TWI696767B - 液靜壓軸承總成 - Google Patents

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Abstract

液靜壓軸承總成包括一軸承及兩薄膜節流器。軸承適於 可移動地配置在滑軌上，且包括兩子軸承部，對向地配置在該滑軌的相對兩側。兩薄膜節流器適於連接於泵。泵適於供應一流體經兩薄膜節流器流至兩子軸承部與滑軌之間，各個薄膜節流器包括一殼體及一節流薄膜片。殼體與對應的子軸承部的至少一者包括一腔室、連通於腔室的一入口與一出口、以及一出口平面，其中泵適於連接於入口，滑軌適於配置於出口旁。節流薄膜片位於腔室內，覆蓋在出口平面上。

Description

液靜壓軸承總成
本揭露是有關於一種軸承總成，且特別是有關於一種液靜壓軸承總成。
為了使滑動或轉動的機械結構在運作時能得到較好的穩定性、高剛性以及好的抗震能力，薄膜補償式液靜壓軸承的技術被導入以達到上述的目的，一般完整的薄膜補償式液靜壓軸承模組包含流體供應系統(泵)、軸承及薄膜節流器三部分。外部流體供應系統所供應具有一定壓力的流體經薄膜節流器輸送到軸承鄰接於滑軌面的流體腔中，於軸承與滑軌間形成流體膜，隔開相互接觸之滑動軸承面，實現液靜壓潤滑(hydrostatic lubrication)效果。而為了更進一步提高精度，進而導入了薄膜補償式對向墊液靜壓軸承。然而，習知的技術並未對薄膜補償式對向墊液靜壓軸承中，兩相配對的薄膜補償式液靜壓模組的配對結構參數進行進一步的研究。
薄膜補償式對向墊液靜壓軸承中的兩薄膜節流器構型與尺寸上的不同將改變其節流特性，進而影響腔室壓力的調節效 果，在薄膜補償式對向墊液靜壓軸承的性能設計上有很大的影響。要如何使薄膜補償式對向墊液靜壓軸承中的薄膜節流器具有良好的表現是本領域亟欲探討的方向。
本揭露之一實施例提供一種液靜壓軸承總成，針對薄膜補償式對向墊液靜壓軸承的設計進行優化而使薄膜補償式對向墊液靜壓軸承中的薄膜節流器具有良好的表現。
本揭露一實施例的液靜壓軸承總成適於連接於一泵且適於配置在一滑軌上，其中泵適於供應一流體。液靜壓軸承總成包括一軸承及兩薄膜節流器。軸承適於可移動地配置在滑軌上，且包括兩子軸承部，對向地配置在該滑軌的相對兩側。兩薄膜節流器適於連接於泵，泵適於供應一流體經兩薄膜節流器流至兩子軸承部與滑軌之間，各個薄膜節流器包括一殼體及一節流薄膜片。殼體與對應的子軸承部的至少一者包括一腔室、連通於腔室的一入口與一出口、以及一出口平面，其中泵適於連接於入口，滑軌配置於出口旁。節流薄膜片位於腔室內，覆蓋在出口平面上。
綜上所述，根據本揭露實施例的液靜壓軸承總成，其具有配置在滑軌相對兩側的兩薄膜節流器。對向配置的兩薄膜節流器使得液靜壓軸承總成整體的剛性表現更佳，能夠承受更大的負載。
為讓本揭露能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所 附圖式作詳細說明如下。
10、10a、10b:液靜壓軸承總成
20、20b:泵
30、30a、30b:滑軌
31、31a:上表面
32、32a:下表面
33a:轉軸
40:流體膜
100:軸承
110:子軸承部
111:流體腔
120:薄膜節流器
120a、120b:液靜壓軸承模組
121:殼體
122:節流薄膜片
123:腔室
124:入口
125:出口
126:出口平面
127:凸出部
128:底表面
A:軸線方向
A-A’:剖面線
h:厚度
Kr*、Kr1*、Kr2*:無因次剛性
L0:距離
α:等效面積比
λ:設計節流比
圖1是依照本發明的一實施例的一種液靜壓軸承總成的示意圖。
圖2A與圖2B分別是依照本發明的實施例的液靜壓軸承總成中的兩液靜壓軸承模組配置示意圖。
圖3為圖2A的液靜壓軸承模組的放大示意圖。
