを特徴とする請求項１に
   記載の放電加工装置。
3. 【請求項３】 導電性を有する粉末物質を混入した加工
   液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワーク
   の間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工装置
   において、前記加工槽の下部に複数の噴射部からなり加
   工槽の中央部にむけて加工液を噴射する第１の加工液噴
   射手段と、この第１の加工液噴射手段より上部に配置さ
   れ、複数の噴射部からなり加工槽の中央部にむけて加工
   液を噴射する第２の加工液噴射手段とを設け、前記第１
   の加工液噴射手段及び第２の加工液噴射手段のうち、一
   方の噴射手段の複数の噴射部の加工液の噴射を切り替え
   ながら交互に行うと共に、他方の噴射手段の複数の噴射
   部の加工液の噴射を同時に行うことを特徴とする放電加
   工装置。
4. 【請求項４】 導電性を有する粉末物質を混入した加工
   液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワーク
   の間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工装置
   において、前記加工槽のワークをセットする定盤の位置
   に高さを合わせて配置され、複数の噴射部からなり定盤
   にむけて加工液を噴射する第１の加工液噴射手段と、こ
   の第１の加工液噴射手段の各々の噴射部の切替を制御す
   る切り替え手段と、前記ワークの位置に高さを合わせて
   配置され、複数の噴射部からなりワークに向けて加工液
   を噴射する第２の加工液噴射手段とを設け、前記第１の
   加工液噴射手段の複数の噴射部の加工液の噴射を切り替
   えながら交互に行うと共に、第２の加工液噴射手段の複
   数の噴射部の加工液の噴射を同時に行うことを特徴とす
   る放電加工装置。
5. 【請求項５】 前記放電加工装置において、前記加工液
   を貯溜するただ１つのタンクと、７ＭＧＯｅ以上の最大
   エネルギ積を示す強力磁石を用いて加工槽から回収した
   加工液のスラッジを分離するスラッジ分離器とを備えた
   ことを特徴とする請求項１または請求項３に記載の放電
   加工装置。
6. 【請求項６】 導電性を有する粉末物質を混入した加工
   液をワークを収納した加工槽内に充填し、電極とワーク
   の間隙に電圧を印加しワークの加工を行う放電加工装置
   において、加工液を加工槽に供給するために加工液を貯
   溜するタンクに油に混じり合わない水を添加し、添加し
   た水により加工液から前記粉末物質を分離することを特
   徴とする放電加工装置。
7. 【請求項７】 前記加工液を貯溜するタンクに水を添加
   する時に、添加装置により行い水を少量づつ一定量添加
   することにより、水を均一に加工液に分散することを特
   徴とする請求項６に記載の放電加工装置。