JP4375436B2 - バルブ装置 - Google Patents

Description

本発明は、流体流路の開閉を行うバルブ装置に関し、バルブ装置の閉弁時に生じる脈動（具体的には、流体の供給側に伝播する脈動）を抑える技術に関する。

バルブ装置において、弁体によって弁口を急激に閉塞すると、流体の流れが急激に停止し、弁口の上流側へ向けて圧力波が発生する現象（所謂、ウォーターハンマー現象）が知られている。
具体的な一例を示すと、エンジンの吸気側とキャニスタとの間に接続されパージバルブとして用いられる電磁弁（バルブ装置の一例）が閉弁された際、閉弁に伴う圧力波が電磁弁で発生し、その圧力波がキャニスタに伝わって、キャニスタから電磁弁の閉弁に伴う作動音（騒音）が発生する。

電磁弁の閉弁時に生じる脈動を抑える技術として、弁口と入力ポートとの間の流体通路にチャンバ（容積を大きくしたボリューム室）を設ける技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。
チャンバを用いた脈動対策は、チャンバの容積を大きくするほど大きな脈動低減効果（騒音低減効果）が得られる。このため、脈動低減効果を大きくしようとすると、電磁弁が大型化する問題があった。

また、近年ではエンジンの吸気負圧が小さくなる傾向にあり、電磁弁の大流量化が進んでいる。大流量化に伴い、発生する脈動も大きくなる。このため、大きな脈動を低減するために大きなチャンバ容積が必要となり、これまでの騒音レベル（目標騒音レベル）を維持するには、電磁弁が大型化する問題があった。
なお、上記ではバルブ装置の一例としてパージ流量制御を行う電磁弁を例に示したが、他のバルブ装置であっても脈動低減効果を高めようとした場合に、バルブ装置が大型化するという同様の問題があった。
特開２００１−２９５９６０号公報

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、体格の大型化を招かずに脈動低減効果を高めることのできるバルブ装置の提供にある。

［請求項１の手段］
請求項１の手段を採用するバルブ装置は、入力ポートの開口端と弁口との間の流体通路に、入力ポートから弁口に向かう流体の正流れ方向には流れ抵抗（抵抗係数＝ＣＤ値）が小さく、正流れ方向とは逆の反流れ方向には流れ抵抗（ＣＤ値）が大きい脈動低減手段（具体的には、チャンバ内に突出した形状を呈する柱部材）が設けられる。
脈動低減手段は、反流れ方向に流れ抵抗が大きいため（ＣＤ値→大）、バルブ装置の閉弁時（弁体が弁口を閉じた際）に弁口から流体の上流側へ向かう圧力波が脈動低減手段に阻害されて、上流側へ向かう脈動が低減される。即ち、入力ポートの開口端から上流側へ向かう脈動を脈動低減手段によって低減することができる。
一方、脈動低減手段は、正流れ方向には流れ抵抗が小さいため（ＣＤ値→小）、バルブ装置の開弁中（弁体が弁口を開いた状態）に入力ポートから弁口へスムーズに流体が流れ、脈動低減手段を設けたことによる流体の流量低下を抑えることができる。
このように、入力ポートの開口端と弁口との間の流体通路に脈動低減手段を設けることで脈動低減効果を高めることができ、バルブ装置の大型化を招くことなく脈動低減効果を高めることができる。
また、脈動低減手段として用いられる柱部材は、入力ポートからチャンバ内に流体が流入するチャンバ入口に対向して設けられ、チャンバ入口と柱部材との距離がチャンバ入口の内径寸法より小さく設けられる。
これにより、チャンバ内から入力ポート内に向かう脈動を、脈動低減手段によって効率的に抑えることができる。

［請求項２の手段］
請求項２の手段を採用するバルブ装置の脈動低減手段（柱部材）は、正流れ方向に沿って断面積が増加（反流れ方向に沿って断面積が減少）する部材である。

［請求項３の手段］
請求項３の手段を採用するバルブ装置の脈動低減手段（柱部材）は、正流れ方向に沿って断面の外側の幅が増加（反流れ方向に沿って断面の外側の幅が減少）する部材である。

［請求項４の手段］
請求項４の手段を採用するバルブ装置の脈動低減手段（柱部材）は、反流れ方向に向かう凹部を備える。
これにより、反流れ方向の流れ抵抗をより大きくすることができ、脈動低減手段による脈動低減効果を高めることができる。

