JP4471855B2 - カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 - Google Patents
カルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
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Description
次に、Mo電極層が形成された基板ごと、レーザー切削により所望サイズに分割する第1スクライブ工程を行う。(図2(b))
その後、削り屑などを除去するために水洗浄などにより基板を清浄し、これを、塩化ナトリウム希釈溶液などに浸漬して、Naディップ層を付着形成した後に、In金属ターゲット及びCu-Ga合金ターゲットをそれぞれ用いたスパッタ成膜法により、In層とCu-Ga層との二層構造から成る積層成膜を行い、これを、光吸収層のプリカーサとする。(図2(c))
所望のCIGS光吸収層を得るためにこのプリカーサを用いる従来の方法は、図2(d)に示すように、In層とCu-Ga層とを積層状態のプリカーサとして備える基板ごとアニール処理室内に収容し、この状態で、100℃の温度条件で10分間のプレヒートを行う。そして、アニール処理室内に挿入したガス導入管よりH2Seガスを導入し、これを処理室内に通流させながら、室内を500〜520℃の温度範囲に昇温する。さらに、通流ガスとして、反応ガスたるH2Seガスを、Arガスなどのパージガスに交換する。これにより、In層とCu-Ga層との積層構造から成るプリカーサを、カルコパイライト化合物から成るCIGS単層に変換する工程を終了する。
その後に、ZnO-Al合金ターゲットを用いたスパッタ成膜法により、最外表面層として、ZnOAl層から成る透明電極層(TCO:Transparent Conductive Oxide)を積層する。(図2(g))
最後に、再びレーザー照射や金属針を用いた切削加工により第3スクライブ工程を行う。(図2(h))
このような積層構造から成る薄膜太陽電池は、切削加工によりその大きさが揃えられた単セルとして得られ、最終製品は、これら単セルを直列接続した平面集積構造である。
M.Bodegard et al.,"The Influence of Sodium on the Grain Structure of CuInSe2 Films for Photovoltaic Applications", Proc. 12th Eur. Photovoltaic Solar Conf., 1994
アルカリ層として、モリブデン酸ナトリウム2水和物(Na2MoO4・2H2O)水溶液の替りに、同濃度の四ホウ酸ナトリウム10水和物(Na2B4O7・10H2O)を用いた以外は、[実施例1]と同様の条件で薄膜太陽電池を作製し、得られた複数枚の薄膜太陽電池製品につき、その性能測定を行ったところ、図8に示す光電変換効率値を得た。
図3に示すフロー図において、Na2S層の替わりに、モリブデン酸ナトリウム2水和物(Na2MoO4・2H2O)による1.5重量%水溶液を用いてアルカリ層を形成した。即ち、Mo電極層上に浸漬法によりNa2MoO4から成るアルカリ層を形成スピンドライ乾燥した後、大気中で60分間のべーク処理を行い、膜中残留水分を調整した。この後、アルカリ層上に、Inターゲット及びCu-Ga合金ターゲットをこの順で用いたスパッタ積層成膜を行い、In金属層とCu-Ga合金層とから成る積層プリカーサを形成した。さらに、得られたプリカーサ層付きの基板に対して所定温度のSe雰囲気中でセレン化処理を行って、CIGS光吸収層を形成した。
アルカリ層として、モリブデン酸ナトリウム2水和物(Na2MoO4・2H2O)水溶液の替りに、0.8重量%の四ホウ酸ナトリウム10水和物(Na2B4O7・10H2O)を用いた以外は、[比較例2]と同様の条件で薄膜太陽電池を作製し、得られた複数枚の薄膜太陽電池製品につき、その性能測定を行ったところ、図9に示す光電変換効率値を得た。
2 Mo電極層
4 CIGS光吸収層
7 多層積層構造(薄膜太陽電池)
32 In金属層用第1スパッタ成膜室
33 Cu-Ga合金層用第2スパッタ成膜室
38 インライン式スパッタ成膜装置
40 熱処理室
41 加熱ヒータ
42 石英ボート(筺体)
43 サセプタ(筺体)
44 回転駆動軸
46 プロセスチューブ(気密空間)
47 ガス導入管
48 ノズル孔
Claims (2)
- 基板上に形成された裏面電極層上に、In、Cu及びGa金属元素を含有成分としたプリカーサを形成する第1工程と、該プリカーサに対してモリブデン酸ナトリウム含有水溶液を付着する第2工程と、該第1及び第2の両工程を経た基板に対して、H2Seガス雰囲気中で熱処理を行うセレン化工程と、光を透過する導電性の層を成膜する導電透明電極形成工程とを備えることを特徴とするカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法。
- 前記第1工程は、In金属層を形成する第1スパッタ成膜工程と、Cu−Ga合金層を形成する第2スパッタ成膜工程とから成ることを特徴とする請求項1に記載のカルコパイライト型薄膜太陽電池の製造方法。
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