JP2007040423A - バルブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 パージバルブに用いられる電磁弁は、閉弁時の異音や脈動の発生を抑えるために、ダンパ抵抗手段により可動子の動きを緩やかにする技術が提案されているが、開弁遅れによる空燃比のズレが発生する。
【解決手段】 可動子１５には、ダンパ室３１の内外を連通する第２連通通路３４が設けられるとともに、第２連通通路３４を通過するエアの流れ方向をダンパ室３１の内部から外部の一方向のみにする一方向弁３５が設けられている。可動子１５が開弁方向へ移動する際は、第２連通通路３４が一方向弁３５によって開かれて可動子１５は素早く開弁方向へ移動し、開弁遅れによる空燃比のズレを防ぐ。逆に、可動子１５が閉弁方向へ移動する際は、一方向弁３５が第２連通通路３４を閉じるため、ダンパ抵抗手段３３により可動子１５は緩やかに閉弁方向へ移動して、閉弁時の異音や脈動の発生を抑える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、流体の切替や調圧を行うバルブ装置に関するものであり、特にバルブ装置における可動子の移動速度の制御技術に関する。

（従来技術）
バルブ装置は、可動子（ムービングコア、バルブ、あるいはバルブ一体型のムービングコア等）を軸方向あるいは回転方向に変位させることで、流体の切替や調圧を行うものであり、その一例としてＯＦＦ時に流体通路を閉鎖するノーマリ・クローズ（Ｎ／Ｃ）の電磁弁を用いて説明する。
この種の電磁弁は、ＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替えられると、リターンスプリング等の付勢力（閉弁力）により可動子が閉弁方向に駆動されて、バルブが流体通路（例えば、パージ通路など）を閉塞する。
このような電磁弁において、バルブ閉弁時の動きが急であると、流体通路内の圧力急変によって脈動が発生したり、異音が発生するなどの原因になる。
具体的な例を図２中、実線Ｊ１を用いて説明すると、電磁弁がＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替えられ、バルブ閉弁時の動きが急であると、バルブがバルブシートに強く衝突して異音が生じたり、バルブがジャンピングを発生して流体通路に脈動が生じたりする不具合が発生する。

上記の不具合を解決する技術として、可動子の動きを緩やかにする技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
この特許文献１に開示される電磁弁の要部概略を、図１（ａ）、（ａ’）を参照して説明する。なお、符号は、理解補助のために後述する実施例１と共通符号を付す。
この電磁弁は、カップ形状に設けられた可動子（例えば、ムービングコア）１５と、この可動子１５を収容する可動子収容部材（例えば、ステータ）２５との間にダンパ室３１が形成される。このダンパ室３１は、可動子１５の軸方向変位に伴って容積が変動する。そして、このダンパ室３１の内部は、可動子１５と可動子収容部材２５との間のクリアランス（第１連通通路３２の一例）を介してダンパ室３１の外部と連通しており、可動子１５が変位する際は、クリアランス（第１連通通路３２）に流体（例えば、エア）が流れてダンパ室３１の容積が変動する。
そして、特許文献１に開示される電磁弁は、可動子１５と可動子収容部材２５との間のクリアランスに、切欠溝や小孔等によるオリフィス穴１０１が形成されたシールパッキン１００（ダンパ抵抗手段の一例）を設けることで、可動子１５の動きを緩やかにする技術である。

（従来技術の問題点）
上記特許文献１に開示された技術は、可動子１５の動きを緩やかにする技術であり、開弁時も閉弁時も可動子１５の動きが緩やかになる。
このため、図２中、実線Ｊ２に示されるように、開弁時の開弁応答性も悪化してしまう。
具体的な不具合の一例を説明すると、特許文献１に開示された技術を適用した電磁弁を、パージバルブ（パージ流量制御弁）に用いた場合、電磁弁をパージ燃料濃度に応じて開弁させても、応答遅れ（開弁遅れ）の間、内燃機関（以下、エンジン）の燃焼室に供給される空燃比が、目標空燃比に対してズレてしまい、エミッション不良を起こす要因になる。

