JPH0565920A - 流体軸受装置 - Google Patents
流体軸受装置Info
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- JPH0565920A JPH0565920A JP25463091A JP25463091A JPH0565920A JP H0565920 A JPH0565920 A JP H0565920A JP 25463091 A JP25463091 A JP 25463091A JP 25463091 A JP25463091 A JP 25463091A JP H0565920 A JPH0565920 A JP H0565920A
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- bearing
- guide surface
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 負荷変動に対してもクリアランス変化のない
高剛性化および振動に対する減衰特性の向上が可能な流
体軸受装置を提供する。 【構成】 圧力油を可変絞り５４の絞り隙間を通して軸
受リセス５に供給し、軌道台２と可動台３との隙間に噴
出させるとともに、これによって生じる軌道台２と可動
台３との間のクリアランスＨ1 を非接触変位計６０Ｂに
よって検出し、そのクリアランスＨ1 と設定値Ｈ0 との
偏差がなくなるように可変絞り５４の絞り隙間を変化さ
せる。これにより、クリアランスＨ1 が設定値Ｈ0 にな
るように制御されるから、負荷変動に対してもクリアラ
ンスＨを常に一定に維持させることができ、かつ、振動
に対する減衰特性も向上させることができる。
高剛性化および振動に対する減衰特性の向上が可能な流
体軸受装置を提供する。 【構成】 圧力油を可変絞り５４の絞り隙間を通して軸
受リセス５に供給し、軌道台２と可動台３との隙間に噴
出させるとともに、これによって生じる軌道台２と可動
台３との間のクリアランスＨ1 を非接触変位計６０Ｂに
よって検出し、そのクリアランスＨ1 と設定値Ｈ0 との
偏差がなくなるように可変絞り５４の絞り隙間を変化さ
せる。これにより、クリアランスＨ1 が設定値Ｈ0 にな
るように制御されるから、負荷変動に対してもクリアラ
ンスＨを常に一定に維持させることができ、かつ、振動
に対する減衰特性も向上させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、二部材を相対移動可能
に案内する流体軸受装置に関する。例えば、三次元測定
機や大型ハイトゲージなどの測定機、あるいは、工作機
械、その他の機器に用いられる流体軸受装置の改良に関
する。
に案内する流体軸受装置に関する。例えば、三次元測定
機や大型ハイトゲージなどの測定機、あるいは、工作機
械、その他の機器に用いられる流体軸受装置の改良に関
する。
【０００２】
【背景技術】三次元測定機や工作機械などの可動部を案
内する軸受装置として、例えば、図６に示す流体軸受装
置が用いられる。これは、相対移動する軌道台２および
可動台３のうち一方、ここでは、軌道台２の上面に案内
面４を前記相対移動方向に沿って形成するとともに、他
方の可動台３に軸受リセス５を前記案内面４に開口して
設け、この軸受リセス５内に外部給気源６からの高圧気
体を配管７および絞り８を通じて供給し、軌道台２の案
内面４と可動台３との隙間９に吹き出させる構造であ
る。
内する軸受装置として、例えば、図６に示す流体軸受装
置が用いられる。これは、相対移動する軌道台２および
可動台３のうち一方、ここでは、軌道台２の上面に案内
面４を前記相対移動方向に沿って形成するとともに、他
方の可動台３に軸受リセス５を前記案内面４に開口して
設け、この軸受リセス５内に外部給気源６からの高圧気
体を配管７および絞り８を通じて供給し、軌道台２の案
内面４と可動台３との隙間９に吹き出させる構造であ
る。
【０００３】従って、外部給気源６からの高圧気体が配
管７および絞り８を通じて軸受リセス５内に供給され、
軌道台２の案内面４と可動台３との隙間９に吹き出され
ると、可動台３は吹き出された気体のもつ静圧によって
軌道台２の案内面４上に浮上されるから、可動台３を軌
道台２の案内面４に沿って円滑に移動させることができ
る。ちなみに、浮上隙間（クリアランスＨ）は、一般に
１０μｍ以下である。
管７および絞り８を通じて軸受リセス５内に供給され、
軌道台２の案内面４と可動台３との隙間９に吹き出され