圖4至圖11分別是圖2A的液靜壓軸承總成中的兩對向配置的薄膜節流器120在Kr1*以及Kr2*(兩液靜壓軸承模組其中一無因次剛性為Kr1*，另一為Kr2*)分別為1.33、1.5、2.0的所有配對組合中，設計節流比λ為0.1、0.25、0.35、1.0時，子軸承部110的無因次負載W/Aeps與實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0的關係圖。
圖12為是圖2A的液靜壓軸承總成中的兩個薄膜節流器的設計節流比λ=0.25且節流薄膜片的無因次剛性Kr1*=Kr2*=1.33時，α為0.5、1.0、2.0，以及只有由單一個薄膜節流器所形成的單一個流體膜的液靜壓軸承模組配置在滑軌上而其設計節流比λ=0.25且節流薄膜片的無因次剛性Kr*=1.33時，子軸承部110的無因次負載W/Aeps與實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0的關係圖。
圖13是依照本發明的另一實施例的液靜壓軸承總成的示意 圖。
圖14A是依照本發明的又一實施例的液靜壓軸承總成的示意圖。
圖14B是圖14A沿剖面線A-A’所示出的本發明的又一實施例的液靜壓軸承總成的剖面示意圖。
圖1是依照本發明的一實施例的一種液靜壓軸承總成的示意圖。圖2A與圖2B分別是依照本發明的實施例的液靜壓軸承總成中的兩液靜壓軸承模組配置示意圖。請參閱圖1、圖2A以及圖2B，本實施例的液靜壓軸承總成10適於連接於一泵20(繪示於圖2A與圖2B)及一滑軌30。液靜壓軸承總成10包括了一軸承100及兩薄膜節流器120。在本實施例中，軸承100例如是一U型軸承，軸承100的兩子軸承部110對向地配置於滑軌30的相對兩側。在圖1中，示意性地繪示了部分的液靜壓軸承總成10與滑軌30，液靜壓軸承總成10為線性運動形式的對向墊液靜壓軸承總成，配置在沿一軸線方向A延伸的滑軌30的一上表面31與一下表面32，且相對於滑軌30進行線性運動。然而，在後續將描述的其他實施例中，液靜壓軸承總成的運動形式並不以此為限。
值得一提的是，本實施例的軸承100的薄膜節流器120與子軸承部110是整合在一起的而共同形成液靜壓軸承模組，且 可運動地配置於滑軌30，薄膜節流器120可拆卸地配置滑軌30上。在圖2A的實施例中，各薄膜節流器120包括一殼體121，其中該殼體121可與對應的子軸承部110共同形成薄膜節流器120的腔室123。在圖2B的實施例中，薄膜節流器120的腔室123由殼體121直接形成，子軸承部110具有一穿孔，殼體121位於穿孔內，且子軸承部110環繞殼體121緊湊地設置。習知的薄膜節流器由於體積較大，只能設置於軸承之外而難以與軸承一併整合為滑塊。縱使欲將薄膜節流器與軸承整合在一起，薄膜節流器的設計參數也非等比例縮小就能夠達到好的表現。因此本實施例將薄膜節流器120與子軸承部110整合，並同時提出相關的設計參數，以確保本實施例的液靜壓軸承總成10縮小體積同時也給予良好的剛性表現。同時由於本實施例的薄膜節流器120為可拆卸式的，因此更方便地能夠搭配設計需求更換參數合適的薄膜節流器。
圖3為圖2A的液靜壓軸承模組的放大示意圖。請參閱圖2A、圖2B以及圖3，各薄膜節流器120還包括一節流薄膜片122、連通於腔室123的一入口124與一出口125、一出口平面126、一凸出部127以及一底表面128。而泵20適於連接於入口124，滑軌30適於配置於出口125旁。凸出部127朝向節流薄膜片122凸出，且出口125貫穿凸出部127。節流薄膜片122位於腔室123內而將腔室123隔成上下兩部分，且上下部分在左方連通。節流薄膜片122位於腔室123內，並覆蓋在出口平面126上。在圖3中可看到，出口平面126是圍繞出口125的凸出部127的朝向節 流薄膜片122的內表面，且出口平面126比其兩側的底表面128更靠近節流薄膜片122。於入口124未供應流體的情況，節流薄膜片122與出口平面126之間的距離為L0，距離L0可說是殼體121在靠近出口125的凸出部127與節流薄膜片122的距離，又稱組裝間隙(assembling clearance)。當入口124有實際供應流體的情況，腔室123的上半部的壓力合力將始終大於下半部的壓力合力，且由於節流薄膜片122可撓，節流薄膜片122將有一個向下凸的預變形x0，亦即節流薄膜片122與出口平面126之間的距離將為L0-x0(小於距離L0)。
