JP6961325B2 - 光電変換層の製造方法及び光電変換素子の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、ガラス板である基板上に、スパッタリング法を用いて、Moを含む複数の層を有する第1電極層が形成された。次に、I族元素であるCu並びにIII族元素であるIn及びGaを有する第1の前駆体層が、スパッタリング法を用いて、第1電極層上に形成された。第1の前駆体層において、I族元素であるCuの原子数のIII族元素(In及びGa)の原子数に対する比は、1.0〜1.2であった。次に、第1の前駆体層を、VI族元素であるSeを含む雰囲気において加熱(基板温度が約400〜500℃)して、第1の前駆体層とSeとの化合物を形成し、第2の前駆体層を得た。Seを含む雰囲気は、セレン化水素(H2Se)を用いて形成した。次に、スパッタリング法を用いて、第2の前駆体層上に、III族元素であるInを有する層を形成して、積層体を得た。次に、積層体を、VI族元素であるSを含む雰囲気において加熱(基板温度が約500〜650℃)し、積層体とSとの化合物を形成して、実施例1の光電変換層を得た。Sを含む雰囲気は、硫化水素(H2S)を用いて形成した。
まず、ガラス板である基板上に、スパッタリング法を用いて、Moを含む複数の層を有する第1電極層が形成された。次に、I族元素であるCu並びにIII族元素であるIn及びGaを有する前駆体層が、スパッタリング法を用いて、第1電極層上に形成された。前駆体層において、I族元素であるCuの原子数のIII族元素(In及びGa)の原子数に対する比は、0.85〜0.95であった。次に、前駆体層を、VI族元素であるSe(セレン)を含む雰囲気において加熱(基板温度が約400〜500℃)してセレン化した後、更に、VI族元素であるS(硫黄)を含む雰囲気において加熱(基板温度が約500〜650℃)して硫化して、比較例1の光電変換層を得た。ここで、Seを含む雰囲気は、セレン化水素(H2Se)を用いて形成し、Sを含む雰囲気は、硫化水素(H2S)を用いて形成した。
11 基板
12 第1電極層
13 光電変換層
13a 第1の前駆体層
13b 第2の前駆体層
13c III族元素を有する層
13c 積層体
14 バッファ層
15 第2電極層
Claims (6)
- I族元素及びIII族元素を有し、I族元素の原子数のIII族元素の原子数に対する比が1よりも大きい第1の前駆体層を第1電極層上に形成する第1工程であって、ガリウムを含む層の上にインジウムを含む層を形成して前記第1の前駆体層を形成することを含む第1工程と、
前記第1の前駆体層とセレンとの化合物を形成して、第2の前駆体層を得る第2工程と、
前記第2の前駆体層上にインジウムを含み且つ銅を含まない層を形成して、前記第2の前駆体層と前記インジウムを含み且つ銅を含まない層とが積層された積層体を得る第3工程と、
前記積層体を、硫黄を含む雰囲気において加熱することで、前記積層体とVI族元素との化合物を形成して、光電変換層を得る第4工程と、
を備え、
前記光電変換層の伝導帯の下端のエネルギー準位は、前記第1電極層側の第1面から前記第1電極層とは反対側の第2面に向かって低減した後、前記第2面側の領域において前記第2面に向かって増加する、光電変換層の製造方法。 - 前記第3工程では、前記積層体におけるI族元素の原子数のIII族元素の原子数に対する比が1よりも小さくなるように、前記インジウムを含み且つ銅を含まない層を形成する請求項1に記載の光電変換層の製造方法。
- 前記第1工程において、前記第1の前駆体層をスパッタリング法を用いて形成する請求項1又は2に記載の光電変換層の製造方法。
- 前記第3工程において、前記インジウムを含み且つ銅を含まない層をスパッタリング法を用いて形成する請求項1〜3の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。
- 前記第2工程では、前記第1の前駆体層を、セレンを含む雰囲気において加熱して、前記第1の前駆体層とセレンとの化合物を形成する請求項1〜4の何れか一項に記載の光電変換層の製造方法。
- 第1電極層上に光電変換層を形成する光電変換層形成工程であって、
I族元素及びIII族元素を有し、I族元素の原子数のIII族元素の原子数に対する比が1よりも大きい第1の前駆体層を、前記第1電極層上に形成する第1工程であって、ガリウムを含む層の上にインジウムを含む層を形成して前記第1の前駆体層を形成することを含む第1工程と、
前記第1の前駆体層とセレンとの化合物を形成して、第2の前駆体層を得る第2工程と、
前記第2の前駆体層上にインジウムを含み且つ銅を含まない層を形成して、前記第2の前駆体層と前記インジウムを含み且つ銅を含まない層とが積層された積層体を得る第3工程と、
前記積層体を、硫黄を含む雰囲気において加熱することで、前記積層体とVI族元素との化合物を形成して、光電変換層を得る第4工程と、
を有する光電変換層形成工程と、
前記光電変換層上に、第2電極層を形成する第2電極層形成工程と、
を備え、
前記光電変換層の伝導帯の下端のエネルギー準位は、前記第1電極層側の第1面から前記第2電極層側の第2面に向かって低減した後、前記第2面側の領域において前記第2面に向かって増加する、光電変換素子の製造方法。
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