即ち、上記に示した電磁弁に限らず、従来のバルブ装置では、可動子が開閉弁方向に素早く動くタイプ（実線Ｊ１参照）を用いると、閉弁時に異音や脈動などの不具合が生じる。また、可動子が開閉弁方向に緩やかに動くタイプ（実線Ｊ２参照）を用いると、開弁時に応答遅れが生じる。
特開平９−１００９３３号公報

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、開閉弁方向の一方では応答性に優れ、開閉弁方向の他方では可動子の移動が緩やかなバルブ装置の提供にある。

［請求項１の手段］
請求項１の手段を採用するバルブ装置は、ダンパ室の内部と外部を連通可能な第１連通通路に、流体に対して流通抵抗を与えるダンパ抵抗手段を設けるとともに、ダンパ室の内部と外部を連通可能な第２連通通路に、流体の流れ方向を一方向のみにする一方向弁を設けるものである。
可動子が開閉弁方向の「一方」に移動する際は、一方向弁によって流通抵抗の小さい第２連通通路に流体が流れる。このため、ダンパ室が素早く容積変動することができ、可動子は素早く移動できる。即ち、可動子が開閉弁方向の「一方」に移動する際は、可動子の応答性が優れる。
逆に、可動子が開閉弁方向の「他方」に移動する際は、一方向弁によって第２連通通路に流体が流れない。このため、ダンパ抵抗手段による流通抵抗の大きい第１連通通路を介してのみ、ダンパ室は外部と連通することになり、ダンパ室の容積変動が抑えられ、可動子は緩やかに移動する。即ち、可動子が開閉弁方向の「他方」に移動する際は、可動子の移動が緩やかになる。
このように、請求項１の手段を採用するバルブ装置は、開閉弁方向の「一方」では応答性に優れ、開閉弁方向の「他方」では可動子の移動が緩やかになり、異音の発生や脈動の発生を抑えることができる。

［請求項２の手段］
請求項２の手段を採用するバルブ装置のダンパ室は、可動子が開弁方向に移動する時に容積が減少するものであり、一方向弁は、可動子が開弁方向に移動する際に、容積が減少しようとして上昇するダンパ室内の圧力によって第２連通通路を開くものである。
このように設けられることにより、開弁方向では応答性に優れ、閉弁方向では可動子の移動が緩やかになり、異音の発生や脈動の発生を抑えることができる。

［請求項３の手段］
請求項３の手段を採用するバルブ装置の第２連通通路は、可動子に設けられるものであり、一方向弁は、可動子に取り付けられてバルブシートに着座可能な可撓性部材よりなるバルブである。
このように、バルブが一方向弁を兼ねるため、部品点数を抑え、コストの上昇を抑えることができる。

［請求項４の手段］
請求項４の手段を採用するバルブ装置の第１連通通路は、可動子と可動子収容部材とのクリアランスによって設けられるものであり、ダンパ抵抗手段は、クリアランスを小さく設けることで、当該クリアランスを通過する流体に流通抵抗を与えるものである。
このように、可動子と可動子収容部材のクリアランスによってダンパ抵抗手段が設けられるため、ダンパ抵抗手段のための部品（例えば、従来技術で示したシールパッキン等）が不要となり、部品点数を抑え、コストの上昇を抑えることができる。
また、ダンパ抵抗手段として従来技術で示したシールパッキンを用いると、シールパッキンが可動子と可動子収容部材の摺動抵抗として作用するが、シールパッキンを用いないため、一方向弁が開いて可動子が素早く動く際の可動子の移動をシールパッキンが妨げない。即ち、一方向弁が開いた際に可動子が素早く動くことができる。

［請求項５の手段］
請求項５の手段を採用するバルブ装置の駆動手段は、通電により発生する磁力によって可動子を直接あるいは間接的に駆動する電磁アクチュエータである。
即ち、請求項５のバルブ装置は、電磁弁である。

