JP4432972B2 - 圧電薄膜共振子 - Google Patents
圧電薄膜共振子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4432972B2 JP4432972B2 JP2006535033A JP2006535033A JP4432972B2 JP 4432972 B2 JP4432972 B2 JP 4432972B2 JP 2006535033 A JP2006535033 A JP 2006535033A JP 2006535033 A JP2006535033 A JP 2006535033A JP 4432972 B2 JP4432972 B2 JP 4432972B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- substrate
- piezoelectric thin
- resonator
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 152
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 119
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 110
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 66
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 56
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 13
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical group [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 40
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 12
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 11
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical compound C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920006389 polyphenyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
- H03H9/171—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
- H03H9/172—Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
- H03H9/173—Air-gaps
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02007—Details of bulk acoustic wave devices
- H03H9/02086—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02133—Means for compensation or elimination of undesirable effects of stress
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
11 基板
14 空隙層
17a,17b 電極(励振電極)
18 圧電薄膜
19a,19b 補強膜
27a,27b 電極(励振電極)
28 圧電薄膜
29a,29b 補強膜
30 圧電薄膜共振子
31 基板
34 空隙層
37a,37b 電極(励振電極)
38 圧電薄膜
39a,39b 補強膜
42s,42t 振動部
47a,47b,47c 電極(励振電極)
48 圧電薄膜
49a,49b,49c,49d 補強膜
49s 補強膜(共振子間補強膜)
50 圧電薄膜共振子
51 基板
51a 上面(平坦部)
51s 斜面(テーパ部)
54 空隙層
57a,57b 電極(励振電極)
58 圧電薄膜
59a,59b 補強膜
63s,63t 稜(境界)
67a,67b 電極(励振電極)
68 圧電薄膜
69a,69b 補強膜
70 圧電フィルタ
80 デュプレクサ
90 通信装置
図1は、実施例1の圧電薄膜共振子10の構造を模式的に示す要部平面図である。図2は、図1の線II−IIに沿って切断した断面図である。
図4は、実施例2の圧電薄膜共振子30の構造を模式的に示す要部平面図である。図5は、図4中の線V−Vに沿って切断した断面図である。
図6は、実施例3の圧電薄膜共振子40の構造を模式的に示す要部平面図である。
図7は、実施例4の圧電薄膜共振子50の構造を模式的に示す断面図である。図8は、その要部拡大断面図である。
実施例4と同様の構造の圧電薄膜共振子を、実施例とは異なる方法で作製する。
実施例6の圧電薄膜共振子は、メンブレンに誘電体膜を採用せず、浮き部分は圧電薄膜とそれを挟む電極のみの構造とする。
図9は、実施例7の圧電薄膜共振子60の構造を模式的に示す要部平面図である。
他の実施例と同様の構造の圧電薄膜共振子を作製する。基板にC面を表面にもつサファイア基板上にZnOを主成分とする犠牲層を形成する。このとき、犠牲層であるZnOのC面は、基板表面法線方向を向いている。その上に、ZnOと格子整合性の良好なAl,Au,Cu,Ir,Mo,Ni,Pd,Pt,Ta,Wを下部電極として形成する。下部電極上には、下部電極と格子整合性の良好な圧電薄膜であるZnO,AlN,BaTiO3,KNbO3,PZT等を形成する。このとき、圧電薄膜のC面は、基板表面法線方向を向いて形成される。また、圧電薄膜の上には、圧電薄膜と格子整合性の良好なAl,Au,Cu,Ir,Mo,Ni,Pd,Pt,Ta,Wを上部電極として形成する。犠牲層、下部電極、圧電薄膜、上部電極の形成方法は、スパッタリング、CVD、電子ビーム蒸着等である。パターニング方法としては、リフトオフ、エッチング等を用いる。その後、犠牲層の除去をウエットエッチングやドライエッチング等で行なう。基板には、サファイア基板以外にa面を表面にもつSiC基板、Z面を表面にもつLiTaO3,LiNbO3を用いてもよい。また、圧電薄膜と弾性定数の温度係数の符号の異なるSiO2等と組み合わせてもよい。振動モードは、厚み縦振動を利用する。
図4に示した構造とし、厚みすべり振動を利用する圧電薄膜共振子を作製する。R面を表面にもつサファイア基板を用いる。犠牲層であるZnOのC面は、基板表面法線と垂直方向を向いて形成する。これにより、圧電薄膜のC面が基板表面法線と垂直方向を向いて形成される。