ると、可動台３は吹き出された気体のもつ静圧によって
軌道台２の案内面４上に浮上されるから、可動台３を軌
道台２の案内面４に沿って円滑に移動させることができ
る。ちなみに、浮上隙間（クリアランスＨ）は、一般に
１０μｍ以下である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の流体
軸受装置の構造では、軸受リセス５内の圧力Ｐが一定で
あるから、可動台３にかかる負荷が変動するとクリアラ
ンスＨが変化してしまう。つまり、図７に示す如く、縦
軸に負荷能力Ｗを、横軸にクリアランスＨをとると、軸
受剛性は軸受特性曲線の勾配ｄＷ／ｄＨとして表され
る。軸受けの使用条件としては、剛性が最大となる領
域、つまり、勾配が最大の領域を採用することになる
が、図示のように勾配は無限大ではないから、負荷変動
Ｗαに対してクリアランス変化Ｈβが生じるという問題
がある。
軸受装置の構造では、軸受リセス５内の圧力Ｐが一定で
あるから、可動台３にかかる負荷が変動するとクリアラ
ンスＨが変化してしまう。つまり、図７に示す如く、縦
軸に負荷能力Ｗを、横軸にクリアランスＨをとると、軸
受剛性は軸受特性曲線の勾配ｄＷ／ｄＨとして表され
る。軸受けの使用条件としては、剛性が最大となる領
域、つまり、勾配が最大の領域を採用することになる
が、図示のように勾配は無限大ではないから、負荷変動
Ｗαに対してクリアランス変化Ｈβが生じるという問題
がある。
【０００５】ここに、本発明の目的は、このような従来
の問題を解決し、負荷変動に対してもクリアランス変化
のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対する減衰特
性の向上が図れる流体軸受装置を提供することにある。
の問題を解決し、負荷変動に対してもクリアランス変化
のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対する減衰特
性の向上が図れる流体軸受装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明の流体
軸受装置は、相対移動する二部材のうち一方の部材に前
記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相対
移動する二部材のうち他方の部材に前記案内面に開口し
て設けられた軸受リセスと、この軸受リセスに圧力流体
を供給する流体供給口の近傍に設けられた可変絞りと、
前記一方の部材の案内面と他方の部材とのクリアランス
を検出する変位計と、この変位計の出力が一定になるよ
うに前記可変絞りの絞り隙間を変化させる制御手段と、
を具備したことを特徴とする。
軸受装置は、相対移動する二部材のうち一方の部材に前
記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相対
移動する二部材のうち他方の部材に前記案内面に開口し
て設けられた軸受リセスと、この軸受リセスに圧力流体
を供給する流体供給口の近傍に設けられた可変絞りと、
前記一方の部材の案内面と他方の部材とのクリアランス
を検出する変位計と、この変位計の出力が一定になるよ
うに前記可変絞りの絞り隙間を変化させる制御手段と、
を具備したことを特徴とする。
【０００７】
【作用】流体供給口から可変絞りを通じて軸受リセス内
に圧力流体が供給されると、その圧力流体の圧力により
案内面と軸受リセス周囲の軸受ランド部との間に流体膜
が形成される。すると、その流体膜の作用によって案内
面と軸受ランド部との摺動抵抗は流体膜の粘性に依存す
ることになるから、案内面に対する軸受部の相対運動の
抵抗を軽減させることができ相対移動を円滑に行うこと
ができる。
に圧力流体が供給されると、その圧力流体の圧力により
案内面と軸受リセス周囲の軸受ランド部との間に流体膜
が形成される。すると、その流体膜の作用によって案内
面と軸受ランド部との摺動抵抗は流体膜の粘性に依存す
ることになるから、案内面に対する軸受部の相対運動の
抵抗を軽減させることができ相対移動を円滑に行うこと
ができる。
【０００８】この状態において、軸受部に加わる負荷が
変動すると、その負荷変動に応じて案内面と軸受ランド
部との間のクリアランスが変化しようとする。このと
き、そのクリアランス変化を変位計により検出するとと
もに、その変位計の出力を利用して可変絞りの絞り隙間
を制御すれば、軸受部に加わる負荷の変動に対応させて
軸受リセス内の流体圧力を調整でき、変位計の出力、つ