最良の形態１のバルブ装置は、（ａ）駆動手段によって駆動変位可能な可動子と、（ｂ）この可動子との間において当該可動子の変位によって容積が変化するダンパ室を形成する可動子収容部材と、（ｃ）ダンパ室の内部と外部を連通可能な第１連通通路と、（ｄ）この第１連通通路に設けられ、当該第１連通通路を通過する流体に流通抵抗を与えるダンパ抵抗手段と、（ｅ）ダンパ室の内部と外部を連通可能で、ダンパ抵抗手段の流通抵抗より小さい流通抵抗の第２連通通路と、（ｆ）この第２連通通路に設けられ、当該第２連通通路を通過する流体の流れ方向を一方向のみにする一方向弁とを備える。

本発明のバルブ装置を、パージバルブに用いられる電磁弁に適用した実施例１を説明する。なお、この実施例１では、先ず「電磁弁の基本構造」を説明し、その後で「実施例１の特徴」を説明する。

〔電磁弁の基本構造〕
電磁弁の基本構造を図４、図５を参照して説明する。
自動車には、図５に示すように、燃料タンク１で気化した燃料を吸着して保持するキャニスタ２が設けられている。このキャニスタ２は、大気導入通路３を介して大気が導入可能に設けられている。また、キャニスタ２は、パージ通路（流体通路の一例）４を介して吸気管５の負圧発生部分（スロットルバルブ６の下流）に接続されている。
そして、エンジンの運転中に、大気導入通路３に設けられた大気解放弁７を開いて、外部からキャニスタ２内に空気を導入するとともに、パージ通路４に設けられた電磁弁（パージバルブ）８を開いて、キャニスタ２内に保持された気化燃料を吸気管５へ導くように設けられている。図５中、符号９、１０はフィルタである。

パージバルブとして用いられる電磁弁８は、通電されるとパージ通路４の上流と下流を連通させるノーマリ・クローズ（Ｎ／Ｃ）タイプであり、パージ通路４の上流側（キャニスタ２側）に接続される導入通路１１が形成された上流側ケース１２と、パージ通路４の下流側（吸気管５側）に接続される排出通路１３が形成された下流側ケース１４とを、軸方向（可動子１５の移動方向）に結合してなる。
導入通路１１と排出通路１３は、上流側ケース１２と下流側ケース１４の間の弁室１６を介して連通可能なものであり、弁室１６内まで伸びて形成された排出通路１３の端部が、可動子１５に取り付けられたゴム製（可撓性部材）よりなるバルブ１７によって開閉されることで、パージ通路４の開閉を成す。即ち、排出通路１３の図４左端部がバルブシート１８（バルブ１７が着座する部分）を成すものであり、バルブ１７がバルブシート１８に着座することでパージ通路４の連通が遮断（閉弁動作）され、バルブ１７がバルブシート１８から離座することでパージ通路４が連通（開弁動作）されるものである。
なお、下流側ケース１４における弁室１６の内部には、フィルタ９が取り付けられており、導入通路１１から導かれた気体燃料は、フィルタ９を通過して排出通路１３の開口周囲に導かれるようになっている。

次に、バルブ１７をバルブシート１８に着座あるいは離座させる電磁アクチュエータ２１を説明する。
電磁アクチュエータ２１は、バルブ１７が取り付けられた可動子１５を軸方向へ変位させることで、可動子１５に取り付けられたバルブ１７をバルブシート１８に着座あるいは離座させるものであり、可動子１５の他に、コイル２２、リターンスプリング２３、ヨーク２４、ステータ２５、コネクタ２６等を備える。なお、コイル２２、ヨーク２４、ステータ２５および後述するコネクタ端子２６ａは、上流側ケース１２を成す樹脂によってモールドされたものである。

コイル２２は、通電されると磁力を発生して、可動子１５と磁気固定子（ヨーク２４とステータ２５）を通る磁束ループを形成させるものであり、樹脂性のボビン２２ａの周囲に、絶縁被覆が施された導線（エナメル線等）を多数巻回したものである。

可動子１５は、図４右側の端が閉塞された円筒部１５ａを備えるカップ形状を呈するムービングコアであり、磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）よりなる。この可動子１５は、外周面がステータ２５の内周面と直接摺動する。
この可動子１５において、円筒部１５ａの端部において閉塞部１５ｂを成す円盤部の中心には、バルブ１７の一部を貫通して取り付けるためのバルブ取付穴１５ｃが形成されている。なお、このバルブ取付穴１５ｃは、バルブ１７を取り付けることで、バルブ１７によって完全に閉塞される。

