JP2010192690A - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 56
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 47
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 32
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 11
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 120
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 36
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 19
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 18
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 description 16
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 9
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- 229910000807 Ga alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003363 ZnMgO Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 229910001370 Se alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000000224 chemical solution deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02568—Chalcogenide semiconducting materials not being oxides, e.g. ternary compounds
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02631—Physical deposition at reduced pressure, e.g. MBE, sputtering, evaporation
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02167—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/02168—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells the coatings being antireflective or having enhancing optical properties for the solar cells
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0256—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by the material
- H01L31/0264—Inorganic materials
- H01L31/032—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312
- H01L31/0322—Inorganic materials including, apart from doping materials or other impurities, only compounds not provided for in groups H01L31/0272 - H01L31/0312 comprising only AIBIIICVI chalcopyrite compounds, e.g. Cu In Se2, Cu Ga Se2, Cu In Ga Se2
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/072—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type
- H01L31/0749—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN heterojunction type including a AIBIIICVI compound, e.g. CdS/CulnSe2 [CIS] heterojunction solar cells
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L21/02554—Oxides
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Abstract
【課題】キャリア濃度の増加により、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.を増加させ、結果的に変換効率を増加させることができる太陽電池の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の太陽電池の製造方法は、Ib族元素を含むターゲット及びIIIb族元素を含むターゲットを、Seを含む雰囲気中でスパッタして、Ib族元素、IIIb族元素及びSeを含む層を基板上に形成するスパッタリング工程と、層を加熱する熱処理工程と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】本発明の太陽電池の製造方法は、Ib族元素を含むターゲット及びIIIb族元素を含むターゲットを、Seを含む雰囲気中でスパッタして、Ib族元素、IIIb族元素及びSeを含む層を基板上に形成するスパッタリング工程と、層を加熱する熱処理工程と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、太陽電池の製造方法に関する。
普及が進んできているバルク結晶シリコン太陽電池に替わって、薄膜状の半導体層を光吸収層として用いる薄膜太陽電池の開発が進んでいる。中でも、Ib族とIIIb族とVIb族とを含む化合物半導体層を光吸収層とする薄膜太陽電池は、高いエネルギー変換効率を示し、光による劣化の影響を受け難いことから、次世代の太陽電池として期待されている。具体的には、Cu、In及びSeからなるCuInSe2(以下、「CIS」と記す。)、又はCISにおいてIIIb族であるInの一部をGaで置換したCu(In,Ga)Se2(以下、「CIGS」と記す。)を光吸収層とする薄膜太陽電池において、高い変換効率が得られている(下記非特許文献1参照)。
CIGSから構成される光吸収層の形成方法としては、一般的に、セレン化法と呼ばれる方法が用いられている。セレン化法では、光吸収層の原料となるCu、In、Ga及びSeそれぞれの薄膜又はこれらの合金膜をスパッタリング法で積層して光吸収層の前駆体を形成した後、セレン雰囲気下で前駆体を熱処理して、CIGS膜から構成される光吸収層を形成する。
セレン化法の一例として、下記特許文献1では、Cu−Ga合金とIn−Ga−Se合金をターゲットとするスパッタリングによって、それぞれの合金からなる膜を基板上に積層して前駆体を形成した後、セレン雰囲気下で前駆体を熱処理してCIGS膜を形成する方法が開示されている。
セレン化法の他の一例として、下記特許文献2では、セレン以外の元素をスパッタリングにより成膜して前駆体を形成し、その後セレンをスパッタリング以外の方法(例えば蒸着法)により前駆体へ供給しながら前駆体を熱処理する方法が開示されている。
上記特許文献1に記載された方法では、一方のターゲットにはSeが含まれているが、他方のターゲットにはSeは含まれていない。そのため、前駆体の膜中のSeの濃度が一定ではない。また、Seを含むターゲットは経時変化を起こし易い。これは、熱やプラズマの影響によりSeがターゲットから抜け易く、時間が経過するとターゲット中のSeの比率が当初より減ってしまうためである。これらの理由から、前駆体の膜中のSeの濃度は不均一となるとともに、前駆体全体に含まれるSeの量も不足してしまう。そこで、Seの濃度の不均一及びSeの不足を解消するために、セレン雰囲気下での前駆体の熱処理が必要となる。セレン雰囲気下で前駆体を熱処理することで、不足したセレンを補給し、均一なCIGS膜の形成を促進することができる。しかし、セレン雰囲気下での熱処理は前駆体の急激な体積膨張を伴うため、前駆体の膜中に転移、マイクロクラック等の欠陥が生じることが問題となる。前駆体中の欠陥の密度が大きくなると、欠陥準位が生成して、キャリアの移動度の低下を引き起こし、光生成キャリアの再結合が起こり易くなる。そのため、太陽電池の特性が劣化してしまう。
上記特許文献2に記載の方法においても、熱処理において前駆体にセレンを大量に供給する必要があるため、熱処理において前駆体の膜の急激な体積膨張が起こり、欠陥の生成を避けることが出来ない。
上述のように、上記特許文献1、2に記載された従来の方法のいずれにおいても、スパッタリング後の熱処理時にセレンを前駆体に添加するため、熱処理中のセレンの添加に伴う前駆体の急激な体積膨張は避けられない。したがって、これらの手法を用いて作成したCIGS膜は多くの欠陥を含んだものとなる。このようなCIGS膜を用いた太陽電池では良好な特性を得ることが出来ない。具体的には、従来の方法で形成したCIGS膜を用いた太陽電池では、CIGS膜に生成した欠陥準位に起因するキャリア濃度の低下が、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.の低下を引き起こすため、結果的に変換効率が低下してしまう。また、上記特許文献1、2に記載された方法で形成したCIGS膜では、膜の深さ方向及び面内方向におけるSeの分布が不均一となるため、太陽電池の大面積化の際に特性バラツキが大きくなってしまう。
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、キャリア濃度の増加により、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.を増加させ、結果的に変換効率を増加させることができる太陽電池の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明に係る太陽電池の製造方法は、Ib族元素を含むターゲット及びIIIb族元素を含むターゲットを、Seを含む雰囲気中でスパッタして、Ib族元素、IIIb族元素及びSeを含む層を基板上に形成するスパッタリング工程と、層を加熱する熱処理工程と、を備える。なお、本発明において、「基板」とは、例えば、ソーダライムガラス上に形成された裏面電極層等であり、「層」とは、例えば、裏面電極層上に形成されるp型光吸収層(p型半導体層)等である。