図10a〜図10cは、実施例10の圧電フィルタの回路図である。
図11は、実施例11のデュプレクサ80の回路図である。
図12は、実施例12の通信装置90の要部ブロック図である。
Claims (9)
- 基板と、
前記基板に支持される少なくとも2箇所の支持部分と、前記基板との間に空隙層を介して配置され前記支持部分に支持される浮き部分とを有し、前記浮き部分は、一対の励振電極の間に圧電薄膜が配置された振動部を含む、薄膜部と、
前記薄膜部の前記支持部分と前記浮き部分との境界近傍部分に形成される補強膜とを備え、
前記基板は、平坦部とテーパ部とを有し、
前記薄膜部の前記支持部分は、前記浮き部分との境界近傍部分において、前記基板の前記平坦部と前記テーパ部との両方に接し、
前記境界近傍部分における前記浮き部分のテーパ角度が、前記基板の前記テーパ部のテーパ角度より小さいことを特徴とする、圧電薄膜共振子。 - 基板と、
前記基板に支持される少なくとも3箇所の支持部分と、前記基板との間に空隙層を介して配置され前記支持部分に支持される浮き部分とを有し、前記浮き部分は、一対の励振電極の間に圧電薄膜が配置された少なくとも2箇所の振動部を含み、各振動部は、2つの前記支持部分を結ぶ方向に一列に配置された、薄膜部と、
前記薄膜部の前記2つの支持部分と前記浮き部分との境界近傍部分にそれぞれ配置された補強膜と、
前記薄膜部の他の前記支持部分から前記薄膜部の前記浮き部分の前記2箇所の振動部の間に延在するように配置された共振子間補強膜とを備え、
前記基板は、平坦部とテーパ部とを有し、
前記薄膜部の前記支持部分は、前記浮き部分との境界近傍部分において、前記基板の前記平坦部と前記テーパ部との両方に接し、
前記境界近傍部分における前記浮き部分のテーパ角度が、前記基板の前記テーパ部のテーパ角度より小さいことを特徴とする、圧電薄膜共振子。 - 前記薄膜部の前記支持部分と前記浮き部分との境界が直線状であることを特徴とすることを特徴とする、請求項1又は2に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記薄膜部の前記支持部分と前記浮き部分との境界が曲線状であることを特徴とすることを特徴とする、請求項1又は2に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記基板がR面サファイアであり、
前記圧電薄膜がZnO又はAlNであることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。 - 前記基板がC面サファイア、Z面LiTaO3又はZ面LiNbO3であり、
前記圧電薄膜がZnO又はAlNであることを特徴とする、請求項1乃至4のいずれかに記載の圧電薄膜共振子。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電薄膜共振子を用いたことを特徴とする、圧電フィルタ。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電薄膜共振子又は請求項7に記載の圧電フィルタを用いたことを特徴とする、デュプレクサ。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載の圧電薄膜共振子又は請求項7に記載の圧電フィルタを用いたことを特徴とする、通信装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004264281 | 2004-09-10 | ||
JP2004264281 | 2004-09-10 | ||
PCT/JP2005/008427 WO2006027873A1 (ja) | 2004-09-10 | 2005-05-09 | 圧電薄膜共振子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006027873A1 JPWO2006027873A1 (ja) | 2008-05-08 |
JP4432972B2 true JP4432972B2 (ja) | 2010-03-17 |
Family
ID=36036167
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006535033A Expired - Fee Related JP4432972B2 (ja) | 2004-09-10 | 2005-05-09 | 圧電薄膜共振子 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7327209B2 (ja) |
JP (1) | JP4432972B2 (ja) |
CN (1) | CN100578928C (ja) |
WO (1) | WO2006027873A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007119556A1 (ja) * | 2006-04-05 | 2007-10-25 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 圧電共振子及び圧電フィルタ |
KR101238360B1 (ko) * | 2006-08-16 | 2013-03-04 | 삼성전자주식회사 | 공진기 및 그 제조 방법 |
JP5216210B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2013-06-19 | 日本電波工業株式会社 | 水晶振動片および水晶振動デバイス |
DE112007002969B4 (de) | 2007-01-24 | 2017-12-21 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Piezoelektrischer Resonator und piezoelektrisches Filter |
WO2009011022A1 (ja) * | 2007-07-13 | 2009-01-22 | Fujitsu Limited | 圧電薄膜共振素子及びこれを用いた回路部品 |
US20100165306A1 (en) * | 2008-12-31 | 2010-07-01 | Luxmi Corporation | Beam projection systems and methods |
JP5319491B2 (ja) * | 2009-10-22 | 2013-10-16 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振子 |
JP5733898B2 (ja) * | 2010-02-14 | 2015-06-10 | キヤノン株式会社 | 静電容量型電気機械変換装置 |
CN103392213B (zh) * | 2011-02-25 | 2016-07-06 | 株式会社村田制作所 | 可变电容元件以及可调谐滤波器 |
