CN101253342B - 静压型轨导引装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种静压型轨导引装置,具有一个以静压方式安装在导轨(1)上导引滑座(2),该导引滑座在朝向所述导轨(1)的侧面配有多个用于加载液压液体的压力油室(9),其中,设置一些用于调节在所述压力油室(9)内的体积流量的节流器(11)。为每个压力油室(9)设置一个作为内置式元件构建在所述导引滑座(1)上的节流器(11)。

Description

静压型轨导引装置 
技术领域
本发明涉及一种静压型轨导引装置,在这种静压型轨导引装置中,一个导引滑座以静压方式安装在一条导轨上。 
背景技术
举例而言,在US 2004/0042689A1中公开了一种静压型轨导引装置,其中,导引滑座在其朝向导轨的侧面上配有多个用于加载液压液体的压力油室(Drucktaschen)。借助一个外部供压装置经由一些进入通道持续地将润滑剂压入到压力油室内,通过这种方式使滑座和导轨的支承面总是被一个薄的润滑膜彼此隔开。由此只会出现与上述支承面的相向运动速度成比例的液体摩擦。在极限情况下,静压轴承无摩擦运转,不会出现粘滑效应(Stick-Slip-Effekt)。这类静压型轨导引装置可以实现亚微米级的高精度位置调节。 
导引滑座具有两个通过一个底部彼此相连的边脚,这两个边脚包围着导轨。导引滑座的底部和边脚上均构建有压力油室。为了在所有的压力油室内总是保证一个在上述支承面之间形成稳定润滑膜的压力,插入一些在油室压力与压力介质的流量之间建立一种可再现关联性的节流器。在US 2004/0042689A1中,这些前置节流器(Vordrosseln)通过一些在导引滑座上的特殊的轴承油室(Lagertaschen)得到。但这种类型的节流器需要对导引滑座进行非常精深的加工。 
发明内容
本发明的目的是提供一种替代型的静压型轨导引装置,其中用于提供节流装置的导引滑座的加工费用有所减小。 
根据本发明,提出一种静压型轨导引装置,具有一个以静压方式安装在一条导轨上的导引滑座,该导引滑座在朝向所述导轨的侧面上配有多个用于加载液压液体的压力油室,其中,设置一些用于调节在所述压力油室内的体积流量的节流器,其特征在于,为每个压力油室设置一个作为内置式元件构建在所述导引滑座上的节流器。通过为每个压力油室设置一个作为内置式元件构建在导引滑座上的节流器,本发明具有多个优点:其一,无需再对导引滑座进行复杂的加工,因为构建为内置式元件的节流器例如可以是外购件,它们可以插入到导引滑座上的插孔中。其二,通过本发明的静压型轨导引装置,可确保每个压力油室都能独立于其他 的压力油室地进行控制。这些例如构建为内置式元件的节流器可以在工厂交货时被调节到一定的特性曲线并且最终被安装到导引滑座内。 
这样的节流器通常由所谓的毛细管节流器或也由膜片式节流器构成。这些毛细管节流器必要时对于本发明来说是优选的,因为毛细管节流器结构较小并且可以有利的方式集成到导引滑座中。节流阀属于流量控制阀群组。这些同样适用于本发明的节流阀可作为缝隙式节流器(Schlitzdrosseln)对体积流量进行限制。这些缝隙式节流器也可以配有止回阀。此外,这些缝隙式节流器还可构建为旋入阀(Einschraubventil),这样就可将其旋入到导引滑座的螺纹孔内。 
因此,借助于本发明的静压型轨导引装置,可以实现一些配置,在这些配置中,所有的节流器都被布置在导引滑座的净空限界(Lichtraumprofil)之内。换言之就是,所述节流器全部布置在导引滑座的横截面轮廓线内。 
一种结构特别紧凑的静压型轨导引装置具有一个导引滑座,其中,一个外部压力源可以与导引滑座的一个共用的集流接口连接,其中,所有的节流器均与这个共用的集流接口连接。液压液体经由外部压力源通过集流接口流向所有的节流器并最终从各个节流器以调节的压力到达静压型轨导引装置的相应的压力油室内。 
构建为内置式元件的节流器和集流接口均可以有利的方式设置在导引滑座的头件上,这个头件可配有一些输入通道,这些输入通道一方面与集流接口相连,而另一方面分别与分别与其中一个节流器相连。可以有利的方式例如通过喷射法将这些输入通道成型在这样的用注塑法制成的头件上。作为替代方案,也可设想切削制造工艺,但该制造工艺可能费用昂贵。此外,根据具体用途,用一种其中头件与支承体连为一体的导引滑座来代替这种具有一个支承体和一个分开的头件的导引滑座,也是合理的。 
附图说明
下面借助一个以总共四幅附图示出的实施例对本发明进行说明,其中: 
图1为静压型轨导引装置的透视图; 
图2为静压型轨导引装置的横截面图; 
图3为本发明的静压型轨导引装置的工作原理图;以及 
图4为本发明的静压型轨导引装置的俯视图。 
具体实施方式
图1至图4所示的本发明的型轨导引装置包括一个以静压方式安装在一条导轨2上的导引滑座1。导轨2具有一个头部和一个底部,头部朝向导引滑座1,底部朝向一个此处未显示出的机器零件,导轨2固定在这个机器零件上。导轨2在其头部上沿型轨导引装置的纵轴配有一个中间面3。导轨2配有多个沿导轨布置的通孔4,一些在此未示出的用于将导轨固定在上述机器零件上的固定螺钉将从这些通孔中穿过。这些通孔4穿过导轨2的中间面3。 
导轨1在其头部上配有两个上支承面5和两个下支承面6。上支承面5构建为平的,它们相对于中间面3倾斜布置,其中一个上支承面5布置在中间面3的一侧,而另一个上支承面5布置在中间面3的另一纵侧。下支承面6布置在上支承面5的下方。这些下支承面6既相对于中间面3倾斜布置,又相对于上支承面5倾斜布置。 
导引滑座配有另外的上、下支承面7、8,其中,导引滑座和导轨的上、下支承面5、6、7、8彼此对应。图2对这些支承面进行了图示。 
从图2中还可看出,在导引滑座1上总共构建有四个用于上、下支承面5、6的压力油室9,这些压力油室可用液压液体加载。在静压型轨导引装置工作时,可在支承面5、6、7、8之间建立一个稳定的润滑膜。 
图4以本发明的静压型轨导引装置的俯视图的形式对其中的两个压力油室9进行了图示。从这个示意图中可以看出,导引滑座1具有一个支承体10a和一个固定在支承体端面上的头件10。头件10配有多个节流器11,在本实施例中,这些节流器构建为毛细管节流器。这些节流器11完全被集成到头件中。为每个压力油室9设置一个节流器11。这些节流器11并联连接。它们通向一个共用的集流接口12,这个集流接口布置在头件12的其中一侧。此外,在头件10内还集成一些输入通道13,这些输入通道一方面与所有的节流器11相连,而另一方面与共用的集流接口12相连。举例而言,一个油泵经由一个压力软管可与该集流接口12连接。 
图4中仅用示意图形式加以图示的带有集流接口12的头件10在图1中也有所显示。 
最后,图3显示的是压力油室9和节流器11的线路图。虚线L在此表示的是导引滑座的系统边界。该图还显示了一个通过压力软管15与集流接口12连 接的外部压力源14。此处可以清楚看出节流器11的并联。此外,还可看出一方面与总集流接口12相连而另一方面分别与其中一个节流器11相连的输入通道13的路径。节流器11最终与压力油室9连接;每个节流器11正好配备一个压力油室9。 
从图1中可以特别清楚地看出,所有的节流器11均集成在静压型轨导引装置的净空限界之内。这就意味着,可直接用DIN 645-1中所规范的型轨滚动导引装置( 
Figure S2006800293167D00041
)替换本发明的静压型轨导引装置。在此处引用的DIN 645-1中对型轨滚动导引装置的外尺寸进行了定义。本发明的静压型轨导引装置可配有相应的外尺寸。 
附图标记一览表 
1导引滑座 
2导轨 
3中间面 
4通孔 
5上支承面 
6下支承面 
7上支承面 
8下支承面 
9压力油室 
10头件 
10a支承体 
11节流器 
12集流接口 
13输入通道 
14压力源 