リターンスプリング２３は、可動子１５を閉弁方向（図４右方向）へ付勢する圧縮コイルスプリングであり、可動子１５の内部に配されたバルブ１７と、ステータ２５の内側に延長して設けられたスプリング保持部２７との間で、圧縮された状態で配置される。
なお、スプリング保持部２７は、上流側ケース１２を成す樹脂によって形成されたものであり、バルブ１７がバルブシート１８から離座する離座量が所定量に達すると、スプリング保持部２７の図４の右側の端が、可動子１５の内部に挿入されたバルブ１７に当接して、バルブ１７の最大離座量を決定するように設けられている。

ヨーク２４は、図４からは読み取ることができないが、コイル２２の外周を覆う略カップ形状を呈した磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）である。
具体的に、ヨーク２４は、コイル２２の外周を覆う筒状ヨーク（図示しない）と、内周に後述する磁気吸引ステータ２５ｃが挿入されて磁気吸引ステータ２５ｃと磁気的に結合する環状ヨークとからなる。

ステータ２５は、略円筒形状を呈した磁性体金属（例えば、鉄などの強磁性材料）であり、フランジ部２５ａ、摺動ステータ２５ｂおよび磁気吸引ステータ２５ｃから構成される。
フランジ部２５ａは、外周において筒状ヨークと磁気的に結合されるものであり、リング円盤形状を呈する。
摺動ステータ２５ｂは、可動子１５の周囲を覆って可動子１５を軸方向に摺動自在に支持するとともに、可動子１５と径方向の磁気の受け渡しを行うものである。
磁気吸引ステータ２５ｃは、可動子１５と軸方向に対向して、可動子１５を磁気吸引する磁気吸引部であり、可動子１５と磁気吸引ステータ２５ｃとの軸方向間には磁気吸引ギャップが形成される。
フランジ部２５ａ、摺動ステータ２５ｂおよび磁気吸引ステータ２５ｃは、一体に設けられたものであり、摺動ステータ２５ｂと磁気吸引ステータ２５ｃは、磁気遮断溝（磁気抵抗が大きくなる部分）２５ｄによって磁気的に遮断されている。

コネクタ２６は、電磁弁８を開閉制御する電子制御装置（図示しない）と接続線を介して電気的な接続を行う接続手段であり、その内部にはコイル２２の両端にそれぞれ接続されるコネクタ端子２６ａが配置されている。
なお、電子制御装置は、キャニスタ２内に保持された気化燃料の濃度を算出するとともに、エンジンの運転状態から電磁弁８を開弁した際にパージ通路４を流れる流量を算出して、電磁弁８を開弁した際に吸気管５に導かれるパージ燃料を算出するパージ燃料算出手段を備え、電磁弁８を開弁した際に、インジェクタ（燃料噴射弁）から噴射される燃料の噴射量を補正して、空燃比をエンジンの運転状態に適した目標空燃比に保つように設けられている。

次に、上記構成よりなる電磁弁８の基本動作を説明する。
電子制御装置により、電磁弁８（具体的には電磁アクチュエータ２１のコイル２２）がＯＮされると、可動子１５が磁気吸引ステータ２５ｃに磁気吸引されて、リターンスプリング２３の付勢力に抗して可動子１５が図４左側（開弁方向）へ移動する。その結果、可動子１５に取り付けられたバルブ１７も開弁方向へ移動し、バルブ１７がバルブシート１８（排出通路１３の端部）から離座する。これによって、導入通路１１と排出通路１３が連通して、パージ通路４が開かれ、キャニスタ２に保持されていた気化燃料が吸気管５内の負圧により吸引される。

電子制御装置により、電磁弁８がＯＦＦされると、コイル２２の発生していた磁力が喪失するため、リターンスプリング２３の付勢力によって可動子１５が図４右側（閉弁方向）へ移動する。その結果、可動子１５に取り付けられていたバルブ１７も閉弁方向へ移動し、バルブ１７がバルブシート１８に着座する。これによって、導入通路１１と排出通路１３が遮断（パージ通路４が遮断）されて、キャニスタ２に保持されていた気化燃料は吸気管５内に吸引されなくなる。