KR20180008243A (ko) * | 2016-07-14 | 2018-01-24 | 삼성전기주식회사 | 탄성파 필터 장치 및 이의 제조방법 |
US10715099B2 (en) * | 2016-10-28 | 2020-07-14 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Bulk acoustic wave resonator and method for manufacturing the same |
US11171628B2 (en) * | 2017-07-04 | 2021-11-09 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Acoustic resonator and method for manufacturing the same |
US11469735B2 (en) * | 2018-11-28 | 2022-10-11 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave device, filter, and multiplexer |
US11431318B2 (en) * | 2018-12-14 | 2022-08-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Acoustic resonator and method of manufacturing thereof |
KR102149386B1 (ko) | 2019-04-16 | 2020-08-28 | 삼성전기주식회사 | 음향 공진기 및 음향 공진기 필터 |
JP7485479B2 (ja) | 2020-03-17 | 2024-05-16 | 太陽誘電株式会社 | フィルタ |
CN113285685B (zh) * | 2021-03-05 | 2022-12-09 | 广州乐仪投资有限公司 | 石英薄膜体声波谐振器及其加工方法、电子设备 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60189307A (ja) * | 1984-03-09 | 1985-09-26 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JPS61127216A (ja) * | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPS61127217A (ja) | 1984-11-26 | 1986-06-14 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPS61218214A (ja) | 1985-03-25 | 1986-09-27 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPH0640611B2 (ja) | 1985-03-25 | 1994-05-25 | 株式会社東芝 | 圧電薄膜共振子 |
JPS6294008A (ja) | 1985-10-19 | 1987-04-30 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜共振子 |
JPS62200813A (ja) | 1986-02-28 | 1987-09-04 | Toshiba Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPS63305608A (ja) * | 1987-06-06 | 1988-12-13 | Kazuhiko Yamanouchi | 弾性振動を用いた圧電性薄膜複合共振子及びフィルタ |
JP2618404B2 (ja) * | 1987-09-16 | 1997-06-11 | キヤノン株式会社 | 非強誘電性圧電体薄膜の製造方法および分極の調査方法 |
JP2983252B2 (ja) * | 1990-05-14 | 1999-11-29 | 株式会社東芝 | 圧電薄膜デバイス |
JPH0640611A (ja) | 1992-07-22 | 1994-02-15 | Konica Corp | 記録紙手差し装置 |
JPH06204776A (ja) | 1992-12-28 | 1994-07-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 圧電薄膜振動子の製造方法 |
JPH0878997A (ja) | 1994-09-02 | 1996-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及びその製造方法 |
JPH0878995A (ja) | 1994-09-02 | 1996-03-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品 |
JPH10200369A (ja) | 1997-01-13 | 1998-07-31 | Mitsubishi Materials Corp | 圧電薄膜共振子 |
JPH11205062A (ja) | 1998-01-09 | 1999-07-30 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 高周波二重モード圧電フィルタの製造法 |
JP2001168674A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及び電子機器 |
JP4759117B2 (ja) | 2000-06-22 | 2011-08-31 | 日本特殊陶業株式会社 | 金属酸化物膜付き基板及び金属酸化物膜付き基板の製造方法 |
KR100413589B1 (ko) | 2000-07-04 | 2003-12-31 | (주)레드폭스아이 | 실시간 경제 변수 지표를 도입한 복권 구입 및 판매 시스템 |
KR100398363B1 (ko) | 2000-12-05 | 2003-09-19 | 삼성전기주식회사 | Fbar 소자 및 그 제조방법 |
JP3903848B2 (ja) * | 2001-07-02 | 2007-04-11 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子、圧電共振子の製造方法、圧電フィルタ、圧電フィルタの製造方法、デュプレクサおよび電子通信機器 |
JP2003017973A (ja) * | 2001-07-02 | 2003-01-17 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、フィルタ、電子通信機器、圧電共振子の製造方法 |
