JP2004072715A - 圧電薄膜共振子、圧電フィルタ、およびそれを有する電子部品 - Google Patents
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Abstract
【課題】共振のQを高めて、減衰特性に優れた圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタ、およびそれを備えた電子部品を提供する。
【解決手段】支持基板2上に圧電薄膜5を形成する。圧電薄膜5を挟んで対向する下部電極4および上部電極6を設ける。下部電極4および上部電極6の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜5のスティフネスより大きい。
【選択図】 図1
【解決手段】支持基板2上に圧電薄膜5を形成する。圧電薄膜5を挟んで対向する下部電極4および上部電極6を設ける。下部電極4および上部電極6の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜5のスティフネスより大きい。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話等の通信装置の高周波数(RF、特にGHz帯以上)段のフィルタに使用される圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタ、およびそれを備えたデュプレクサ等の電子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話等の通信装置の高周波数(RF、特にGHz帯以上)段に使用されるフィルタが、優れた各特性を有する圧電共振子を用いて開発されてきた。上記の各特性とは、小型かつ軽量であり、耐振性や耐衝撃性に優れ、製品のバラツキが少なく信頼性に富んでおり、回路の無調整化が図れるため実装の自動化、簡略化が図れ、その上、高周波化を図っても、製造が容易なことである。
【0003】
上記圧電共振子としては、圧電基板の両面に電極をそれぞれ有し、上記各電極間での、圧電基板の厚み縦振動または厚みすべり振動を利用したものが挙げられる。圧電基板の厚み縦振動を利用した圧電共振子の共振周波数は、圧電基板の厚さに反比例し、超高周波領域では圧電基板を極めて薄く加工する必要がある。
【0004】
しかし、圧電基板自体の厚さを薄くするのは、その機械的強度や取り扱い上の制限等から、基本モードでは数100MHzが実用上の高周波限界とされてきた。このような限界の問題を解決するために、従来、圧電薄膜共振子を用いることが提案されており、フィルタや共振器として提案されている(例えば、特許文献1)。
【0005】
このような圧電薄膜共振子では、薄膜支持部は微細加工技術を用いて薄くすることができ、圧電薄膜もスパッタリング等によって薄く形成することができるので、数100MHz〜数1000MHzまで高周波特性を延ばすことができる可能性がある。
【0006】
さらに、共振周波数の温度特性を改善した構造として、共振周波数温度特性が正であるSiO2 薄膜と組み合わせた構造が提案されている(特許文献2、特許文献3)。
【0007】
また、圧電共振子のQを向上させるため、下部電極、AINよりなる圧電体層、上部電極からなる圧電共振子で、電極材料に熱弾性損失が小さいMoを用いた構造が提案されている(特許文献4)。
【0008】
また、電極をPt/Alの2層構造とすることで、電極に占めるPtの割合を減らし、比抵抗の小さいAlを増やした構造が提案されている(特許文献5)。この場合、電極に占めるPtの割合を減らして質量付加効果を小さくし、比抵抗の小さいAlを増やすことで電極全体の抵抗を低抵抗化し、圧電共振子のQ向上など共振特性を向上させることができる。
【0009】
【特許文献1】
特開2001−168674号公報、公開日2001年6月22日
【0010】
【特許文献2】
特開昭58−121817号公報
【0011】
【特許文献3】
特開昭58−137317号公報、公開日1983年8月15日
【0012】
【特許文献4】
特開2000−69594号公報、公開日2000年3月3日
【0013】
【特許文献5】
特開2001−156582号公報、公開日2001年6月8日
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献5においては、フィルタ特性のバラツキが大きくなったり、高い製造精度が要求されて製造コストが増加したりするという問題を生じている。
【0015】
また、特許文献2、特許文献3のように、温度特性を改善するために、SiO2 薄膜を組み合わせた場合は、SiO2 のスティフネスが小さいため、圧電共振子のQが小さくなるという問題を有している。
【0016】
一方、特許文献4に記載の圧電共振子は、Mo、AlNにより構成されているため、TCFが悪く、また、TCFの調整ができないという問題があった。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧電薄膜共振子は、上記目的を達成するために、支持基板と、支持基板上に形成された圧電薄膜と、圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極を備え、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことを特徴としている。
【0018】
上記圧電薄膜共振子では、第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったものであることが好ましい。
【0019】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスを、圧電薄膜のスティフネスより大きくしたから、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、圧電薄膜の振動方向に沿った弾性体とすることができ、圧電薄膜の共振のQを大きくでき、フィルタ特性の肩の切れ(単位周波数当たりの減衰量が大きい)を向上できる。
【0020】
本発明の他の圧電薄膜共振子は、前記目的を達成するために、支持基板と、支持基板上に形成された圧電薄膜と、圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極を備え、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、その下に配向性を有する下地電極を有することを特徴としている。
【0021】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方の下に配向性を有する下地電極を設けたので、第一電極および第二電極の少なくとも一方の結晶性を向上でき、ひいては圧電薄膜の結晶性も改善できるから、共振特性を向上させることが可能となる。
【0022】
上記圧電薄膜共振子においては、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことが好ましい。
【0023】
上記圧電薄膜共振子では、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったスティフネスであることが望ましい。
【0024】
上記圧電薄膜共振子においては、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方が、Ta、Nb、Mo、Pt、W、Al合金、エリンバの何れかからなることが好ましい。
【0025】
上記構成によれば、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方に、圧電薄膜のスティフネスより大きいスティフネスを有するTa、Nb、Mo、Pt、W、Al合金、エリンバの何れかを用いたことにより、Q、k2を大きくでき、共振特性を改善できる。
【0026】
上記圧電薄膜共振子では、前記下地電極が、Ti、NiCr、Crの何れかであることが望ましい。
【0027】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方の下に設けた下地電極に、Ti、NiCr、Crの何れかを用いることで、第一電極および第二電極の少なくとも一方の密着性を向上できて、第一電極および第二電極の少なくとも一方の剥がれを抑制できて、剥がれに起因する特性劣化を軽減できる。
【0028】
上記圧電薄膜共振子においては、圧電薄膜は、厚み縦振動モードまたは厚みすべり振動モードで励振されるように設定されていてもよい。
【0029】
上記圧電薄膜共振子では、支持基板は、開口部もしくは凹部を有し、圧電薄膜の振動する部位は、開口部もしくは凹部上に形成されていることが望ましい。
【0030】
上記構成によれば、圧電薄膜の振動する部位を、開口部もしくは凹部上に形成したので、上記圧電薄膜の振動の抑制を軽減でき、よって、上記圧電薄膜のQを大きくできる。
【0031】
