JPH05240250A

JPH05240250A - 静圧流体軸受装置

Info

Publication number: JPH05240250A
Application number: JP7608392A
Authority: JP
Inventors: Kiyozumi Fukui; 清純福井
Original assignee: Teijin Seiki Co Ltd
Current assignee: Nabtesco Corp
Priority date: 1992-02-26
Filing date: 1992-02-26
Publication date: 1993-09-17

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】流体軸受であるが、衝撃や振動荷重による軸
の偏りに素早く対応して、金属接触を防止する装置を備
えた静圧流体軸受を実現する。【構成】回転軸２０が固定ケース１０内に挿入され、
回転軸２０が圧縮空気によって回転自在に支持された静
圧流体軸受装置であって、回転軸２０の周囲に対向する
ケース内周面、またはケース内周面に対向する回転軸２
０の周囲に、複数のストッパー用油溜り部３０が円周方
向に間隔を開けて設けられ、油溜り部３０は、所定の圧
力および所定の流量の油を供給する液圧ポンプ３５に接
続されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、静圧流体軸受装置に関
する。より詳しくは、本発明は、高速スピンドルの採用
で従来に比べて大幅に生産性が向上できる分野、限定的
ではないが、例えばＣＶＪ研削盤、ＣＢＮ研削盤、ＭＣ
用高速スピンドル（非鉄合金切削用）、金型切削用ＭＣ
高速スピンドル等の軸径２０〜６０mmで毎分４〜１０万
回転する工作機械用高速スピンドルに適した静圧流体軸
受装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような毎分４〜１０万回転で回転
するスピンドルにボールベアリングを使用したのでは、
寿命が短く（３〜１２ヶ月）信頼性にも欠け、更に温度
上昇、騒音も相当程度大きく、この種の高速スピンドル
は積極的に広く使用されるに至っていない。

【０００３】これに対して、気体軸受は低摩擦高速回
転、高い回転精度、定常負荷に対する高い軸受剛性、広
い温度領域での運転、油のない清浄運転、放射能場での
運転等において、ころがり軸受に比べ極めて優れた特性
を有している。すなわち、気体軸受は高速領域におい
て、極めて損失も少なく、金属接触がないので寿命もほ
ぼ永久と考えてよい。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、気体軸
受は高速回転中に瞬間的にでも大きな衝撃荷重がかかる
と、直ちに焼付きなどの破滅的な軸受の損傷を招くひ弱
な軸受の面があり、また気体の圧縮性に起因して軸の回
転振動、外部荷重の変動などと共振し、同様に破滅的な
軸受の損傷に至る気難しい軸受である。

【０００５】磁気軸受の採用も考えられる手段の１つで
あるが、高価で且つ形状的にもかなり大きなものとなる
ので、且つ気体軸受と同様の欠陥を完全に逃れることは
できないので実用的でない。

【０００６】

【発明の目的】本発明は流体軸受であるが、衝撃や振動
荷重による軸の偏りに素早く対応して、金属接触を防止
する装置を備えた静圧流体軸受を実現することを目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明においては上記の
目的を、回転軸が固定ケース内に挿入され、該回転軸が
圧縮空気によって回転自在に支持された静圧流体軸受装
置において、前記回転軸の周囲に対向するケース内周
面、またはケース内周面に対向する回転軸の周囲に、複
数のストッパー用油溜り部が円周方向に間隔を開けて設
けられ、該油溜り部に、所定の圧力および所定の流量の
油を供給する液圧ポンプに接続されていることを特徴と
する静圧流体軸受装置により達成する。

【０００８】

【作用】本発明においては、気体軸受と同軸上に液体軸
受を設け、気体軸受が異常振動や過途応答遅れなどで金
属接触を起しそうになったとき、これを液体軸受により
防止させる機能を付与する。

【０００９】液体軸受には、通常の油圧油より著しく粘
度の低い液体を使用し、且つ、供給流量も小さくする。
このようにすると、軸が正しく中心に位置しているとき
には、粘度の低い液体であるため、軸に実質的に作用す
るような圧力は発生せず、ほぼ気体軸受のみで支持され
ている。軸が中心を大きく外れると、隙間が縮まる側の
液体軸受ポケットの圧力が最大圧まで上り、この圧力上
昇により、軸が偏心し金属接触を起す以前にストッパー
の役割を果たすこととなる。なお、上述の如く、本発明
においては通常の液体軸受と異なり、著しく粘度の低い
液体を使用するので、高速回転においても軸受による大
きな粘性摩擦損失を伴うことはない。