〔実施例１の特徴〕
（背景技術１）
電磁弁８は、上述したように、ＯＮされると可動子１５が開弁方向へ移動してパージ通路４を開き、ＯＦＦされると閉弁方向へ移動してパージ通路４を遮断するものである。
パージバルブとして用いられる電磁弁８は、気化燃料の漏れを確実に防止するために、リターンスプリング２３の付勢力が強く設定されている。
このため、電磁弁８がＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替えられる閉弁時に、図２中、実線Ｊ１に示すように、バルブ１７がバルブシート１８に強く衝突して異音が生じたり、バルブ１７がジャンピングを発生してパージ通路４に脈動が生じたりする不具合が発生する。

（特徴技術１）
そこで、この実施例１では、閉弁時における可動子１５の動きを緩やかにするために、次の技術を採用している。
可動子１５は、上述したように、円筒部１５ａと閉塞部１５ｂからなるカップ形状を呈するものであり、図１（ｂ）、（ｂ’）の概略図に示すように、カップ形状を呈する可動子１５と、この可動子１５を収容するステータ２５（可動子収容部材に相当する）との間にダンパ室３１が形成される。
このダンパ室３１は、可動子１５の軸方向変位に伴って容積が変動する。具体的には、可動子１５が開弁方向へ移動する際に容積が減少し、可動子１５が閉弁方向へ移動する際に容積が増大するものであり、ダンパ室３１の内部と外部との連通を阻止すると、容積変動が阻止されることになるため、可動子１５の軸方向変位が阻止される。

電磁弁８は、ダンパ室３１の内部と外部を連通可能な第１連通通路３２を備える。実施例１における第１連通通路３２は、可動子１５とステータ２５の間のクリアランスであり、可動子１５が変位する際は、クリアランスにエア（流体の一例）が流れることでダンパ室３１の容積が変動する。
電磁弁８は、第１連通通路３２（クリアランス）を通過するエアに流通抵抗を与えるダンパ抵抗手段３３を備える。実施例１におけるダンパ抵抗手段３３は、第１連通通路３２を成すクリアランスを小さく設けることで、クリアランスを通過するエアに流通抵抗を与えるものである。

このように、可動子１５とステータ２５のクリアランスによってダンパ抵抗手段３３が設けられるため、ダンパ抵抗手段３３のための部品（例えば、従来技術で示したシールパッキン１００等）が不要となり、部品点数を抑え、コストの上昇を抑えることができる。 また、ダンパ抵抗手段３３として従来技術で示したシールパッキン１００を用いると、シールパッキン１００が可動子１５とステータ２５の摺動抵抗として作用するが、シールパッキン１００を用いないため、後述する一方向弁３５が開いて可動子１５が素早く動く際の可動子１５の移動をシールパッキン１００が妨げない。即ち、一方向弁３５が開いた際に可動子１５が素早く動くことができる。

この特徴技術１に示すように、クリアランスを小さく設けて、クリアランスを通過するエアに流通抵抗を与えることで、可動子１５の動きを緩やかにすることができ、電磁弁８がＯＮ状態からＯＦＦ状態に切り替えらる閉弁時に、バルブ１７がバルブシート１８に強く衝突するのを防ぐことができる。この結果、閉弁時においてバルブ１７がジャンピングしたり、パージ通路４に脈動が生じる不具合を回避することができる。

（背景技術２）
上記特徴技術１の技術だけでは、閉弁時とともに、開弁時も可動子１５の動きが緩やかになってしまう。このため、図２中、実線Ｊ２に示されるように、開弁時の開弁応答性も悪化してしまう。
すると、電子制御装置が、電磁弁８をパージ燃料濃度に応じて開弁させても、応答遅れの間、エンジンの燃焼室に供給される空燃比が、目標空燃比に対してズレてしまい、エミッション不良を起こす要因になる。