上記圧電薄膜共振子においては、圧電薄膜と支持基板との間に絶縁膜が形成されていることが好ましい。
【0032】
上記構成によれば、圧電薄膜と、それを支持する絶縁膜との比を大きくできて、低次モードでの共振レスポンスを改善できるから、低次モードでの動作を安定化できる。
【0033】
また、上記構成では、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることができ、動作時に昇温しても、特性の変化を低減できて、動作信頼性を向上できる。
【0034】
上記圧電薄膜共振子では、絶縁膜は、複数の互いに温度係数が異なる各絶縁薄膜を有していることが望ましい。
【0035】
上記構成によれば、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることをより確実化でき、動作時に昇温しても、特性の変化をより確実に低減できて、動作信頼性をより向上できる。
【0036】
上記圧電薄膜共振子においては、絶縁膜は、複数の絶縁薄膜からなり、少なくとも一つの絶縁薄膜は圧縮応力を有し、残余の絶縁薄膜は引っ張り応力を備えていることが好ましい。
【0037】
上記構成によれば、絶縁膜を、少なくとも一つの絶縁薄膜は圧縮応力を有し、残余の絶縁薄膜は引っ張り応力を備えているというように、複数の互いに内部応力の発生機構が異なるものとすることで、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、各内部応力を相殺して、ほぼゼロに設定することが可能となるから、動作時の特性の変化をより確実に低減できて、動作信頼性をより向上できる。
【0038】
上記圧電薄膜共振子では、絶縁膜は、二酸化シリコン膜および酸化アルミニウム膜の少なくとも一方を有していてもよい。
【0039】
上記圧電薄膜共振子においては、n次(nは2以上の整数)モードの振動モードに設定されていることが望ましい。
【0040】
上記構成によれば、n次(nは2以上の整数)モードの振動モードに設定することで、高周波数化しても、圧電薄膜の厚さを確保できて、製造の容易化が図れ、かつ、耐衝撃性や耐電力性の低下も抑制できる。
【0041】
その上、上記構成では、例えば2次モードの振動モードを用いることにより、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることを容易化でき、動作時に昇温しても、特性の変化をより低減できて、動作信頼性もより向上できる。
【0042】
上記圧電薄膜共振子では、圧電薄膜は、酸化亜鉛からなっていてもよい。
【0043】
本発明の圧電フィルタは、前記目的を達成するために、上記の何れかに記載の圧電薄膜共振子を用いたことを特徴としている。
【0044】
上記構成によれば、上記各圧電薄膜共振子の何れかを用いたことによって、フィルタ特性を改善できる。
【0045】
本発明の電子部品は、前記目的を達成するために、上記圧電フィルタを備えたことを特徴としている。
【0046】
上記構成によれば、上記圧電フィルタを備えたことによって、フィルタ特性を改善できて、例えば、優れた分離能を有するDPXとすることが可能となる。
【0047】
【発明の実施の形態】
本発明の圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタおよびそれを備えた電子部品としてのDPXに係る実施の各形態を図1ないし図10に基づいて以下に説明する。
【0048】
(実施の第一形態)
本発明に係る実施の第一形態の圧電薄膜共振子について、その製造方法に基づき、図1を参照しながら説明する。
【0049】
まず、(1,0,0)のシリコンからなる支持基板2の両面に熱酸化やスパッタリング等により、絶縁膜としての二酸化シリコン(SiO2 )膜1a、1bをそれぞれ形成する。続いて、一方の面(裏面)側のSiO2 膜1bに、(1,1,0)方向に平行な辺を有する方形の窓1cを形成し、この窓1cを備えたSiO2 膜1bをマスクとして、TMAH(テトラメチルアンモニウム水溶液)中で、約90℃で支持基板2のシリコンに対してエッチングを行う。
【0050】
このTMAHは、エッチレートの結晶方位依存性が大きいので、エッチングの進行と共に、支持基板2の表面方向である(1,0,0)面と約55°の角度をなす(1,1,1)面2aが現れ、支持基板2に、その厚さ方向に貫通する開口部が形成される。
【0051】
上記エッチングは、表面側のSiO2 膜1aに達すると停止する。このようにエッチングが、SiO2 膜1aのところで完全に停止するため、スムースな(平滑な)共振子面が得られ、共振子全体の厚さもより正確に設定できる。
【0052】
その後、支持基板2に対して反対面側のSiO2 膜1a上に、絶縁膜としてのアルミナ(Al2 O3 )膜3を真空蒸着またはスパッタリングにより形成して、SiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3からなるダイヤフラムを作製する。よって、上記ダイヤフラムは、支持基板2における、(1,1,1)面2aにより形成される開口部(空洞部)に面することになる。
【0053】
上記ダイヤフラムでは、SiO2 膜1aが、正の共振周波数温度特性を有し、かつ、圧縮応力を発生するものである一方、Al2 O3 膜3が、負の共振周波数温度特性を備え、かつ、引っ張り応力を発生するものである。
【0054】
続いて、上記ダイヤフラム上に、Alからなる下部電極(第一電極)4、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする圧電薄膜5、およびNiからなる上部電極(第二電極)6を順次真空蒸着またはスパッタリングおよびエッチングにより形成して、圧電薄膜共振子10が得られる。上記圧電薄膜5は、負の共振周波数温度特性を備え、かつ、圧縮応力を発生するものである。
【0055】
このような圧電薄膜共振子10では、SiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3からなる絶縁膜、下部電極4、圧電薄膜5、並びに上部電極6から構成される振動部分の全体の厚みで共振周波数が決まる。
【0056】
また、このような圧電薄膜共振子10においては、SiO2 膜1a、Al2 O3 膜3、下部電極4、圧電薄膜5、および上部電極6の合計厚さを3μm程度に設定でき、ダイヤフラム(振動部)の面積を600μm×600μm程度に設定できる。
【0057】
また、圧電薄膜共振子10と共振周波数が相違する他の圧電薄膜共振子についても、位置は異なるが同一の圧電薄膜として圧電薄膜5を用い、下部電極や上部電極の大きさや厚さの設定を変えるだけで同様に作製できる。
【0058】
上記圧電薄膜共振子10では、振動モードは2次モードとなるように、SiO2 膜1aの厚さ、Al2 O3 膜3の厚さ、下部電極4の面積、圧電薄膜5の厚さ、および上部電極6の面積が設定されていることが好ましい。これにより、上記圧電薄膜共振子10においては、共振周波数の温度係数(ppm/℃)をほぼゼロに設定することを容易化できる。
【0059】
さらに、上記圧電薄膜共振子10では、所望する共振周波数の半波長にて共振するように、SiO2 膜1aとAl2 O3 膜3との合計厚さや、圧電薄膜5と下部電極4と上部電極6との合計厚さをそれぞれ設定されている。つまり、下部電極4と上部電極6の少なくとも一方の厚さは、共振周波数に合わせて設定されていることになる。これにより、上記圧電薄膜共振子10の振動モードを2次モードとすることをより確実化できる。
【0060】
その上、上記圧電薄膜共振子10においては、下部電極4、圧電薄膜5、および上部電極6は、圧電薄膜共振子がエネルギー閉じ込め型となるように設定されていることが好ましい。これにより、振動エネルギーが支持基板2中にダイヤフラムに沿って漏れることを防止して、Qの高い共振を生じさせることが可能となる。
【0061】
このように上記圧電薄膜共振子10では、絶縁膜(支持膜)であるSiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3の厚さを非常に薄くできることから、100MHz以上の高周波で基本あるいは低次(例えば2次)のオーバトーンで動作する圧電薄膜共振子を実現できる。さらに、上記圧電薄膜共振子10においては、各膜の温度特性や内部応力を互いに相殺するように設定できるから、温度変化や内部応力による悪影響を回避できる。
【0062】
また、圧電薄膜共振子のダイヤフラム寸法を数百μm以下と非常に小さく、その制作プロセスが半導体集積回路のそれとコンパチブルであることから、集積回路内に組み込むことが可能である。さらに、上記圧電薄膜共振子は、数GHzでも弾性表面波装置(SAWデバイス)のようなサブミクロンのパターニングが不要であり、製造を容易化、簡便化できる。
【0063】
なお、上記圧電薄膜共振子10においては、ダイヤフラムが開口部に面する例を挙げたが、上記ダイヤフラムは、振動のQを劣化させる固体ではなく、空気等の気体に面していればよく、上記開口部に代えて、支持基板2に設けた凹部や、支持基板2との間に形成した空隙部に面するように設定してもよく、また圧電薄膜共振子を片持ばり構造や、オーバハング構造であってもよい。
