TWI760810B - 雙薄膜節流器 - Google Patents

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Abstract

一種雙薄膜節流器，適於連接供油裝置、負載裝置以及回收裝置。雙薄膜節流器包括殼體、第一薄膜以及第二薄膜。殼體具有連接供油裝置的第一通道、第一腔室、第二腔室、連接負載裝置的第二通道以及連接回收裝置的第三通道。第一薄膜設置於第一腔室內，其中第一腔室由第一薄膜劃分為第一上腔室與第一下腔室，且第一通道連接第一上腔室。第二薄膜設置於第二腔室內，其中第二腔室由第二薄膜劃分為第二上腔室與第二下腔室，且第二上腔室連接第一下腔室與第二通道。第二下腔室連接第二通道與第三通道。

Description

雙薄膜節流器
本發明是有關於一種節流器，且特別是有關於雙薄膜節流器。
液靜壓軸承(hydrostatic bearing)、液靜壓滑塊(hydrostatic slide block)、液靜壓滑軌(hydrostatic slide)以及液靜壓轉盤(hydrostatic rotary table)具有低摩擦阻力、低磨損、高精度以及工作壽命長等優勢，故廣泛應用於加工機台、工具機或其他機械設備。
以液靜壓軸承為例，其由外部供油裝置將潤滑油輸送至軸承內部並形成油膜，以藉助油壓使軸浮起。隨著軸承的負載變化，軸承內部的油量與油壓必須進行相應的調節，故於外部供油裝置與軸承之間設有節流器。常見的節流器包括毛細管節流器、小孔節流器、滑閥節流器以及薄膜節流器，以現有的薄膜節流器為例，大多採用單一薄膜設計。當軸承處於低負載區間時，單薄膜節流器較難對軸承內部的油量與油壓進行有效的調節，導致軸承的偏移量過大並影響到軸承的性能表現。
本發明提供一種雙薄膜節流器，其能因應負載裝置的負載變化對負載裝置內部的油量與油壓進行有效的調節，以提升負載裝置的性能表現。
本發明提出一種雙薄膜節流器，適於連接供油裝置、負載裝置以及回收裝置。雙薄膜節流器包括殼體、第一薄膜以及第二薄膜。殼體具有第一通道、第一腔室、第二腔室、第二通道以及第三通道。第一通道連接供油裝置。第二通道連接負載裝置。第三通道連接回收裝置。第一薄膜設置於第一腔室內，其中第一腔室由第一薄膜劃分為相連通的第一上腔室與第一下腔室，且第一通道連接第一上腔室。第二薄膜設置於第二腔室內，其中第二腔室由第二薄膜劃分為相連通的第二上腔室與第二下腔室，且第二上腔室連接第一下腔室與第二通道。第二下腔室連接第二通道與第三通道。
在本發明的一實施例中，上述的殼體還具有第四通道與第五通道，且第四通道連接第一上腔室與第一下腔室。第五通道連接第二通道與第二下腔室。
在本發明的一實施例中，上述的第四通道位於第一上腔室與第一下腔室之間，且第五通道位於第二通道與第二下腔室之間。
在本發明的一實施例中，上述的殼體還具有第六通道，且第六通道連接第一下腔室與第二上腔室。
在本發明的一實施例中，上述的第六通道位於第一下腔室與第二上腔室之間。
在本發明的一實施例中，上述的殼體包括第一凸台與第二凸台。第一凸台位於第一下腔室內，且凸向第一薄膜。第二凸台位於第二下腔室內，且凸向第二薄膜，其中第六通道貫穿第一凸台，且第三通道貫穿第二凸台。
在本發明的一實施例中，上述的第一凸台與第一薄膜之間維持第一間隙，且第二凸台與第二薄膜之間維持第二間隙。當第一下腔室與第二上腔室的壓力上升時，第一間隙加大，且第二間隙縮減。當第一下腔室與第二上腔室的壓力下降時，第一間隙縮減，且第二間隙加大。
在本發明的一實施例中，上述的殼體包括第一殼部、第二殼部以及第三殼部，且第二殼部設置於第一殼部與第三殼部之間。第一薄膜夾持於第一殼部與第二殼部之間，且第一殼部具有第一上腔室，其中第二殼部具有第一下腔室、第二通道以及第二上腔室，且第一凸台凸出於第二殼部。第二薄膜夾持於第二殼部與第三殼部之間，其中第三殼部具有第二下腔室與第三通道，且第二凸台凸出於第三殼部。
在本發明的一實施例中，上述的第一通道貫穿第三殼部、第二殼部以及第一殼部。
基於上述，本發明的雙薄膜節流器採用雙薄膜設計，當負載裝置的負載產生變化時，第一薄膜與第二薄膜產生變形，以調節輸入至負載裝置內部的油量，同時調節負載裝置內部的油壓。換句話說，因應負載裝置的負載變化，雙薄膜節流器可維持負載裝置內部所需的油膜厚度，避免負載裝置產生過大的偏移量，以提升負載裝置的性能表現。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
