JP4335697B2

JP4335697B2 - 油静圧直動案内装置

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Publication number: JP4335697B2
Application number: JP2004000845A
Authority: JP
Inventors: 一雄小林; 悦男藤田
Original assignee: Okamoto Machine Tool Works Ltd
Current assignee: Okamoto Machine Tool Works Ltd
Priority date: 2004-01-06
Filing date: 2004-01-06
Publication date: 2009-09-30
Anticipated expiration: 2024-01-06
Also published as: US20050147332A1; US7101080B2; JP2005195072A

Description

本発明は、工作機械のワ−クテ−ブルや砥石台スライダ−に利用される油静圧直動案内装置の改良に関し、特に高い剛性を有するとともに、滑走時に横触れが極めて小さい油静圧直動案内装置を提供するものである。

円筒研削盤、カム研削盤、クランクシャフト研削盤、ダイサ−、ＮＣ旋盤等の工作機械に利用されるワ−クテ−ブルや工具を載せるスライダ−として油静圧直動案内装置が使用されている。この油静圧直動案内装置は、一対のレ−ル部分を上面に有するガイド本体と、滑走面に油ポケットを有するスライド本体とからなる静圧直動案内装置であり、ボ−ルネジ駆動あるいは油圧駆動されるもので、種々の構造の油静圧直動案内装置が提案されている。

例えば、ベッドの上面に左右対称に３条の突起体を設けて２条のレ−ル用凹部を設け、この左右の突起体の上面に一対の当て板を内方に向けて前記２条の凹部上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ルと第二凹部レ−ルを設けたガイド本体と、
テ−ブル下面の中央部に突起体を前記ガイド本体に設けられた中央の突起体に対向して設け、この突起体の下面に一対の当て板をそれぞれ第一凹部レ−ルと第二凹部レ−ル内に納まるように敷設したスライド本体とからなり、テ−ブル下面の左右とガイド本体の左右の当て板上面とで第一摺動面を、スライド本体の左右の当て板の上面とガイド本体の当て板の下面とで第二摺動面を、スライド本体の突起体の左右側面とガイド本体の当て板の内側面とで第三摺動面を、スライド本体の当て板内側面とガイド本体の中央突起体の側面とで第四摺動面を、スライド本体の当て板外側面とガイド本体の左右突起体の内側面とで第五摺動面を設け、前記スライド本体の第一摺動面を形成するテ−ブルの下面に油ポケットを、第二摺動面を形成する当て板の上面に油ポケットを、第四摺動面を形成する第一および第二当て板の内側面に油ポケットを適宜な位置に設け、かつ、第一摺動面および第二摺動面の静圧部分をきさげ加工した静圧直動案内装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

また、両側面部にスライド凹溝部を形成し且つこれらのスライド凹溝部の上、下面部および端面部に配管と配管出口に油ポケット部を形成したスライド本体と、このスライド本体の両方の前記スライド凹溝部にガイド当て板を挿入して前記スライド本体を摺動可能に保持したガイド本体とからなり、前記油ポケット部への油供給ラインを４系統とした静圧直動案内装置が提案されている（例えば、特許文献２参照。）。

更に、矩形の断面を備え、ベッドの両側面に沿ってベッドの上面および側面から張り出す様に形成され、該ベッド上面に一対のレ−ル部分を上面に有するガイド本体と、テ−ブル下面に左右対称に３対の突起体を設け、その左右の突起体の下面に当て板を前記ベッドの矩形段部空洞部分に向けて張り出したスライド本体とから成り、スライド本体の一対のレ−ル上面とテ−ブル下面の左右でとで第一摺動面を、スライド本体の一対の当て板の上面とスライド本体の左右のレ−ル下面とで第二摺動面を、スライド本体の一対の当て板下面とガイド本体の矩形の段部下面とで第三摺動面を、スライド本体の中央突起体の側面とガイド本体の一対のレ−ル内側面とで第四摺動面を、スライド本体の左右の突起体内側面とガイド本体の一対のレ−ル外側面とで第五摺動面を、スライド本体の左右の当て板内側面とガイド本体の矩形段部の外側面とで第六摺動面を設け、前記スライド本体の第一摺動面を形成するテ−ブルの下面に油ポケットを、第二摺動面を形成する当て板の上面に油ポケットを、第三摺動面を形成する当て板の下面に油ポケットを、第四摺動面を形成するガイド本体の中央突起体側面に油ポケットを適宜な位置に設けた静圧直動案内装置が提案されている（例えば、特許文献３参照。）。

各油ポケットには、油圧ポンプからコントロ−ラに送り込まれる潤滑油の圧力・流量を静圧絞り弁で前記静圧油ポケット部の圧力が５〜５０バ−ル、好ましくは１０〜２２バ−ルとなるように調整し、静圧油ポケット部に接続ポ−ト、フィルタ、および配管を経由して供給され、スライド本体の浮上を最大２０μｍとし、ガイド本体とスライド本体の摺動面の隙間（ギャップ）が個々の油静圧ポケット部でのギャップが、スライド本体の滑走時、４〜１０μｍとなるように調整している。かかる静圧絞り弁およびポ−ト部を多数備えるコントロ−ラは、ドイツのションフェルド（Schonfeld GmbH）社よりPM-Flow Controllerの商品名で市販されており、このコントロ−ラはスライド本体の側壁に取り付ける構造となっており、その構造の原理は、特許明細書に記載されている（例えば、特許文献４参照。）。
特開昭６３−７４５３６号公報特開平７−２９９６８４号公報特開２０００−７４０６５号公報米国特許第６２７６４９１号明細書

機械加工されるワ−クの寸法が大きくなると、スライド本体のランド長さや幅も大きくなり、スライド本体の重量は増大する。また、工具も大型化し、スライド本体に懸かる工具重量も増大する。特許文献１および２に記載の静圧直動案内装置と比較して特許文献３に記載の静圧直動案内装置は、より多くの摺動面をスライド本体が有し、機械加工時の上下方向の剛性も高いのでより精密度が要求される大型のワ−クの加工機械の静圧直動案内装置として適している。

本発明は、ガイド本体の一対の凹部レ−ル内を滑走するスライド本体の脚部となる当て板をクロ−ズド構造とし、滑走時に塵埃が摺動面に侵入し難い構造とするとともに、機械加工時の上下方向の剛性および左右方向の剛性を従来のものより高めた静圧直動案内装置を提供することを目的とする。

請求項１の発明は、一対のレ−ル部分（１３ａ，１３ｃ）を上面に有するガイド本体１と、油圧ポンプ（８３）により供給される油を圧力・流量静圧弁を複数備えるコントローラ（８０）を介して滑走面に設けた油ポケット(４１,４１,４２，４２，４３，４３，４４，４４)に供給される油ポケットを有するスライド本体２とからなる静圧直動案内装置（５０）であって、
前記ガイド本体（１）は、ベッド（１１）の上面に左右対称に４条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を設け、内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の上面途中に当て板（１４ａ，１４ｂ）を外方に向けて前記第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第二凹部レ−ル（１３ｃ）を設けたガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体（１）に設けられた外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ａ）の外側面に対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より内側に向けてガイド本体１の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第一突起体（１２ａ）、第四突起体（１２ｄ）の上面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１，３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３，３３）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の内側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）を提供するものである。

請求項２の発明は、一対のレ−ル部分（１３ａ，１３ｃ）を上面に有するガイド本体（１）と、油圧ポンプ（８３）により供給される油を圧力・流量静圧弁を複数備えるコントローラ（８０）を介して滑走面に設けた油ポケット(４１,４１,４２，４２，４３，４３，４４，４４)に供給される油ポケットを有するスライド本体（２）とからなる静圧直動案内装置（５０）であって、
前記ガイド本体（１）は、ベッド（１１）の上面に左右対称に４条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を設け、外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当て板（１４ａ，１４ｂ）を内方に向けて前記第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第二凹部レ−ル（１３ｃ）を設けたガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の上面に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面に外側面が対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より外側に向けてガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第二突起体（１２ｂ）、第三突起体（１２ｃ）の上面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向当接する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３）を形成する第一および第二突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）を提供するものである。