須要說明的是，在圖3中，只是示意性地表示流體是如何經過薄膜節流器120流向軸承100與滑軌30之間，而將薄膜節流器120繪示於滑軌30的上方，但實際上薄膜節流器120與子軸承部110的相對位置並不限制，只要薄膜節流器120與子軸承部110有管路供流體流動即可。
以下將針對單一子軸承部110與滑軌30的結構與運作方式進行描述。
在本實施例中，泵20適於供應一流體(例如是潤滑油或水)經薄膜節流器120流至子軸承部110的流體腔111與滑軌30之間，以在子軸承部110的流體腔111與滑軌30之間形成一流體膜40，而有效降低子軸承部110相對於滑軌30滑動時的摩擦，如此，子軸承部110能夠輕易且順暢地相對於滑軌30滑動。更明確地說，泵20所供應的流體(下面稱潤滑油)的流體路徑為，從殼體121 的入口124進入薄膜節流器120，從腔室123的上半部流到腔室123的下半部，潤滑油會經過薄膜122與出口平面126之間，由出口125離開薄膜節流器120而流向子軸承部110，進入子軸承部110的流體腔111並在子軸承部110與滑軌30之間形成流體膜40。
一般而言，子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40需要維持在一定的厚度，但由於子軸承部110上會承載其他物件(未繪示)，當子軸承部110受外力負載時可能導致子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40的厚度h改變，例如，當子軸承部110所承受較大的負載時，子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40的厚度h下降，而使得子軸承部110的流體腔腔111與腔室123的下半部的壓力提升，節流薄膜片122下凸程度變少，節流薄膜片122與出口平面126之間的距離變大(也就是大於距離L0-X0)，而使得流體較容易通過而流出薄膜節流器120並流向子軸承部110，以拉大子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40的厚度h。
同樣地，當子軸承部110所承受較小的負載時，子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40的厚度h上升，而使得子軸承部110的流體腔111與腔室123的下半部的壓力下降，節流薄膜片122對應向下凸的程度變多，節流薄膜片122與出口平面126之間的距離縮短(也就是小於距離L0-X0)，而使得流體較難通過，流出薄膜節流器120的流體量下降，以降低子軸承部110與滑軌30之間的流體膜40的厚度h。
也就是說，由於薄膜節流器120的節流薄膜片122可對 應的變形而改變流體流經薄膜節流器120的流阻與流量，進而達到反饋的效果。當然，除了節流薄膜片122之外，薄膜節流器120還有其他的參數也相當重要，這些參數可使子軸承部110能夠具有良好的剛性，而在即便是承載物件時也能使子軸承部110與滑軌30之間維持一定的流體膜的厚度。在本實施例中，液靜壓軸承總成10為對向墊液靜壓軸承總成，兩薄膜節流器120藉由特定的參數設計，可有效使兩子軸承部110與滑軌30之間維持一定的流體膜40的厚度h。也就是，對向墊形式的液靜壓軸承總成10的軸承100的子軸承部110在承受大的負載量時，仍能維持所欲的流體膜40的厚度h。
