JP4466315B2 - 相変化メモリ - Google Patents
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Description
結晶相とアモルファス相との間を変化することで情報を記録する相変化記録膜と、前記相変化記録膜に引張ひずみを与えるピエゾ素子とを有し、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含む構造を持つこと。
Claims (12)
- 結晶相とアモルファス相との間を変化することで情報を記録する相変化記録膜と、前記相変化記録膜に引張ひずみを与えるピエゾ素子とを有し、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含むことを特徴とする相変化メモリ。
- 請求項1において、前記ピエゾ素子は、前記相変化記録膜を挟む第1及び第2の強誘電体と、前記相変化記録膜と前記第1及び第2の強誘電体を挟む第1及び第2の電極を有することを特徴とする相変化メモリ。
- 基板と、前記基板の一主面側に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜に接触して形成された第一電極と、前記第一電極に接触して形成された相変化記録膜と、前記相変化記録膜に接触して形成された第二電極を備え、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含み、前記第一電極の主構成材料がTiSixNyまたはTaSixNyであり、前記第一電極におけるSiの濃度が0.07at.%以上33at.%以下であり、前記第一電極と前記第二電極の間に強誘電体が挟まれた構造を持つ相変化メモリ。
- 基板と、前記基板の一主面側に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜に接触して形成された第一電極と、前記第一電極に接触して形成された相変化記録膜と、前記相変化記録膜に接触して形成された第二電極を備え、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含み、前記第一電極の主構成材料がTiSixNyまたはTaSixNyであり、前記第一電極におけるSiの濃度が0.07at.%以上33at.%以下であり、前記誘電体膜の主構成材料がTiOxNyまたはTaOxNyまたはTiSixOyNzまたはTaSixOyNzであり、前記第一電極と前記第二電極の間に強誘電体が挟まれた構造を持つ相変化メモリ。
- 基板と、前記基板の一主面側に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜に接触して形成された第一電極と、前記第一電極に接触して形成された相変化記録膜と、前記相変化記録膜に接触して形成された第二電極を備え、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含み、前記第一電極の主構成材料が化学気相蒸着法またはメッキ法で形成されたTiSixNyまたはTaSixNyであり、前記第一電極におけるSiの濃度が0.07at.%以上33at.%以下であり、前記誘電体膜の主構成材料がTiOxNyまたはTaOxNyまたはTiSixOyNzまたはTaSixOyNzであり、前記第一電極と前記第二電極の間に強誘電体が挟まれた構造を持つ相変化メモリ。
- 基板と、前記基板の一主面側に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜に接触して形成された第一電極と、前記第一電極に接触して形成された相変化記録膜と、前記相変化記録膜に接触して形成された第二電極を備え、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含み、前記第一電極の主構成材料がTiSixNyまたはTaSixNyであり、前記第一電極におけるSiの濃度が0.07at.%以上33at.%以下であり、前記誘電体膜の主構成材料がTiOxNyまたはTaOxNyまたはTiSixOyNzまたはTaSixOyNzであり、前記第二電極が酸化処理、窒化処理、酸窒化処理の少なくとも一つを受けて形成された膜であり、前記第一電極と前記第二電極の間に強誘電体が挟まれた構造を持つ相変化メモリ。
- 基板と、前記基板の一主面側に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜に接触して形成された第一電極と、前記第一電極に接触して形成された相変化記録膜と、前記相変化記録膜に接触して形成された第二電極を備え、前記相変化記録膜がGe、Sb、Teから選ばれる少なくとも2つを構成元素として含み、前記第一電極の主構成材料が化学気相蒸着法またはメッキ法で形成されたTiSixNyまたはTaSixNyであり、前記第一電極におけるSiの濃度が0.07at.%以上33at.%以下であり、前記誘電体膜の主構成材料がTiOxNyまたはTaOxNyまたはTiSixOyNzまたはTaSixOyNzであり、前記第二電極が酸化処理、窒化処理、酸窒化処理の少なくとも一つを受けて形成された膜であり、前記第一電極と前記第二電極の間に強誘電体が挟まれた構造を持つ相変化メモリ。
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