上記本発明によれば、得られる太陽電池のキャリア濃度が増加するため、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.も増加する。そのため、上記本発明によれば、得られる太陽電池の変換効率を、従来の方法により得たp型光吸収層を備える太陽電池に比べて増加させることが可能となる。
上記本発明では、スパッタリング工程において、H2Seを雰囲気中に導入することが好ましい。また、上記本発明では、スパッタリング工程において、固体状のSeを気化させ、気化したSe(Seの蒸気)を雰囲気中に導入してもよい。つまり、H2Se又は固体状のSeを雰囲気中に含まれるSeの供給源とすることによって、本発明の効果を得易くなる。
上記本発明では、熱処理工程において、Seを含む雰囲気中で層を加熱することが好ましい。これにより、層内のSeの不足を解消し易くなるとともに、層内にIb族元素、IIIb族元素及びSeが均一に分散するため、Seの不足がなく、組成が均一な半導体層を得易くなる。その結果、本発明の効果を得易くなる。
上記本発明では、熱処理工程において、H2Seを雰囲気中に導入してもよく、固体状のSeを気化させ、気化したSeを雰囲気中に導入してもよい。これにより、本発明の効果を得易くなる。
上記本発明では、Ib族元素がCuであり、IIIb族元素がIn又はGaの少なくともいずれかであることが好ましい。これによりCIS、CGS又はCIGS等から構成される半導体層を形成することが可能となる。
本発明によれば、キャリア濃度の増加により、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.を増加させ、結果的に変換効率を増加させることができる太陽電池の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。なお、図面において、同一又は同等の要素については同一の符号を付す。また、上下左右の位置関係は図面に示す通りである。また、説明が重複する場合にはその説明を省略する。
図1に示すように、本実施形態に係る太陽電池の製造方法により得られる太陽電池2は、ソーダライムガラス4(青板ガラス)と、ソーダライムガラス4上に形成された裏面電極層6と、裏面電極層6上に形成されたp型光吸収層8(p型半導体層)と、p型光吸収層8上に形成されたn型バッファ層10(n型半導体層)と、n型バッファ層10上に形成された半絶縁層12と、半絶縁層12上に形成された窓層14(透明導電層)と、窓層14上に形成された上部電極16(取り出し電極)と、を備える薄膜型太陽電池である。
本実施形態では、まず、ソーダライムガラス4上に裏面電極層6を形成する。裏面電極層6は、通常、Moから構成される金属層である。裏面電極層6の形成方法としては、例えばMoターゲットのスパッタリング等が挙げられる。
ソーダライムガラス4上に裏面電極層6を形成した後、スパッタリング工程において、Ib族元素を含むターゲット及びIIIb族元素を含むターゲットを、Seを含む雰囲気中でスパッタして、Ib族元素、IIIb族元素及びSeを含む層(p型光吸収層8の前駆体層)を裏面電極層6上に形成する。
スパッタリング工程では、H2Seを雰囲気中に導入してもよく、固体状のSeを気化させ、気化したSeを雰囲気中に導入してもよい。つまり、H2Se又は固体状のSeを雰囲気中のSeの供給源とすればよい。換言すれば、本実施形態のスパッタリング工程において、雰囲気に含まれるSeは、ターゲット又は層に由来するのではなく、これらとは別のH2Seガス又は固体状のSeに由来する。なお、スパッタリングガスとしては、例えばAr等の希ガスを用いればよい。また、各ターゲットをスパッタする時間、雰囲気中のSeの濃度及び分圧は、得たいp型光吸収層8の組成に応じて適宜調整すればよい。
本実施形態では、Cu、Ag又はAu等のIb族元素の中でもCuを用いることが好ましい。また、B、Al、Ga、In又はTl等のIIIb族元素の中でもIn又はGaの少なくともいずれかを用いることが好ましく、In及びGaを用いることが最も好ましい。
Ib族元素がCuであり、IIIb族元素がIn及びGaであることにより、CIGSから構成されるp型光吸収層8(以下、「p−CIGS層8」と記す。)を形成することが可能となる。
p−CIGS層8では、InとGaとのモル比を調整することにより、禁制帯幅Egを1.0〜1.6eVの範囲内で制御することが可能であり、また光吸収係数を105cm−1より大きくすることが可能である。このようなp−CIGS層8を備える太陽電池では、高い変換効率を実現することが可能となる。
以下では、裏面電極層6上にp−CIGS層8を形成する場合について説明する。
裏面電極層6上にp−CIGS層8を形成する場合、例えばCuGa合金から構成されるターゲットと、In単体から構成されるターゲットを用いればよい。また、In単体から構成されるターゲットの代わりに、Seを含有するIn2Se3から構成されるターゲットを用いてもよい。
スパッタリング工程では、ソーダライムガラス4上に形成された裏面電極層6(基板)の温度を200〜500℃とすることが好ましく、400〜500℃とすることがより好ましい。基板の温度が低過ぎる場合、p−CIGS層8が裏面電極層6から剥がれ易い傾向があり、またp−CIGS層8のセレンの含有量が少なくなる傾向がある。一方、基板の温度が高過ぎる場合、ソーダライムガラス4、裏面電極層6又はp−CIGS層8が軟化して変形し易い傾向がある。これらの傾向は、基板の温度を上記の範囲内とすることにより抑制することができる。
スパッタリング工程後、熱処理工程において前駆体層を加熱する。これにより、p−CIGS層8が得られる。
熱処理工程では、Seを含む雰囲気中で前駆体層を加熱することが好ましい。これにより、前駆体層内のSeの不足を解消し易くなるとともに、前駆体層内にCu、In、Ga及びSeが均一に分散する。そのため、Seの不足がなく、組成が均一なp−CIGS層8を得易くなる。
熱処理工程において、H2Seを雰囲気中に導入してもよく、固体状のSeを気化させ、気化したSeを雰囲気中に導入してもよい。なお、熱処理工程では、Seを含む雰囲気の代わりに、Ar等の希ガスから構成され、Seを含まない雰囲気中で前駆体層を加熱した場合であっても本発明の効果を得ることができる。
熱処理工程では、雰囲気の温度を400〜520℃とすることが好ましく、500〜520℃とすることがより好ましい。雰囲気の温度が低過ぎる場合、前駆体層における結晶成長、原子の相互拡散が促進されず、p−CIGS層8において欠陥が増大したり、組成が不均一になったりする傾向がある。一方、雰囲気の温度が高過ぎる場合、ソーダライムガラス4、裏面電極層6又はp−CIGS層8が歪んだり溶けたりする傾向がある。これらの傾向は、雰囲気の温度を上記の範囲内とすることにより抑制することができる。
p−CIGS層8の形成後、p−CIGS層8上にn型バッファ層10を形成する。n型バッファ層10としては、例えば、CdS層、Zn(S,O,OH)層、ZnMgO層又はZn(Ox,S1−x)層(xは1未満の正の実数)等が挙げられる。CdS層及びZn(S,O,OH)層は、化学溶液成長法(Chemical Bath Deposition)により形成することができる。ZnMgO層は、MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)等の化学蒸着法又はスパッタリングにより形成することができる。Zn(Ox,S1−x)層はALD法(Atomic layer deposition)により形成することができる。
n型バッファ層10の形成後、n型バッファ層10上に半絶縁層12を形成し、半絶縁層12上に窓層14を形成し、窓層14上に上部電極16形成する。これにより、薄膜型太陽電池2が得られる。なお、窓層14上にMgF2から構成される反射防止層を形成してもよい。
半絶縁層12としては、例えばZnO層等が挙げられる。窓層14としては、例えばZnO:B又はZnO:Al等が挙げられる。上部電極16は例えばAl又はNi等の金属から構成される。半絶縁層12、窓層14及び上部電極16は、例えばスパッタリング又はMOCVD等によって形成することができる。
本実施形態では、スパッタリング工程でSeを含む雰囲気中でターゲットをスパッタするため、上記特許文献1、2に記載の従来の方法の場合に比べて、前駆体層の組成の制御が容易となり、スパッタリング工程後の熱処理工程における前駆体層の急激な体積膨張を抑制することができる。その結果、本実施形態では、従来の方法に比べてp−CIGS層8中に欠陥が生じることを抑制できる。欠陥の少ないp−CIGS層8を備える太陽電池では、従来のp−CIGS層を備える太陽電池に比べて、欠陥準位に起因するキャリア濃度の低下が起き難いため、開放電圧、短絡電流及び曲線因子F.F.が増加し、結果的に変換効率が向上する。また、本実施形態では、p−CIGS層8の深さ方向及び面内方向におけるSeの濃度分布を、従来のp−CIGS層より均一にすることができる。そのため、本実施形態で得られる太陽電池では、従来の太陽電池に比べて大面積化の際に特性バラツキが小さくなる。したがって、本実施形態で得られる太陽電池は大面積化が容易である。
上記特許文献1に記載された方法では、スパッタリング工程におけるターゲットからのSeの脱離及びターゲット間でのSeの含有率の差に起因して、得られる層におけるSeの不足並びに不均一な濃度分布、及び熱処理工程におけるSeの添加に伴う層の膨張が問題となる。一方、本実施形態では、スパッタリング工程において雰囲気中に十分な量のSe又はH2Seを供給することため、これらの問題を防止できる。
上記特許文献2に記載された方法では、Seを含まない雰囲気下で、Seを含まないターゲットをスパッタするため、スパッタリング工程で得られる薄膜にSeが含まれない。そして、薄膜中へSeを補うために、スパッタリング工程に続く熱処理工程で大量のSeを前駆体に供給する必要がある。その結果、上記特許文献2に記載の方法では、大量のSeの供給に伴う薄膜の急激な体積膨張が問題となる。一方、本実施形態では、スパッタリング工程で雰囲気中のSeを層へ供給するため、層中でSeが不足し難い。そのため、本実施形態では、熱処理工程において、必ずしも層へ大量のSeを補う必要がないため、Seの供給に伴う層の急激な体積膨張を防止できる。
また本実施形態では、従来の方法とは対照的に、前駆体層の熱処理時に雰囲気中へSeを導入しなくとも所望の特性を有する太陽電池を得ることができる。すなわち、本実施形態では、熱処理時に雰囲気中へSeを導入する作業を省略することができるため、製造方法の簡略化、低コスト化が可能となる。
以上、本発明の太陽電池の製造方法の好適な一実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、スパッタリング工程に用いるターゲットを適宜選択することにより、CuInSe2、CuGaSe2、Cu(In,Ga)(S,Se)2、CuIn3Se5、CuGa3Se5、Cu(In,Ga)3Se5、Cu(In,Ga)3(S,Se)5、CuAlSe2、Cu(In,Al)Se2、Cu(Ga,Al)Se2、AgInSe2又はAg(In,Ga)Se2等から構成されるp型半導体層を備える薄膜型電池を製造することができる。
また、スパッタリング工程に用いるターゲットは必ずしもSeを含有しなくてもよい。本発明では、スパッタリング工程において雰囲気中のSeを層へ供給するため、Seを層中に均一に分散させ、且つ所望量のSeを含有させることが可能となる。
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
(実施例1)
縦10cm×横10cm×厚さ1mmの青板ガラスを洗浄乾燥した後、Mo単体から構成される膜状の裏面電極をスパッタリングにより青板ガラス上に形成した。裏面電極の膜厚は1μmとした。
縦10cm×横10cm×厚さ1mmの青板ガラスを洗浄乾燥した後、Mo単体から構成される膜状の裏面電極をスパッタリングにより青板ガラス上に形成した。裏面電極の膜厚は1μmとした。
青板ガラス上に形成された裏面電極(基板)をスパッタリング装置のチャンバー内に設置し、チャンバー内を脱気した。そして、スパッタリング工程において、Arガス(スパッタリングガス)とH2Seガスをチャンバー内に供給し続けながら、チャンバー内でGaの含有率が20原子%であるCu−Ga合金から構成されるターゲットをスパッタした後、Inメタルから構成されるターゲットをスパッタした。このスパッタリング工程により、Seを含有するCuGa合金層(以下、「Cu−Ga−Se層」と記す。)を裏面電極上に形成し、Seを含むIn層(以下、「In−Se層」と記す。)をCuGa合金層上に形成した。このようにして、Cu−Ga−Se層とCu−Ga−Se層上に形成されたIn−Se層とから構成される前駆体層を得た。
なお、スパッタリング工程では、Cu−Ga−Se層の厚さを550nmとし、In−Se層の厚さを450nmとした。また、スパッタリング工程では、基板温度の温度を200℃とし、チャンバー内へ供給するH2SeとArの流量比を0.1とし、チャンバー内の気圧を1Paとした。
スパッタリング工程後の熱処理工程では、550℃のAr雰囲気中で前駆体層を1時間加熱することにより、厚さが1μmであり、CuIn0.7Ga0.3Se2で表される組成を有するp型光吸収層(p−CIGS層)を形成した。
50nmの厚さのCdS層(n型バッファ層)をp−CIGS層上に化学溶液成長法で形成した。50nmの厚さのi−ZnO層(半絶縁層)をCdS層上に形成した。1μmの厚さのZnO:Al層(窓層)をi−ZnO層上に形成した。Alから構成され、500nmの厚さの集電電極(上部電極)を、ZnO:Al層上に形成した。i−ZnO層、ZnO:Al層、集電電極は、それぞれスパッタリングにより形成した。これにより、実施例1の薄膜型太陽電池を得た。
(実施例2)
スパッタリング工程において、Inメタルから構成されるターゲットの代わりにIn2Se3から構成されるターゲットを用い、Cu−Ga−Se層とCu−Ga−Se層上に形成されたIn2Se3層から構成される前駆体層を得たこと以外は、実施例1と同様の方法で、実施例2の薄膜型太陽電池を得た。
スパッタリング工程において、Inメタルから構成されるターゲットの代わりにIn2Se3から構成されるターゲットを用い、Cu−Ga−Se層とCu−Ga−Se層上に形成されたIn2Se3層から構成される前駆体層を得たこと以外は、実施例1と同様の方法で、実施例2の薄膜型太陽電池を得た。
(実施例3)
熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱したこと以外は、実施例2と同様の方法で、実施例3の薄膜型太陽電池を得た。
熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱したこと以外は、実施例2と同様の方法で、実施例3の薄膜型太陽電池を得た。
(実施例4)
スパッタリング工程において、H2Seガスの代わりに、固体状のSeを気化させて得たSe蒸気をチャンバー内に供給し続けたこと以外は、実施例1と同様の方法で、実施例4の薄膜型太陽電池を得た。
スパッタリング工程において、H2Seガスの代わりに、固体状のSeを気化させて得たSe蒸気をチャンバー内に供給し続けたこと以外は、実施例1と同様の方法で、実施例4の薄膜型太陽電池を得た。
(実施例5)
熱処理工程において、Arガスに加え、固体状のSeを気化させて得たSe蒸気を雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱したこと以外は、実施例4と同様の方法で、実施例5の薄膜型太陽電池を得た。
熱処理工程において、Arガスに加え、固体状のSeを気化させて得たSe蒸気を雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱したこと以外は、実施例4と同様の方法で、実施例5の薄膜型太陽電池を得た。
(比較例1)
比較例1では、スパッタリング工程において、H2Seガスを用いず、Arガスだけを雰囲気中に供給し続けた。また比較例1では、熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱した。これらの事項以外は、実施例1と同様の方法で、比較例1の薄膜型太陽電池を得た。
比較例1では、スパッタリング工程において、H2Seガスを用いず、Arガスだけを雰囲気中に供給し続けた。また比較例1では、熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱した。これらの事項以外は、実施例1と同様の方法で、比較例1の薄膜型太陽電池を得た。
(比較例2)
比較例2では、スパッタリング工程において、H2Seガスを用いず、Arガスだけを雰囲気中に供給し続けた。また比較例2では、熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱した。これらの事項以外は、実施例2と同様の方法で、比較例2の薄膜型太陽電池を得た。
比較例2では、スパッタリング工程において、H2Seガスを用いず、Arガスだけを雰囲気中に供給し続けた。また比較例2では、熱処理工程において、Arガスに加え、H2Seガスを雰囲気中に供給しながら、当該雰囲気中で前駆体層を加熱した。これらの事項以外は、実施例2と同様の方法で、比較例2の薄膜型太陽電池を得た。
[薄膜型太陽電池の評価]
実施例1〜5、比較例1、2の太陽電池のキャリア濃度、開放電圧、短絡電流、曲線因子F.F.及び変換効率をそれぞれ求めた。結果を表1に示す。
実施例1〜5、比較例1、2の太陽電池のキャリア濃度、開放電圧、短絡電流、曲線因子F.F.及び変換効率をそれぞれ求めた。結果を表1に示す。
2・・・太陽電池、4・・・ソーダライムガラス、6・・・裏面電極層、8・・・p型光吸収層(p−CIGS層)、10・・・n型バッファ層(n型半導体層)、12・・・半絶縁層、14・・・窓層(透明導電層)、16・・・上部電極(取り出し電極)。
Claims (7)
- Ib族元素を含むターゲット及びIIIb族元素を含むターゲットを、Seを含む雰囲気中でスパッタして、Ib族元素、IIIb族元素及びSeを含む層を基板上に形成するスパッタリング工程と、
前記層を加熱する熱処理工程と、
を備える、太陽電池の製造方法。 - 前記スパッタリング工程において、H2Seを前記雰囲気中に導入する、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記スパッタリング工程において、固体状のSeを気化させ、気化したSeを前記雰囲気中に導入する、請求項1又は2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記熱処理工程において、Seを含む雰囲気中で前記層を加熱する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記熱処理工程において、H2Seを前記雰囲気中に導入する、請求項4に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記熱処理工程において、固体状のSeを気化させ、気化したSeを前記雰囲気中に導入する、請求項4又は5に記載の太陽電池の製造方法。
- Ib族元素がCuであり、
IIIb族元素がIn又はGaの少なくともいずれかである、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009035602A JP2010192690A (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 太陽電池の製造方法 |
US12/702,871 US20100210065A1 (en) | 2009-02-18 | 2010-02-09 | Method of manufacturing solar cell |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009035602A JP2010192690A (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 太陽電池の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010192690A true JP2010192690A (ja) | 2010-09-02 |
Family
ID=42560293
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009035602A Pending JP2010192690A (ja) | 2009-02-18 | 2009-02-18 | 太陽電池の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100210065A1 (ja) |
JP (1) | JP2010192690A (ja) |
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-
2009
- 2009-02-18 JP JP2009035602A patent/JP2010192690A/ja active Pending
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20100210065A1 (en) | 2010-08-19 |
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