まりクリアランスを一定に維持させることができる。
変動すると、その負荷変動に応じて案内面と軸受ランド
部との間のクリアランスが変化しようとする。このと
き、そのクリアランス変化を変位計により検出するとと
もに、その変位計の出力を利用して可変絞りの絞り隙間
を制御すれば、軸受部に加わる負荷の変動に対応させて
軸受リセス内の流体圧力を調整でき、変位計の出力、つ
まりクリアランスを一定に維持させることができる。
【０００９】例えば、負荷の増加に伴ってクリアランス
が減少しようとすると、可変絞りの絞り隙間が大きくな
るように制御される結果、圧力流体の圧力上昇によって
クリアランスが増大されていく。逆に、負荷の減少に伴
ってクリアランスが増大しようとすると、可変絞りの絞
り隙間が小さくなるように制御される結果、圧力流体の
圧力低下によってクリアランスが減少されていく。その
結果、負荷変動に対してもクリアランスを一定に維持さ
せることができる。従って、負荷変動に対してもクリア
ランス変化のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対
する減衰特性の向上も図れる。
が減少しようとすると、可変絞りの絞り隙間が大きくな
るように制御される結果、圧力流体の圧力上昇によって
クリアランスが増大されていく。逆に、負荷の減少に伴
ってクリアランスが増大しようとすると、可変絞りの絞
り隙間が小さくなるように制御される結果、圧力流体の
圧力低下によってクリアランスが減少されていく。その
結果、負荷変動に対してもクリアランスを一定に維持さ
せることができる。従って、負荷変動に対してもクリア
ランス変化のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対
する減衰特性の向上も図れる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明に係る流体軸受装置の一実施例
を図１〜図５を参照しながら詳細に説明する。なお、こ
れらの図の説明に当たって、前述した図６と同一構成要
件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
を図１〜図５を参照しながら詳細に説明する。なお、こ
れらの図の説明に当たって、前述した図６と同一構成要
件については、同一符号を付し、その説明を省略する。
【００１１】本実施例の流体軸受装置は、大きく分け
て、図１および図２に示す流体軸受機構２０と、図３に
示す基準レール６０Ａおよび非接触変位計６０Ｂと、図
４に示す制御装置７０とから構成されている。前記流体
軸受機構２０は、図１および図２に示す如く、前記相対
移動する軌道台２および可動台３のうちの一方、ここで
は、軌道台２の上面に前記相対移動方向に沿って形成さ
れた案内面４と、他方の可動台３に設けられた軸受本体
２１と、この軸受本体２１の一端面にボルトなどにより
固定された端部カバー３１と、前記軸受本体２１の他端
面にボルトなどにより固定された端部カバー４１および
ダイヤフラム板５１とから構成されている。
て、図１および図２に示す流体軸受機構２０と、図３に
示す基準レール６０Ａおよび非接触変位計６０Ｂと、図
４に示す制御装置７０とから構成されている。前記流体
軸受機構２０は、図１および図２に示す如く、前記相対
移動する軌道台２および可動台３のうちの一方、ここで
は、軌道台２の上面に前記相対移動方向に沿って形成さ
れた案内面４と、他方の可動台３に設けられた軸受本体
２１と、この軸受本体２１の一端面にボルトなどにより
固定された端部カバー３１と、前記軸受本体２１の他端
面にボルトなどにより固定された端部カバー４１および
ダイヤフラム板５１とから構成されている。
【００１２】前記軸受本体２１には、前記軌道台２の案
内面４と対向する下面に凹形ポケット状の軸受リセス５
が形成されているとともに、内部中心位置に貫通孔２３
が形成されている。貫通孔２３内には、両端面が前記端
部カバー３１とダイヤフラム板５１との間に鋼球２４
Ａ，２４Ｂを介して水平に支持された積層圧電素子アク
チュエータ２５が収納されている。積層圧電素子アクチ
ュエータ２５の両端と前記各鋼球２４Ａ，２４Ｂとの間
には、各鋼球２４Ａ，２４Ｂを保持する受座２６Ａ，２
６Ｂが介在されている。両側の受座２６Ａ，２６Ｂ間に
は、前記積層圧電素子アクチュエータ２５の外側を包囲
するように一部が蛇腹状のベロース２７となった保護筒
２８が支持されている。
内面４と対向する下面に凹形ポケット状の軸受リセス５
が形成されているとともに、内部中心位置に貫通孔２３