Claims (4)

1.一种静压型轨导引装置,具有一个以静压方式安装在一条导轨(2)上的导引滑座(1),该导引滑座在朝向所述导轨(2)的侧面上配有多个用于加载液压液体的压力油室(9),其中,设置一些用于调节在所述压力油室(9)内的体积流量的节流器(11),其中,为每个压力油室(9)设置所述节流器(11)中的一个节流器(11),该节流器作为内置式元件构建在所述导引滑座(1)上,其特征在于,所述导引滑座(1)具有一个与所有的节流器(11)相连的共用的集流接口(12),所述集流接口用于一个输送所述液压液体的外部的压力源(14),其中,所述导引滑座(1)具有一个配有所述压力油室(9)的支承体(10a)和一个布置在所述支承体(10a)的端面上的头件(10),所述节流器(11)被集成到所述头件中。
2.根据权利要求1所述的静压型轨导引装置,其特征在于,所述头件(10)配有一些输入通道(13),所述输入通道一方面与所述集流接口(12)相连,而另一方面分别与其中一个节流器(11)相连。
3.根据权利要求1所述的静压型轨导引装置,其特征在于,所述节流器(11)由一个毛细管节流器或由一个膜片式节流器构成。
4.根据权利要求1所述的静压型轨导引装置,其特征在于,所述节流器(11)布置在所述导引滑座(1)的横截面轮廓线内。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101590603B (zh) * 2009-07-08 2011-01-05 路文忠 精密静压直线导轨
CN101716725B (zh) * 2009-12-31 2015-06-03 王清明 油膜静压导轨装置
CN103406767A (zh) * 2012-12-18 2013-11-27 芜湖陀曼精机科技有限公司 滑块式静压导轨用泄油块与吸油液压回路组合装置
CN103410859B (zh) * 2012-12-18 2017-07-14 芜湖陀曼精机科技有限公司 一种定压式静压导轨节流器
CN103233979B (zh) * 2013-05-08 2016-02-10 北京微纳精密机械有限公司 气体静压导轨组件
CN104482046B (zh) * 2014-11-26 2017-01-25 广东工业大学 易调易测高精度闭式恒压静压导轨节流器
DE102015212285B3 (de) * 2015-07-01 2016-10-27 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Linearführungssystem und Verfahren zur Durchführung von Messungen an einem Linearführungssystem
CN105927665B (zh) * 2016-06-24 2018-04-10 滁州欧博特电子制造有限公司 一种易于涂油的封闭型导轨
CN106112573B (zh) * 2016-08-23 2018-07-13 苏州陈那自动化技术有限公司 内置节流器的小型静压导轨
CN107191479B (zh) * 2017-05-22 2022-12-13 浙江长盛塑料轴承技术有限公司 直线运动导向机构
CN109707732A (zh) * 2019-03-11 2019-05-03 佛山艾克斯光电科技有限公司 一种超精密静压线轨系统
CN112762093B (zh) * 2019-11-04 2022-07-15 上银科技股份有限公司 节流器及使用其的液静压线性滑轨
KR102267809B1 (ko) * 2019-11-25 2021-06-22 하이윈 테크놀로지스 코포레이션 유량 제한기 및 이를 사용하는 정유압 리니어 가이드웨이

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0304090A2 (en) * 1987-08-20 1989-02-22 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Hydrostatically supporting device for slide

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2754395A1 (de) * 1977-12-07 1979-06-13 Bozina Dr Ing Perovic Oelversorgungsanlage fuer hydrostatische fuehrungen und lager
US4506935A (en) * 1982-04-12 1985-03-26 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Bar-type slide guiding apparatus with hydrostatic bearings
US4586830A (en) * 1984-04-16 1986-05-06 International Business Machines Corporation Combination rotary gas bearing and seal apparatus
JPS6145110A (ja) * 1984-08-06 1986-03-05 Nippon Seiko Kk スライダ−装置
DD241387A1 (de) * 1985-09-30 1986-12-10 Werkzeugmasch Okt Veb Hydrostatisches fuehrungssystem eines werkzeugschlittens an einer zahnradwaelzschleifmaschine
JPH0565920A (ja) * 1991-09-05 1993-03-19 Mitsutoyo Corp 流体軸受装置
JPH05240250A (ja) * 1992-02-26 1993-09-17 Teijin Seiki Co Ltd 静圧流体軸受装置
WO1999053207A1 (en) * 1998-04-13 1999-10-21 Thomson Industries, Inc. Self-compensating hydrostatic bearing
US20040042689A1 (en) * 2002-08-30 2004-03-04 Hardinge Inc. Hydrostatic bearing for linear motion guidance
JP4335697B2 (ja) * 2004-01-06 2009-09-30 株式会社岡本工作機械製作所 油静圧直動案内装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0304090A2 (en) * 1987-08-20 1989-02-22 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Hydrostatically supporting device for slide

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007019972A2 (de) 2007-02-22
JP4938014B2 (ja) 2012-05-23
CN101253342A (zh) 2008-08-27
ES2465649T3 (es) 2014-06-06
EP1915543B1 (de) 2014-03-26
JP2009505015A (ja) 2009-02-05
WO2007019972A3 (de) 2007-11-15
EP1915543A2 (de) 2008-04-30
DE102005038341A1 (de) 2007-02-15

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