圖1是本發明一實施例的雙薄膜節流器、供油裝置、負載裝置以及回收裝置的剖面示意圖。圖2是本發明一實施例的雙薄膜節流器的立體剖面示意圖。請參考圖1與圖2，在本實施例中，雙薄膜節流器100可應用於液靜壓軸承、液靜壓滑塊、液靜壓滑軌、液靜壓轉盤或其他液靜壓機械設備。詳細而言，雙薄膜節流器100適於連接供油裝置10、負載裝置20以及回收裝置30，其中供油裝置10可為供油泵，且用以提供潤滑油。雙薄膜節流器100用以接收供油裝置10所提供的潤滑油，並因應負載裝置20的負載變化調節輸入至負載裝置20內部的油量及回收至回收裝置30的油量。舉例來說，負載裝置20可為軸承、滑軌、滑塊、轉盤或其他運動機構，其中回收裝置30可為油箱，用以回收未輸入至負載裝置20內部的潤滑油，以達到再利用的目的。
雙薄膜節流器100包括殼體110、第一薄膜120以及第二薄膜130，其中第一薄膜120與第二薄膜130並列設置於殼體110內，且由彈性材料製成，故具有受壓產生變形的能力。詳細而言，殼體110為中空結構，且具有第一通道111、第一腔室112、第二腔室113、第二通道114以及第三通道115，以作為潤滑油的輸送路徑及儲存空間。
第一薄膜120設置於第一腔室112內，且第二薄膜130設置於第二腔室113內。在一實施例中，第一腔室112與第二腔室113採用上下配置。在另一實施例中，第一腔室112與第二腔室113採用左右配置。需說明的是，本發明對於第一腔室112與第二腔室113的相對位置不加以限制。
進一步來說，第一薄膜120將第一腔室112劃分為相連通的第一上腔室112a與第一下腔室112b，且第二薄膜130將第二腔室113劃分為相連通的第二上腔室113a與第二下腔室113b。在一實施例中，第一腔室112與第二腔室113採用上下配置，故第一上腔室112a、第一下腔室112b、第二上腔室113a以及第二下腔室113b由上至下依序排列。在另一實施例中，第一腔室112與第二腔室113採用左右配置，故第一上腔室112a、第一下腔室112b、第二上腔室113a以及第二下腔室113b由左至右依序排列。
請參考圖1與圖2，在本實施例中，第一通道111連接供油裝置10與第一上腔室112a，以將潤滑油自供油裝置10輸送至第一上腔室112a。後續，潤滑油可自第一上腔室112a輸送至第一下腔室112b，並自第一下腔室112b輸送至第二上腔室113a。第二通道114連接第二上腔室113a與負載裝置20，以將潤滑油自第二上腔室113a輸送至負載裝置20。另一方面，第二下腔室113b連接第二通道114與第三通道115，未輸送至負載裝置20的潤滑油可自第二通道114輸送至第二下腔室113b，並自第二下腔室113b經由第三通道115輸送至回收裝置30。
詳細而言，殼體110還具有第四通道116與第五通道117，其中第四通道116位於第一上腔室112a與第一下腔室112b之間，且連接第一上腔室112a與第一下腔室112b。也就是說，第一上腔室112a透過第四通道116連接第一下腔室112b，以將潤滑油自第一上腔室112a輸送至第一下腔室112b。另一方面，第五通道117位於第二通道114與第二下腔室113b之間，且連接第二通道114與第二下腔室113b。也就是說，第二上腔室113a透過第二通道114與第五通道117連接第二下腔室113b，以將潤滑油自第二上腔室113a輸送至第二下腔室113b。
在本實施例中，殼體110還具有第六通道118，其中第六通道118位於第一下腔室112b與第二上腔室113a之間，且連接第一下腔室112b與第二上腔室113a。也就是說，第一下腔室112b透過第六通道118連接第二上腔室113a，以將潤滑油自第一下腔室112b輸送至第二上腔室113a。
另一方面，殼體110包括第一凸台1101與第二凸台1102，其中第一凸台1101位於第一下腔室112b內，且凸向第一薄膜120。第二凸台1102位於第二下腔室113b內，且凸向第二薄膜130。第六通道118貫穿第一凸台1101，以連接第一下腔室112b與第二上腔室113a。第三通道115貫穿第二凸台1102，以連接第二下腔室113b與回收裝置30。基於第一凸台1101的配置，第一下腔室112b的局部形成環繞第一凸台1101的環形溝槽，以利於輸送與儲存潤滑油。相似地，基於第二凸台1102的配置，第二下腔室113b的局部形成環繞第二凸台1102的環形溝槽，以利於輸送與儲存潤滑油。