（特徴技術２）
そこで、この実施例１では、可動子１５の動きを閉弁時は緩やかにしたままで、開弁時のみ可動子１５の動きを速めるために、次の技術を採用している。
電磁弁８は、図１（ｂ）、（ｂ’）の概略図に示すように、ダンパ室３１の内部と外部を連通可能で、且つダンパ抵抗手段３３による流通抵抗より小さい流通抵抗の第２連通通路３４を備える。実施例１の第２連通通路３４は、可動子１５の閉塞部１５ｂに設けられたものであり、閉塞部１５ｂには、カップ形状を呈する可動子１５の内部と外部とを連通し、連通面積が第１連通通路３２を成すクリアランスの面積より大きい穴が第２連通通路３４として形成されている。なお、この第２連通通路３４は、後述するように、可動子１５の外側のバルブ１７によって閉塞される位置に形成されている。

電磁弁８は、第２連通通路３４を通過するエアの流れ方向を一方向のみにする一方向弁３５を備える。ここで、ダンパ室３１は、上述したように、可動子１５が開弁方向に移動する時に容積が減少するものである。そして、実施例１の一方向弁３５は、可動子１５が開弁方向に移動する際に、容積が減少することで上昇するダンパ室３１内の圧力によって第２連通通路３４を開くものである。

具体的に、この実施例１の一方向弁３５は、可動子１５に取り付けられたゴム製（可撓性）のバルブ１７によって設けられている。即ち、バルブシート１８に着座して、排出通路１３を閉塞するバルブ１７が、一方向弁３５を兼ねるものである。
バルブ１７は、図３に示すように、閉塞部１５ｂの外面（図３右面）に対向する面に、第２連通通路３４に連通する環状溝１７ａが形成されている。また、バルブ１７において閉塞部１５ｂの外面に対向する面の外周縁（環状溝１７ａの外側）１７ｂは、バルブ１７の素材の復元力によって閉塞部１５ｂに当接し、第２連通通路３４を閉塞するように設けられている。なお、閉塞部１５ｂの内側に組み付けられたバルブ１７の一部は、閉塞部１５ｂの内側から第２連通通路３４を塞がないように設けられている。
このように、バルブ１７が一方向弁３５を兼ねるため、部品点数を抑え、電磁弁８のコストの上昇を抑えることができる。

次に、一方向弁３５の作動を説明する。
可動子１５が開弁方向へ駆動されることで、ダンパ室３１の圧力が上昇すると、そのダンパ室３１の圧力上昇によって、一方向弁３５（即ち、バルブ１７の外側）がめくれ、第２連通通路３４を開く。
可動子１５が停止している状態では、バルブ１７の復元力により、一方向弁３５（即ち、バルブ１７）が第２連通通路３４を閉じる。
可動子１５が閉弁方向へ駆動されることで、ダンパ室３１の圧力が下降すると、そのダンパ室３１の圧力下降によって、一方向弁３５（即ち、バルブ１７）が強く第２連通通路３４を塞ぐ。

（実施例１の効果）
実施例１の電磁弁８は、上記のように設けられることにより、電磁弁８がＯＦＦ状態からＯＮされ、可動子１５が開弁方向へ駆動される際は、ダンパ室３１の圧力上昇によって第２連通通路３４が一方向弁３５によって開かれて、ダンパ室３１の容積が素早く減少でき、結果的に図２中、実線Ｈに示されるように、可動子１５とバルブ１７は素早く開弁方向へ移動することになり、電磁弁８の開弁応答性が向上する。
これによって、電子制御装置が、電磁弁８をパージ燃料濃度に応じて開弁させても、応答遅れが僅かになるため、エンジンの燃焼室に供給される空燃比が、目標空燃比に対してズレてエミッション不良が発生する不具合を回避することができる。

逆に、実施例１の一方向弁３５は、可動子１５が閉弁方向に移動する際は、ダンパ室３１の圧力下降によって第２連通通路３４が確実に閉じられる。このため、クリアランス（第１連通通路３２）を小さくしたことによるダンパ抵抗手段３３を介してのみ、ダンパ室３１は外部と連通することになり、閉弁時におけるダンパ室３１の容積の急激な増加が抑えられる。
これによって、図２中、実線Ｈに示されるように、可動子１５とバルブ１７は緩やかに閉弁方向へ移動することになり、閉弁時における異音の発生や脈動の発生を抑えることができる。