請參考圖1與圖3在本實施例中，為使兩子軸承部110能穩定地提供承受負載，兩子軸承部110的兩流體腔111投影在滑軌30的上表面31或下表面32時至少會產生部分的重疊。更佳的是，由圖2A與圖2B可見，在滑軌30對向配置的兩薄膜節流器120的兩出口125位於同一條直線上。藉由上述的配置方式，使得液靜壓軸承總成10更能提供良好的承載平衡與高剛性。
值得一提的是，為了避免在研究液靜壓軸承總成10時，由於單位不同而造成數值上的差異，子軸承部110的負載下面將以無因次的方式呈現，子軸承部110的無因次負載為W/Aeps，其中W為子軸承部110的負載，Ae為軸承的等效面積，ps為泵20所供應的液壓。同樣地，為了避免單位不同而造成數值上的差異，以實際流體膜高度h/預設流體膜高度h0的比值表示。需說明的 是，h0是預設值所以在圖中未標示。同樣的，為了避免單位不同並正規化薄膜節流器120的設計參數，薄膜節流器120的設計節流比λ、薄膜節流器120內的節流薄膜片122的無因次剛性(dimensionless stiffness)Kr*是本實施例中首先要探討的。其中設計節流比λ=Rri/R0，Rri為節流薄膜片122與出口平面126之間的距離為L0時，流體流經出口平面126的流阻，也就是說，當節流薄膜片122的腔室123上部的壓力等於下方出口125壓力時，流體流經出口平面126的流阻；也可說是，在組裝間隙下，出口平面126的等效流阻。由於出口平面126流阻遠大於薄膜節流器120內部其他管路的流阻，故可視為薄膜節流器120流阻。R0為流體流經子軸承部110的預設流阻，其與流體膜40的厚度h的三次方成反比。另外，無因次剛性(dimensionless stiffness)Kr*可由Kr*=KrL0/(psAr)所定義。Kr為節流薄膜片122的剛性係數。ps為泵20所供應的液壓，又稱供應壓力(supply pressure)。Ar為出口平面126的等效面積(effective area)。
以下將針對本實施例的不同參數設定進一步說明。
在本實施例中，將上下兩軸承100中的薄膜節流器120的設計節流比λ相同，且兩薄膜節流器120內的兩薄膜122的無因次剛性分別以Kr1*以及Kr2*表示。圖4至圖11分別是圖2A的液靜壓軸承總成中的兩對向配置的薄膜節流器120在Kr1*以及Kr2*(兩液靜壓軸承模組中，上液靜壓軸承模組的薄膜節流器無因次剛性為Kr1*，下液靜壓軸承模組的薄膜節流器無因次剛性為Kr2*) 分別為1.33、1.5、2.0的所有配對組合中，設計節流比λ為0.1、0.25、0.35、1.0時，子軸承部110的無因次負載W/Aeps與實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0的關係圖。子軸承部110的無因次負載W/Aeps為1時代表軸承的最大負載量，子軸承部110的無因次負載W/Aeps為-1時代表軸承的大拉伸量。在本實施例中，實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0在1附近時，代表液靜壓軸承總成10能很好的控制流體膜40的厚度，使液靜壓軸承總成10保持在一穩定的高度。因此，子軸承部110的無因次負載W/Aeps(橫軸)若能在愈大的範圍使實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0(縱軸)保持在1附近，代表此設計參數具有愈良好的表現。
請參閱圖4至圖11，可以看出，相較於設計節流比λ=1.0或設計節流比λ=0.1，當設計節流比λ=0.25及設計節流比λ=0.35，無因次負載W/Aeps(橫軸)能有更大的範圍能使得實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0(縱軸)保持在1附近的一固定範圍內，也就是說，設計節流比λ的範圍在0.25≦λ≦0.35有良好的表現，而提供液靜壓軸承總成10良好的剛性。此外，薄膜節流器120的無因次剛性Kr1*以及Kr2*的範圍，以1.33≦(Kr1*,Kr2*)≦2為佳，本實施例據此而採用了Kr1*以及Kr2*分別為1.33、1.5、2.0的所有配對組合。