請參考圖1與圖2，在本實施例中，第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力相同，當負載裝置20所承受的負載上升時，第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力上升。相反地，當負載裝置20所承受的負載下降時，第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力下降。基於第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力變化，第一薄膜120與第二薄膜130產生相應的變形，且第一薄膜120與第二薄膜130的變形方向互為反向。
詳細而言，第一凸台1101的頂面朝向第一薄膜120的底面，且兩者之間維持第一間隙G1。當第一薄膜120往第一上腔室112a產生變形時，第一間隙G1加大，使得第一薄膜120與第一凸台1101之間的流阻變小，以提高潤滑油自第一下腔室112b經由第六通道118輸送至第二上腔室113a的流量。相反地，當第一薄膜120往第一凸台1101(或第一下腔室112b)產生變形時，第一間隙G1縮減，使得第一薄膜120與第一凸台1101之間的流阻變大，以減少潤滑油自第一下腔室112b經由第六通道118輸送至第二上腔室113a的流量。
第二凸台1102的頂面朝向第二薄膜130的底面，且兩者之間維持第二間隙G2。當第二薄膜130往第二上腔室113a產生變形時，第二間隙G2加大，使得第二薄膜130與第二凸台1102之間的流阻變小，以提高潤滑油自第二下腔室113b經由第三通道115輸送至回收裝置30的流量。相反地，當第二薄膜130往第二凸台1102(或第二下腔室113b)產生變形時，第二間隙G2縮減，使得第二薄膜130與第二凸台1102之間的流阻變大，以減少潤滑油自第二下腔室113b經由第三通道115輸送至回收裝置30的流量。
當負載裝置20所承受的負載上升時，第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力上升，使得第一薄膜120往第一上腔室112a產生變形，且第一間隙G1加大。相應地，第二薄膜130往第二凸台1102(或第二下腔室113b)產生變形時，且第二間隙G2縮減。據此，潤滑油自第一上腔室112a流入第一下腔室112b與第二上腔室113a的流量增加，且潤滑油自第二下腔室113b流入回收裝置30的流量減少，從而提高輸入至負載裝置20內部的油量。
當負載裝置20所承受的負載下降時，第一下腔室112b、第六通道118以及第二上腔室113a的壓力下降，使得第一薄膜120往第一凸台1101(或第一下腔室112b)產生變形，且第一間隙G1縮減。相應地，第二薄膜130往第二上腔室113a產生變形時，且第二間隙G2加大。據此，潤滑油自第一上腔室112a流入第一下腔室112b與第二上腔室113a的流量減少，且潤滑油自第二下腔室113b流入回收裝置30的流量增加，從而減少輸入至負載裝置20內部的油量。
因雙薄膜節流器100採用雙薄膜設計，當負載裝置20的負載產生變化時，第一薄膜120與第二薄膜130產生變形，以調節輸入至負載裝置20內部的油量，同時調節負載裝置20內部的油壓。換句話說，因應負載裝置20的負載變化，雙薄膜節流器100可維持負載裝置20內部所需的油膜厚度，避免負載裝置20產生過大的偏移量，以提升負載裝置20的性能表現。
請參考圖1與圖2，在本實施例中，殼體110可由第一殼部110a、第二殼部110b以及第三殼部110c組成，其中第二殼部110b設置並固定於第一殼部110a與第三殼部110c之間。另一方面，第一薄膜120夾持固定於第一殼部110a與第二殼部110b之間，且第二薄膜130夾持於第二殼部110b與第三殼部110c之間。