が形成されている。貫通孔２３内には、両端面が前記端
部カバー３１とダイヤフラム板５１との間に鋼球２４
Ａ，２４Ｂを介して水平に支持された積層圧電素子アク
チュエータ２５が収納されている。積層圧電素子アクチ
ュエータ２５の両端と前記各鋼球２４Ａ，２４Ｂとの間
には、各鋼球２４Ａ，２４Ｂを保持する受座２６Ａ，２
６Ｂが介在されている。両側の受座２６Ａ，２６Ｂ間に
は、前記積層圧電素子アクチュエータ２５の外側を包囲
するように一部が蛇腹状のベロース２７となった保護筒
２８が支持されている。
【００１３】前記端部カバー４１の外端面中心位置に
は、流体供給口４２が内端面側へ貫通形成されている。
また、内端面側には、前記流体供給口４２の周囲に弁座
４３が形成されているとともに、その弁座４３の周囲に
環状の凹部４４が形成されている。凹部４４は、前記ダ
イヤフラム板５１の下部に形成された連通孔４５および
前記軸受本体２１に形成された連通孔４６を通じて前記
軸受リセス５に連通されている。なお、４７は前記軸受
リセス５の周囲に形成された軸受ランド部である。
は、流体供給口４２が内端面側へ貫通形成されている。
また、内端面側には、前記流体供給口４２の周囲に弁座
４３が形成されているとともに、その弁座４３の周囲に
環状の凹部４４が形成されている。凹部４４は、前記ダ
イヤフラム板５１の下部に形成された連通孔４５および
前記軸受本体２１に形成された連通孔４６を通じて前記
軸受リセス５に連通されている。なお、４７は前記軸受
リセス５の周囲に形成された軸受ランド部である。
【００１４】前記ダイヤフラム板５１には、その中心に
前記端部カバー４１の弁座４３に対して接離し絞り隙間
を変化させる弁体５２が形成されているとともに、この
弁体５２の周囲にその弁体５２を弁座４３に対して接離
させるための薄肉状のダイヤフラム部５３が形成されて
いる。ここに、前記弁座４３、弁体５２を有するダイヤ
フラム板５１および積層圧電素子アクチュエータ２５か
ら、可変絞り５４が構成されている。
前記端部カバー４１の弁座４３に対して接離し絞り隙間
を変化させる弁体５２が形成されているとともに、この
弁体５２の周囲にその弁体５２を弁座４３に対して接離
させるための薄肉状のダイヤフラム部５３が形成されて
いる。ここに、前記弁座４３、弁体５２を有するダイヤ
フラム板５１および積層圧電素子アクチュエータ２５か
ら、可変絞り５４が構成されている。
【００１５】従って、流体供給口４２から圧力流体、こ
こでは、圧力油を供給すると、その圧力油は、可変絞り
５４の弁座４３と弁体５２との絞り隙間を通り、続い
て、凹部４４、流通孔４５，４６を通って軸受リセス５
内に供給され、軸受ランド部４７を通過して大気に放出
される。これにより、軌道台２の案内面４に対して、軸
受本体２１の軸受ランド部４７がクリアランスＨ分だけ
浮上されるから、可動台３を案内面４に沿って軽い力で
移動させることができる。
こでは、圧力油を供給すると、その圧力油は、可変絞り
５４の弁座４３と弁体５２との絞り隙間を通り、続い
て、凹部４４、流通孔４５，４６を通って軸受リセス５
内に供給され、軸受ランド部４７を通過して大気に放出
される。これにより、軌道台２の案内面４に対して、軸
受本体２１の軸受ランド部４７がクリアランスＨ分だけ
浮上されるから、可動台３を案内面４に沿って軽い力で
移動させることができる。
【００１６】前記基準レール６０Ａおよび非接触変位計
６０Ｂは、図３の位置関係に取り付けられている。つま
り、基準レール６０Ａは、前記軌道台２側に、前記可動
台３の移動方向に沿って取り付けられている。また、非
接触変位計６０Ｂは、前記可動台３側に前記基準レール
６０Ａの上端面に対向した姿勢で取り付けられ、その基
準レール６０Ａの上端面までのクリアランスＨ1 を非接
触で検出できるようになっている。
６０Ｂは、図３の位置関係に取り付けられている。つま
り、基準レール６０Ａは、前記軌道台２側に、前記可動
台３の移動方向に沿って取り付けられている。また、非
接触変位計６０Ｂは、前記可動台３側に前記基準レール
６０Ａの上端面に対向した姿勢で取り付けられ、その基
準レール６０Ａの上端面までのクリアランスＨ1 を非接
触で検出できるようになっている。
【００１７】前記制御装置７０は、図４に示す如く、前
記非接触変位計６０Ｂで検出されるクリアランスＨ1 の
変化に反比例した検出電圧Ｅ1 を出力する増幅器７１
と、予め設定したクリアランス設定値Ｈ0 に対応した設
定電圧Ｅ0 を出力する設定器７２と、この設定器７２で