JP2003163566A (ja) * | 2001-11-22 | 2003-06-06 | Toshiba Corp | 薄膜圧電共振器及びその製造方法 |
JP2003283292A (ja) | 2002-01-15 | 2003-10-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いたフィルタ・デュプレクサ・通信装置 |
US20030141946A1 (en) | 2002-01-31 | 2003-07-31 | Ruby Richard C. | Film bulk acoustic resonator (FBAR) and the method of making the same |
JP2003238292A (ja) * | 2002-02-14 | 2003-08-27 | Canon Inc | 蛍石結晶の製造方法 |
JP2004072715A (ja) | 2002-06-11 | 2004-03-04 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電薄膜共振子、圧電フィルタ、およびそれを有する電子部品 |
JP3879643B2 (ja) | 2002-09-25 | 2007-02-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電共振子、圧電フィルタ、通信装置 |
JP2005033262A (ja) | 2003-07-07 | 2005-02-03 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子、圧電フィルタおよびそれを有する電子機器 |
JP3945486B2 (ja) * | 2004-02-18 | 2007-07-18 | ソニー株式会社 | 薄膜バルク音響共振子およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-05-09 CN CN200580029867A patent/CN100578928C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-05-09 WO PCT/JP2005/008427 patent/WO2006027873A1/ja active Application Filing
- 2005-05-09 JP JP2006535033A patent/JP4432972B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-08 US US11/715,359 patent/US7327209B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006027873A1 (ja) | 2006-03-16 |
JPWO2006027873A1 (ja) | 2008-05-08 |
US7327209B2 (en) | 2008-02-05 |
CN101010875A (zh) | 2007-08-01 |
CN100578928C (zh) | 2010-01-06 |
US20070152775A1 (en) | 2007-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4432972B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
JP4442689B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
US7268647B2 (en) | Film bulk acoustic-wave resonator and method for manufacturing the same | |
US8723623B2 (en) | Acoustic wave device, method of manufacturing acoustic wave device and transmission apparatus | |
US7345402B2 (en) | Piezoelectric thin-film resonator and filter using the same | |
JP5080858B2 (ja) | 圧電薄膜共振器およびフィルタ | |
KR100771345B1 (ko) | 압전 박막 공진자 및 필터 | |
JP5226409B2 (ja) | 共振デバイス、通信モジュール、通信装置、共振デバイスの製造方法 | |
JP5191762B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、および通信装置 | |
WO2007004435A1 (ja) | 音響共振器及びフィルタ | |
US20070046157A1 (en) | Piezoelectric device and method of manufacturing piezoelectric resonators | |
KR20050021309A (ko) | 압전 박막 공진자 및 그 제조 방법 | |
US20070085633A1 (en) | Device including piezoelectric thin film and method for producing the same | |
CN115037274B (zh) | 声表面波谐振装置及其形成方法 | |
JP5478180B2 (ja) | フィルタ | |
JP3846406B2 (ja) | 電子部品、その製造方法、それを用いたフィルタおよびデュプレクサならびに電子通信機器 | |
JP5051751B2 (ja) | 圧電薄膜振動子の製造方法及び圧電薄膜振動子 | |
CN115276591A (zh) | 声表面波滤波装置及其形成方法、滤波器、多工器 | |
KR102589839B1 (ko) | 체적 음향 공진기 및 그 제조 방법 | |
JP2009290365A (ja) | Baw共振装置およびその製造方法 | |
JP2008079328A (ja) | 圧電薄膜共振子及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090909 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091103 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20091201 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130108 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140108 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |