JP4333141B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
積層セラミック電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4333141B2 JP4333141B2 JP2003004459A JP2003004459A JP4333141B2 JP 4333141 B2 JP4333141 B2 JP 4333141B2 JP 2003004459 A JP2003004459 A JP 2003004459A JP 2003004459 A JP2003004459 A JP 2003004459A JP 4333141 B2 JP4333141 B2 JP 4333141B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- internal electrode
- ceramic layer
- ceramic
- suppressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
昨今の電子機器は携帯電話やコンピュータ等の情報移動体通信関連の電子機器をはじめとした小型軽量化が進行する中で、積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサにおいても小型大容量化が強く要望されている。
【0003】
そして、積層セラミックコンデンサの大容量化を図るため、セラミック層および内部電極層の薄層化、高積層化が進行している。しかし、高積層化に伴い内部電極層が形成された部分と内部電極層が形成されていない部分との厚みの差、つまり内部電極層の有無による段差が増加して、この段差に起因したセラミック層の接着性低下や焼結体素子の層間剥離が発生し易くなるという問題がある。このために、内部電極層の有無による段差を解消するための種々の方法が提案されている。
【0004】
例えば、従来、以上のような積層セラミック電子部品の製造方法が提案されている。図6は、従来の積層セラミック電子部品の製造方法を説明するための断面図である。
【0005】
まず、図6(a)に示すように、キャリアフィルム116上に内部電極ペーストを所定のパターンでスクリーン印刷、乾燥して内部電極層112を複数個形成する。
【0006】
次に、図6(b)に示すように、内部電極層112とは逆のパターンを用いてスクリーン印刷し、キャリアフィルム116上の内部電極層112以外の部分に段差抑制用セラミック層111を形成し、図6(c)に示す第1の部分を準備する。
【0007】
一方、別のキャリアフィルム216上のほぼ全面に、セラミックスラリーをドクターブレード法等により塗布、乾燥して、セラミックシート113を作製し、図6(d)に示す第2の部分を準備する。
【0008】
その後、図6(e)に示すように、図6(d)に示す第2の部分と図6(c)に示す第1の部分とを、必要に応じて交互に積層、加熱圧着して、図6(f)に示す積層セラミックコンデンサの積層体グリーンブロックを作製する。
【0009】
上記のような、内部電極層の逆パターン状の段差抑制用セラミック層を形成する段差の解消方法に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1、特許文献2および特許文献3などが知られている。
【0010】
【特許文献1】
特開平1−208824号公報
【特許文献2】
特開平2−100306号公報
【特許文献3】
特開平6−96991号公報
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような、内部電極層の逆パターン状の段差抑制用セラミック層を形成する従来の段差の解消方法では、内部電極層と段差抑制用セラミック層との位置合わせが難しく、位置ずれが生じやすいという問題がある。
【0012】
具体的には、内部電極層を形成するパターンと段差抑制用セラミック層を形成するパターンとは、それぞれ別々のパターンから作製される。例えば、スクリーン印刷法やグラビア印刷法によりこれらを形成する場合、内部電極層と段差抑制用セラミック層は別々のスクリーン版やグラビア版を使用することになる。そこで、現在の製版技術においては、製版する際に少なからず内部電極層と段差抑制用セラミック層との間に寸法差が生じてしまう。また、これらの印刷法により、キャリアフィルム等の支持体上に内部電極層や段差抑制用セラミック層を形成する場合においても、キャリアフィルム等の支持体自体の伸縮により生じる寸法差がさらに加わることになる。また、内部電極層や段差抑制用セラミック層を印刷機や積層機で重ね合わせる場合においても、機械的な位置合わせによる寸法差が生じることになる。
【0013】
そして、内部電極層と段差抑制用セラミック層の重ね合わせの位置がずれると、内部電極層と段差抑制用セラミック層との間に隙間が生じ、焼結体素子に空洞が発生するという問題が生じる。また、段差抑制用セラミック層が内部電極層に乗り上げた場合は、セラミック層の厚みが変化してしまうため、所望の静電容量の積層セラミックコンデンサを得ることができないという問題点を有していた。
【0014】
また、セラミックスラリーおよびペーストを用いた湿式による所定パターンの段差抑制用セラミック層の形成は、ペーストの表面張力や乾燥収縮により厚みや寸法が変化するため、薄く均一な厚みをもつ段差抑制用セラミック層を作製することは難しいという問題点を有していた。
【0015】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、内部電極層と段差抑制用セラミック層との位置合わせ、位置ずれの問題が無く、薄層化高積層化しても内部電極層の有無による段差に起因する構造欠陥の発生が無く、優れた電気特性を有する積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【0017】
本発明の請求項1に記載の発明は、セラミック層と内部電極層とを交互に積層して積層セラミック電子部品の積層体グリーンブロックを作製する工程において、同一面上にパターンニングされた複数個の内部電極層と内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、内部電極層の形成されていない部分に段差抑制用セラミック層を形成して内部電極層の有無による段差を抑制する工程を備え、前記内部電極層上の段差抑制用セラミック層を除去する方法が、粘着層を前記段差抑制用セラミック層上に配置し前記粘着層を剥離するとともに内部電極層上の段差抑制用セラミック層を除去するものであって、内部電極層を形成する被形成体と内部電極層との間の粘着強度をA、内部電極層と段差抑制用セラミック層との間の粘着強度をB、内部電極層を形成する被形成体と段差抑制用セラミック層との間の粘着強度をC、段差抑制用セラミック層と粘着層との間の粘着強度をD、段差抑制用セラミック層のシート強度をEとした場合、それぞれの強度の関係を、A>Bであり、D>Bであり、かつC>D>Eとした積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、段差抑制用セラミック層は内部電極層に対して特定のパターンではなくシート状であるので、内部電極層に対する段差抑制用セラミック層の精密な位置合わせは特に必要とせず極めて容易に位置合わせができるとともに、内部電極層上の段差抑制用セラミック層を除去することで、内部電極層の形成されていない部分に選択的に段差抑制用セラミック層を形成することができるので、従来の技術で問題となっていた内部電極層と段差抑制用セラミック層との位置合わせ、位置ずれの問題が発生しない。また、内部電極層上の段差抑制用セラミック層を確実に精度良く除去でき、内部電極層の形成されていない部分に段差抑制用セラミック層を精度良くかつ容易に形成することができるものである。
【0018】
また、段差抑制用セラミック層は、周囲のセラミック層と同様のシート状であるので、内部電極層間に厚みが薄く均一に形成することができるとともに、積層体を焼成した際の段差抑制用セラミック層とセラミック層の焼結収縮挙動が安定するために構造欠陥が発生しにくくなる。
【0019】
本発明の請求項2に記載の発明は、特に、支持体上に複数個の内部電極層を形成し、前記内部電極層と前記内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、支持体上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成して、前記複合層とセラミック層とを交互に積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、あらかじめ支持体上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成して、この複合層を一度に積層するので、内部電極層と段差抑制用セラミック層とをそれぞれ別々に積層する場合と比較して、積層体の作製に要する時間を短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0020】
本発明の請求項3に記載の発明は、特に、支持体上に形成した複合層の上に、セラミック層を貼り合わせて複合シートを作製して、前記複合シートを積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、あらかじめ作製した複合シートを一度に積層することができるので、内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層とセラミック層とをそれぞれ別々に積層する場合と比較して、積層体の作製に要する時間をさらに短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0021】
本発明の請求項4に記載の発明は、特に、支持体上にセラミック層を形成し、前記セラミック層上に複数個の内部電極層を形成し、前記内部電極層と前記内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、支持体上のセラミック層上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成した複合シートを作製して、前記複合シートを積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、上記と同様に、あらかじめ作製した複合シートを一度に積層することができるので、内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層とセラミック層とをそれぞれ別々に積層する場合と比較して、積層体の作製に要する時間をさらに短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0022】
本発明の請求項5に記載の発明は、特に、支持体上に紫外線硬化樹脂を含有する粘着層を介してセラミック層を形成し、このセラミック層上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成した複合シートを作製して、前記複合シートを積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、紫外線の照射前後で粘着層の粘着強度を変えることができ、したがって、セラミック層とこれを保持する支持体との粘着強度を、セラミック層の保持時には大きく、支持体の剥離時には小さくできるので、複合シートの作製およびこの複合シートを用いた積層が、容易に安定した状態で行うことができる。また、上記と同様に、積層体の作製に要する時間をさらに短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0023】
本発明の請求項6に記載の発明は、特に、支持体上に紫外線硬化樹脂を含有する粘着層を介して複数個の内部電極層を形成し、前記内部電極層と前記内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、支持体上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成して、前記複合層とセラミック層とを交互に積層する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、これにより、紫外線の照射前後で粘着層の粘着強度を変えることができ、したがって、内部電極層および段差抑制用セラミック層とこれを保持する支持体との粘着強度を、段差抑制用セラミック層の形成時には大きく、支持体の剥離時には小さくできるので、粘着層に段差抑制用セラミック層を十分に粘着させ、内部電極層の形成されていない部分に段差抑制用セラミック層を精度良く形成することが可能となるとともに、支持体の剥離も容易に行えるものである。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサを例に説明する。
【0026】
(実施の形態1)
以下、実施の形態1を用いて、本発明の特に請求項1に記載の発明について説明する。
【0027】
本発明の実施の形態1について図面を参照して説明する。図1は本実施の形態1における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図である。図1において、11は段差抑制用セラミック層、12は内部電極層、13はセラミック層、14はベースフィルム、15は粘着層である。
【0028】
以下、本実施の形態1における積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
【0029】
まず、チタン酸バリウム等の誘電体セラミック粉末を主成分とする原料粉末100重量部に対して、ポリビニルブチラール等の有機バインダを5重量部以上10重量部以下と、フタル酸エステル等の可塑剤を1重量部以上5重量部以下と、酢酸ブチル等の有機溶剤とを適量混合してセラミックスラリーを作製した。
【0030】
次に、ドクターブレードやリップコータ等のシート成形法により、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを塗布乾燥して、厚み2μmの段差抑制用セラミック層11と、また、この段差抑制用セラミック層11とは別に、キャリアフィルム上に10μmのセラミック層13および50μmのセラミック層13をそれぞれ作製した。
【0031】
次に、図1(a)に示すように、上記の厚み50μmのセラミック層13を、キャリアフィルム側から、セラミック層13に含まれる有機バインダ成分のガラス転移点以上である温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着して台座面(図示せず)に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離した。次に、さらにその上に厚み50μmのセラミック層13を貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行って、所定の枚数となるようにセラミック層13を積み重ねて、下無効層部となるセラミック層13を作製した。
【0032】
次に、下無効層部となるセラミック層13上に、Ni等の金属粉末100重量部に対して、エチルセルロース等の有機バインダを3重量部以上8重量部以下と、ターピネオール等の有機溶剤を適量混合した内部電極ペーストを、所定のパターンでスクリーン印刷後、乾燥して厚み2μmの内部電極層12を同一面上に複数個形成した。
【0033】
次に、セラミック層13上に形成された複数個の内部電極層12上に、キャリアフィルム上に形成した厚み2μmの段差抑制用セラミック層11をキャリアフィルムから剥離して、剥離した面が下になるようにして内部電極層12と内部電極層12が形成されていない部分のセラミック層13を覆うように、図1(b)に示すように貼り合わせた。また、段差抑制用セラミック層11と、内部電極層12および内部電極層12が形成されていない部分のセラミック層13との間に気泡が残らないように、弾性ゴムローラー等を用いて低圧にて段差抑制用セラミック層11を軽く圧着させて気泡を除去した。
【0034】
ここで、段差抑制用セラミック層11は内部電極層12に対して特定のパターンではなく均一な厚みのシート状であるので、内部電極層12に対して段差抑制用セラミック層11の精密な位置合わせは、特に必要としない。したがって、極めて容易に貼り合わせを行うことができる。
【0035】
次に、貼り合わされた段差抑制用セラミック層11の上に、図1(c)に示すように、ベースフィルム14上に形成した厚み50μmのアクリル樹脂系の粘着層15を貼り合わせた後、内部電極層12と段差抑制用セラミック層11とが粘着しないように、内部電極層12中に含まれる有機バインダ成分のガラス転移点以下の温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件で圧着した。
【0036】
次に、図1(d)に示すように、ベースフィルム14および粘着層15を剥離するとともに、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11のみを粘着層15に粘着させて除去し、隣接する内部電極層12間に段差抑制用セラミック層11を形成して、図1(e)に示すように、内部電極層の有無による段差を抑制した。
【0037】
ここで、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11を除去することにより隣接する内部電極層12間に段差抑制用セラミック層11を容易に形成するためには、各層の界面の粘着強度および段差抑制用セラミック層11のシート強度の大小関係がポイントとなる。
【0038】
以下に、本実施の形態1における段差抑制用セラミック層11、内部電極層12、セラミック層13および粘着層15の各層の界面の粘着強度と、段差抑制用セラミック層11のシート強度を測定した結果を説明する。
【0039】
ここで、内部電極層12とセラミック層13との間の粘着強度を粘着強度A1、内部電極層12と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度を粘着強度B1、段差抑制用セラミック層11とセラミック層13との間の粘着強度を粘着強度C1、段差抑制用セラミック層11と粘着層15との間の粘着強度を粘着強度D1、段差抑制用セラミック層11のシート強度をシート強度E1とする。
【0040】
粘着強度A1は、本実施の形態1と同一条件にてセラミック層13上に形成された内部電極層12の上に粘着テープを貼り合わせて、これを180°方向に引き剥がした時の強度を測定することにより求めた。粘着強度B1および粘着強度C1においても同様に、それぞれの層を本実施の形態1と同一条件にて貼り合わせた後、一方の面に、粘着テープを貼り合わせて、これを180°方向に引き剥がした時の強度を測定することにより求めた。粘着強度D1は、ベースフィルム14上に形成された粘着層15上に、段差抑制用セラミック層11を本実施の形態1と同一条件にて貼り合わせた後、この上に粘着テープを貼り合わせて、180°方向に引き剥がした時の強度を測定することにより求めた。シート強度E1については、段差抑制用セラミック層11の180°方向の引張強度を測定することにより求めた。これらの強度測定結果を(表1)に示す。
【0041】
【表1】
【0042】
(表1)に示すように、粘着強度B1を粘着強度A1および粘着強度D1に比して小さくすることにより、内部電極層12上の段差抑制用セラミック層11を剥離する際に、内部電極層12を剥離することなく、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11のみを容易に除去することが可能となった。本実施の形態1においては、内部電極層12はセラミック層13上に内部電極ペーストを印刷乾燥することにより形成したので内部電極層12とセラミック層13との界面は強固に粘着しており、粘着強度A1は内部電極層12とこの上に貼り合わせた粘着テープとの界面の粘着強度よりも大きく、粘着テープが内部電極層12から先に剥がれたため、測定上限以上となり、セラミック層13から内部電極層12が剥離することは無かった。
【0043】
また、粘着強度B1は、段差抑制用セラミック層11のキャリアフィルムからの剥離面と、内部電極層12の有機バインダ成分が比較的疎となる表面を貼り合わせていることと、内部電極層12中に含まれる有機バインダ成分のガラス転移点以下の温度10℃以上30℃以下、および加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件の低圧力で圧着したので、ほとんど粘着していないため測定限界下限以下となっており、容易に内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11を除去することができた。
【0044】
ここで、粘着強度B1≧粘着強度A1とすると、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11を除去する際に、内部電極層12も同時に除去されて、所望の電気特性が得られないので望ましくない。また、粘着強度B1≧粘着強度D1とすると、内部電極層12上の除去するべき段差抑制用セラミック層11が残ってしまい、内部電極層12間のセラミック有効層の厚みを変化させ所望の電気特性が得られないので望ましくない。
【0045】
従って、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11の除去を容易に行うためには、粘着強度B1は、粘着強度A1および粘着強度D1に比して小さいことが必要となる。
【0046】
次に、粘着強度C1を粘着強度D1に比して大きくすることにより、内部電極層12上の段差抑制用セラミック層11を剥離する際に、隣接する内部電極層12間にある段差抑制用セラミック層11が除去されることなく容易に形成することが可能となった。本実施の形態1においては、隣接する内部電極層12間にあるセラミック層13と段差抑制用セラミック層11とは、有機バインダ成分が比較的密であるキャリアフィルムを剥離した面同士を貼り合わせているために、温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件の低圧下での圧着でも十分に粘着し、隣接する内部電極層12間にあるセラミック層13と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度C1は大きい。また、段差抑制用セラミック層のシート強度E1を、粘着強度D1に比して小さくすることにより、内部電極層12上の段差抑制用セラミック層11のみを除去して、隣接する内部電極層12間に段差抑制用セラミック層11を容易に形成することが可能となった。
【0047】
ここで、粘着強度D1≧粘着強度C1とすると、隣接する内部電極層12間に残すべき段差抑制用セラミック層11が粘着層15に粘着して除去されてしまうので望ましくない。また、シート強度E1≧粘着強度D1とすると、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11が粘着層15から剥れ、段差抑制用セラミック層11のパターンニングができずに内部電極層12上に残ってしまい、内部電極層12間のセラミック有効層の厚みを変化させ所望の電気特性が得られないので望ましくない。従って、段差抑制用セラミック層を精度良く形成するために、シート強度E1は粘着強度D1に比して小さいほど望ましい。
【0048】
以上から、粘着強度A1、B1、C1、D1およびシート強度E1の大小を利用してセラミック層13上に形成された複数個の内部電極層12上に、段差抑制用セラミック層11を内部電極層12と内部電極層12が形成されていない部分の全面を覆うように貼り合わせた後、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11のみを除去して、隣接する内部電極層12間に段差抑制用セラミック層11を形成するためには、それぞれの強度の関係が、粘着強度A1>粘着強度B1であり、粘着強度D1>粘着強度B1であり、かつ粘着強度C1>粘着強度D1>シート強度E1であることが必要であり、これらの強度の大小関係を満たすことにより、内部電極層12上にある段差抑制用セラミック層11を除去して、且つ内部電極層12の無い部分に段差抑制用セラミック層11を残すことができるので、従来の技術で問題となっていた内部電極層12と段差抑制用セラミック層11との重ね合わせによる位置ずれが発生すること無く段差抑制用セラミック層11を容易にパターンニングすることが可能となる。
【0049】
次に、図1(f)に示すように、キャリアフィルム上に形成した厚み10μmのセラミック層13を、温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離して、有効層となるセラミック層13を形成した。
【0050】
次に、上記のセラミック層13の上に、図1(a)から図1(f)に示したと同様な方法で、内部電極層12の形成、段差抑制用セラミック層11の形成およびセラミック層13の形成の工程を繰り返して行い、内部電極層12と段差抑制用セラミック層11とを101枚、セラミック層13を100枚積層して図1(g)に示す状態を得た。
【0051】
次に、この図1(g)に示す状態の上に、厚み50μmのセラミック層13を積層、加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行い所定の枚数だけ重ね合わせて上無効層部を形成し、図1(h)に示す積層体グリーンブロックを作製した。
【0052】
次に、作製された積層体グリーンブロックを、所定の寸法に切断して個片とし積層体グリーンチップを作製した。次に、得られた積層体グリーンチップを所定の雰囲気と温度で脱脂、焼成した後、内部電極層の露出した両端面に外部電極を形成して積層セラミックコンデンサの完成品を得た。
【0053】
この本実施の形態1の積層セラミックコンデンサは、内部電極層12と、段差抑制用セラミック層11とを精度良く、かつ容易に積層することが可能となるので、内部電極層12の有無による段差を低減し、構造欠陥の発生を抑制することができた。
【0054】
また、段差抑制用セラミック層11は、セラミック層13と同一の組成のものを用いるので、積層体を焼成した際の段差抑制用セラミック層11とセラミック層13の焼結収縮挙動が安定するために構造欠陥がさらに発生しにくくなる。
【0055】
また、本実施の形態1においては、段差抑制用セラミック層11、セラミック層13、セラミック層13および内部電極層12の厚み方向に生じた有機バインダ成分の分布の疎密を利用することにより、段差抑制用セラミック層11と内部電極層12との間の粘着強度B1や内部電極層12を形成したセラミック層13と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度C1の大小を制御して、容易に段差抑制用セラミック層11を形成したが、段差抑制用セラミック層11、セラミック層13、セラミック層13および内部電極層12に含まれる有機バインダの種類、添加量およびガラス転移点等を変化させることにより、それぞれの界面の粘着強度を制御しても同様の効果が得られる。
【0056】
なお、本実施の形態1においては、段差抑制用セラミック層11はその厚みを内部電極層12と略同一の2μmとして内部電極層12と同枚数の段差抑制用セラミック層11を形成したが、段差抑制用セラミック層11の厚みや層数に特に制限は無く、内部電極層の総厚みの30%から120%に設定されるのが望ましい。さらに望ましくは50%から100%の範囲で決定されるのが望ましい。また、前述した粘着強度B、C、Dおよびシート強度Eを各層に含まれる有機バインダの種類、添加量およびガラス転移点等を適当な範囲で制御することにより、さらに厚みの厚い段差抑制用セラミック層11を一度に形成して段差抑制用セラミック層の形成回数を削減して生産性を向上させることも可能である。
【0057】
また、隣接する内部電極層12間に段差抑制用セラミック層11の境目を精度良く形成するために、あらかじめ段差抑制用セラミック層11を内部電極層12と内部電極層の無い部分の全体を覆うように貼り合わせた後に、弾性ゴム等により全体を均一に加圧圧着して、段差抑制用セラミック層11を内部電極層12の外周部のセラミック層13にムラ無く粘着させることが望ましい。
【0058】
(実施の形態2)
以下、実施の形態2を用いて、本発明の特に請求項2に記載の発明について説明する。
【0059】
本発明の実施の形態2について図面を参照して説明する。図2は本実施の形態2における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図である。図2において、11は段差抑制用セラミック層、13はセラミック層、14はベースフィルム、15は粘着層、22は内部電極層、26は支持フィルムである。
【0060】
以下、本実施の形態2における積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。ここで、ベースフィルム14および粘着層15は実施の形態1と同様のものを用い、段差抑制用セラミック層11、セラミック層13は実施の形態1と同様にして作製したものを用いたので、これらは、同番号を付し詳細は省略する。また、内部電極層22の形成に用いた内部電極ペーストも、実施の形態1と同様のものを用いたので、詳細な説明は省略する。
【0061】
まず、図2(a)に示すように、支持体となる支持フィルム26上に、本実施の形態1で使用した内部電極ペーストを所定のパターンでスクリーン印刷後、乾燥して厚み2μmの内部電極層22を複数個形成した。
【0062】
次に、図2(b)に示すように、支持フィルム26上に形成された複数個の内部電極層22上に、キャリアフィルム上に形成した厚み2μmの段差抑制用セラミック層11をキャリアフィルムから剥離して、剥離した面が下になるように内部電極層22と内部電極層22が形成されていない部分を覆うように貼り合わせた。
【0063】
次に、図2(c)に示すように、貼り合わされた段差抑制用セラミック層11の上に、ベースフィルム14上に形成した厚み50μmのアクリル樹脂系の粘着層15を、温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件で圧着した。
【0064】
次に、図2(d)に示すように、ベースフィルム14および粘着層15を剥離するとともに、内部電極層22上にある段差抑制用セラミック層11を粘着層15に粘着させて除去して、隣接する内部電極層22間に段差抑制用セラミック層11を残すことにより、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とからなる段差の抑制された複合層を支持フィルム26上に形成し、図2(e)に示す状態を得た。これを複数枚作製した。
【0065】
ここで、内部電極層22と支持フィルム26との間の粘着強度を粘着強度A2、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度を粘着強度B2、段差抑制用セラミック層11と支持フィルム26との間の粘着強度を粘着強度C2、段差抑制用セラミック層11と粘着層15との間の粘着強度を粘着強度D2、段差抑制用セラミック層11のシート強度をシート強度E2として、本実施の形態2における各層間の粘着強度および段差抑制用セラミック層のシート強度E2を実施の形態1と同様にして測定した結果を(表2)に示す。
【0066】
【表2】
【0067】
(表2)に示すように、それぞれの強度の関係を、粘着強度A2>粘着強度B2であり、粘着強度D2>粘着強度B2であり、かつ粘着強度C2>粘着強度D2>シート強度E2となるようにした。これにより、本実施の形態2においては内部電極層22上にある段差抑制用セラミック層11を除去して、内部電極層22の無い部分に段差抑制用セラミック層11を残すことができるので、従来の技術で問題となっていた位置ずれの問題が発生すること無く、内部電極層22間に段差抑制用セラミック層11を容易にパターンニングすることができた。
【0068】