【００１０】本発明の液体軸受は、好ましくは、円周上
に少なくとも３つのポケットをもち、それぞれのポケッ
トにはそれぞれ独立した（３台のポンプから）液の供給
を受けるようにして、ポケット相互間の液圧の干渉をな
くし隙間が著しく小さくなったポケットのみが急速に極
大圧になるようにしている。

【００１１】圧力の最大として安全弁により２１０kg／
cm²にセットすると、本発明として、例えば三連の小型
ギヤーポンプ等が使用可能となり、数十kgの金属接触防
止力が得られる。また、それぞれのポンプ流量は例えば
１ｌ／分程度とすれば、その消費動力も特段の考慮を必
要としない。ポンプはさほど重要な機器ではないので、
ここでは数百回転の入力回転としておくと、低粘度、液
の汚れ、高圧に強いものとなる。

【００１２】また、本発明の液体軸受を気体軸受の両外
側に設けると、気体軸受に対する防塵装置として有効で
ある。

【００１３】本発明の液圧ストッパーは、ギャップセシ
ング部と衝突防止力発生部とから構成される。ギャップ
セシング部は、多数（例えば１１個）の小穴が軸受内面
に開口しており、小穴はオリフスを介し供給ポンプＰ１
と接続されている。供給液は、圧力が中程度（例えば３
０kg／cm²）で、流量が、１〜３ｌ／分のそれぞれ独立
した小容量ポンプで供給し、正常なギャップ（２０〜３
０μ）ではほぼ大気圧（３〜３kg／cm²）となるように
する。

【００１４】ギャップが正常値に比べ異常に小さく（正
常値の１／３〜１／５に）なったときには、小穴の圧力
は急速に供給圧に近づく。この圧力は液圧導入バルブの
押し上げプランジャの背後に連通し、プランジャを介し
弁を押し上げ、液圧ストッパー部の油溜り部と液圧ポン
プＰ２とを連通させる。

【００１５】液圧ストッパー部は多数（例えば１１個、
必ずしもギャップセシング部と同数である必要はない）
の油溜り部をもち、油溜り部は液圧導入バルブを介し
て、複数の液圧ストッパーの共通液圧ポンプＰ２に接続
されている。

【００１６】従って、軸が正常な位置から偏り、ある特
定のギャップセンサー小穴の圧力が高くなり、これによ
り液圧導入バルブの弁が開き、対応する方向の油溜り部
は高圧（例えば、１４０kg／cm²）となり、軸をもとの
正常な位置に戻す方向へ大きな力（例えば、数百kg）が
発生する。

【００１７】この場合にも、液体軸受を気体軸受の両外
側に設けると、気体軸受に対する防塵装置として有効で
ある。

【００１８】

【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の種々の実
施例を説明する。図１から図５は本発明に係る第一実施
例を示し、図１は断面図、図２は図１のＡ断面図、図３
は図１のＢ断面図、図４は図１のＣ断面図、図５は図１
のＤ断面図である。

【００１９】本発明に係る静圧流体軸受装置は、符号１
０で示される円筒状をした固定ケース内に支持され、回
転軸２０は固定ケースに設けられた気体軸受装置により
圧縮空気によって回転自在に支持されている。すなわ
ち、固定ケース１０には図２に示すラジアル方向軸受お
よび図３に示すスラスト方向軸受が空気軸受により形成
されている。

【００２０】固定ケース１０には図１および図２に示す
ように、半径方向に空気通路１１が形成されており、空
気通路１１の半径方向内側は円周方向の溝１２に到達し
ている。円周方向溝１２から複数の絞り通路１３を介し
て回転軸２０の周囲に開口する複数のエアポケット部１
４に連通しており、これにより回転軸２０のラジアル荷
重を支持する空気軸受が形成されている。

【００２１】また、図１および図３に示すように、固定
ケース１０に半径方向に形成された空気通路１５の内側
先端が絞り通路２３を介して回転軸２０に形成された円
板状部２１の両側に開口する円筒状溝２２とに連通して
おり、これにより円板状部２１の両側からスラスト方向
荷重を受ける空気軸受が形成されている。