【0064】
また、圧電薄膜共振子10は、電極(Ni、Alなど)、圧電薄膜(ZnOなど)、ダイヤフラム構成膜(Al2 O3 、SiO2 など)から構成され、好ましくは厚み縦振動モードで振動するが、材料はこれらに限ることなく、圧電薄膜として、AlNやPZTやCdSなど、ダイヤフラム構成膜として、SiNなどでもよい。さらに、振動モードは、厚みすべり振動、広がり振動、屈曲振動でもよい。
【0065】
上部電極6の他の例としては、Ta、Nb、Mo、Pt、W、ステンレス系の合金、Al合金、Alに添加物(例えば、Cu、Mg、Si、Zn)、エリンバ等の恒弾性材料でもよい。上記エリンバとは、Fe−Ni−Cr系の合金で、磁気相転移点付近で熱処理することにより膨張係数をコントロールできるものである。
【0066】
また、上部電極6は、圧電薄膜5の振動波の励振方向(つまり分極方向)に平行な方向のスティフネスが、圧電薄膜5の同方向のスティフネスより大きい、圧電薄膜5が例えばZnOからなるとき、2.3×1011Paより大きくなるように設定されている。
【0067】
また、下部電極4にも上記材料を用いても同等の効果が得られるが、好ましくは、圧電薄膜5(この場合はZnO)の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数と電極材料の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数のミスフィットが5%程度以下であることが望ましい。この場合、下部電極4上に形成される圧電薄膜5の結晶性が向上し、圧電性がさらに向上する。
【0068】
次に、上部電極6に種々な金属を用いた各例について説明する。まず、図2に示すように、圧電薄膜共振子をそれぞれ調製した。それらの膜厚は、上部電極6としての金属材料は表1に示したもの:0.18μm、圧電薄膜5としてのZnO:1.25μm、下部電極4としてのAl:0.18μm、Al2O3:0.45μm、SiO2:1.2μmとした。
【0069】
表1に、上部電極6に用いる材料の違いによる共振子の特性を調べた結果を示す。表1から、圧電薄膜5よりスティフネスの小さいAlを上部電極に使うよりも、本発明のように圧電薄膜5よりスティフネスが大きいMo、Ni、Nb、Taを上部電極6として使ったほうがQ、k2 が大きくなっていることが分かる。これは、スティフネスが大きい材料を用いると、振動し易くなるため、圧電共振子の振動エネルギーのロスが低下することに起因している。
【0070】
なお、PtのスティフネスC11 Dは3.47×1011Paと大きいので、Ptを上部電極6として用いた場合であっても、Mo、Ni、Nb、Taの場合と同様に、大きなQ、k2を得ることができる。
【0071】
【表1】
【0072】
上記表1では、スティフネスCll Dの単位を×1011Paとし、また、共振周波数を1800MHz〜2000MHzに設定した。さらに、他の材料のスティフネスでは、SiO2のスティフネスCll Dが0.785×1011Pa、Al2O3のスティフネスCll Dが3.746×1011Pa、AlNのスティフネスCll Dが4.15×1011Pa、ZnOのスティフネスC33 Dが2.299×1011Paであった。
【0073】
以下に、上部電極6の材料や膜厚を変えた各例を示す。比較としての圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Al/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.16/1.27/0.17/0.46/1.21(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図3および表2に示した。
【0074】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Ni/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.14/1.08/0.17/0.40/1.20(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図4および表2に示した。
【0075】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Pt/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.1/0.98/0.17/0.40/1.21(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図5および表2に示した。
【0076】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Mo/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.14/1.09/0.17/0.40/1.23(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図6および表2に示した。
【0077】
【表2】
【0078】
このような表1および表2の結果から、上部電極6の材料としては、Niが好ましいことがわかる。
【0079】
また、下部電極4にAlを用いているので、ZnOを主成分とする圧電薄膜5の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数と電極材料の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数のミスフィットが、約2%であるため、Al上のZnO膜の結晶性がよくなり、圧電性がよい。このため、共振特性もよくなる。
【0080】
なお、上記Alに代えてPtを用いた場合でも、同様な効果を発揮できる。Ptは、ZnO膜との格子定数の差が小さく、また酸化しにくいので、結晶性の良いZnO膜を得ることができる。よって、Ptは、下部電極4として好適なものである。
【0081】
本実施の形態では、SiO2を入れることで、TCFの調整が可能となるが、SiO2のスティフネスが小さいため、初期特性は劣化する。しかし、電極のスティフネスがSiO2より大きいため、Qを向上させる方向に働く。このことにより、本実施の形態においては、低TCFで、Qの高い圧電共振子を作製することができる。
【0082】
(実施の第二形態)
図7は、本発明に係る実施の第二形態における圧電薄膜共振子の構造を示す断面である。この圧電薄膜共振子にあっては、実施の第一形態の圧電薄膜共振子とほぼ同様の構造を有する。
【0083】
詳細には、本発明に係る実施の第二形態の圧電薄膜共振子は、開口部(空洞部)2aを有するシリコンからなる支持基板2上に、SiO2膜1aおよびAlN膜3の絶縁膜(支持膜)からなるダイヤフラムを有し、ダイヤフラム上に、Tiからなる下地電極4a、Ptからなる下部電極(第一電極)、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする圧電薄膜5、およびTiからなる下地電極6a、Ptからなる上部電極(第二電極)6bとを備えている。
【0084】
本実施の形態における圧電薄膜共振子は、下部電極4b及び上部電極6bは共に、それらの下(支持基板2に近い方の表面上)にTiからなる各下地電極4a、6aをそれぞれ有し、Tiは(0,0,1)に優先的に単一配向していることを特徴としている。なお、上記下地電極は、下部電極4b及び上部電極6bの一方にのみ設けても、後述する下地電極の効果を発揮できる。
【0085】
下部電極4b及び上部電極6bのPtは、上述のように、圧電薄膜5よりスティフネスの大きい材料であるため、電極材料として好適であるが、密着性が弱いため、基板2や絶縁膜のAlN膜3や圧電薄膜5と、下部電極4b及び上部電極6bとが剥がれてしまう等の問題が発生することがある。
【0086】
そこで、本実施の形態では、下部電極4b及び上部電極6bの下に、それぞれ各下地電極4a、6aを設け、各下地電極4a、6aに基板2等との密着力が高い材料であるTiを用いているため、下部電極4b及び上部電極6bが剥がれることを防止できる。なお、下地電極4a、6aの材料としては、Ti以外に、Cr、NiCrを用いることができる。
【0087】
本実施の形態では、下部電極4b及び上部電極6bにPtを用いたが、本発明はこれに限らず、実施の第一形態で記述したように、下部電極4b及び上部電極6bの少なくとも一方に、Ni、Ta、Nb、Mo、W、ステンレス系の合金、Al合金、Alに添加物(例えば、Cu、Mg、Si、Zn)、エリンバ等の圧電薄膜5よりスティフネスの大きい材料を用いればよい。これらの材料は、圧電薄膜5よりスティフネスの大きいため、大きなQ、k2を有する圧電共振子を得ることができる。
【0088】