一方、実施の形態1と同様に、キャリアフィルム上に形成した厚み50μmのセラミック層13を、キャリアフィルム側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着して台座面(図示せず)に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離するという動作を繰り返し行って、所定の枚数となるようにセラミック層13を積み重ねて下無効層部となるセラミック層13を作製した。
【0069】
そして、下無効層部のセラミック層13上に、図2(e)の支持フィルム26上に形成された複合層を、支持フィルム26側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した後、図2(f)に示すように、支持フィルム26を剥離した。
【0070】
次に、下無効層部のセラミック層13上に形成された内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とからなる複合層上に、キャリアフィルム上に形成された厚み10μmのセラミック層13をキャリアフィルム側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離し、図2(g)に示す状態を得た。
【0071】
続いて、上記で説明した図2(f)および図2(g)の工程を繰り返して行い、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とを101枚、セラミック層13を100枚積層して図2(h)に示す状態を得た。
【0072】
次に、この図2(h)に示す状態の上に、厚み50μmのセラミック層13を積層、加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行い所定の枚数だけ重ね合わせて上無効層部を形成し、図2(i)に示す積層体グリーンブロックを作製した。
【0073】
次に、実施の形態1と同様に、作製された図2(i)に示す積層体グリーンブロックを、所定の寸法に切断して個片とし積層体グリーンチップを作製した。次に、得られた積層体グリーンチップを所定の雰囲気と温度で脱脂、焼成した後、内部電極層の露出した両端面に外部電極を形成して積層セラミックコンデンサの完成品を得た。
【0074】
本実施の形態2の積層セラミックコンデンサもまた、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とを精度良く、かつ容易に積層することが可能となるので、内部電極層22の有無による段差を低減し、構造欠陥の発生を抑制することができた。
【0075】
なお、本実施の形態2は、支持フィルム26上に形成された内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とからなる段差の抑制された複合層をあらかじめ作製し、この複合層とセラミック層13とを交互に積層するので、実施の形態1の内部電極層22と段差抑制用セラミック層11をそれぞれ別々に積層する場合と比較して、積層体グリーンブロックの作製に要する時間を短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0076】
(実施の形態3)
以下、実施の形態3を用いて、本発明の特に請求項3に記載の発明について説明する。
【0077】
本発明の実施の形態3について図面を参照して説明する。図3は本実施の形態3における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図である。図3において、11は段差抑制用セラミック層、13はセラミック層、14はベースフィルム、15は粘着層、22は内部電極層、26は支持フィルムである。これらはいずれも、実施の形態2と同様のものを用いたので、同番号を付し詳細は省略する。
【0078】
以下、本実施の形態3における積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。なお、図3(a)から図3(e)までの工程は、実施の形態2の図2(a)から図2(e)までの工程と同様なので説明は省略する。
【0079】
図3(e)に示すように、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とからなる複合層を支持フィルム26上に形成した後、図3(e)の複合層の上に、キャリアフィルム上に形成された厚み10μmのセラミック層13をキャリアフィルムから剥離して、剥離した面を下にして、温度10℃以上100℃以下、圧力0.1MPa以上15MPa以下の条件で貼り合わせて、内部電極層22が埋め込まれ、内部電極層22の有無による段差を抑制した図3(f)に示す複合シートを支持フィルム26上に形成した。これを複数枚作製した。
【0080】
なお、各層の界面の粘着強度および段差抑制用セラミック層11のシート強度は、いずれも、上述した本実施の形態2と同様であり(表2)に示したとおりである。
【0081】
一方、実施の形態1と同様に、キャリアフィルム上に形成した厚み50μmのセラミック層13を、キャリアフィルム側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着して台座面(図示せず)に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離するという動作を繰り返し行って、所定の枚数となるようにセラミック層13を積み重ねて下無効層部となるセラミック層13を作製した。
【0082】
次に、上記の下無効層部となるセラミック層13の上に、図3(f)の支持フィルム26上に形成された複合シートを、支持フィルム26側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した後、図3(g)に示すように、支持フィルム26を剥離した。
【0083】
続いて、上記で説明した、図3(f)の支持フィルム26上に形成された複合シートを加熱圧着する図3(g)の工程を繰り返して行い、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とを101枚、セラミック層13を100枚積層して図3(h)に示す状態を得た。
【0084】
次に、この図3(h)に示す状態の上に、厚み50μmのセラミック層13を積層、加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行い所定の枚数だけ重ね合わせて上無効層部を形成し、図3(i)に示す積層体グリーンブロックを作製した。
【0085】
次に、実施の形態1と同様に、作製された図3(i)に示す積層体グリーンブロックを、所定の寸法に切断して個片とし積層体グリーンチップを作製した。次に、得られた積層体グリーンチップを所定の雰囲気と温度で脱脂、焼成した後、内部電極層の露出した両端面に外部電極を形成して積層セラミックコンデンサの完成品を得た。
【0086】
この実施の形態3の積層セラミックコンデンサもまた、内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とを精度良く、かつ容易に積層することが可能となるので、内部電極層22の有無による段差を低減し、構造欠陥の発生を抑制することができた。
【0087】
なお、本実施の形態3は、支持フィルム26上に形成された内部電極層22と段差抑制用セラミック層11とからなる複合層とこの上にセラミック層13を貼り合わせた複合シートをあらかじめ作製し、この複合シートを積層するので、実施の形態2と比較しても、積層体グリーンブロックの作製に要する時間を短縮することができ、生産性の向上が図れる。
【0088】
(実施の形態4)
以下、実施の形態4を用いて、本発明の特に請求項4および請求項5に記載の発明について説明する。
【0089】
本発明の実施の形態4について図面を参照して説明する。図4は本実施の形態4における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図である。図4において、11は段差抑制用セラミック層、13はセラミック層、14はベースフィルム、15は粘着層、42は内部電極層、46は支持フィルム、47は紫外線硬化樹脂を含有する粘着層である。