［請求項５の手段］
請求項５の手段を採用するバルブ装置の脈動低減手段（柱部材）は、流体の通過が可能な穴またはスリットを備える。

最良の形態のバルブ装置は、流体（気体、液体、気液混合流体等）の供給を受ける入力ポートと、流体の排出を行う出力ポートと、入力ポートと出力ポートを連通する弁口の開閉を行う弁体と、入力ポートと弁口との間の流体通路に設けられ、弁口および入力ポートのポート径より拡径してなるチャンバとを備える。なお、弁体は、手動により駆動されるものであっても、アクチュエータ（電動アクチュエータ、流体圧アクチュエータ等）により駆動されるものであっても良い。
入力ポートの開口端と弁口との間の流体通路には、入力ポートから弁口に向かう流体の正流れ方向には流れ抵抗が小さく、正流れ方向とは逆の反流れ方向には流れ抵抗が大きい脈動低減手段が設けられる。この脈動低減手段は、チャンバ内に突出した形状を呈する柱部材である。
この柱部材は、入力ポートからチャンバ内に流体が流入するチャンバ入口に対向して設けられるものであり、チャンバ入口と柱部材との距離は、チャンバ入口の内径寸法より小さく設けられる。

以下において、パージバルブとして用いられる電磁弁に本発明を適用した実施例１を説明する。なお、この実施例１では、先ず「パージバルブの基本構造」を説明し、その後で「実施例１の特徴」を説明する。

〔パージバルブの基本構造〕
自動車には、図１０に示すように、燃料タンク１で気化した燃料を吸着して保持するキャニスタ２が設けられている。このキャニスタ２は、大気導入通路３を介して大気が導入可能に設けられている。また、キャニスタ２は、パージ通路４を介して吸気管５の負圧発生部分（スロットルバルブ６の下流）に接続されている。
そして、エンジンの運転中に、大気導入通路３に設けられた大気解放弁７を開いて、外部からキャニスタ２内に空気を導入するとともに、パージ通路４に設けられたパージバルブ８を開いて、キャニスタ２内に保持された気化燃料を吸気管５へ導くように設けられている。なお、図１０中の符号９、１０はフィルタである。

パージバルブ８は、通電されるとパージ通路４の上流と下流を連通させるノーマリ・クローズ（Ｎ／Ｃ）タイプの電磁弁である。
パージバルブ８を図１を参照して説明する。なお、以下では説明の便宜上、図１上側を上、図１下側を下として説明するが、実際の搭載方向に関わるものではない。
パージバルブ８は、パージ通路４の下流側（吸気管５側）に接続される出力ポート１１が形成された出口通路キャップ１２と、出力ポート１１に通じる弁口１３を開閉する弁体１４と、パージ通路４の上流側（キャニスタ２側）に接続される入力ポート１５が形成されるハウジング１６に覆われて弁体１４を駆動して弁口１３を開閉させる電磁アクチュエータ１７とからなる。

出口通路キャップ１２とハウジング１６の間には、入力ポート１５と連通するチャンバ１８（容積室を成す空間）が形成されており、チャンバ１８内まで伸びて形成された出力ポート１１の端部（弁口１３）が、電磁アクチュエータ１７のムービングコア１９に取り付けられたゴム製の弁体１４によって開閉される。
即ち、出力ポート１１の下部が弁口１３を成し、弁体１４が弁口１３に着座することでパージ通路４の連通が遮断（閉弁動作）され、弁体１４が弁口１３から離座することでパージ通路４が連通（開弁動作）される。
なお、チャンバ１８の内部には、フィルタ９が取り付けられており、入力ポート１５からチャンバ１８内に流入した気体燃料は、フィルタ９を通過して弁口１３へ導かれるようになっている。

電磁アクチュエータ１７は、弁体１４が取り付けられたムービングコア１９の他に、このムービングコア１９を閉弁方向（弁体１４が弁口１３に着座する方向）に付勢するリターンスプリング２１と、このリターンスプリング２１の付勢力（閉弁力）に抗してムービングコア１９を開弁方向へ磁気吸引するソレノイド２２とを備える。
ムービングコア１９は、上端に弁体１４が取り付けられたカップ形状を呈する可動子であり、磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）よりなる。

リターンスプリング２１は、ムービングコア１９を閉弁方向（上方向）へ付勢する圧縮コイルスプリングであり、ムービングコア１９と、ムービングコア１９内に設けられたスプリング保持部２５の間で圧縮配置される。
なお、スプリング保持部２５は、弁体１４のリフト量が所定量に達すると、スプリング保持部２５の上端がムービングコア１９内に挿入された弁体１４に当接して、弁体１４の最大リフト量を決定する。