詳細而言，第一上腔室112a為第一殼部110a上的凹槽，且第四通道116貫穿第一殼部110a與第二殼部110b。第一下腔室112b為第二殼部110b上的凹槽，其中第一凸台1101凸出於第二殼部110b，且第六通道118貫穿第二殼部110b。第二上腔室113a相對於第一下腔室112b設置，且第二上腔室113a為第二殼部110b上的凹槽。
另一方面，第二通道114貫穿第二殼部110b，且第五通道117貫穿第二殼部110b與第三殼部110c。第二下腔室113b為第三殼部110c上的凹槽，且第二凸台1102凸出於第三殼部110c。另一方面，第四通道116與第五通道117相對於第一通道111設置，且第一通道111貫穿第三殼部110c、第二殼部110b以及第一殼部110a。
綜上所述，本發明的雙薄膜節流器採用雙薄膜設計，當負載裝置的負載產生變化時，第一薄膜與第二薄膜產生變形，以調節輸入至負載裝置內部的油量，同時調節負載裝置內部的油壓。換句話說，因應負載裝置的負載變化，雙薄膜節流器可維持負載裝置內部所需的油膜厚度，避免負載裝置產生過大的偏移量，以提升負載裝置的性能表現。
進一步來說，當負載裝置所承受的負載上升時，第一下腔室與第二上腔室的壓力上升，使第一薄膜往第一上腔室產生變形，並使第二薄膜往第二凸台(或第二下腔室)產生變形，以提高潤滑油流入第一下腔室與第二上腔室的流量，並減少潤滑油流入回收裝置的流量，從而提高輸入至負載裝置內部的油量。相反地，當負載裝置所承受的負載下降時，第一下腔室與第二上腔室的壓力下降，使第一薄膜往第一凸台(或第一下腔室)產生變形，並使第二薄膜往第二上腔室產生變形，以減少潤滑油流入第一下腔室與第二上腔室的流量，並提高潤滑油流入回收裝置的流量，從而減少輸入至負載裝置內部的油量。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
10:供油裝置 20:負載裝置 30:回收裝置 100:雙薄膜節流器 110:殼體 110a:第一殼部 110b:第二殼部 110c:第三殼部 111:第一通道 112:第一腔室 112a:第一上腔室 112b:第一下腔室 113:第二腔室 113a:第二上腔室 113b:第二下腔室 114:第二通道 115:第三通道 116:第四通道 117:第五通道 118:第六通道 1101:第一凸台 1102:第二凸台 120:第一薄膜 130:第二薄膜 G1:第一間隙 G2:第二間隙
圖1是本發明一實施例的雙薄膜節流器、供油裝置、負載裝置以及回收裝置的剖面示意圖。 圖2是本發明一實施例的雙薄膜節流器的立體剖面示意圖。
10:供油裝置 20:負載裝置 30:回收裝置 100:雙薄膜節流器 110:殼體 110a:第一殼部 110b:第二殼部 110c:第三殼部 111:第一通道 112:第一腔室 112a:第一上腔室 112b:第一下腔室 113:第二腔室 113a:第二上腔室 113b:第二下腔室 114:第二通道 115:第三通道 116:第四通道 117:第五通道 118:第六通道 1101:第一凸台 1102:第二凸台 120:第一薄膜 130:第二薄膜 G1:第一間隙 G2:第二間隙

Claims (10)

  1. 一種雙薄膜節流器，適於連接一供油裝置、一負載裝置以及一回收裝置，其中該雙薄膜節流器包括：一殼體，具有一第一通道、一第一腔室、一第二腔室、一第二通道以及一第三通道，其中該第一通道連接該供油裝置，該第二通道連接該負載裝置，且該第三通道連接該回收裝置；一第一薄膜，設置於該第一腔室內，其中該第一腔室由該第一薄膜劃分為相連通的一第一上腔室與一第一下腔室，且該第一通道連接該第一上腔室；以及一第二薄膜，設置於該第二腔室內，其中該第二腔室由該第二薄膜劃分為相連通的一第二上腔室與一第二下腔室，且該第二上腔室連接該第一下腔室與該第二通道，該第二下腔室連接該第二通道與該第三通道，其中該第一通道連接該供油裝置與該第一上腔室，以將一潤滑油自該供油裝置輸送至該第一上腔室。
  2. 如請求項1所述的雙薄膜節流器，其中該殼體還具有一第四通道與一第五通道，且該第四通道連接該第一上腔室與該第一下腔室，該第五通道連接該第二通道與該第二下腔室。
  3. 如請求項2所述的雙薄膜節流器，其中該第四通道位於該第一上腔室與該第一下腔室之間，且該第五通道位於該第二通道與該第二下腔室之間。