【0090】
以下、本実施の形態4における積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。ここで、ベースフィルム14および粘着層15は実施の形態1と同様のものを用い、段差抑制用セラミック層11、セラミック層13は実施の形態1と同様にして作製したものを用いたので、これらは、同番号を付し詳細は省略する。また、内部電極層42の形成に用いた内部電極ペーストも、実施の形態1と同様のものを用いたので、詳細な説明は省略する。
【0091】
まず、支持体となる支持フィルム46上に形成された紫外線硬化樹脂を含有する粘着層47上に、キャリアフィルム上に形成された厚み10μmのセラミック層13を貼り合わせ、キャリアフィルムを剥離した。次に、セラミック層13の上に、実施の形態1と同様にして厚み2μmの内部電極層42を複数個形成し、図4(a)に示す状態を得た。
【0092】
紫外線硬化樹脂を含有する粘着層47としては、セラミック層13との粘着強度が、実施の形態1と同様な方法で測定して、紫外線を照射する前には10N/cm以上の測定限界上限以上であり、紫外線照射して硬化後には0.5N/cm以下となるものを用いた。
【0093】
次に、複数個の内部電極層42を形成したセラミック層13上に、内部電極層42と内部電極層42が形成されていない部分のセラミック層13を覆うように、キャリアフィルム上に形成された厚み2μmの段差抑制用セラミック層11をキャリアフィルムから剥離して、剥離した面が下になるようにして、図4(b)に示すように貼り合わせた。そして、温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件で圧着した。
【0094】
次に、貼り合わされた段差抑制用セラミック層11の上に、図4(c)に示すように、ベースフィルム14上に形成した厚み50μmのアクリル樹脂系粘着層15を貼り合わせた後、温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件で圧着した。
【0095】
次に、図4(d)に示すように、ベースフィルム14および粘着層15を剥離するとともに、内部電極層42上にある段差抑制用セラミック層11を粘着層15に粘着させて除去し、粘着層47を介して支持フィルム46上に形成されたセラミック層13の上に内部電極層42と段差抑制用セラミック層11とを形成し、図4(e)に示す複合シートを複数枚作製した。
【0096】
ここで、内部電極層42とセラミック層13との間の粘着強度を粘着強度A4、内部電極層42と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度を粘着強度B4、段差抑制用セラミック層11とセラミック層13との間の粘着強度を粘着強度C4、段差抑制用セラミック層11と粘着層15との間の粘着強度を粘着強度D4、段差抑制用セラミック層11のシート強度をシート強度E4として、本実施の形態4における各層の粘着強度および段差抑制用セラミック層のシート強度E4を上述した実施の形態1と同様にして測定した結果を(表3)に示す。
【0097】
【表3】
【0098】
(表3)に示すように、それぞれの強度の関係を、粘着強度A4>粘着強度B4であり、粘着強度D4>粘着強度B4であり、かつ粘着強度C4>粘着強度D4>シート強度E4となるようにした。これにより、本実施の形態4においても、内部電極層42上にある段差抑制用セラミック層11を除去して、内部電極層42の無い部分にセラミック層13上に段差抑制用セラミック層11を残すことができるので、従来の技術で問題となっていた位置ずれの問題が発生すること無く、内部電極層42間に段差抑制用セラミック層11を容易にパターンニングすることができた。
【0099】
また、上記の複合シートを作製する工程において、セラミック層13は、紫外線硬化樹脂を含有する粘着層47により十分な粘着強度で支持フィルム46上に保持され、安定して複合シートを作製することができた。
【0100】
一方、実施の形態1と同様に、キャリアフィルム上に形成した厚み50μmのセラミック層13を、キャリアフィルム側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着して台座面(図示せず)に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離するという動作を繰り返し行って、所定の枚数となるようにセラミック層13を積み重ねて下無効層部となるセラミック層13を作製した。
【0101】
次に、上記の下無効層部となるセラミック層13の上に、図4(e)の粘着層47を介して支持フィルム46上に形成された複合シートを、支持フィルム46側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した。その後、支持フィルム46側から紫外線を照射することにより粘着層47を硬化させた後、図4(f)に示すように、粘着層47とともに支持フィルム46を剥離した。この際、紫外線の照射により粘着層47とセラミック層13との粘着強度は極めて小さくなり、支持フィルム46および粘着層47は容易に剥離できた。
【0102】
続いて、上記で説明した、図4(e)の粘着層47を介して支持フィルム46上に形成された複合シートを加熱圧着する図4(f)の工程を繰り返して行い、内部電極層42と段差抑制用セラミック層11とを101枚、セラミック層13を100枚積層して図4(g)に示す状態を得た。
【0103】
次に、この図4(g)に示す状態の上に、厚み50μmのセラミック層13を積層、加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行い所定の枚数だけ重ね合わせて上無効層部を形成し、図4(h)に示す積層体グリーンブロックを作製した。
【0104】
次に、実施の形態1と同様に、作製された図4(h)に示す積層体グリーンブロックを、所定の寸法に切断して個片とし積層体グリーンチップを作製した。次に、得られた積層体グリーンチップを所定の雰囲気と温度で脱脂、焼成した後、内部電極層の露出した両端面に外部電極を形成して、本実施の形態4における積層セラミックコンデンサの完成品を得た。
【0105】
本実施の形態4の積層セラミックコンデンサもまた、内部電極層42と段差抑制用セラミック層11とを精度良く形成し、かつ容易に積層することが可能となるので、内部電極層42の有無による段差を低減し、構造欠陥の発生を抑制することができた。
【0106】
なお、本実施の形態4も、複合シートをあらかじめ作製し、この複合シートを積層するので、実施の形態3と同様に、積層体グリーンブロックの作製に要する時間を短縮することができ、生産性の向上が図れた。
【0107】
(実施の形態5)
以下、実施の形態5を用いて、本発明の特に請求項6に記載の発明について説明する。
【0108】
本発明の実施の形態5について図面を参照して説明する。図5は本実施の形態5における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図である。図5において、11は段差抑制用セラミック層、13はセラミック層、14はベースフィルム、15は粘着層、46は支持フィルム、47は紫外線硬化樹脂を含有する粘着層である。これらはいずれも、実施の形態4と同様のものを用いたので、同番号を付し詳細は省略する。52は内部電極層である。
【0109】
以下、本実施の形態5における積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
【0110】
まず、ベースフィルム14に形成したアクリル樹脂系粘着層15上に、キャリアフィルムに形成した厚み2μmの段差抑制用セラミック層11を、段差抑制用セラミック層11とアクリル樹脂系粘着層15を向かい合わせにして貼り合わせた後、段差抑制用セラミック層11側のキャリアフィルムを剥離して、図5(a)に示す状態を得た。
【0111】