ソレノイド２２は、コイル２６、磁気固定子（ヨーク２７、ステータ２８、磁性リング）を備え、コネクタ２９によって通電制御されるものであり、これらはソレノイド２２のハウジング１６を成す２次成形樹脂によって樹脂モールドされている。
コイル２６は、通電されると磁力を発生して、ムービングコア１９と磁気固定子（ヨーク２７、ステータ２８、磁性リング）を通る磁束ループを形成させるものであり、両端部にフランジが形成された筒形状を呈する樹脂製のボビン（１次成形樹脂）の周囲に、絶縁被覆が施された導線（エナメル線等）を多数巻回したものである。

ヨーク２７は、コイル２６の外周を覆う磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、略カップ形状の両側面を除去した形状（略コ字形状）を呈する。
ステータ２８は、略円筒形状を呈した磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、ステータ２８の下部がヨーク２７の下部と磁気的に直接結合され、ステータ２８の上部が磁性リングを介してヨーク２７の上部と磁気的に結合されている。ステータ２８は、ムービングコア１９の周囲を覆う磁気受渡部、磁気抵抗溝（磁気飽和溝）、磁気吸引部からなり、磁気吸引部とムービングコア１９との軸方向間に磁気吸引ギャップが形成される。

コネクタ２９は、パージバルブ８を開閉制御する電子制御装置（図示しない）と接続線を介して電気的な接続を行う接続手段であり、その内部には、コイル２６の両端にそれぞれ接続されるコネクタ端子２９ａが配置されている。このコネクタ端子２９ａは、一端がボビンに差し込まれ、他端がコネクタ２９内で露出するものであり、ハウジング１６を成す２次成形樹脂に樹脂モールドされている。
なお、電子制御装置は、キャニスタ２内に保持された気化燃料の濃度を算出するとともに、エンジンの運転状態からパージバルブ８を開弁した際にパージ通路４を流れる流量を算出して、パージバルブ８を開弁した際に吸気管５に導かれるパージ燃料を算出するパージ燃料算出手段を備え、パージバルブ８を開弁した際に、インジェクタ（燃料噴射弁）から噴射される燃料の噴射量を補正して、空燃比をエンジンの運転状態に適した目標空燃比に保つように設けられている。

次に、上記構成よりなるパージバルブ８の基本動作を説明する。
電子制御装置により、パージバルブ８（具体的には電磁アクチュエータ１７のコイル２６）がＯＮされると、ムービングコア１９がステータ２８に磁気吸引されて、リターンスプリング２１の付勢力に抗してムービングコア１９が下方（開弁方向）へ移動する。その結果、ムービングコア１９に取り付けられた弁体１４も開弁方向へ移動し、弁体１４が弁口１３を開く。これによって、入力ポート１５と出力ポート１１が弁口１３を介して連通（パージ通路４が連通）し、キャニスタ２に保持されていた気化燃料が吸気負圧により吸気管５内に吸引される。

電子制御装置により、パージバルブ８がＯＦＦされると、コイル２６の発生していた磁力が喪失するため、リターンスプリング２１の付勢力によってムービングコア１９が上方（閉弁方向）へ移動する。その結果、ムービングコア１９に取り付けられた弁体１４も閉弁方向へ移動し、弁体１４が弁口１３を閉塞する。これによって、入力ポート１５と出力ポート１１が遮断（パージ通路４が遮断）されて、キャニスタ２に保持されていた気化燃料は吸気管５内に吸引されなくなる。

〔実施例１の特徴〕
次に、実施例１の特徴を、「実施例１の背景」と「問題点を解決する技術」に分けて説明する。
（実施例１の背景）
近年ではエンジンの吸気負圧が小さくなる傾向にあり、パージバルブ８の大流量化が進んでいる。大流量化に伴い、発生する脈動も大きくなる。
具体的なテスト例を説明する。なお、以下におけるテスト結果は、図７に示す装置に基づくものである（６０℃の恒温槽Ｔ１の内部にて、パージ通路４の内径寸法１１．５ｍｍ、パージ通路４の長さ１５００ｍｍ、吸引負圧６０ｋＰａ、キャニスタ２に取り付けたＧセンサＴ２にて脈動測定）。