また、下部電極4b及び上部電極6bの一方に、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスが、圧電薄膜5であるZnO、AlNにおける、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスよりも大きい材料である、Ir、Ni、Au、Cu、Moを用いてもよい。
【0089】
これらの材料は、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスが、圧電薄膜5であるZnO、AlNにおける、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスよりも大きい材料であるため、弾性波がこれらの膜と圧電薄膜5の界面で反射されるので、圧電薄膜5にエネルギーが閉じこもりやすくなり、共振特性がより向上する。
【0090】
上記の材料はいずれも、密着力が弱い又は応力が大きいなどの特性を有することから、Pt同様に、基板2や絶縁膜や圧電薄膜5と、下部電極4b及び上部電極6bを形成すると、剥がれてしまう等の問題が発生することがある。
【0091】
しかしながら、本実施の形態のように、下部電極4b及び上部電極6bの下に、それぞれ各下地電極4a、6aを設け、下地電極4a、6aに密着力の大きなTi、Cr、NiCrを用いることで、電極が剥がれるなどの問題を軽減でき、良好な特性を有する圧電薄膜共振子を得ることができる。
【0092】
また、本実施の形態では、下地電極であるTiは(0,0,1)に優先的に単一配向している。Tiは、格子定数が0.295nmであり、圧電薄膜5に用いるZnO(0.32nm)やAlN(0.31nm)と格子定数の差が小さい、つまり、格子定数の整合性が良い。
【0093】
したがって、下地電極4a、6aであるTiが(0,0,1)に優先的に単一配向していることで、下部電極4bの結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性が向上する結果として、共振特性は向上することになる。
【0094】
下部電極4bの下地電極4aとして、密着力の大きさからTi以外にCr、NiCrを用いることが考えられるが、圧電薄膜5に用いるZnO(0.32nm)やAlN(0.31nm)との格子定数の差、つまり、格子定数の整合性を考慮すると、NiCrの格子定数が0.25nmであることから、NiCrが好ましい。特に、格子定数の整合性を考慮すると、NiCrは(1,1,1)に優先的に単一配向していることが好ましい。
【0095】
これにより、Tiを用いた場合と同様に、下部電極4bの結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性も向上し、圧電薄膜の結晶性が向上する結果として、共振特性は向上することになる。また、下部電極4bの結晶性を向上させることで、圧電薄膜共振子の耐電力性が向上するという効果も得られる。
【0096】
上部電極6bの下地電極6aにおいても同様に、下地電極6aは、上部電極6bの密着層としてだけではなく、配向性を有するために上部電極6bの結晶性が向上し、圧電薄膜共振子の耐電力性が向上するという効果も得られる。
【0097】
次に、上記圧電薄膜共振子10を用いた圧電フィルタについて図8に基づいて説明する。図8に示すように、圧電フィルタ11は、図1または図7の圧電薄膜共振子10をL型にラダー接続して形成することができる。また、図9(a)および図9(b)に示すように、L型のラダー接続に代えて、T型やπ型としてもよい。
【0098】
上記のラダー型の圧電フィルタでは、並列側の圧電薄膜共振子10における電極のスティフネスを、直列側より大きくすることが望ましい。これにより、並列側の圧電薄膜共振子10のQが向上するため、上記のラダー型の圧電フィルタの挿入損失をより低減でき、通過帯域の低周波数側における肩の切れがさらに改善される。
【0099】
また、図8に示すように、図1または図7の圧電薄膜共振子10の電極構造を変えた圧電薄膜共振子12を用いることで、多重モード型フィルタ(圧電フィルタ)14を構成してもよい。多重モード型フィルタ14では、その各電極の大きさや質量や、相互間の間隔を調整することで、不平衡信号を平衡信号に変換して外部に出力したり、逆に、平衡信号を不平衡信号に変換して出力したりできる。
【0100】
このような、平衡−不平衡変換機能を有する多重モード型フィルタ14と、挿入損失が低い圧電フィルタ11とを組み合わせて、優れたフィルタ特性と平衡−不平衡変換機能とを同時に実現できる。
【0101】
上記圧電フィルタ11、14では、上部電極6が弾性体として働くので、圧電薄膜共振子10のQが向上するため、圧電フィルタ11、14の挿入損失や、肩の切れを向上させることができる。
【0102】
本発明に係るDPXは、図10に示すように、ANT(アンテナ)に接続された整合回路52と、整合回路52と送信側端子(Tx)との間に設けられた送信側フィルタ53と、整合回路52と受信側端子(Rx)との間に設けられた受信側フィルタ54とを有している。送信側フィルタ53および受信側フィルタ54は、通過帯域が互いに相違するように設定されている。
【0103】
そして、送信側フィルタ53および受信側フィルタ54の少なくとも一方は、本発明の圧電フィルタ11、14により形成されていることが好ましい。送信側フィルタ53および受信側フィルタ54の少なくとも一方に、本発明の圧電フィルタを用いることで、肩の切れがよい、良好なフィルタ特性を有するDPXとすることが可能となる。肩の切れがよいとは、通過帯域の上下端から、所定の減衰量まで落とすのに必要な周波数間隔が小さいことである。
【0104】
このような圧電フィルタは、平衡端子と不平衡端子とを有するように設定できるので、DPXへの応用が容易である。ラダー型フィルタ11の端子をアンテナ側、不平衡出力を平衡出力に変換する多重モード型フィルタ14の端子をICなど、内部回路に接続するだけでよく、付加部品なしで、DPXを構成することができる。
【0105】
【発明の効果】
本発明の圧電薄膜共振子は、以上のように、圧電薄膜を挟む第一電極および第二電極の少なくとも一方の厚さは、共振周波数に合わせて設定されており、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きい構成である。
【0106】
それゆえ、上記構成は、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスを、圧電薄膜のスティフネスより大きくしたから、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、圧電薄膜の振動方向に沿った弾性体とすることができて、圧電薄膜の共振のQを大きくでき、フィルタ特性の肩の切れ(単位周波数当たりの減衰量が大きい)を向上できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の第一形態に係る圧電薄膜共振子の構造を示す断面図である。
【図2】上記圧電薄膜共振子の要部拡大図である。
【図3】上部電極にAlを用いた、比較のための圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図4】本発明に係る、上部電極にNiを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図5】本発明に係る、上部電極にPtを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図6】本発明に係る、上部電極にMoを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図7】本発明の実施の第二形態に係る圧電薄膜共振子の構造を示す断面図である。
【図8】上記圧電薄膜共振子を用いた圧電フィルタとしての、ラダー型フィルタおよび多重モード型フィルタの回路ブロック図である。
【図9】上記ラダー型フィルタの各変形例であって、(a)はT型、(b)はπ型を示す。
【図10】上記圧電フィルタを備えた電子部品としてのDPXの回路ブロック図である。
【符号の説明】
2 支持基板(基板)
4 下部電極(第一電極)
5 圧電薄膜
6 上部電極(第二電極)
10 圧電薄膜共振子
【発明の属する技術分野】
本発明は、携帯電話等の通信装置の高周波数(RF、特にGHz帯以上)段のフィルタに使用される圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタ、およびそれを備えたデュプレクサ等の電子部品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話等の通信装置の高周波数(RF、特にGHz帯以上)段に使用されるフィルタが、優れた各特性を有する圧電共振子を用いて開発されてきた。上記の各特性とは、小型かつ軽量であり、耐振性や耐衝撃性に優れ、製品のバラツキが少なく信頼性に富んでおり、回路の無調整化が図れるため実装の自動化、簡略化が図れ、その上、高周波化を図っても、製造が容易なことである。