一方、支持体となる支持フィルム46上に形成された紫外線硬化樹脂を含有する粘着層47上に、厚み2μmの内部電極層52を複数個形成し、図5(b)に示す状態を得た。紫外線硬化樹脂を含有する粘着層47と内部電極層52との粘着強度は、紫外線を照射する前には10N/cm以上の測定限界上限以上であり、紫外線照射後には0.5N/cmとなるものを用いた。
【0112】
次に、図5(b)の内部電極層52側と、図5(a)の段差抑制用セラミック層11側とを貼り合わせ、温度10℃以上30℃以下、加圧力0.1MPa以上10MPa以下の条件で圧着し、図5(c)に示す状態を得た。
【0113】
次に、図5(d)に示すように、ベースフィルム14および粘着層15を剥離するとともに、内部電極層52上にある段差抑制用セラミック層11を粘着層15に粘着させて除去して、隣接する内部電極層52間に段差抑制用セラミック層11を残すことにより、内部電極層52と段差抑制用セラミック層11とからなる段差の抑制された複合層を粘着層47を介して支持フィルム46上に形成し、図5(e)に示す状態を得た。これを複数枚作製した。
【0114】
ここで、内部電極層52と粘着層47との間の粘着強度を粘着強度A5、内部電極層52と段差抑制用セラミック層11との間の粘着強度を粘着強度B5、段差抑制用セラミック層11と粘着層47との間の粘着強度を粘着強度C5、段差抑制用セラミック層11と粘着層15との間の粘着強度を粘着強度D5、段差抑制用セラミック層11のシート強度をシート強度E5として、本実施の形態5における各層の粘着強度および段差抑制用セラミック層のシート強度E5を上述した実施の形態1と同様にして測定した結果を(表4)に示す。
【0115】
【表4】
【0116】
(表4)に示すように、それぞれの強度の関係を、粘着強度A5>粘着強度B5であり、粘着強度D5>粘着強度B5であり、かつ粘着強度C5>粘着強度D5>シート強度E5となるようにした。これにより、本実施の形態5においても、内部電極層52上にある段差抑制用セラミック層11を除去して、内部電極層52の無い部分に段差抑制用セラミック層11を残すことができるので、従来の技術で問題となっていた位置ずれの問題が発生すること無く、内部電極層52間に段差抑制用セラミック層11を容易に精度良くパターンニングすることができた。
【0117】
次に、図5(e)の複合層の上に、キャリアフィルム上に形成された厚み10μmのセラミック層13をキャリアフィルムから剥離して、剥離した面を下にして、温度10℃以上100℃以下、圧力0.1MPa以上15MPa以下の条件で貼り合わせて、内部電極層52が埋め込まれ、内部電極層52の有無による段差を抑制した図5(f)に示す複合シートを粘着層47を介して支持フィルム46上に形成した。これを複数枚作製した。
【0118】
一方、実施の形態1と同様に、キャリアフィルム上に形成した厚み50μmのセラミック層13を、キャリアフィルム側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着して台座面(図示せず)に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥離するという動作を繰り返し行って、所定の枚数となるようにセラミック層13を積み重ねて下無効層部となるセラミック層13を作製した。
【0119】
次に、上記の下無効層部となるセラミック層13の上に、図5(f)の粘着層47を介して支持フィルム46上に形成された複合シートを、支持フィルム46側から温度50℃以上100℃以下、加圧力5MPa以上15MPa以下の条件で加熱圧着した。その後、支持フィルム46側から紫外線を照射することにより粘着層47を硬化させた後、図5(g)に示すように、粘着層47とともに支持フィルム46を剥離した。
【0120】
続いて、上記で説明した、図5(f)の粘着層47を介して支持フィルム46上に形成された複合シートを加熱圧着する図5(g)の工程を繰り返して行い、内部電極層52と段差抑制用セラミック層11とを101枚、セラミック層13を100枚積層して図5(h)に示す状態を得た。
【0121】
次に、この図5(h)に示す状態の上に、厚み50μmのセラミック層13を積層、加熱圧着した後、キャリアフィルムを剥離する動作を繰り返し行い所定の枚数だけ重ね合わせて上無効層部を形成し、図5(i)に示す積層体グリーンブロックを作製した。
【0122】
次に、実施の形態1と同様に、作製された図5(i)に示す積層体グリーンブロックを所定の寸法に切断して個片とし、積層体グリーンチップを作製した。次に、得られた積層体グリーンチップを所定の雰囲気と温度で脱脂、焼成した後、内部電極層の露出した両端面に外部電極を形成して、本実施の形態5における積層セラミックコンデンサの完成品を得た。
【0123】
本実施の形態5の積層セラミックコンデンサもまた、内部電極層52と段差抑制用セラミック層11とを精度良く、かつ容易に積層することが可能となるので、内部電極層52の有無による段差を低減し、構造欠陥の発生を抑制することができた。
【0124】
なお、本実施の形態5も、複合シートをあらかじめ作製し、この複合シートを積層するので、実施の形態3および実施の形態4と同様に、積層体グリーンブロックの作製に要する時間を短縮することができ、生産性の向上が図れた。
【0125】
以上説明した、本発明の実施の形態1から実施の形態5において得られた積層セラミックコンデンサについて、空洞やデラミネーションなどの内部構造における構造欠陥の発生数、静電容量の不良数をそれぞれ100個について確認した。静電容量は設計値から±5%以上ずれたものを不良とした。その結果、本発明の実施の形態1から実施の形態5のいずれにおいても不良数はゼロであった。
【0126】
比較のために、図6で説明した従来の製造方法により得られた積層セラミックコンデンサについても、同様の評価を行った結果、内部構造欠陥は13/100個、静電容量不良は6/100個発生していた。
【0127】
以上から、上記各実施の形態において作製された積層セラミックコンデンサは、構造欠陥の発生、静電容量不良の点において、従来方法よりも改善されていることが確認できた。
【0128】
なお、上記各実施の形態において、段差抑制用セラミック層は、内部電極層と同数同位置に配置したが、段差抑制用セラミック層の枚数や積層時の配置位置に制限は無く、内部電極層の有無による段差のトータル段差を考慮して厚みを大きくして枚数を少なくしても、等間隔またはランダムに積層してもよい。
【0129】
そして、段差抑制用セラミック層は、その合計厚みが内部電極層の合計厚みと等しくすることが最適である。
【0130】
また、上記各実施の形態においては、積層セラミックコンデンサを例に説明したが、セラミック層と内部電極層とを積層した積層セラミック部品においても同様の効果が得られる。
【0131】
【発明の効果】
以上のように本発明は、セラミック層と内部電極層とを交互に積層して積層セラミック電子部品の積層体グリーンブロックを作製する工程において、同一面上にパターンニングされた複数個の内部電極層と内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、内部電極層の形成されていない部分に段差抑制用セラミック層を形成して内部電極層の有無による段差を抑制する工程を備えた積層セラミック電子部品の製造方法であり、内部電極層の有無による段差に起因する構造欠陥の発生を抑制し、優れた電気特性を有する積層セラミック部品を、容易に生産性良く得ることができるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【図2】本発明の実施の形態2における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【図3】本発明の実施の形態3における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【図4】本発明の実施の形態4における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【図5】本発明の実施の形態5における積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【図6】従来の積層体グリーンブロックの製造工程を説明するための断面図