従来の６０Ｌ／ｍｉｎから１２０Ｌ／ｍｉｎに大流量化を図った「本発明を適用しないパージバルブ８（上述したパージバルブ８の基本構造を採用する試作品）」の場合、図８の左側棒グラフＡに示すように、従来の脈動レベル（従来品のパージバルブを用いて６０Ｌ／ｍｉｎでの脈動レベルを１００％とした）より大きい脈動がキャニスタ２に伝わった。
本発明を用いずに従来の脈動レベルを達成しようとした場合、脈動を低減するためにチャンバ１８に大きな空間容積が必要となり、パージバルブ８が大型化してしまう。

（問題点を解決する技術）
パージバルブ８の大型化を招くことなく、従来の脈動レベルを達成するために、実施例１では下記に示す技術を採用している。なお、パージバルブ８は、上述したように、気化燃料（流体の一例）の供給を受ける入力ポート１５と、気化燃料の排出を行う出力ポート１１と、入力ポート１５と出力ポート１１を連通する弁口１３の開閉を行う弁体１４とを備えるものである。
（ａ）入力ポート１５の開口端と弁口１３との間において気化燃料が流れる流体通路には、入力ポート１５から弁口１３に向かう気化燃料の正流れ方向には流れ抵抗（以下、流れ抵抗値をＣＤ値と称する）が小さく、正流れ方向とは逆の反流れ方向にはＣＤ値が大きい柱部材３１（脈動低減手段：図１、図２参照）が設けられている。

（ｂ）柱部材３１は、正流れ方向に沿って断面積が増加（反流れ方向に沿って断面積が減少）する、（ｂ’）あるいは正流れ方向に沿って断面の外側の幅が増加（反流れ方向に沿って断面の外側の幅が減少）するものである。
（ｃ）柱部材３１は、反流れ方向に向かう凹部３２を備える。
（ｄ）柱部材３１は、チャンバ１８内に設けられる。
（ｅ）柱部材３１は、チャンバ１８内に突出した柱形状を呈する。
（ｆ）柱部材３１は、気化燃料の通過が可能な穴またはスリット３３を備えるものであっても良い（図５参照）。
（ｇ）柱部材３１は、入力ポート１５からチャンバ１８内に気化燃料が流入するチャンバ入口３４に対向して設けられ、チャンバ入口３４と柱部材３１との距離は、チャンバ入口３４の内径寸法Ｗ５より小さく設けられる（図６参照）。

次に、上記（ａ）〜（ｇ）を個別に説明する。
上記（ａ）を具体的に説明する。
正流れ方向にはＣＤ値が小さく、反流れ方向にはＣＤ値が大きい柱部材３１の形状例を、図２に示す。
図３（ａ）は、断面が半円の円弧形状を呈するものであり、円弧の膨らみ側が正流れ方向に向く場合のＣＤ値が１．２、円弧の凹み側が反流れ方向に向く場合のＣＤ値が２．３である。
図３（ｂ）に示す形状であっても良い。
図３（ｃ）は、断面が半円形状を呈するものであり、半円の膨らみ側が正流れ方向に向く場合のＣＤ値が１．２、半円の平面が反流れ方向に向く場合のＣＤ値が１．７である。 図３（ｄ）は、断面が正三角形を呈するものであり、三角の頂部が正流れ方向に向く場合のＣＤ値が１．６、三角の平面が反流れ方向に向く場合のＣＤ値が２．０である。
柱部材３１は、図３（ａ）〜（ｄ）のどの形状を採用するものであっても良いが、この実施例１では、正流れ方向と反流れ方向のＣＤ値の差が大きく、且つ正流れ方向のＣＤ値が小さい図３（ａ）の断面形状を採用するものであり、具体的には図２に示すように設けられる。

上記（ｂ）を具体的に説明する。
正流れ方向に沿って断面積が増加する具体例を、図３（ｃ）、（ｄ）に示す。
ここで、図４（ａ）に示すように、反流れ方向に沿って断面積が増加する逆増加部３１ａや、逆突起部３１ｂが存在する場合について説明する。