【0003】
上記圧電共振子としては、圧電基板の両面に電極をそれぞれ有し、上記各電極間での、圧電基板の厚み縦振動または厚みすべり振動を利用したものが挙げられる。圧電基板の厚み縦振動を利用した圧電共振子の共振周波数は、圧電基板の厚さに反比例し、超高周波領域では圧電基板を極めて薄く加工する必要がある。
【0004】
しかし、圧電基板自体の厚さを薄くするのは、その機械的強度や取り扱い上の制限等から、基本モードでは数100MHzが実用上の高周波限界とされてきた。このような限界の問題を解決するために、従来、圧電薄膜共振子を用いることが提案されており、フィルタや共振器として提案されている(例えば、特許文献1)。
【0005】
このような圧電薄膜共振子では、薄膜支持部は微細加工技術を用いて薄くすることができ、圧電薄膜もスパッタリング等によって薄く形成することができるので、数100MHz〜数1000MHzまで高周波特性を延ばすことができる可能性がある。
【0006】
さらに、共振周波数の温度特性を改善した構造として、共振周波数温度特性が正であるSiO2 薄膜と組み合わせた構造が提案されている(特許文献2、特許文献3)。
【0007】
また、圧電共振子のQを向上させるため、下部電極、AINよりなる圧電体層、上部電極からなる圧電共振子で、電極材料に熱弾性損失が小さいMoを用いた構造が提案されている(特許文献4)。
【0008】
また、電極をPt/Alの2層構造とすることで、電極に占めるPtの割合を減らし、比抵抗の小さいAlを増やした構造が提案されている(特許文献5)。この場合、電極に占めるPtの割合を減らして質量付加効果を小さくし、比抵抗の小さいAlを増やすことで電極全体の抵抗を低抵抗化し、圧電共振子のQ向上など共振特性を向上させることができる。
【0009】
【特許文献1】
特開2001−168674号公報、公開日2001年6月22日
【0010】
【特許文献2】
特開昭58−121817号公報
【0011】
【特許文献3】
特開昭58−137317号公報、公開日1983年8月15日
【0012】
【特許文献4】
特開2000−69594号公報、公開日2000年3月3日
【0013】
【特許文献5】
特開2001−156582号公報、公開日2001年6月8日
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献5においては、フィルタ特性のバラツキが大きくなったり、高い製造精度が要求されて製造コストが増加したりするという問題を生じている。
【0015】
また、特許文献2、特許文献3のように、温度特性を改善するために、SiO2 薄膜を組み合わせた場合は、SiO2 のスティフネスが小さいため、圧電共振子のQが小さくなるという問題を有している。
【0016】
一方、特許文献4に記載の圧電共振子は、Mo、AlNにより構成されているため、TCFが悪く、また、TCFの調整ができないという問題があった。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の圧電薄膜共振子は、上記目的を達成するために、支持基板と、支持基板上に形成された圧電薄膜と、圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極を備え、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことを特徴としている。
【0018】
上記圧電薄膜共振子では、第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったものであることが好ましい。
【0019】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスを、圧電薄膜のスティフネスより大きくしたから、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、圧電薄膜の振動方向に沿った弾性体とすることができ、圧電薄膜の共振のQを大きくでき、フィルタ特性の肩の切れ(単位周波数当たりの減衰量が大きい)を向上できる。
【0020】
本発明の他の圧電薄膜共振子は、前記目的を達成するために、支持基板と、支持基板上に形成された圧電薄膜と、圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極を備え、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、その下に配向性を有する下地電極を有することを特徴としている。
【0021】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方の下に配向性を有する下地電極を設けたので、第一電極および第二電極の少なくとも一方の結晶性を向上でき、ひいては圧電薄膜の結晶性も改善できるから、共振特性を向上させることが可能となる。
【0022】
上記圧電薄膜共振子においては、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことが好ましい。
【0023】
上記圧電薄膜共振子では、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったスティフネスであることが望ましい。
【0024】
上記圧電薄膜共振子においては、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方が、Ta、Nb、Mo、Pt、W、Al合金、エリンバの何れかからなることが好ましい。
【0025】
上記構成によれば、前記第一電極および第二電極の少なくとも一方に、圧電薄膜のスティフネスより大きいスティフネスを有するTa、Nb、Mo、Pt、W、Al合金、エリンバの何れかを用いたことにより、Q、k2を大きくでき、共振特性を改善できる。
【0026】
上記圧電薄膜共振子では、前記下地電極が、Ti、NiCr、Crの何れかであることが望ましい。
【0027】
上記構成によれば、第一電極および第二電極の少なくとも一方の下に設けた下地電極に、Ti、NiCr、Crの何れかを用いることで、第一電極および第二電極の少なくとも一方の密着性を向上できて、第一電極および第二電極の少なくとも一方の剥がれを抑制できて、剥がれに起因する特性劣化を軽減できる。
【0028】
上記圧電薄膜共振子においては、圧電薄膜は、厚み縦振動モードまたは厚みすべり振動モードで励振されるように設定されていてもよい。
【0029】
上記圧電薄膜共振子では、支持基板は、開口部もしくは凹部を有し、圧電薄膜の振動する部位は、開口部もしくは凹部上に形成されていることが望ましい。
【0030】
上記構成によれば、圧電薄膜の振動する部位を、開口部もしくは凹部上に形成したので、上記圧電薄膜の振動の抑制を軽減でき、よって、上記圧電薄膜のQを大きくできる。
【0031】
上記圧電薄膜共振子においては、圧電薄膜と支持基板との間に絶縁膜が形成されていることが好ましい。
【0032】
上記構成によれば、圧電薄膜と、それを支持する絶縁膜との比を大きくできて、低次モードでの共振レスポンスを改善できるから、低次モードでの動作を安定化できる。
【0033】
また、上記構成では、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることができ、動作時に昇温しても、特性の変化を低減できて、動作信頼性を向上できる。
【0034】
上記圧電薄膜共振子では、絶縁膜は、複数の互いに温度係数が異なる各絶縁薄膜を有していることが望ましい。
【0035】
上記構成によれば、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることをより確実化でき、動作時に昇温しても、特性の変化をより確実に低減できて、動作信頼性をより向上できる。
【0036】
上記圧電薄膜共振子においては、絶縁膜は、複数の絶縁薄膜からなり、少なくとも一つの絶縁薄膜は圧縮応力を有し、残余の絶縁薄膜は引っ張り応力を備えていることが好ましい。
【0037】
上記構成によれば、絶縁膜を、少なくとも一つの絶縁薄膜は圧縮応力を有し、残余の絶縁薄膜は引っ張り応力を備えているというように、複数の互いに内部応力の発生機構が異なるものとすることで、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、各内部応力を相殺して、ほぼゼロに設定することが可能となるから、動作時の特性の変化をより確実に低減できて、動作信頼性をより向上できる。
【0038】
上記圧電薄膜共振子では、絶縁膜は、二酸化シリコン膜および酸化アルミニウム膜の少なくとも一方を有していてもよい。
【0039】
上記圧電薄膜共振子においては、n次(nは2以上の整数)モードの振動モードに設定されていることが望ましい。
【0040】
上記構成によれば、n次(nは2以上の整数)モードの振動モードに設定することで、高周波数化しても、圧電薄膜の厚さを確保できて、製造の容易化が図れ、かつ、耐衝撃性や耐電力性の低下も抑制できる。
【0041】
その上、上記構成では、例えば2次モードの振動モードを用いることにより、圧電薄膜と絶縁膜とにおける、共振周波数の各温度特性を組み合わせて、それらの合計の温度特性をゼロに近づけることを容易化でき、動作時に昇温しても、特性の変化をより低減できて、動作信頼性もより向上できる。
【0042】
上記圧電薄膜共振子では、圧電薄膜は、酸化亜鉛からなっていてもよい。
【0043】
本発明の圧電フィルタは、前記目的を達成するために、上記の何れかに記載の圧電薄膜共振子を用いたことを特徴としている。
【0044】
上記構成によれば、上記各圧電薄膜共振子の何れかを用いたことによって、フィルタ特性を改善できる。
【0045】
本発明の電子部品は、前記目的を達成するために、上記圧電フィルタを備えたことを特徴としている。
【0046】
上記構成によれば、上記圧電フィルタを備えたことによって、フィルタ特性を改善できて、例えば、優れた分離能を有するDPXとすることが可能となる。
【0047】
【発明の実施の形態】
本発明の圧電薄膜共振子、それを用いた圧電フィルタおよびそれを備えた電子部品としてのDPXに係る実施の各形態を図1ないし図10に基づいて以下に説明する。
【0048】
(実施の第一形態)
本発明に係る実施の第一形態の圧電薄膜共振子について、その製造方法に基づき、図1を参照しながら説明する。
【0049】
まず、(1,0,0)のシリコンからなる支持基板2の両面に熱酸化やスパッタリング等により、絶縁膜としての二酸化シリコン(SiO2 )膜1a、1bをそれぞれ形成する。続いて、一方の面(裏面)側のSiO2 膜1bに、(1,1,0)方向に平行な辺を有する方形の窓1cを形成し、この窓1cを備えたSiO2 膜1bをマスクとして、TMAH(テトラメチルアンモニウム水溶液)中で、約90℃で支持基板2のシリコンに対してエッチングを行う。
【0050】
このTMAHは、エッチレートの結晶方位依存性が大きいので、エッチングの進行と共に、支持基板2の表面方向である(1,0,0)面と約55°の角度をなす(1,1,1)面2aが現れ、支持基板2に、その厚さ方向に貫通する開口部が形成される。
【0051】
上記エッチングは、表面側のSiO2 膜1aに達すると停止する。このようにエッチングが、SiO2 膜1aのところで完全に停止するため、スムースな(平滑な)共振子面が得られ、共振子全体の厚さもより正確に設定できる。
【0052】
その後、支持基板2に対して反対面側のSiO2 膜1a上に、絶縁膜としてのアルミナ(Al2 O3 )膜3を真空蒸着またはスパッタリングにより形成して、SiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3からなるダイヤフラムを作製する。よって、上記ダイヤフラムは、支持基板2における、(1,1,1)面2aにより形成される開口部(空洞部)に面することになる。
【0053】
上記ダイヤフラムでは、SiO2 膜1aが、正の共振周波数温度特性を有し、かつ、圧縮応力を発生するものである一方、Al2 O3 膜3が、負の共振周波数温度特性を備え、かつ、引っ張り応力を発生するものである。
【0054】
続いて、上記ダイヤフラム上に、Alからなる下部電極(第一電極)4、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする圧電薄膜5、およびNiからなる上部電極(第二電極)6を順次真空蒸着またはスパッタリングおよびエッチングにより形成して、圧電薄膜共振子10が得られる。上記圧電薄膜5は、負の共振周波数温度特性を備え、かつ、圧縮応力を発生するものである。
【0055】
このような圧電薄膜共振子10では、SiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3からなる絶縁膜、下部電極4、圧電薄膜5、並びに上部電極6から構成される振動部分の全体の厚みで共振周波数が決まる。
【0056】
また、このような圧電薄膜共振子10においては、SiO2 膜1a、Al2 O3 膜3、下部電極4、圧電薄膜5、および上部電極6の合計厚さを3μm程度に設定でき、ダイヤフラム(振動部)の面積を600μm×600μm程度に設定できる。
【0057】
また、圧電薄膜共振子10と共振周波数が相違する他の圧電薄膜共振子についても、位置は異なるが同一の圧電薄膜として圧電薄膜5を用い、下部電極や上部電極の大きさや厚さの設定を変えるだけで同様に作製できる。
【0058】
上記圧電薄膜共振子10では、振動モードは2次モードとなるように、SiO2 膜1aの厚さ、Al2 O3 膜3の厚さ、下部電極4の面積、圧電薄膜5の厚さ、および上部電極6の面積が設定されていることが好ましい。これにより、上記圧電薄膜共振子10においては、共振周波数の温度係数(ppm/℃)をほぼゼロに設定することを容易化できる。
【0059】
さらに、上記圧電薄膜共振子10では、所望する共振周波数の半波長にて共振するように、SiO2 膜1aとAl2 O3 膜3との合計厚さや、圧電薄膜5と下部電極4と上部電極6との合計厚さをそれぞれ設定されている。つまり、下部電極4と上部電極6の少なくとも一方の厚さは、共振周波数に合わせて設定されていることになる。これにより、上記圧電薄膜共振子10の振動モードを2次モードとすることをより確実化できる。
【0060】
その上、上記圧電薄膜共振子10においては、下部電極4、圧電薄膜5、および上部電極6は、圧電薄膜共振子がエネルギー閉じ込め型となるように設定されていることが好ましい。これにより、振動エネルギーが支持基板2中にダイヤフラムに沿って漏れることを防止して、Qの高い共振を生じさせることが可能となる。
【0061】
このように上記圧電薄膜共振子10では、絶縁膜(支持膜)であるSiO2 膜1aおよびAl2 O3 膜3の厚さを非常に薄くできることから、100MHz以上の高周波で基本あるいは低次(例えば2次)のオーバトーンで動作する圧電薄膜共振子を実現できる。さらに、上記圧電薄膜共振子10においては、各膜の温度特性や内部応力を互いに相殺するように設定できるから、温度変化や内部応力による悪影響を回避できる。
【0062】
また、圧電薄膜共振子のダイヤフラム寸法を数百μm以下と非常に小さく、その制作プロセスが半導体集積回路のそれとコンパチブルであることから、集積回路内に組み込むことが可能である。さらに、上記圧電薄膜共振子は、数GHzでも弾性表面波装置(SAWデバイス)のようなサブミクロンのパターニングが不要であり、製造を容易化、簡便化できる。
【0063】
なお、上記圧電薄膜共振子10においては、ダイヤフラムが開口部に面する例を挙げたが、上記ダイヤフラムは、振動のQを劣化させる固体ではなく、空気等の気体に面していればよく、上記開口部に代えて、支持基板2に設けた凹部や、支持基板2との間に形成した空隙部に面するように設定してもよく、また圧電薄膜共振子を片持ばり構造や、オーバハング構造であってもよい。
【0064】
また、圧電薄膜共振子10は、電極(Ni、Alなど)、圧電薄膜(ZnOなど)、ダイヤフラム構成膜(Al2 O3 、SiO2 など)から構成され、好ましくは厚み縦振動モードで振動するが、材料はこれらに限ることなく、圧電薄膜として、AlNやPZTやCdSなど、ダイヤフラム構成膜として、SiNなどでもよい。さらに、振動モードは、厚みすべり振動、広がり振動、屈曲振動でもよい。
【0065】
上部電極6の他の例としては、Ta、Nb、Mo、Pt、W、ステンレス系の合金、Al合金、Alに添加物(例えば、Cu、Mg、Si、Zn)、エリンバ等の恒弾性材料でもよい。上記エリンバとは、Fe−Ni−Cr系の合金で、磁気相転移点付近で熱処理することにより膨張係数をコントロールできるものである。
【0066】
また、上部電極6は、圧電薄膜5の振動波の励振方向(つまり分極方向)に平行な方向のスティフネスが、圧電薄膜5の同方向のスティフネスより大きい、圧電薄膜5が例えばZnOからなるとき、2.3×1011Paより大きくなるように設定されている。
【0067】
また、下部電極4にも上記材料を用いても同等の効果が得られるが、好ましくは、圧電薄膜5(この場合はZnO)の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数と電極材料の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数のミスフィットが5%程度以下であることが望ましい。この場合、下部電極4上に形成される圧電薄膜5の結晶性が向上し、圧電性がさらに向上する。
【0068】
次に、上部電極6に種々な金属を用いた各例について説明する。まず、図2に示すように、圧電薄膜共振子をそれぞれ調製した。それらの膜厚は、上部電極6としての金属材料は表1に示したもの:0.18μm、圧電薄膜5としてのZnO:1.25μm、下部電極4としてのAl:0.18μm、Al2O3:0.45μm、SiO2:1.2μmとした。
【0069】
表1に、上部電極6に用いる材料の違いによる共振子の特性を調べた結果を示す。表1から、圧電薄膜5よりスティフネスの小さいAlを上部電極に使うよりも、本発明のように圧電薄膜5よりスティフネスが大きいMo、Ni、Nb、Taを上部電極6として使ったほうがQ、k2 が大きくなっていることが分かる。これは、スティフネスが大きい材料を用いると、振動し易くなるため、圧電共振子の振動エネルギーのロスが低下することに起因している。
【0070】
なお、PtのスティフネスC11 Dは3.47×1011Paと大きいので、Ptを上部電極6として用いた場合であっても、Mo、Ni、Nb、Taの場合と同様に、大きなQ、k2を得ることができる。
【0071】
【表1】
【0072】
上記表1では、スティフネスCll Dの単位を×1011Paとし、また、共振周波数を1800MHz〜2000MHzに設定した。さらに、他の材料のスティフネスでは、SiO2のスティフネスCll Dが0.785×1011Pa、Al2O3のスティフネスCll Dが3.746×1011Pa、AlNのスティフネスCll Dが4.15×1011Pa、ZnOのスティフネスC33 Dが2.299×1011Paであった。
【0073】
以下に、上部電極6の材料や膜厚を変えた各例を示す。比較としての圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Al/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.16/1.27/0.17/0.46/1.21(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図3および表2に示した。
【0074】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Ni/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.14/1.08/0.17/0.40/1.20(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図4および表2に示した。
【0075】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Pt/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.1/0.98/0.17/0.40/1.21(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図5および表2に示した。
【0076】
本発明の圧電薄膜共振子の膜厚構造を「Mo/ZnO/Al/Al2O3/SiO2=0.14/1.09/0.17/0.40/1.23(μm)」と設定し、そのフィルタ特性を調べた結果を、図6および表2に示した。
【0077】
【表2】
【0078】
このような表1および表2の結果から、上部電極6の材料としては、Niが好ましいことがわかる。
【0079】
また、下部電極4にAlを用いているので、ZnOを主成分とする圧電薄膜5の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数と電極材料の振動波が伝わる方向に垂直な方向の格子定数のミスフィットが、約2%であるため、Al上のZnO膜の結晶性がよくなり、圧電性がよい。このため、共振特性もよくなる。
【0080】
なお、上記Alに代えてPtを用いた場合でも、同様な効果を発揮できる。Ptは、ZnO膜との格子定数の差が小さく、また酸化しにくいので、結晶性の良いZnO膜を得ることができる。よって、Ptは、下部電極4として好適なものである。
【0081】
本実施の形態では、SiO2を入れることで、TCFの調整が可能となるが、SiO2のスティフネスが小さいため、初期特性は劣化する。しかし、電極のスティフネスがSiO2より大きいため、Qを向上させる方向に働く。このことにより、本実施の形態においては、低TCFで、Qの高い圧電共振子を作製することができる。
【0082】
(実施の第二形態)
図7は、本発明に係る実施の第二形態における圧電薄膜共振子の構造を示す断面である。この圧電薄膜共振子にあっては、実施の第一形態の圧電薄膜共振子とほぼ同様の構造を有する。
【0083】
詳細には、本発明に係る実施の第二形態の圧電薄膜共振子は、開口部(空洞部)2aを有するシリコンからなる支持基板2上に、SiO2膜1aおよびAlN膜3の絶縁膜(支持膜)からなるダイヤフラムを有し、ダイヤフラム上に、Tiからなる下地電極4a、Ptからなる下部電極(第一電極)、酸化亜鉛(ZnO)を主成分とする圧電薄膜5、およびTiからなる下地電極6a、Ptからなる上部電極(第二電極)6bとを備えている。
【0084】
本実施の形態における圧電薄膜共振子は、下部電極4b及び上部電極6bは共に、それらの下(支持基板2に近い方の表面上)にTiからなる各下地電極4a、6aをそれぞれ有し、Tiは(0,0,1)に優先的に単一配向していることを特徴としている。なお、上記下地電極は、下部電極4b及び上部電極6bの一方にのみ設けても、後述する下地電極の効果を発揮できる。
【0085】
下部電極4b及び上部電極6bのPtは、上述のように、圧電薄膜5よりスティフネスの大きい材料であるため、電極材料として好適であるが、密着性が弱いため、基板2や絶縁膜のAlN膜3や圧電薄膜5と、下部電極4b及び上部電極6bとが剥がれてしまう等の問題が発生することがある。
【0086】
そこで、本実施の形態では、下部電極4b及び上部電極6bの下に、それぞれ各下地電極4a、6aを設け、各下地電極4a、6aに基板2等との密着力が高い材料であるTiを用いているため、下部電極4b及び上部電極6bが剥がれることを防止できる。なお、下地電極4a、6aの材料としては、Ti以外に、Cr、NiCrを用いることができる。
【0087】
本実施の形態では、下部電極4b及び上部電極6bにPtを用いたが、本発明はこれに限らず、実施の第一形態で記述したように、下部電極4b及び上部電極6bの少なくとも一方に、Ni、Ta、Nb、Mo、W、ステンレス系の合金、Al合金、Alに添加物(例えば、Cu、Mg、Si、Zn)、エリンバ等の圧電薄膜5よりスティフネスの大きい材料を用いればよい。これらの材料は、圧電薄膜5よりスティフネスの大きいため、大きなQ、k2を有する圧電共振子を得ることができる。
【0088】
また、下部電極4b及び上部電極6bの一方に、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスが、圧電薄膜5であるZnO、AlNにおける、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスよりも大きい材料である、Ir、Ni、Au、Cu、Moを用いてもよい。
【0089】
これらの材料は、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスが、圧電薄膜5であるZnO、AlNにおける、弾性波の伝播方向の音響インピーダンスよりも大きい材料であるため、弾性波がこれらの膜と圧電薄膜5の界面で反射されるので、圧電薄膜5にエネルギーが閉じこもりやすくなり、共振特性がより向上する。
【0090】
上記の材料はいずれも、密着力が弱い又は応力が大きいなどの特性を有することから、Pt同様に、基板2や絶縁膜や圧電薄膜5と、下部電極4b及び上部電極6bを形成すると、剥がれてしまう等の問題が発生することがある。
【0091】
しかしながら、本実施の形態のように、下部電極4b及び上部電極6bの下に、それぞれ各下地電極4a、6aを設け、下地電極4a、6aに密着力の大きなTi、Cr、NiCrを用いることで、電極が剥がれるなどの問題を軽減でき、良好な特性を有する圧電薄膜共振子を得ることができる。
【0092】
また、本実施の形態では、下地電極であるTiは(0,0,1)に優先的に単一配向している。Tiは、格子定数が0.295nmであり、圧電薄膜5に用いるZnO(0.32nm)やAlN(0.31nm)と格子定数の差が小さい、つまり、格子定数の整合性が良い。
【0093】
したがって、下地電極4a、6aであるTiが(0,0,1)に優先的に単一配向していることで、下部電極4bの結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性が向上する結果として、共振特性は向上することになる。
【0094】
下部電極4bの下地電極4aとして、密着力の大きさからTi以外にCr、NiCrを用いることが考えられるが、圧電薄膜5に用いるZnO(0.32nm)やAlN(0.31nm)との格子定数の差、つまり、格子定数の整合性を考慮すると、NiCrの格子定数が0.25nmであることから、NiCrが好ましい。特に、格子定数の整合性を考慮すると、NiCrは(1,1,1)に優先的に単一配向していることが好ましい。
【0095】
これにより、Tiを用いた場合と同様に、下部電極4bの結晶性も向上し、圧電薄膜5の結晶性も向上し、圧電薄膜の結晶性が向上する結果として、共振特性は向上することになる。また、下部電極4bの結晶性を向上させることで、圧電薄膜共振子の耐電力性が向上するという効果も得られる。