最佳的，由圖4可見，當薄膜節流器120的設計節流比λ=0.25且節流薄膜片122的無因次剛性Kr1*=Kr2*=1.33時，子軸承部110的無因次負載W/Aeps在-0.5至0.5之間能使實際流體膜 厚度h/預設流體膜厚度h0(縱軸)接近於1，具有最佳的剛性表現。換句話說，在本實施例中，將液靜壓軸承總成10中的兩對向配置的薄膜節流器120設計為設計節流比λ為0.25，且兩薄膜節流器120的兩節流薄膜片122的無因次剛性Kr*皆為1.33，能夠使子軸承部110與滑軌30之間維持一定的流體膜的厚度，並提供軸承100的子軸承部110最佳的剛性。
在本揭露另外提出了兩對向配置的該子軸承部110的等效面積比α，其中等效面積比α=Ae1/Ae2，Ae1為兩對向配置的子軸承部110其中一者的等效面積，Ae2為兩對向配置的子軸承部110另一個的等效面積。圖12為是圖2A的液靜壓軸承總成中的兩個薄膜節流器的設計節流比λ=0.25且節流薄膜片的無因次剛性Kr1*=Kr2*=1.33時，等效面積比α為0.5、1.0、2.0，以及只有由單一個薄膜節流器所形成的單一個流體膜的液靜壓軸承模組配置在滑軌上而其設計節流比λ=0.25且節流薄膜片的無因次剛性Kr*=1.33時，子軸承部110的無因次負載W/Aeps與實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0的關係圖(其中Ae代表Ae1)。請參閱圖12，當等效面積比α為0.5、1.0、2.0，兩對向配置的該軸承100的子軸承部110的無因次負載W/Aeps相較於只有單一個薄膜節流器而形成一個流體膜的液靜壓軸承模組的軸承的無因次負載W/Aeps能使得實際流體膜厚度h/預設流體膜厚度h0(縱軸)具有較大的範圍保持在1附近的固定範圍內。換句話說，在本實施例中液靜壓軸承總成10的兩對向配置的軸承100等效面積比α的範圍在0.5≦ α≦2時，能夠得到一較佳的剛性。
當然，依據上面的設計參數所設計出的液靜壓軸承總成10的種類並不以圖1為限制。圖13是依照本發明的另一實施例的液靜壓軸承總成的示意圖。請參閱圖13，本實施例中的液靜壓軸承總成10a為旋轉運動形式的對向墊液靜壓軸承，滑軌30a為圓盤狀且以圓盤的中心軸為軸心轉動，所述的液靜壓軸承總成10a的多個液靜壓軸承模組120a對向地配置在圓盤狀的該滑軌30a的一上表面31a與一下表面32a，其中這些液靜壓軸承模組120a等角度地配置在圓盤狀的滑軌30a的周緣上，且這些液靜壓軸承模組120a適於同時連接至泵(未示出)。該滑軌30a相對該液靜壓軸承總成10a轉動，且滑軌30a更包括了位於圓心且凸出於上表面31a與下表面32a的一轉軸33a。這些液靜壓軸承模組120a以轉軸33a為中心，沿著放射狀的方向配置在圓盤狀的滑軌30a上。轉軸33a與滑軌30a同步地相對於液靜壓軸承總成10a轉動。液靜壓軸承總成10a所承受的負載能以任何形式施加在延伸的轉軸33a上，例如以轉軸33a做為風扇的轉軸。所述的液靜壓軸承總成10a在承受負載時仍能提供與滑軌30a相對轉動時的穩定度與順暢。
液靜壓軸承模組120a可以採用不等角度的方式配置在圓盤狀的滑軌30a的周緣上。當然，這些液靜壓軸承模組120a也可以採用等角度的方式配置於圓盤狀的滑軌30a的周緣上能提供更佳的穩定性。另外，多個液靜壓軸承模組120a暴露出滑軌30a的部分使得流體的供給更佳順暢。