〔変形例〕
上記の実施例では、可動子１５とステータ２５の間のクリアランスを小さくすることでダンパ抵抗手段３３を設ける例を示したが、従来技術で示したシールパッキン１００を用いてダンパ抵抗手段３３としても良い。
上記の実施例では、パージ通路４を開閉するバルブ装置（実施例では電磁弁８）に本発明を適用する例を示したが、パージ通路４とは異なる他の流体通路（気体の通路であっても、液体の通路であっても良い）の開閉を行うバルブ装置に本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、開弁方向では応答性に優れ、閉弁方向では可動子１５の移動が緩やかになるバルブ装置（実施例では電磁弁８）を例に示したが、一方向弁３５の開き方向を逆にして、閉弁方向では応答性に優れ、開弁方向では可動子１５の移動が緩やかになるバルブ装置としても良い。

上記の実施例では、ノーマリ・クローズ（Ｎ／Ｃ）タイプのバルブ装置（実施例では電磁弁８）に本発明を適用する例を示したが、ノーマリ・オープン（Ｎ／Ｏ）タイプのバルブ装置に本発明を適用しても良い。
上記の実施例では、可動子１５が軸方向に移動して流体通路（実施例ではパージ通路４）を開閉するバルブ装置（実施例では電磁弁８）に本発明を適用したが、可動子１５が回動方向へ移動して流体通路を開閉するバルブ装置に本発明を適用しても良い。

電磁弁の要部概略図である。 入力信号に対するバルブの動きを説明するタイムチャートである。 電磁弁の要部断面図である。 電磁弁の断面図である。 パージシステムの概略図である。

符号の説明

８ 電磁弁（バルブ装置）
１５ 可動子
１７ バルブ
１８ バルブシート
２１ 電磁アクチュエータ（駆動手段）
２５ ステータ（可動子収容部材）
３１ ダンパ室
３２ 第１連通通路（クリアランス）
３３ ダンパ抵抗手段
３４ 第２連通通路
３５ 一方向弁

Claims (5)

1. （ａ）駆動手段によって駆動変位可能な可動子と、
   （ｂ）この可動子との間において当該可動子の変位によって容積が変化するダンパ室を形成する可動子収容部材と、
   （ｃ）前記ダンパ室の内部と外部を連通可能な第１連通通路と、
   （ｄ）この第１連通通路に設けられ、当該第１連通通路を通過する流体に流通抵抗を与えるダンパ抵抗手段と、
   （ｅ）前記ダンパ室の内部と外部を連通可能で、前記ダンパ抵抗手段の流通抵抗より小さい流通抵抗の第２連通通路と、
   （ｆ）この第２連通通路に設けられ、当該第２連通通路を通過する流体の流れ方向を一方向のみにする一方向弁と、
   を備えるバルブ装置。
2. 請求項１に記載のバルブ装置において、
   前記ダンパ室は、前記可動子が開弁方向に移動する時に容積が減少するものであり、
   前記一方向弁は、前記可動子が開弁方向に移動する際に、容積が減少しようとして上昇する前記ダンパ室内の圧力によって前記第２連通通路を開くことを特徴とするバルブ装置。
3. 請求項１または請求項２に記載のバルブ装置において、
   前記第２連通通路は、前記可動子に設けられるものであり、
   前記一方向弁は、前記可動子に取り付けられてバルブシートに着座可能な可撓性部材よりなるバルブによって設けられることを特徴とするバルブ装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれかに記載のバルブ装置において、
   前記第１連通通路は、前記可動子と前記可動子収容部材とのクリアランスによって設けられるものであり、
   前記ダンパ抵抗手段は、前記クリアランスを小さく設けることで、当該クリアランスを通過する流体に流通抵抗を与えることを特徴とするバルブ装置。
5. 請求項１〜請求項４のいずれかに記載のバルブ装置において、
   前記駆動手段は、通電により発生する磁力によって前記可動子を直接あるいは間接的に駆動する電磁アクチュエータであることを特徴とするバルブ装置。
   

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