【0096】
上部電極6bの下地電極6aにおいても同様に、下地電極6aは、上部電極6bの密着層としてだけではなく、配向性を有するために上部電極6bの結晶性が向上し、圧電薄膜共振子の耐電力性が向上するという効果も得られる。
【0097】
次に、上記圧電薄膜共振子10を用いた圧電フィルタについて図8に基づいて説明する。図8に示すように、圧電フィルタ11は、図1または図7の圧電薄膜共振子10をL型にラダー接続して形成することができる。また、図9(a)および図9(b)に示すように、L型のラダー接続に代えて、T型やπ型としてもよい。
【0098】
上記のラダー型の圧電フィルタでは、並列側の圧電薄膜共振子10における電極のスティフネスを、直列側より大きくすることが望ましい。これにより、並列側の圧電薄膜共振子10のQが向上するため、上記のラダー型の圧電フィルタの挿入損失をより低減でき、通過帯域の低周波数側における肩の切れがさらに改善される。
【0099】
また、図8に示すように、図1または図7の圧電薄膜共振子10の電極構造を変えた圧電薄膜共振子12を用いることで、多重モード型フィルタ(圧電フィルタ)14を構成してもよい。多重モード型フィルタ14では、その各電極の大きさや質量や、相互間の間隔を調整することで、不平衡信号を平衡信号に変換して外部に出力したり、逆に、平衡信号を不平衡信号に変換して出力したりできる。
【0100】
このような、平衡−不平衡変換機能を有する多重モード型フィルタ14と、挿入損失が低い圧電フィルタ11とを組み合わせて、優れたフィルタ特性と平衡−不平衡変換機能とを同時に実現できる。
【0101】
上記圧電フィルタ11、14では、上部電極6が弾性体として働くので、圧電薄膜共振子10のQが向上するため、圧電フィルタ11、14の挿入損失や、肩の切れを向上させることができる。
【0102】
本発明に係るDPXは、図10に示すように、ANT(アンテナ)に接続された整合回路52と、整合回路52と送信側端子(Tx)との間に設けられた送信側フィルタ53と、整合回路52と受信側端子(Rx)との間に設けられた受信側フィルタ54とを有している。送信側フィルタ53および受信側フィルタ54は、通過帯域が互いに相違するように設定されている。
【0103】
そして、送信側フィルタ53および受信側フィルタ54の少なくとも一方は、本発明の圧電フィルタ11、14により形成されていることが好ましい。送信側フィルタ53および受信側フィルタ54の少なくとも一方に、本発明の圧電フィルタを用いることで、肩の切れがよい、良好なフィルタ特性を有するDPXとすることが可能となる。肩の切れがよいとは、通過帯域の上下端から、所定の減衰量まで落とすのに必要な周波数間隔が小さいことである。
【0104】
このような圧電フィルタは、平衡端子と不平衡端子とを有するように設定できるので、DPXへの応用が容易である。ラダー型フィルタ11の端子をアンテナ側、不平衡出力を平衡出力に変換する多重モード型フィルタ14の端子をICなど、内部回路に接続するだけでよく、付加部品なしで、DPXを構成することができる。
【0105】
【発明の効果】
本発明の圧電薄膜共振子は、以上のように、圧電薄膜を挟む第一電極および第二電極の少なくとも一方の厚さは、共振周波数に合わせて設定されており、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きい構成である。
【0106】
それゆえ、上記構成は、第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスを、圧電薄膜のスティフネスより大きくしたから、第一電極および第二電極の少なくとも一方は、圧電薄膜の振動方向に沿った弾性体とすることができて、圧電薄膜の共振のQを大きくでき、フィルタ特性の肩の切れ(単位周波数当たりの減衰量が大きい)を向上できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の第一形態に係る圧電薄膜共振子の構造を示す断面図である。
【図2】上記圧電薄膜共振子の要部拡大図である。
【図3】上部電極にAlを用いた、比較のための圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図4】本発明に係る、上部電極にNiを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図5】本発明に係る、上部電極にPtを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図6】本発明に係る、上部電極にMoを用いた圧電薄膜共振子のフィルタ特性を示すグラフである。
【図7】本発明の実施の第二形態に係る圧電薄膜共振子の構造を示す断面図である。
【図8】上記圧電薄膜共振子を用いた圧電フィルタとしての、ラダー型フィルタおよび多重モード型フィルタの回路ブロック図である。
【図9】上記ラダー型フィルタの各変形例であって、(a)はT型、(b)はπ型を示す。
【図10】上記圧電フィルタを備えた電子部品としてのDPXの回路ブロック図である。
【符号の説明】
2 支持基板(基板)
4 下部電極(第一電極)
5 圧電薄膜
6 上部電極(第二電極)
10 圧電薄膜共振子
Claims (17)
- 支持基板と、
支持基板上に形成された圧電薄膜と、
圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極とを備え、
第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことを特徴とする圧電薄膜共振子。 - 第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったスティフネスであることを特徴とする請求項1記載の圧電薄膜共振子。
- 支持基板と、
支持基板上に形成された圧電薄膜と、
圧電薄膜を挟んで対向する第一電極および第二電極とを備え、
第一電極および第二電極の少なくとも一方は、その下に配向性を有する下地電極を有することを特徴とする圧電薄膜共振子。 - 前記第一電極および第二電極の少なくとも一方のスティフネスは、圧電薄膜のスティフネスより大きいことを特徴とする請求項3記載の圧電薄膜共振子。
- 前記第一電極および第二電極の少なくとも一方、並びに圧電薄膜のスティフネスは、圧電薄膜の振動方向に沿ったスティフネスであることを特徴とする請求項4記載の圧電薄膜共振子。
- 前記第一電極および第二電極の少なくとも一方が、Ta、Nb、Mo、Pt、W、Al合金、エリンバの何れかからなることを特徴とする請求項1ないし5の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 前記下地電極が、Ti、NiCr、Crの何れかであることを特徴とする請求項3ないし6の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 圧電薄膜は、厚み縦振動モードまたは厚みすべり振動モードで励振されるように設定されていることを特徴とする請求項1ないし7の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 支持基板は、開口部もしくは凹部を有し、
圧電薄膜の振動する部位は、開口部もしくは凹部上に形成されていることを特徴とする請求項1ないし8の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。 - 圧電薄膜と支持基板との間に絶縁膜が形成されていることを特徴とする請求項1ないし9の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 絶縁膜は、複数の互いに温度係数が異なる各絶縁薄膜を有していることを特徴とする請求項10記載の圧電薄膜共振子。
- 絶縁膜は、複数の絶縁薄膜からなり、少なくとも一つの絶縁薄膜は圧縮応力を有し、残余の絶縁薄膜は引っ張り応力を備えていることを特徴とする請求項10または11記載の圧電薄膜共振子。
- 絶縁膜は、二酸化シリコン膜および酸化アルミニウム膜の少なくとも一方を有していることを特徴とする請求項11または12記載の圧電薄膜共振子。
- n次(nは2以上の整数)の振動モードに設定されていることを特徴とする請求項1ないし13の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 圧電薄膜は、酸化亜鉛からなっていることを特徴とする請求項1ないし14の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子。
- 請求項1ないし15の何れか1項に記載の圧電薄膜共振子を用いたことを特徴とする圧電フィルタ。
- 請求項16記載の圧電フィルタを備えたことを特徴とする電子部品。
Priority Applications (3)
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