JP2017199872A - 光電変換層の製造方法及び光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光電変換層の製造方法は、I族元素及びIII族元素を有する前駆体層を形成する第1工程と、前駆体層を第1のVI族元素を含む雰囲気において加熱する第2工程と、第2工程の後に、前駆体層の表面にアルカリ金属元素を付着させる第3工程と、第3工程の後に、前駆体層を第2のVI族元素を含む雰囲気において加熱して、光電変換層13を得る第4工程と、を備える。
【選択図】図7
Description
まず、ガラス板である基板上に、スパッタリング法を用いて、Moを含む複数の層を有する第1電極層が形成された。次に、I族元素であるCu並びにIII族元素であるIn及びGaを有する第1の前駆体層が、スパッタリング法を用いて、第1電極層上に形成された。次に、第1の前駆体層を、第1のVI族元素であるSeを含む雰囲気(セレン化水素含有雰囲気)において加熱して、第1の前駆体層とSeとの化合物を形成し、第2の前駆体層を得た。次に、第2の前駆体層を、第2のVI族元素であるSを含む雰囲気(硫化水素含有雰囲気)において加熱して、第2の前駆体層とSとの化合物を形成し、第3の前駆体層を得た。次に、蒸着法を用いて、フッ化カリウム(KF)を膜厚換算値20nmの厚さで、第3の前駆体層の表面に付着させてアルカリ金属層(アルカリ金属化合物を含有する層も含む)を形成した。ここで、膜厚換算値は、KFの蒸着量に基づいて推定される平均膜厚である。KFの蒸着量で表すと、膜厚換算値20nmは、0.319μmol/cm2である。次に、アルカリ金属層が形成された基板を、第3のVI族元素であるSを含む雰囲気(硫化水素含有雰囲気)において、温度350℃で時間10分の間、加熱して光電変換層を得た。次に、CBD法を用いて、Zn(O、S、OH)であるバッファ層が光電変換層上に形成された。次に、MOCVD法を用いて、真性な酸化亜鉛膜(i-ZnO)が、バッファ層上に形成された。次に、第2電極層として、MOCVD法を用いて、ボロン(B)がドーパントとして添加されたZnO:B膜が真性な酸化亜鉛膜上に形成されて、実施例1の光電変換素子を得た。
アルカリ金属層を、蒸着法を用いて、フッ化カリウム(KF)を膜厚換算値12nmの厚さ(KFの蒸着量:0.193μmol/cm2)で、第3の前駆体層の表面に付着させて形成したことを除いては、実施例1と同様にして、実施例2の光電変換素子を得た。
アルカリ金属層が形成された基板を、硫化水素の雰囲気において、温度250℃で時間10分の間、加熱して光電変換層を得たことを除いては、実施例2と同様にして、実施例3の光電変換素子を得た。
アルカリ金属層を、蒸着法を用いて、フッ化カリウム(KF)を膜厚換算値4nmの厚さ(KFの蒸着量:0.066μmol/cm2)で、第3の前駆体層の表面に付着させて形成したことを除いては、実施例1と同様にして、実施例4の光電変換素子を得た。
アルカリ金属層が形成された基板を、硫化水素の雰囲気において、温度250℃で時間10分の間、加熱して光電変換層を得たことを除いては、実施例4と同様にして、実施例5の光電変換素子を得た。
アルカリ金属元素を第3の前駆体層の表面に付着させてアルカリ金属層を形成する工程、及び、アルカリ金属層が形成された基板をVI族元素を含む雰囲気において加熱する工程を行わなかったことを除いては、実施例1と同様にして、比較例1の光電変換素子を得た。
光電変換層を、アルカリ金属層が形成された基板を、窒素雰囲気(N2)において、温度350℃で時間10分の間、加熱して得たことを除いては、実施例1と同様にして、比較例2の光電変換素子を得た。
11 基板
12 第1電極層
13 光電変換層
13a 第1の前駆体層
13b 第2の前駆体層
13c 第3の前駆体層
14 バッファ層
15 第2電極層
16 アルカリ金属層
Claims (11)
- I族元素及びIII族元素を有する前駆体層を形成する第1工程と、
前記前駆体層を第1のVI族元素を含む雰囲気において加熱する第2工程と、
前記第2工程後に、前記前駆体層の表面にアルカリ金属元素を付着させる第3工程と、
前記第3工程後に、前記前駆体層を第2のVI族元素を含む雰囲気において加熱して、光電変換層を得る第4工程と、
を備える光電変換層の製造方法。 - 前記第4工程では、
前記第3工程後に、前記前駆体層を、前記第2のVI族元素と水素との化合物を含む雰囲気において加熱する請求項1に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第4工程では、
前記第2のVI族元素を含む雰囲気は、硫黄又はセレンを含む請求項1又は2に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第3工程では、
前記第2工程後に、前記前駆体層の表面にカリウムを付着させる請求項1〜3の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第3工程では、
前記第2工程後に、フッ化カリウムを用いて、前記前駆体層の表面にカリウムを付着させる請求項4に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第2工程では、
前記前駆体層を前記第1のVI族元素を含む雰囲気において加熱した後、更に、前記前駆体層を第3のVI族元素を含む雰囲気において加熱する請求項1〜5の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第1のVI族元素はセレンであり、前記第3のVI族元素は硫黄である請求項6に記載の光電変換層の製造方法。
- 前記第2工程では、
前記前駆体層を、前記第1のVI族元素と水素との化合物を含む雰囲気において加熱する請求項1〜7の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第2工程では、
前記第1のVI族元素を含む雰囲気は、VI族元素の蒸気を含む請求項1〜7の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。 - 前記第1工程では、
スパッタリング法を用いて、前記前駆体層を形成する請求項1〜9の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。 - I族元素及びIII族元素を有する前駆体層を、第1電極層上に形成する第1工程と、
前記前駆体層を第1のVI族元素を含む雰囲気において加熱する第2工程と、
前記第2工程後に、前記前駆体層の表面にアルカリ金属元素を付着させる第3工程と、
前記第3工程後に、前記前駆体層を第2のVI族元素を含む雰囲気において加熱して、光電変換層を得る第4工程と、
前記光電変換層上に、第2電極層を形成する第5工程と、
を備える光電変換素子の製造方法。
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