  4. 如請求項2所述的雙薄膜節流器，其中該殼體還具有一第六通道，且該第六通道連接該第一下腔室與該第二上腔室。
  5. 如請求項4所述的雙薄膜節流器，其中該第六通道位於該第一下腔室與該第二上腔室之間。
  6. 如請求項4所述的雙薄膜節流器，其中該殼體包括一第一凸台與一第二凸台，該第一凸台位於該第一下腔室內，且凸向該第一薄膜，該第二凸台位於該第二下腔室內，且凸向該第二薄膜，其中該第六通道貫穿該第一凸台，且該第三通道貫穿該第二凸台。
  7. 如請求項1所述的雙薄膜節流器，其中該殼體包括一第一凸台與一第二凸台，該第一凸台位於該第一下腔室內，且凸向該第一薄膜，該第二凸台位於該第二下腔室內，且凸向該第二薄膜。
  8. 如請求項7所述的雙薄膜節流器，其中該第一凸台與該第一薄膜之間維持一第一間隙，且該第二凸台與該第二薄膜之間維持一第二間隙，當該第一下腔室與該第二上腔室的壓力上升時，該第一間隙加大，且該第二間隙縮減，當該第一下腔室與該第二上腔室的壓力下降時，該第一間隙縮減，且該第二間隙加大。
  9. 如請求項7所述的雙薄膜節流器，其中該殼體包括第一殼部、第二殼部以及第三殼部，且該第二殼部設置於該第一殼 部與該第三殼部之間，該第一薄膜夾持於該第一殼部與該第二殼部之間，且該第一殼部具有該第一上腔室，其中該第二殼部具有該第一下腔室、該第二通道以及該第二上腔室，且該第一凸台凸出於該第二殼部，該第二薄膜夾持於該第二殼部與該第三殼部之間，其中該第三殼部具有該第二下腔室與該第三通道，且該第二凸台凸出於該第三殼部。
  10. 如請求項9所述的雙薄膜節流器，其中該第一通道貫穿該第三殼部、該第二殼部以及該第一殼部。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20230375394A1 (en) * 2022-05-17 2023-11-23 Avidien Technologies, Inc. Fluid dispenser volume calibration device
DE102023103853B3 (de) 2023-02-16 2024-03-21 Hiwin Technologies Corp. Membranartiger durchflussbegrenzer und hydrostatische vorrichtung mit diesem durchflussbegrenzer

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201137554A (en) * 2010-04-27 2011-11-01 Univ Chung Yuan Christian A type membrane restrictors with changeable adjustability
TW201216027A (en) * 2010-10-01 2012-04-16 Univ Chung Yuan Christian Double-membrane-type restrictor with capillary calibration
TW202020328A (zh) * 2018-11-29 2020-06-01 財團法人工業技術研究院 液靜壓軸承總成

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH492139A (fr) * 1965-11-29 1970-06-15 Mecanorga S A Dispositif pour maintenir constant le jeu entre des faces en regard de deux corps dont l'un supporte l'autre
NL143322B (nl) * 1966-06-04 1974-09-16 Philips Nv Hydrostatisch leger.
USRE28031E (en) * 1969-04-23 1974-06-04 Fluid device fob stabilizing the position of a moving element