ガイド本体１の一対の凹部レ−ル１３ａ，１３ｂ内を滑走するスライド本体２の脚部となる当て板２３ａ，２３ｂをクロ−ズド（閉鎖）構造としたので、滑走時に塵埃が凹部レ−ル１３ａ，１３ｂの摺動面に侵入し難い。また、ガイド本体１の一対の当て板１４ａ，１４ｂがスライド本体２の脚部となる当て板２３ａ，２３ｂの浮上を抑制するのでテ−ブル２１は傾斜が抑制される。スライド本体側面の第一摺動面および第二摺動面に静圧油ポケットを設けているので当て板２３ａ，２３ｂに対して上下方向に作用する力がバランスし、また、スライド本体側面の第三摺動面および第四摺動面にも静圧油ポケットを設けているので当て板２３ａ，２３ｂに対して左右方向に作用する力がバランスし、静圧ギャップの変動が２〜６μｍと極めて小さくなる。

（実施例）
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１は、工具搭載用の静圧直動案内装置の斜視図で、ガイド本体と、スライド本体はわざと離間して描いており、ボ−ルネジは仮想線で描いている。図２は静圧直動案内装置の正面断面図、図３はスライド本体を下面方向から見た平面図、図４はスライド本体の内側側面断面図で、図３においてＩ−Ｉ切断線側から見た図である。図５はスライド本体の側面図スライド本体の内側側面図、図６はスライド本体を図４においてＩＩ−ＩＩ切断線側から見た図である。図７はワ−ク搭載用の静圧直動案内装置の斜視図で、ガイド本体と、スライド本体はわざと離間して描いている。図８は静圧直動案内装置の正面断面図、図９はスライド本体を下面方向から見た平面図、図１０はスライド本体の内側側面断面図で、図８においてＹ−Ｙ切断線側から見た図である。図１１はスライド本体の側面図スライド本体の内側側面図、および図１２はスライド本体を図８においてＸ−Ｘ切断線側から見た図である。

図１乃至図６に示す工具搭載用静圧直動案内装置５０は、一対のレ−ル部分１３ａ，１３ｃを上面に有するガイド本体１と、滑走面に油ポケットを有するスライド本体２とからなる静圧直動案内装置５０であって、
前記ガイド本体１は、ベッド１１の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、内側の突起体１２ｂ，１２ｃの上面途中に当て板１４ａ，１４ｂを外方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第二凹部レ−ル１３ｃを設けたガイド本体１であり、
スライド本体２は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１に設けられた外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ａの外側面に対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より内側に向けてガイド本体１の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２であり、
前記ガイド本体１の第一突起体１２ａ、第四突起体１２ｄの上面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの内側面とスライド本体２の当て板２３ａの右側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの左側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２の第一摺動面３１，３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの内側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置５０であり、スライド本体２は、幅２０５ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ２９５０ｍｍ、高さ５５ｍｍ、ガイド本体１は、幅２０５ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ３９７０ｍｍ、高さ６４ｍｍの寸法を有する。

スライド本体２の下面には、仮想線で示したボ−ルネジ７０を中央に有する螺合体６０が取り付けられる。ボ−ルネジ７０は、図示されていないサ−ボモ−タの駆動を受けて回転し、テ−ブル２１を前後に移動させる。スライド本体２の後面には、ドイツのションフェルド（Schonfeld GmbH）社の圧力・流量制御弁を複数備えるＰＭコントロ−ラ（商品名）８０が備えられ、配管８１を通して各々の油ポケット４１，４２，４３，４４に潤滑油が供給される。油ポケットの先には静圧パッド８２が設けられている。
図１において、Ｍはモ−タ、８３は油圧ポンプ、８４は圧力計、８５はレリ−フ弁、８６は弁圧弁である。