【００２２】なお、上述したラジアル方向軸受は図１の
Ａ断面部のみならず、図１に示したＢ断面の右隣にも同
様に形成されており、これにより回転軸２０は両位置に
おいてラジアル支持され回転可能である。

【００２３】上述したスラスト方向軸受およびラジアル
方向軸受により回転軸２０は回転可能に空気支持されて
おり、回転軸２０の定常回転時においては非常に良好に
支持されるものであるが、回転軸２０に突発的荷重が作
用したような場合に、上記構成のみであっては回転軸２
０が固定ケース１０に接触して、前述したような種々の
問題を生じることがある。この対策として、本実施例に
おいては、回転軸２０の周囲に対向するケース内周面に
ストッパー油溜り部３０が設けられている。

【００２４】ストッパー用油溜り部３０は図４に示すよ
うに回転軸２０の回りに周方向に複数個（図４において
は周方向に４つ）等配的に設けられており、これら油溜
り部３０には所定の圧力および所定の流量の油がタンク
３３から液圧ポンプ３５により供給されるようになって
いる。

【００２５】図示した実施例においては、図４に示すよ
うに液圧ポンプ３５は四連液圧ポンプ３５ａ〜３５ｄと
なっており、１台の電動モータ４０により四連液圧ポン
プ３５が駆動されている。各液圧ポンプ３５ａ〜３５ｄ
はそれぞれ別個のストッパー用油溜り部３０に接続され
ており、且つ液圧ポンプ３５ａ〜３５ｄとストッパー用
油溜り部３０との間にはそれぞれリリーフ弁３６を設け
所定の設定圧力としている。

【００２６】更に、回転軸２０に突設した第２の円板状
部２５（図１）の両側に図５に示すようにドーナツ状の
浅溝を形成しそれぞれ回転軸２０のスラスト方向の移動
を防止するスラスト液圧ストッパー用油溜り部４５と
し、このスラスト液圧ストッパー用油溜り部４５を液圧
ポンプ５５に連通している。液圧ポンプ５５は二連ポン
プ５５ａ、５５ｂからなり、電動モータ５０によって駆
動されている。

【００２７】上述の構造からなる本発明の第一実施例に
おいては、定常状態においては気体軸受により回転軸２
０はスラスト方向およびラジアル方向に支持されてい
る。回転軸２０にラジアル荷重が瞬間的に掛かり、回転
軸２０と回転ケース内の間隙が定常状態から変化する
と、回転軸２０の周囲の回転ケースに形成されたストッ
パー用油溜り部の圧力が高まり、回転軸はその高まった
圧力により隙間が開く方向に移動され、それにより回転
軸は定常位置となり、回転軸と回転ケースとの接触が防
止される。同様に回転軸２０に急激にスラスト荷重が掛
かった場合には、回転軸２０に設けられた円板状部２５
の周囲に形成されたストッパー用油溜り部の圧力が上昇
し、この圧力上昇により回転軸は隙間が開く方向に上昇
した圧力により押し返され、これにより回転軸は定常位
置となる。

【００２８】上記実施例においては、気体軸受の外側に
設けた一対のストッパー用油溜り部３０により気体軸受
部への防塵効果が奏される。また、上記ストッパー用油
溜り部３０へは、供給される油の粘度は通常の軸受に用
いられる粘度よりも遥かに小さいもの（例えば、４０℃
における動粘度が２〜１０ｃｓｔ）とし、且つ供給され
る圧力流量も充分小さいものとすることにより、定常運
転時には、ストッパー用油溜り部３０に供給された油に
より回転軸の回転が阻害されることがないようにしてい
る。

【００２９】また、図４を参照して説明したように、軸
の周囲に形成された複数のストッパー用油溜り部３０に
それぞれ独立した液圧ポンプ３５ａ〜３５ｄを接続する
ことにより、仮に回転軸２０が偏倚することにより一部
箇所の油溜り部３０の圧力が上昇した場合にも、他の油
溜り部３０の圧力が影響を受けることがなく、従って油
溜り部３０のストッパー作用が確実に奏されることにな
る。

【００３０】なお、上述の実施例においては、回転軸２
０に対向する固定ケース１０の内面にストッパー用油溜
り部を形成していたが、固定ケース１０の内周面に対向
する回転軸２０の周囲にストッパー用油溜り部（図示せ
ず）を形成してもよい。