設定された設定電圧Ｅ0 から前記増幅器７１からの検出
電圧Ｅ1 を減算する減算器７３と、この減算器７３から
の出力、つまり、Ｅ0 −Ｅ1 の値を積分増幅する積分増
幅器７４と、この積分増幅器７４からの出力に基づき前
記積層圧電素子アクチュエータ２５を駆動させるドライ
バ７５とから構成されている。
記非接触変位計６０Ｂで検出されるクリアランスＨ1 の
変化に反比例した検出電圧Ｅ1 を出力する増幅器７１
と、予め設定したクリアランス設定値Ｈ0 に対応した設
定電圧Ｅ0 を出力する設定器７２と、この設定器７２で
設定された設定電圧Ｅ0 から前記増幅器７１からの検出
電圧Ｅ1 を減算する減算器７３と、この減算器７３から
の出力、つまり、Ｅ0 −Ｅ1 の値を積分増幅する積分増
幅器７４と、この積分増幅器７４からの出力に基づき前
記積層圧電素子アクチュエータ２５を駆動させるドライ
バ７５とから構成されている。
【００１８】ここで、積分増幅器７４の出力特性は、Ｅ
0 ＝Ｅ1 のとき一定、Ｅ0 ＞Ｅ1 のとき上昇、Ｅ0 ＜Ｅ
1 のとき下降となっており、その出力に基づき、積層圧
電素子アクチュエータ２５のドライバ７５が制御され
る。
0 ＝Ｅ1 のとき一定、Ｅ0 ＞Ｅ1 のとき上昇、Ｅ0 ＜Ｅ
1 のとき下降となっており、その出力に基づき、積層圧
電素子アクチュエータ２５のドライバ７５が制御され
る。
【００１９】いま、クリアランスＨ1 と設定値Ｈ0 との
関係が、Ｈ1 ＜Ｈ0 ならばＥ0 ＜Ｅ1 となり、積分増幅
器７４の出力は下降に向い、積層圧電素子アクチュエー
タ２５の印加電圧が減少する。これにより、可変絞り５
４の絞り隙間が大きくなり、軸受圧力Ｐが上昇し、クリ
アランスＨ1 が設定値Ｈ0 に向かって増加する。逆に、
Ｈ1 ＞Ｈ0 ならばＥ0 ＞Ｅ1 となり、積分増幅器７４の
出力は上昇に向い、積層圧電素子アクチュエータ２５の
印加電圧が増大する。これにより、可変絞りの絞り隙間
が小さくなり、軸受圧力Ｐが低下し、クリアランスＨ1
が設定値Ｈ0 に向かって減少する。
関係が、Ｈ1 ＜Ｈ0 ならばＥ0 ＜Ｅ1 となり、積分増幅
器７４の出力は下降に向い、積層圧電素子アクチュエー
タ２５の印加電圧が減少する。これにより、可変絞り５
４の絞り隙間が大きくなり、軸受圧力Ｐが上昇し、クリ
アランスＨ1 が設定値Ｈ0 に向かって増加する。逆に、
Ｈ1 ＞Ｈ0 ならばＥ0 ＞Ｅ1 となり、積分増幅器７４の
出力は上昇に向い、積層圧電素子アクチュエータ２５の
印加電圧が増大する。これにより、可変絞りの絞り隙間
が小さくなり、軸受圧力Ｐが低下し、クリアランスＨ1
が設定値Ｈ0 に向かって減少する。
【００２０】その結果、Ｈ1 ＜Ｈ0 （Ｅ0 ＜Ｅ1 ）ある
いはＨ1 ＞Ｈ0 （Ｅ0 ＞Ｅ1 ）のいずれの状態において
も、Ｈ1 ＝Ｈ0 （Ｅ1 ＝Ｅ0 ）となるような制御が施さ
れ、負荷変動に対してもクリアランスＨ1 は常に一定に
維持される。このことは、図５に示す軸受特性曲線が得
られるから、負荷能力Ｗの変動Ｗαに対しても軌道台２
の案内面４と軸受ランド部４７とのクリアランスＨを常
に一定に維持させることができる。
いはＨ1 ＞Ｈ0 （Ｅ0 ＞Ｅ1 ）のいずれの状態において
も、Ｈ1 ＝Ｈ0 （Ｅ1 ＝Ｅ0 ）となるような制御が施さ
れ、負荷変動に対してもクリアランスＨ1 は常に一定に
維持される。このことは、図５に示す軸受特性曲線が得
られるから、負荷能力Ｗの変動Ｗαに対しても軌道台２
の案内面４と軸受ランド部４７とのクリアランスＨを常
に一定に維持させることができる。
【００２１】従って、本実施例によれば、圧力油を可変
絞り５４の絞り隙間を通して軸受リセス５に供給し、こ
れによって生じる軌道台２と可動台３との間のクリアラ
ンスＨを非接触変位計６０Ｂによって検出し、この非接
触変位計６０Ｂの出力が設定値に一致するように可変絞
り５４の絞り隙間を変化させるようにしたので、負荷変
動に対してもクリアランスＨを常に一定に維持させるこ
とができる。よって、負荷変動に対してもクリアランス
変化のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対する減
衰特性の向上も図れる。
絞り５４の絞り隙間を通して軸受リセス５に供給し、こ
れによって生じる軌道台２と可動台３との間のクリアラ
ンスＨを非接触変位計６０Ｂによって検出し、この非接
触変位計６０Ｂの出力が設定値に一致するように可変絞
り５４の絞り隙間を変化させるようにしたので、負荷変
動に対してもクリアランスＨを常に一定に維持させるこ
とができる。よって、負荷変動に対してもクリアランス