圖14A是依照本發明的又一實施例的液靜壓軸承總成的示意圖。圖14B是圖14A沿剖面線A-A’示出的本發明的又一實施例的液靜壓軸承總成的剖面示意圖。請參閱圖14A與圖14B，本實施例中的液靜壓軸承總成10b為軸頸式的對向墊液靜壓軸承總成，配置在圓柱狀的滑軌30b的周緣上，且滑軌30b沿著圓柱的中心軸相對液靜壓軸承總成10b轉動。各液靜壓軸承模組120b的子軸承部等角度地配置在圓柱狀的滑軌30b的周緣上，並且連接至同一泵20b。同時各液靜壓軸承模組120b的子軸承部環繞且包覆圓柱狀的滑軌。上述的配置方式使滑軌30b在轉動時受力均勻，並減少晃動的可能而提高了液靜壓軸承總成10b的穩定性。本揭露僅另外例示性地提出旋轉運動形式以及軸頸式的滑軌，然而，液靜壓軸承總成的與滑軌之間的運動模式並不以此為限。
綜上所述，本揭露的液靜壓軸承總成中的兩個對向配置的薄膜節流器在設計節流比λ的範圍為0.25≦λ≦0.35時，能夠使軸承與滑軌之間維持一定的流體膜厚度，而提供良好的軸承剛性。此外，藉由將對向地配置的兩薄膜節流器的節流薄膜片的無因次剛性Kr1*以及Kr2*限定在1.33≦Kr*≦2的範圍之內，且兩薄膜節流器的設計節流比λ的範圍為0.25≦λ≦0.35時，會有更好的軸承剛性，例如是設計節流比λ=0.25，Kr*=1.33。另外，兩對向配置的子軸承部的等效面積比α的範圍在0.5≦α≦2時，能夠確保對向墊形式的液靜壓軸承模組提供良好的效果。進一步而言，本揭露的液靜壓軸承總成可參考本揭露所提出的參數而適用 於多種類的滑軌並依其形狀進形適應性的調整。
雖然本揭露已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本揭露，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本揭露的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本揭露的保護範圍當視後附的申請專利範圍及其均等範圍所界定者為準。
10:液靜壓軸承總成
20:泵
30:滑軌
31:上表面
32:下表面
100:軸承
110:子軸承部
120:薄膜節流器
121:殼體
122:節流薄膜片
123:腔室
124:入口
125:出口
126:出口平面
127:凸出部
128:底表面

Claims (20)

  1. 一種液靜壓軸承總成，連接於一泵且配置在一滑軌上，其中該泵供應一流體，該液靜壓軸承總成包括：一軸承，可移動地配置在該滑軌上，且包括兩子軸承部，對向地配置在該滑軌的相對兩側；以及兩薄膜節流器，連接於該泵，其中該泵供應該流體經該兩薄膜節流器流至該兩子軸承部與該滑軌之間，各該薄膜節流器包括：一殼體，該殼體與對應的該子軸承部的至少一者包括一腔室及連通於該腔室的一入口與一出口、以及一出口平面，其中該泵連接於該入口，該滑軌配置於該出口旁，以及一節流薄膜片，位於該腔室內，覆蓋在該出口平面上，其中該兩子軸承部的等效面積比為α，且0.5≦α≦2，其中α=Ae1/Ae2，Ae1為該兩子軸承部其中一者的等效面積，Ae2為該子軸承部的另一者的等效面積。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該殼體與對應的該子軸承部共同形成該腔室。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該殼體形成該腔室，該子軸承部具有一穿孔，該殼體位於該穿孔內。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該兩子軸承部分別包括兩流體腔，該兩子軸承部的該兩流體腔投影至該滑軌的一上表面或一下表面時產生至少部分重疊。
  5. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中其中一個該薄膜節流器的該出口與另一個該薄膜節流器的該出口位於一直線上。