【００３１】また、上記実施例においては、液圧ポンプ
を４台用い、また、ストッパー用油溜り部の数は周方向
に４個設けていたが、ストッパー用油溜り部は円周方向
に３個以上設けていればよい。

【００３２】上記実施例においては、回転軸２０の移動
により生じたストッパー用油溜り部の圧力上昇により回
転軸２０を押し戻して正常状態としていたが、次に示す
実施例においては、回転軸の偏倚を油溜り部の圧力変化
により検出し、この検出により偏倚が検出された箇所に
重点的に軸を押し戻す油を供給するようにした例であ
る。

【００３３】この実施例を以下図６から図１４を参照し
て説明する。図６は第二実施例の断面図であり、図７は
図１のＩ断面図であり、液圧ギャップセンサー部の詳細
を示しており、図８は図１のII矢視断面図であり、ラジ
アル荷重の液圧ストッパー部を示している。図９は図６
から図７に示した液圧ギャップセンサーおよび液圧スト
ッパー部の配管を示す回路図である。図１０は図６の I
II断面図であり、スラスト荷重用の液圧ギャップセンサ
ー部を示し、図１１はIV断面図であり、スラスト荷重用
の液圧ストッパー溜り部を示している。また、図１３は
図６のＶ断面図であり、ラジアル荷重用の空気軸受部を
示しており、図１４は、図６のVI断面図であり、スラス
ト荷重用の空気軸受を示している。

【００３４】図６および図１３に示すように、固定ケー
ス１０には回転軸２０が図１３に示す空気軸受によりラ
ジアル荷重に対し支持され、また、図に示す空気軸受に
よりスラスト荷重に対して支持されて回転可能となって
いる。空気軸受は、前述した第一実施例と同様の構造で
あるので、同一の引用符号を付して、その詳細な説明は
省略する。

【００３５】回転軸２０の周囲には、ラジアル荷重によ
る回転軸の偏倚を検出し、回転軸を定常位置へ戻すため
の油溜り部が形成されている。

【００３６】この実施例においては、油溜り部が偏倚を
検知するためのセンサー用油溜り部８０と偏倚が検知さ
れた場合に、回転軸を定常位置に押し戻すためのストッ
パー用油溜り部３０に分けられる。押し戻し用のストッ
パー用油溜り部３０は図８に示すように、回転軸２０の
回りに周方向に８つの油溜り部が形成されているが、こ
の油溜り部３０の数は軸径が多くなる程、例えば１０
個、１２個と増加させることが好ましい。各油溜り部に
は後述するようにギャップセンサーによりギャップが減
少したことが検出されるとポンプ３５（図９）から高圧
の油が供給されるようになっている。なお、ストッパー
用油溜り部３０と回転軸２０との間隙からの戻り油は図
８に破線で示す戻り通路を経てタンクへ戻入れされる。

【００３７】なお、回転軸２０と固定ケース１０との隙
間は、正常状態で１０〜３０ミクロンであり、このよう
な正常ギャップでは０〜３kg／cm²とほぼ大気圧となっ
ている。

【００３８】ギャップが小さくなった場合に、この液圧
ストッパー用油溜り部３０に油を供給するための液圧ギ
ャップセンサーは図７に示すように、回転軸２０の周囲
に複数のギャップセンサー用油溜り部８０が形成されて
おり、この油溜り部８０へは絞り８１を介して油圧ポン
プ８３からギャップセンサー用の２０〜４０kg／cm²の
圧力の油が１〜３ｌ／分で供給されている。

【００３９】このギャップセンサー用油溜り部８０は、
この実施例においては回転軸２０の回りに８個形成され
ているが、この個数は、前述の液圧ストッパー用油溜り
部と同様に回転軸２０の軸径により適宜増減するもので
あり、軸径が大きくなれば、例えば１０個、１２個と増
加させるものである。また、回転軸２０と固定ケース１
０間の隙間は、前述した液圧ストッパー部の油溜り部と
同様に１０〜３０ミクロン程度とし、０〜３kg／cm²程
度のほぼ大気圧の圧力が正常ギャップで発生するように
している。