逆増加部３１ａがある場合で、「正流れ方向に沿って断面積が増加する増加部の奥行寸法」を奥行Ｌ１、「反流れ方向に沿って断面積が増加する増加部の奥行寸法」を奥行Ｌ２とした場合は、奥行Ｌ１に対して奥行Ｌ２が十分小さい場合（例えば、Ｌ１＞２×Ｌ２：逆増加部３１ａの存在が柱部材３１のＣＤ値に与える影響が無視できるほどに十分小さい場合）は、柱部材３１に逆増加部３１ａがあっても良い。
また、逆突起部３１ｂがある場合で、「正流れ方向から見た柱部材３１の最外幅」を幅Ｗ１、「正流れ方向から見た逆突起部３１ｂの幅」を幅Ｗ２とした場合、幅Ｗ１に対して幅Ｗ２が十分小さい場合（例えば、Ｗ１＞２×Ｗ２：逆突起３１ｂの存在が柱部材３１のＣＤ値に与える影響が無視できるほどに十分小さい場合）は、柱部材３１に逆突起３１ｂがあっても良い。

上記（ｂ’）を具体的に説明する。
正流れ方向に沿って断面の外側の幅が増加する具体例を、図３（ａ）、図３（ｂ）に示す。
ここで、図４（ｂ）に示すように、反流れ方向に沿って断面の外側の幅が増加する逆増加幅部３１c 、３１ｄが存在する場合について説明する。
逆増加幅部３１c 、３１ｄがある場合で、「正流れ方向から見た柱部材３１の最外幅」を幅Ｗ１、「正流れ方向から見た逆増加幅部３１c 、３１ｄの幅」を幅Ｗ３、Ｗ４とした場合、幅Ｗ１に対して幅Ｗ３＋Ｗ４が十分小さい場合｛例えば、Ｗ１＞２×（Ｗ３＋Ｗ４）：逆増加幅部３１c 、３１ｄの存在が柱部材３１のＣＤ値に与える影響が無視できるほどに十分小さい場合）は、柱部材３１に逆増加幅部３１c 、３１ｄがあっても良い。

上記（ｃ）を具体的に説明する。
反流れ方向に向かって凹部３２が設けられる具体例を、図３（ａ）、図３（ｂ）に示す。この実施例１は、柱部材３１として図３（ａ）に示す形状を採用するものであり、実施例１の柱部材３１は図２に示すように反流れ方向に向かう凹部３２を備える。この凹部３２を設けることにより、反流れ方向の流れに大きな流れ抵抗を与え、反流れ方向のＣＤ値を高めることができ、結果的に柱部材３１による脈動低減効果をより高めることができる。

上記（ｄ）を具体的に説明する。
柱部材３１は、チャンバ１８内に設けられる。チャンバ１８が柱部材３１の設置スペースの役割を兼ねるため、パージバルブ８の大型化を招くことがない。

上記（ｅ）を具体的に説明する。
柱部材３１は、ハウジング１６を成す２次成形樹脂によってハウジング１６と一体成形されるものであり、チャンバ１８内において下方から上方に伸びて設けられている。柱部材３１がハウジング１６を成す２次成形樹脂で設けられているため、柱部材３１を設けることによる部品点数の増加を招かない。

上記（ｆ）を具体的に説明する。
この実施例１では、柱部材３１に気化燃料の通過が可能な穴またはスリット３３を備えないものであるが、図５に示すように柱部材３１の一部に気化燃料の通過が可能な穴またはスリット３３を設けたものを採用しても良い。

上記（ｇ）を具体的に説明する。
柱部材３１は、図６（ａ）に示すように、チャンバ入口３４（入力ポート１５とチャンバ１８の連通部：入力オリフィス）に対向する位置に設けられ、チャンバ１８内の脈動が入力ポート１５に直接伝播するのを柱部材３１が阻害するように設けられている。なお、図中の実線矢印は正流れ方向の気化燃料の流れを示し、図中の破線矢印は反流れ方向に向かう脈動波を示す。
そして、図６（ｂ）に示すように、チャンバ入口３４と柱部材３１との距離Ｌ３は、チャンバ入口３４の内径寸法Ｗ５より小さく設けられている（Ｌ３＜Ｗ５）。
このように設けられることにより、チャンバ１８内から入力ポート１５内に向かう脈動が柱部材３１によって効率的に阻害され、入力ポート１５に伝播される脈動を効果的に抑えることができる。

（実施例１の効果）
実施例１のパージバルブ８は、上述したように、チャンバ１８内のチャンバ入口３４に対向する位置に、正流れ方向には流れＣＤ値が小さく、反流れ方向にはＣＤ値が大きい柱部材３１を設けたため、パージバルブ８の閉弁時にチャンバ１８内に脈動が発生しても、チャンバ１８内から入力ポート１５に向かう圧力波が反流れ方向にＣＤ値の大きい柱部材３１に阻害されて、入力ポート１５へ侵入する脈動が低減される。