変化のない高剛性化を達成でき、かつ、振動に対する減
衰特性の向上も図れる。
【００２２】特に、本実施例では、軌道台２側に基準レ
ール６０Ａを設けるとともに、可動台３側に基準レール
６０ＡまでのクリアランスＨ1 を非接触で検出する非接
触変位計６０Ｂを設け、これによって検出したクリアラ
ンスＨ1を基に可変絞り５４の絞り隙間を変化させるよ
うにしたので、クリアランスＨを常に正確に一定に維持
させることができる。その際、クリアランスＨ1 と設定
値Ｈ0 との偏差を求めて可変絞り５４の絞り隙間を変化
させるようにしたので、設定値Ｈ0 の変更によってクリ
アランスＨを任意の値に設定することができる。
ール６０Ａを設けるとともに、可動台３側に基準レール
６０ＡまでのクリアランスＨ1 を非接触で検出する非接
触変位計６０Ｂを設け、これによって検出したクリアラ
ンスＨ1を基に可変絞り５４の絞り隙間を変化させるよ
うにしたので、クリアランスＨを常に正確に一定に維持
させることができる。その際、クリアランスＨ1 と設定
値Ｈ0 との偏差を求めて可変絞り５４の絞り隙間を変化
させるようにしたので、設定値Ｈ0 の変更によってクリ
アランスＨを任意の値に設定することができる。
【００２３】以上、本発明について、好適な実施例を挙
げて説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもの
でなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々
の改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
げて説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもの
でなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々
の改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
【００２４】例えば、上記実施例では、軌道台２側に基
準レール６０Ａを設け、この基準レール６０Ａの上端面
までのクリアランスＨ1 を非接触変位計６０Ｂによって
検出するようにしたが、基準レール６０Ａを設けること
なく、非接触変位計６０Ｂによって軌道台２の案内面４
までのクリアランスを直接検出するようにしてもよい。
準レール６０Ａを設け、この基準レール６０Ａの上端面
までのクリアランスＨ1 を非接触変位計６０Ｂによって
検出するようにしたが、基準レール６０Ａを設けること
なく、非接触変位計６０Ｂによって軌道台２の案内面４
までのクリアランスを直接検出するようにしてもよい。
【００２５】また、可変絞り５４の駆動手段としては、
積層圧電素子アクチュエータ２５に限らず、サーボモー
タと、ピニオン、ラック機構とにより駆動されるロッド
により構成し、このロッドでダイヤフラム板５１を駆動
させるなど、他の構成でもよい。
積層圧電素子アクチュエータ２５に限らず、サーボモー
タと、ピニオン、ラック機構とにより駆動されるロッド
により構成し、このロッドでダイヤフラム板５１を駆動
させるなど、他の構成でもよい。
【００２６】また、可変絞り５４の構造は、上記実施例
の構成に限らず、他の構成でもよい。例えば、ダイヤフ
ラム板５１を用いず、積層圧電素子アクチュエータ２５
の端部を弁座４３に対して直接接離させるようにしても
よい。更に、可変絞り５４は、ニードルバルブ状やロー
タリーバルブ状など一般に用いられる他の構造でもよ
い。
の構成に限らず、他の構成でもよい。例えば、ダイヤフ
ラム板５１を用いず、積層圧電素子アクチュエータ２５
の端部を弁座４３に対して直接接離させるようにしても
よい。更に、可変絞り５４は、ニードルバルブ状やロー
タリーバルブ状など一般に用いられる他の構造でもよ
い。
【００２７】なお、本発明の流体軸受装置は、三次元測
定機、二次元測定機、大型ハイトゲージなどの各種測定
機のほか、工作機械や超精密移動テーブルなどにも適用
でき、その適用対象は限定されない。更に、作用流体に
ついては、圧力油に限らず、空気などの流体であっても
よい。
定機、二次元測定機、大型ハイトゲージなどの各種測定
機のほか、工作機械や超精密移動テーブルなどにも適用
でき、その適用対象は限定されない。更に、作用流体に
ついては、圧力油に限らず、空気などの流体であっても
よい。
【００２８】
【発明の効果】以上の通り、本発明の流体軸受装置によ