【００４０】各ギャップセンサー用油溜り部８０から
は、ギャップ部の油を導き出すセンサー用導管８７が導
かれている。センサー用導管８７は、図９に示す液圧導
入バルブ９０に導かれている。液圧導入バルブ９０は筒
状をしており、その内部の一端部（図９において左側）
にはスプリング９１とそのスプリング９１により押し付
けられたボール９２を具備したチェック弁室９３が形成
されており、ボール９２に対向してバルブ本体に摺動可
能にロッド９５が設けられ、ロッド９５の図９において
右側端面には前述したギャップセンサー用油溜り部８０
からセンサー用導管８７を経て圧力が導入されるように
なっている。

【００４１】また、前述したチェック弁が設けられてい
るチェック弁室９３には、油圧ポンプ３５からストッパ
ー用液圧が供給されている。また、ロッド９５によりス
トッパー用ボール９２が押し開かれたときに、油圧ポン
プ３５から供給された液圧が前述した図８に示すストッ
パー用油溜り部３０へ供給されるよう配管が接続されて
いる。なお、図７および図９においては、上記一連の部
品および配管が軸受本体と別体のように示されている
が、これらの部品は本発明に係る静圧流体軸受装置内に
組込んでいてもよく、また、これらを結ぶ配管は軸受本
体内に形成されていてもよい。ストッパー用液圧発生用
ポンプ３５は、ダイイチ実施例のものと同様な低粘度の
油（例えば、４０℃における動粘度が２〜１０ｃｓｔ）
を吐き出し、吐き出し口の流量が１〜３ｌ／分程度であ
り、この時のセット圧は１４０〜１７０kg／cm²とする
ことが好ましい。

【００４２】上記の構成は、回転軸２０のラジアル荷重
を検出し、ストッパー用液圧を発生する装置であるが、
同様にスラスト荷重を検出し、ストッパー用液圧を発生
する装置がこの実施例においては設けられている。図１
１は回転軸２０がスラスト方向に移動した場合にスラス
ト荷重による液圧の変化によってストッパー用液圧を発
生させるためのスラスト荷重用ストッパー用油溜り部２
２を示しており、また、図１０は回転軸２０のスラスト
方向移動によりギャップが変化した場合のギャップ圧力
の変化を検出するための機構を示している。図１０にお
いてはポンプ９７により１〜３ｌ／分で２０〜４０kg／
cm²の油が通路Ｋ１からギャップセンサーの油溜り部８
０′に供給され、油溜り部８０′の一部の圧力が通路Ｋ
２から取り出され、液圧導入バルブ９０′に導入され、
液圧導入バルブ９０′は前述した図９の装置と同様の構
造をしており、ギャップセンサーにより圧力が増加した
ことが検出されると通路Ｋ３からストッパー用油溜り部
２３に圧力が供給されるようになっている。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、毎分４〜１０万回転で
極めて損失の少ない、従って発熱もほとんどない、且つ
定常荷重に対しては剛性値１０〜３０kg／μの、ボール
ベアリングと同等かまたはそれより高い剛性を有する優
れた工作機械用スピンドルが提供される。

【００４４】衝撃荷重に対しては、軸は１０〜２０μ程
度の偏心をするが、液圧式金属接触防止装置により焼き
付くことはなく、数十ないし数百ｍ秒で正常な位置に復
帰する。

【００４５】かくして高速で、外部荷重に対しては剛性
の高い、且つ寿命について特段の憂慮の必要のない高生
産性工作機械用スピンドルが提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施例の断面図である。