具体的なテスト結果では、上述した試作品に柱部材３１を設けたパージバルブ８（実施例品）」の場合、図８の右側棒グラフＢに示すように、従来の脈動レベルを十分に達成できた。
即ち、実施例１を採用することで、パージバルブ８の大型化を招くことなく、キャニスタ２に伝播する脈動を十分に抑えることができ、脈動による騒音の発生を抑えることができる。

一方、柱部材３１は、正流れ方向にはＣＤ値が小さいものであるため、パージバルブ８の開弁中に入力ポート１５から弁口１３へスムーズに気化燃料が流れる。これによって、柱部材３１を設けたことによる流量低下を抑えることができる。
具体的なテスト結果を図９に示す。ここで、図９の実線Ａ’は上述した試作品の流量特性を示し、図９の実線Ｂ’は上述した試作品に柱部材３１を設けた実施例１の流量特性を示すものである。この図９の実線Ａ’、Ｂ’を比較すると、上述した試作品に柱部材３１を設けても、流量低下が極めて小さく抑えられていることが読み取れる。

〔変形例〕
上記の実施例では、柱部材３１を１つ設ける例を示したが、柱部材３１をチャンバ１８内に複数設けても良い。
上記の実施例では、脈動低減手段をチャンバ１８内に設ける例を示したが、チャンバ１８内と入力ポート１５内の両方に柱部材３１を設けても良い。
上記の実施例では、本発明をパージバルブ８に適用したが、パージバルブ８とは用途の異なる他の電磁弁に本発明を適用しても良い。

上記の実施例では、開閉弁（二方弁）に本発明を適用する例を示したが、三方弁や四方弁に本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、弁体１４の駆動手段として電磁アクチュエータ１７を用いた例を示したが、ピエゾアクチュエータなど、他の電動アクチュエータを用いても良い。また、パージバルブ８とは異なる他の用途の場合は流体圧アクチュエータや手動などであっても良い。

パージバルブの軸方向に沿う断面図である。 出口通路キャップを外した状態におけるパージバルブの上視図である。 流れ方向に対するＣＤ値の説明図である。 柱部材の説明図である。 穴またはスリットが設けられる柱部材の説明図である。 チャンバ入口に対向して設けられた柱部材の説明図である。 脈動効果評価要領の説明図である。 脈動効果を示すグラフである。 圧損特性を示すグラフである。 パージシステムの概略図である。

符号の説明

８ パージバルブ（バルブ装置）
１１ 出力ポート
１３ 弁口
１４ 弁体
１５ 入力ポート
１８ チャンバ
３１ 柱部材（脈動低減手段）
３２ 反流れ方向に向かう凹部
３３ 穴またはスリット
３４ チャンバ入口

Claims (5)

1. 流体の供給を受ける入力ポートと、流体の排出を行う出力ポートと、前記入力ポートと前記出力ポートを連通する弁口の開閉を行う弁体と、前記入力ポートと前記弁口との間の流体通路に設けられ、前記弁口および前記入力ポートのポート径より拡径してなるチャンバとを備えるバルブ装置において、
   前記入力ポートの開口端と前記弁口との間の流体通路には、
   前記入力ポートから前記弁口に向かう流体の正流れ方向には流れ抵抗が小さく、前記正流れ方向とは逆の反流れ方向には流れ抵抗が大きい脈動低減手段が設けられ、
   この脈動低減手段は、前記チャンバ内に突出した形状を呈する柱部材であり、
   この柱部材は、前記入力ポートから前記チャンバ内に流体が流入するチャンバ入口に対向して設けられ、
   前記チャンバ入口と前記柱部材との距離は、前記チャンバ入口の内径寸法より小さいことを特徴とするバルブ装置。
2. 請求項１に記載のバルブ装置において、
   前記脈動低減手段は、前記正流れ方向に沿って断面積が増加する部材であることを特徴とするバルブ装置。
3. 請求項１に記載のバルブ装置において、
   前記脈動低減手段は、前記正流れ方向に沿って断面の外側の幅が増加する部材であることを特徴とするバルブ装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれかに記載のバルブ装置において、
   前記脈動低減手段は、前記反流れ方向に向かう凹部を備えることを特徴とするバルブ装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバルブ装置において、
   前記柱部材は、流体の通過が可能な穴またはスリットを備えることを特徴とするバルブ装置。

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