スライド本体２の各摺動面に設けられる油ポケットの位置、および数は、スライド本体２がガイド本体１上を滑走する際に、油ポケットに供給された潤滑油がスライド本体２とガイド本体１の摺動面ギャップを２〜７μｍ保ち、両者が接触しないようにしている。図３に示すようにスライド本体２の第一摺動面３１，３１には４つの油ポケット４１が設けられ、油ポケットの油圧は６バ−ルに、図４に示すようにスライド本体２の第三摺動面３３，３３には各々２つの油ポケット４３が設けられ、油ポケットの油圧は１０〜２２バ−ルに、図５に示すようにスライド本体２の第四摺動面３４ａ，３４ｂには各々２つの油ポケット４４が設けられ、油ポケットの油圧は５〜１４バ−ルに、図６に示すようにスライド本体２の第二摺動面３２，３２には各々１つの油ポケット４２が設けられ、工具が搭載される側（図６で下側）には油ポケットは形成せず、油ポケット４２，４２の油圧は５〜１４バ−ルに保つようにする。因みに、ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの側面が当接する第四摺動面３４ａ，３４ｂのギャップは２〜８μｍ、第五摺動面３５，３５のギャップは４〜１０ｍｍと広い。油圧は、油ポケットのスチ−ルパイプの内孔径が４．６ｍｍのときの値である。スライド本体２の浮上は、最大で２０μｍとなるように油ポケットの位置、数を設定するのが好ましい。

潤滑油の供給量は、スライド本体の重量、寸法、潤滑油の種類、テ−ブル移動速度、設定圧により異なり、適宣０．２０〜４．５リットル／分の中から選択する。回収される油の圧力は０．８バ−ルとした。

油ポケットを設ける位置の別の態様として、前記スライド本体２の第三摺動面３３，３３に設けられた各々２つの油ポケット４３は、スライド本体の当て板２３ａ，２３ｂの側面とガイド本体の当て板１４ａ，１４ｂの側面間のギャップが２〜７μｍとなるようにスライド本体２の第四摺動面３４ａ，３４ｂに設けられた各々２つの油ポケット４４から供給される潤滑油で保つことができるなら油ポケット４３を設ける必要はない。また、ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第五摺動面３５ａ、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂのギャップを２〜８μｍとり、ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの側面が対向する面で第四摺動面３４，３４のギャップを４〜１０ｍｍと広く設定するときは、第四摺動面３４，３４に設けられる油ポケット４４は不要で、代わりに第五摺動面３５ａ，３５ｂを構成する当て板２３ａ，２３ｂの側面に油ポケットを各々２個設ける。

図７乃至図１２に示すワークテ−ブル用静圧直動案内装置５０は、一対のレ−ル部分１３ａ，１３ｃを上面に有するガイド本体１と、滑走面に油ポケットを有するスライド本体２とからなる静圧直動案内装置５０であって、
前記ガイド本体１は、ベッド１１の上面に左右対称に４条の突起体１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄを設けて３条の凹部１３ａ，１３ｂ，１３ｃを設け、外側の突起体１２ａ，１２ｄの上面に当て板１４ａ，１４ｂを内方に向けて前記第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル１３ａと第二凹部レ−ル１３ｃを設けたガイド本体１であり、
スライド本体２は、そのテ−ブル２１下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体１２ｂ，１２ｃの上面に当接するとともに、ガイド本体１に設けられた当て板１４ａ，１４ｂの内側面に外側面が対向する突起体２２ａ，２２ｂを左右対称に設け、更にその突起体２２ａ，２２ｂの下面途中より外側に向けてガイド本体１の第一凹部１３ａと第三凹部１３ｃの両側面に側面が対向する当て板２３ａ，２３ｂを敷設した段部脚構造のスライド本体２であり、
前記ガイド本体１の第二突起体１２ｂ、第三突起体１２ｃの上面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの下面が当接する面で第一摺動面３１，３１を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの下面と、スライド本体２の当て板２３ａ，２３ｂの上面が当接する面で第二摺動面３２，３２を、
前記ガイド本体１の当て板１４ａ，１４ｂの内側面と、スライド本体２の突起体２２ａ，２２ｂの外側面が対向する面で第三摺動面３３，３３を、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第二突起体１２ｂの内側面とスライド本体２の当て板２３ａの左側面が対向する面で第四摺動面３４ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第三突起体１２ｃの内側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第四摺動面３４ｂを、
前記ガイド本体１の第一凹部１３ａを形成する第一突起体１２ａの側面とスライド本体２の当て板２３ａの右側面が対向する面で第五摺動面３５ａを、および前記ガイド本体１の第三凹部１３ｃを形成する第四突起体１２ｄの側面とスライド本体２の当て板２３ｂの右側面が対向する面で第五摺動面３５ｂを設け、
前記スライド本体２の第一摺動面３１を形成する突起体２２ａ，２２ｂの下面に油ポケット４１，４１を、第二摺動面３２を形成する当て板２３ａ，２３ｂの上面に油ポケット４２，４２を、第三摺動面３３を形成する第一および第二突起体２２ａ，２２ｂの外側面に油ポケット４３，４３を、第四摺動面３４を形成する当て板２３ａ，２３ｂの外側面に油ポケット４４，４４を適宜な位置に設けて成る、静圧直動案内装置５０であり、スライド本体２は、幅８００ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ４２５０ｍｍ、高さ３３５ｍｍ、ガイド本体１は、幅１０３０ｍｍ、長手方向（進行方向）長さ８５００ｍｍ、高さ２５０ｍｍの寸法を有する。