【図２】図１のＡ断面図である。

【図３】図１のＢ断面図である。

【図４】図１のＣ断面図である。

【図５】図１のＤ断面図である。

【図６】本発明の第二実施例の断面図である。

【図７】図６のＩ断面図である。

【図８】図６のII断面図である。

【図９】図１に示す第二実施例の配管図である。

【図１０】図１のIII 断面図である。

【図１１】図６のIV断面図である。

【図１２】図１０および図１１に示す装置の配管図であ
る。

【図１３】図６に示す装置のラジアル方向気体軸受を示
すＶ断面図である。

【図１４】図６のVI断面図であり第二実施例のスラスト
方向の気体軸受を示す。

【符号の説明】

１０固定ケース２０回転軸３０ストッパー用油溜り部３５ポンプ

【手続補正書】

【提出日】平成４年４月２３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】圧力の最大として安全弁により１４０〜
２１０kg／cm²にセットすると、本発明として、例えば
三連の小型ギヤーポンプ等が使用可能となり、数十kgの
金属接触防止力が得られる。また、それぞれのポンプ流
量は例えば１ｌ／分程度とすれば、その消費動力も特段
の考慮を必要としない。ポンプはさほど重要な機器では
ないので、ここでは数百回転の入力回転としておくと、
低粘度、液の汚れ、高圧に強いものとなる。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００４１】また、前述したチェック弁が設けられて
いるチェック弁室９３には、油圧ポンプ３５からストッ
パー用液圧が供給されている。また、ロッド９５により
ストッパー用ボール９２が押し開かれたときに、油圧ポ
ンプ３５から供給された液圧が前述した図８に示すスト
ッパー用油溜り部３０へ供給されるよう配管が接続され
ている。なお、図７および図９においては、上記一連の
部品および配管が軸受本体と別体のように示されている
が、これらの部品は本発明に係る静圧流体軸受装置内に
組込んでいてもよく、また、これらを結ぶ配管は軸受本
体内に形成されていてもよい。ストッパー用液圧発生用
ポンプ３５は、第１図実施例のものと同様な低粘度の油
（例えば、４０℃における動粘度が２〜１０ｃｓｔ）を
吐き出し、吐き出し口の流量が１〜３ｌ／分程度であ
り、この時のセット圧は１４０〜２１０kg／cm²とする
ことが好ましい。

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１２】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】回転軸が固定ケース内に挿入され、該回
転軸が圧縮空気によって回転自在に支持された静圧流体
軸受装置において、前記回転軸の周囲に対向するケース
内周面、またはケース内周面に対向する回転軸の周囲
に、複数のストッパー用油溜り部が円周方向に間隔を開
けて設けられ、該油溜り部は、所定の圧力および所定の
流量の油を供給する液圧ポンプに接続されていることを
特徴とする静圧流体軸受装置。
【請求項２】前記液圧ポンプが、油溜り部の個数に対
応する複数個の液圧ポンプからなり、各油溜り部に各々
別個の液圧ポンプによって油が供給されることを特徴と
する請求項１に記載の静圧流体軸受装置。
【請求項３】前記ストッパー用油溜り部の近傍におい
て、回転軸の周囲に対向するケース内周面、またはケー
ス内周面に対向する回転軸の周囲に、複数のギャップセ
ンサー用油溜り部が円周方向に間隔を開けて設けられ、
該ギャップセンサー用油溜り部はギャップセンサー用液
圧を供給するギャップセンサー用液圧ポンプおよび液圧
導入弁の操作部に連通しており、該液圧導入弁は前記ス
トッパー用油溜り部と液圧ポンプとの間に設けられ、該
液圧導入弁は通常は閉じており前記操作部にギャップセ
ンサー用油溜り部から所定圧以上のギャップセンサー用
液圧が作用すると開いて前記ストッパー用油溜り部へ圧
油を供給するチェック弁を具備していることを特徴とす
る請求項１に記載の静圧流体軸受装置。
【請求項４】回転軸から外周方向へ延在する第１円板
部および第２円板部、該第１円板部の両側面、または該
両側面に対向するケース両側面に設けられたスラスト空
気溜り部、前記第２円板部の両側面、または該両側面に
対向するケース両側面に設けられたスラストストッパー
用油溜り部およびスラストギャップセンサー用油溜り
部、該スラストギャップセンサー用油溜り部はスラスト
ギャップセンサー用液圧を供給するスラストギャップセ
ンサー用液圧ポンプおよびスラスト液圧導入弁の操作部
に連通しており、該スラスト液圧導入弁は前記スラスト
ストッパー用油溜り部とスラスト液圧ポンプとの間に設
けられ、該スラスト液圧導入弁は通常は閉じており前記
操作部にスラストギャップセンサー用油溜り部から所定
圧以上のスラストギャップセンサー用液圧が作用すると
開いて前記スラストストッパー用油溜り部へ圧油を供給
するチェック弁を具備していることを特徴とする請求項
１に記載の静圧流体軸受装置。
【請求項５】前記複数のストッパー用油溜り部が軸方
向に一対あることを特徴とする請求項２に記載の静圧流
体軸受装置。
【請求項６】複数のギャップセンサー用油溜り部、複
数の液圧導入弁、および、複数のストッパー用油溜り部
が軸方向に一対あることを特徴とする請求項３に記載の
静圧流体軸受装置。