  6. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該薄膜節流器具有朝向該節流薄膜片凸出的一凸出部，該出口貫穿該凸出部，該出口平面形成於該凸出部上，該出口平面與該節流薄膜片的距離小於該殼體內環繞於該凸出部的一底表面與該節流薄膜片的距離。
  7. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該薄膜節流器的設計節流比為λ，0.1≦λ≦1.0，其中λ=Rri/R0，Rri為該節流薄膜片與該出口平面之間的距離為L0時，該流體流經該出口平面的流阻，且R0為該流體流經該軸承的預設流阻。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的液靜壓軸承總成，其中該薄膜節流器的設計節流比0.25≦λ≦0.35。
  9. 如申請專利範圍第7項所述的液靜壓軸承總成，其中該薄膜節流器的設計節流比λ=0.25。
  10. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該節流薄膜片的無因次剛性(dimensionless stiffness)為Kr*，且1.33≦Kr*≦2，其中Kr*=KrL0/(psAr)，Kr為該節流薄膜片的剛性，L0為該泵未啟動時該節流薄膜片與該出口平面之間的距離，又稱節流薄膜片組裝間隙，ps為該泵所供應的液壓，Ar為該出口平面的等效面積(effective area)。
  11. 如申請專利範圍第10項所述的液靜壓軸承總成，其中該薄膜節流器的無因次剛性Kr*=1.33。
  12. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該兩子軸承部的等效面積比α=1。
  13. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成為線性運動形式的對向墊液靜壓軸承總成，適於配置在沿一軸線方向延伸的該滑軌的一上表面與一下表面，且適於相對於該滑軌進行線性運動。
  14. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成為旋轉運動形式的對向墊液靜壓軸承總成，適於配置在圓盤狀的該滑軌的一上表面與一下表面，且該滑軌適於相對該液靜壓軸承總成轉動。
  15. 如申請專利範圍第14項所述的液靜壓軸承總成，其中圓盤狀的該滑軌包括位於圓心且凸出於該上表面與該下表面的至少一者的一轉軸，該液靜壓軸承總成包括多個液靜壓軸承模組，該些液靜壓軸承模組以該轉軸為中心，沿著放射狀的方向配置在圓盤狀的該滑軌上。
  16. 如申請專利範圍第14項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成包括多個液靜壓軸承模組，等角度地配置在圓盤狀的該滑軌的周緣上，且該些液靜壓軸承模組適於連接至該泵。
  17. 如申請專利範圍第14項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成包括多個液靜壓軸承模組不等角度地配置在圓盤狀的該滑軌的周緣上。
  18. 如申請專利範圍第1項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成為軸頸式的對向墊液靜壓軸承總成，適於配置在圓柱狀的該滑軌的周緣上，且該滑軌適於相對該液靜壓軸承總成轉動。
  19. 如申請專利範圍第18項所述的液靜壓軸承總成，其中該液靜壓軸承總成包括多個液靜壓軸承模組，該些液靜壓軸承模組的該些子軸承部等角度地配置在圓柱狀的該滑軌的周緣上，且該些液靜壓軸承模組適於同時連接至該泵。
  20. 如申請專利範圍第18項所述的液靜壓軸承總成，其中該些子軸承部環繞且包覆圓柱狀的該滑軌周緣。
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