れば、負荷変動に対してもクリアランス変化のない高剛
性化を達成でき、かつ、振動に対する減衰特性の向上も
図れるという効果が期待できる。
れば、負荷変動に対してもクリアランス変化のない高剛
性化を達成でき、かつ、振動に対する減衰特性の向上も
図れるという効果が期待できる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】図１に示す装置の底面図である。
【図３】図１の III−III 線方向から見た図である。
【図４】制御装置を示すブロック図である。
【図５】軸受特性曲線を示す図である。
【図６】従来の流体軸受装置の概略構成を示す図であ
る。
る。
【図７】図６に示す流体軸受装置の軸受特性曲線を示す
図である。
図である。
２ 軌道台（相対移動する部材） ３ 可動台（相対移動する部材） ４ 案内面 ５ 軸受リセス ４２ 流体供給口 ５４ 可変絞り ６０Ｂ 非接触変位計 ７０ 制御装置（制御手段）
Claims (1)
- 【請求項１】相対移動する二部材のうち一方の部材に前
記相対移動方向に沿って設けられた案内面と、前記相対
移動する二部材のうち他方の部材に前記案内面に開口し
て設けられた軸受リセスと、この軸受リセスに圧力流体
を供給する流体供給口の近傍に設けられた可変絞りと、
前記一方の部材の案内面と他方の部材とのクリアランス
を検出する変位計と、この変位計の出力が一定になるよ
うに前記可変絞りの絞り隙間を変化させる制御手段と、
を具備したことを特徴とする流体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463091A JPH0565920A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 流体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25463091A JPH0565920A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 流体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0565920A true JPH0565920A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=17267692
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25463091A Pending JPH0565920A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 流体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0565920A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005032818A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 静圧軸受、位置決め装置、並びに露光装置 |
| JP4938014B2 (ja) * | 2005-08-13 | 2012-05-23 | シャフラー、テクノロジーズ、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンデイトゲゼルシャフト | 静圧異形レールガイド |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP25463091A patent/JPH0565920A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005032818A (ja) * | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Canon Inc | 静圧軸受、位置決め装置、並びに露光装置 |
| JP4938014B2 (ja) * | 2005-08-13 | 2012-05-23 | シャフラー、テクノロジーズ、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング、ウント、コンパニー、コマンデイトゲゼルシャフト | 静圧異形レールガイド |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20001031 |