US3697142A (en) * 1970-04-21 1972-10-10 Andre Fortier Fluid devices for stabilizing the position of a moving element
JPS4836451B1 (zh) 1970-10-30 1973-11-05 Agency Ind Science Techn
US3741231A (en) * 1972-01-12 1973-06-26 Ingersoll Milling Machine Co Fluid flow regulator for hydrostatic bearing pads
FR2410532A1 (fr) * 1977-11-30 1979-06-29 Etu Rech Machine Outil Centre Dispositif de glissiere a patins de guidage
US5064297A (en) * 1990-02-26 1991-11-12 Nippon Seiko Kabushiki Kaisha Static pressure gas bearing with throttling control valve in housing
TWI363943B (en) 2008-02-01 2012-05-11 Univ Chung Yuan Christian The replaceable type for adjusting restriction parameter of membrane restrictor
FI120409B (fi) 2008-04-23 2009-10-15 Metso Paper Inc Kuituraina- tai jälkikäsittelykoneen taipumakompensoitu tela, menetelmä taipumakompensoidun telan käyttämiseksi ja valmistamiseksi ja laite värähtelyjen vaimentamiseksi hydraulisessa paineväliaineessa
TWI391576B (zh) * 2009-05-13 2013-04-01 Ind Tech Res Inst 剛性自動補償液靜壓平面軸承裝置與方法
CN202391967U (zh) 2011-12-17 2012-08-22 河南科技大学 薄膜反馈节流器模块及静压轴承模块和主轴箱模块
CN103383295B (zh) * 2012-05-03 2015-10-21 上海大众汽车有限公司 静压支承系统全方位次级压力监控装置和方法
CN103909469B (zh) * 2014-04-25 2016-03-23 湖南大学 一种轧辊磨床砂轮主轴薄膜节流动静压轴承
JP6394370B2 (ja) * 2014-12-24 2018-09-26 株式会社ジェイテクト 可変絞り形静圧軸受
TWI641768B (zh) 2017-06-09 2018-11-21 國立清華大學 薄膜節流器及液靜壓軸承模組
CN109595373A (zh) * 2019-01-07 2019-04-09 山东大学 一种柔性铰链厚膜节流器及调节方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201137554A (en) * 2010-04-27 2011-11-01 Univ Chung Yuan Christian A type membrane restrictors with changeable adjustability
TW201216027A (en) * 2010-10-01 2012-04-16 Univ Chung Yuan Christian Double-membrane-type restrictor with capillary calibration
TW202020328A (zh) * 2018-11-29 2020-06-01 財團法人工業技術研究院 液靜壓軸承總成

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