スライド本体２の後面には、ドイツのションフェルド（Schonfeld GmbH）社の圧力・流量制御弁を複数備えるＰＭコントロ−ラ（商品名）８０が備えられ、配管８１を通して各々の油ポケット４１，４２，４３，４４に潤滑油が供給される。油ポケットの先には静圧パッド８２が設けられている。図７において、Ｍはモ−タ、８３は油圧ポンプ、８４は圧力計、８５はレリ−フ弁、８６は弁圧弁である。

スライド本体２の各摺動面に設けられる油ポケットの位置、および数は、スライド本体２がガイド本体１上を滑走する際に、油ポケットに供給された潤滑油がスライド本体２とガイド本体１の摺動面ギャップを２〜７μｍ（油圧１０〜２２バ−ル）に保ち、両者が接触しないようにしている。図９に示すようにスライド本体２の第一摺動面３１，３１には左右各々９つの油ポケット４１が設けられ、図１０に示すようにスライド本体２の第三摺動面３３，３３には各々２つの油ポケット４３が設けられ、図１１に示すようにスライド本体２の第四摺動面３４ａ，３４ｂには各々２つの油ポケット４４が設けられ、図１２に示すようにスライド本体２の第二摺動面３２，３２には左右各々９つの油ポケット４２が設けられている。

静圧直動案内装置５０のスライド本体２を駆動する動力源は、油圧シリンダ、ボ−ルネジとサ−ボモ−タの組み合わせの他に、油圧シリンダを用いても良い。

本発明の静圧直動案内装置５０は、高い剛性を有し、テ−ブルの振動が抑えられ、超精密加工を行う研削装置の静圧直動案内装置として適している。

本発明の工具搭載用静圧直動案内装置の斜視図である。静圧直動案内装置の正面断面図である。スライド本体を下面方向から見た平面図である。スライド本体の内側側面断面図で、図３においてＩ−Ｉ切断線側から見た図である。スライド本体の側面図スライド本体の内側側面図である。スライド本体を図４においてＩＩ−ＩＩ切断線側から見た図である。ワ−ク搭載用の静圧直動案内装置の斜視図である。静圧直動案内装置の正面断面図である。スライド本体を下面方向から見た平面図である。スライド本体の内側側面断面図で、図８においてＹ−Ｙ切断線側から見た図である。スライド本体の側面図スライド本体の内側側面図である。スライド本体を図８においてＸ−Ｘ切断線側から見た図である。

符号の説明

５０静圧直動案内装置
１ガイド本体
２スライド本体
１１ベッド
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ突起体
１３ａ，１３ｃ凹部レ−ル
板１４ａ，１４ｂ当て板
２１テ−ブル
２２ａ，２２ｂ突起体
２３ａ，２３ｂ当て板
３１，３２，３３，３４，３５摺動面
４１，４２，４３，４４油ポケット
７０ボ−ルネジ
８０ＰＭコントロ−ラ

