JP4386074B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents
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Description
66a,66b,66c;68a,68b,68cと2つのリフレクタ66s,66t;68s,68tとをそれぞれ有する2つの縦結合共振子型弾性表面波フィルタ素子66,68をカスケード接続した構成の素子チップ60の実装にも用いることができる。すなわち、図1に示した素子チップ30と、図22に示した素子チップ60とは、外形寸法が同じであり、かつ、端子(パッド)の配置も同じである。
101 弾性表面波フィルタ素子(第2の弾性表面波素子)
102 弾性表面波フィルタ素子(第1の弾性表面波素子)
103,104,105 IDT
108,109,110 IDT
118,119 平衡信号端子
123,124 信号ライン
150 弾性表面波共振子素子(第2の弾性表面波素子)
250,251,252 絶縁膜
500 圧電基板
502 弾性表面波フィルタ素子(弾性表面波素子)
508,509,510 IDT
518,519 平衡信号端子
523,524 信号ライン
650,652 絶縁膜
1010 基板
1014,1016 絶縁膜
1020 フィルタ(第1の素子)
1022,1023,1024 IDT
1030 フィルタ(第2の素子)
1032,1033,1034 IDT
1041,1042 配線(信号配線)
1048 配線(アース配線)
1048a,1048b,1048c 1層目
1048s 2層目
1051 パッド(不平衡端子)
1052,1053 パッド(平衡端子)
1054,1055 アースパッド
1100 基板
1106,10107 絶縁膜
1110 フィルタ(第1の素子)
1114,116,118 IDT
1120 フィルタ(第1の素子)
1124,126,128 IDT
1130 トラップ(第2の素子)
1134 IDT
1140 トラップ(第2の素子)
1144 IDT
1153 配線(アース配線)
1153a 1層目
1153s 2層目
1154 配線(アース配線)
1154a 1層目
1154s 2層目
1155,1156,1157,1158 配線(信号配線)
1172 アースパッド(接地端子)
1173 パッド(不平衡端子)
1174,1175 パッド(平衡端子)
・交叉幅:48.1λI
・フィルタ素子101の電極指の本数(IDT103,104,105の順):28(6)/(6)24(6)/(6)28 (カッコ内は、狭ピッチ電極指の本数)
・フィルタ素子102の電極指の本数(IDT108,109,110の順):28(6)/(3)24(3)/(6)28 (カッコ内は、狭ピッチ電極指の本数)
・リフレクク本数:80本
・メクライゼーションレシオ:0.70
・電極膜厚:0.080λI
Claims (4)
- 基板と、
前記基板に配置され、少なくとも不平衡端子及び2つの平衡端子を含む、複数の端子と、
前記基板の前記不平衡端子と2つの前記平衡端子との間に配置された、少なくとも2つの弾性表面波素子とを備え、
同一の前記弾性表面波素子にそれぞれ接続された異なる信号線が、絶縁膜を介して交差し、
1つの前記弾性表面波素子(以下、「第1の素子」という。)は、前記不平衡端子と、接地するための接地端子(以下、「アースパッド」という。)とに、それぞれ異なる前記信号線によって接続され、
他の1つの前記弾性表面波素子(以下、「第2の素子」という。)と前記第1の素子との間をそれぞれ接続する少なくとも2つの前記信号線(以下、「信号配線」という。)が形成され、
少なくとも1つの前記信号配線と、前記アースパッドと前記第1の素子との間を接続する前記信号線(以下、「アース配線」という。)とが、前記絶縁膜を介して交差し、
前記アースパッドが、前記第1の素子、前記第2の素子、及び前記信号配線とによって囲まれる領域の外側に配置されたことを特徴とする、弾性表面波装置。 - 前記第1の素子は、弾性表面波の伝搬方向を揃えて配置された3つのIDTを含み、その中央の前記IDTに前記不平衡端子と前記アースパッドとが接続され、
前記第2の素子は、弾性表面波の伝搬方向を揃えて配置された3つのIDTを含み、その中央の前記IDTに2つの前記平衡端子が接続され、
前記第1の素子の両側の前記IDTと前記第2の素子の両側の前記IDTとが前記信号配線によってそれぞれ接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の弾性表面波装置。 - 2組の前記第1の素子、前記信号配線及び前記第2の素子が前記基板に形成され、
各組の前記第1の素子は、それぞれ、弾性表面波の伝搬方向を揃えて配置された3つのIDTを含み、その中央の前記IDTに前記不平衡端子と前記アースパッドとが接続され、
各組の前記第2の素子は、それぞれ、異なる1つの前記平衡端子に接続された1つのIDTを含み、
各組の2つの前記信号配線は、各組の前記第1の素子の両側の前記IDTと各組の前記第2の素子の前記IDTとをそれぞれ接続し、
2組の前記第1の素子は逆位相であることを特徴とする、請求項1に記載の弾性表面波装置。 - 前記アース配線は、前記絶縁膜及びその近傍の部分を除いて形成された1層目と、前記絶縁膜及びその近傍の部分を含めて形成された2層目とを有することを特徴とする、請求項1、2又は3に記載の弾性表面波装置。
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