Claims

一対のレ−ル部分（１３ａ，１３ｃ）を上面に有するガイド本体１と、油圧ポンプ（８３）により供給される油を圧力・流量静圧弁を複数備えるコントローラ（８０）を介して滑走面に設けた油ポケット(４１,４１,４２，４２，４３，４３，４４，４４)に供給される油ポケットを有するスライド本体２とからなる静圧直動案内装置（５０）であって、
前記ガイド本体（１）は、ベッド（１１）の上面に左右対称に４条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を設け、内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の上面途中に当て板（１４ａ，１４ｂ）を外方に向けて前記第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第二凹部レ−ル（１３ｃ）を設けたガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体（１）に設けられた外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ａ）の外側面に対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より内側に向けてガイド本体１の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第一突起体（１２ａ）、第四突起体（１２ｄ）の上面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１，３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３，３３）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の内側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）。
一対のレ−ル部分（１３ａ，１３ｃ）を上面に有するガイド本体（１）と、油圧ポンプ（８３）により供給される油を圧力・流量静圧弁を複数備えるコントローラ（８０）を介して滑走面に設けた油ポケット(４１,４１,４２，４２，４３，４３，４４，４４)に供給される油ポケットを有するスライド本体（２）とからなる静圧直動案内装置（５０）であって、
前記ガイド本体（１）は、ベッド（１１）の上面に左右対称に４条の突起体（１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ）を設けて３条の凹部（１３ａ，１３ｂ，１３ｃ）を設け、外側の突起体（１２ａ，１２ｄ）の上面に当て板（１４ａ，１４ｂ）を内方に向けて前記第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の上方一部を塞ぐように敷設して第一凹部レ−ル（１３ａ）と第二凹部レ−ル（１３ｃ）を設けたガイド本体（１）であり、
スライド本体（２）は、そのテ−ブル（２１）下面に前記ガイド本体１に設けられた内側の突起体（１２ｂ，１２ｃ）の上面に当接するとともに、ガイド本体（１）に設けられた当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面に外側面が対向する突起体（２２ａ，２２ｂ）を左右対称に設け、更にその突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面途中より外側に向けてガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）と第三凹部（１３ｃ）の両側面に側面が対向する当て板（２３ａ，２３ｂ）を敷設した段部脚構造のスライド本体（２）であり、
前記ガイド本体（１）の第二突起体（１２ｂ）、第三突起体（１２ｃ）の上面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面が当接する面で第一摺動面（３１，３１）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の下面と、スライド本体（２）の当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面が当接する面で第二摺動面（３２，３２）を、
前記ガイド本体（１）の当て板（１４ａ，１４ｂ）の内側面と、スライド本体（２）の突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面が対向する面で第三摺動面（３３，３３）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第二突起体（１２ｂ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の左側面が対向する面で第四摺動面（３４ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第三突起体（１２ｃ）の内側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第四摺動面（３４ｂ）を、
前記ガイド本体（１）の第一凹部（１３ａ）を形成する第一突起体（１２ａ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ａ）の右側面が対向当接する面で第五摺動面（３５ａ）を、および前記ガイド本体（１）の第三凹部（１３ｃ）を形成する第四突起体（１２ｄ）の側面とスライド本体（２）の当て板（２３ｂ）の右側面が対向する面で第五摺動面（３５ｂ）を設け、
前記スライド本体（２）の第一摺動面（３１）を形成する突起体（２２ａ，２２ｂ）の下面に油ポケット（４１，４１）を、第二摺動面（３２）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の上面に油ポケット（４２，４２）を、第三摺動面（３３）を形成する第一および第二突起体（２２ａ，２２ｂ）の外側面に油ポケット（４３，４３）を、第四摺動面（３４）を形成する当て板（２３ａ，２３ｂ）の外側面に油ポケット（４４，４４）を適宜な位置に設けて成る、
静圧直動案内装置（５０）。