【符号の説明】
11 段差抑制用セラミック層
12、22、42、52 内部電極層
13 セラミック層
14 ベースフィルム
15 粘着層
26、46 支持フィルム
47 紫外線硬化樹脂を含有する粘着層
Claims (6)
- セラミック層と内部電極層とを交互に積層して積層セラミック電子部品の積層体グリーンブロックを作製する工程において、同一面上にパターンニングされた複数個の内部電極層と内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、内部電極層の形成されていない部分に段差抑制用セラミック層を形成して内部電極層の有無による段差を抑制する工程を備え、前記内部電極層上の段差抑制用セラミック層を除去する方法が、粘着層を前記段差抑制用セラミック層上に配置し前記粘着層を剥離するとともに内部電極層上の段差抑制用セラミック層を除去するものであって、内部電極層を形成する被形成体と内部電極層との間の粘着強度をA、内部電極層と段差抑制用セラミック層との間の粘着強度をB、内部電極層を形成する被形成体と段差抑制用セラミック層との間の粘着強度をC、段差抑制用セラミック層と粘着層との間の粘着強度をD、段差抑制用セラミック層のシート強度をEとした場合、それぞれの強度の関係を、A>Bであり、D>Bであり、かつC>D>Eとした積層セラミック電子部品の製造方法。
- 支持体上に複数個の内部電極層を形成し、前記内部電極層と前記内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、支持体上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成して、前記複合層とセラミック層とを交互に積層する工程を備えた請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 支持体上に形成した複合層の上に、セラミック層を貼り合わせて複合シートを作製して、前記複合シートを積層する工程を備えた請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 支持体上にセラミック層を形成し、前記セラミック層上に複数個の内部電極層を形成し、前記内部電極層と前記内部電極層が形成されていない部分とを含む全面を覆うように段差抑制用セラミック層を貼り合わせた後、前記内部電極層上にある前記段差抑制用セラミック層を除去することにより、支持体上のセラミック層上に内部電極層と段差抑制用セラミック層とからなる複合層を形成した複合シートを作製して、前記複合シートを積層する工程を備えた請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 支持体上に紫外線硬化樹脂を含有する粘着層を介してセラミック層を形成する請求項4に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
- 支持体上に紫外線硬化樹脂を含有する粘着層を介して複数個の内部電極層を形成する請求項2に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003004459A JP4333141B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003004459A JP4333141B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004221183A JP2004221183A (ja) | 2004-08-05 |
JP4333141B2 true JP4333141B2 (ja) | 2009-09-16 |
Family
ID=32895434
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003004459A Expired - Lifetime JP4333141B2 (ja) | 2003-01-10 | 2003-01-10 | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4333141B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4663706B2 (ja) * | 2003-08-28 | 2011-04-06 | 京セラ株式会社 | 電子部品の製造方法 |
JP4638184B2 (ja) * | 2004-07-29 | 2011-02-23 | 京セラ株式会社 | 積層電子部品の製造方法 |
JP7276658B2 (ja) * | 2019-07-18 | 2023-05-18 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品および積層セラミックコンデンサの製造方法 |
JP2022075308A (ja) | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
-
2003
- 2003-01-10 JP JP2003004459A patent/JP4333141B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004221183A (ja) | 2004-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2001155959A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
JP4333141B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2011114175A (ja) | 多層配線基板の製造方法および多層配線基板 | |
JP2004522323A (ja) | セラミック電子部品の製造方法と製造装置 | |
JP4577951B2 (ja) | 積層型電子部品 | |
JP2004179348A (ja) | セラミック積層体の製法 | |
JP3603655B2 (ja) | 導電性ペースト及びそれを用いたセラミック電子部品の製造方法 | |
JP3602368B2 (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP3846241B2 (ja) | 積層型セラミック電子部品の製造方法 | |
WO2004068516A1 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
EP1158549A1 (en) | Laminated body manufacturing method and laminated body pressurizing device | |
JP2015076452A (ja) | コンデンサ素子の製造方法 | |
JP2004014668A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP3925434B2 (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2004063913A (ja) | 積層型電子部品の製法 | |
JPH09153429A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
JP2003258332A (ja) | セラミック積層体の製造方法 | |
JPH0640535B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JP3921454B2 (ja) | 積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法および積層セラミック電子部品用の積層体ユニット | |
JP2004186341A (ja) | セラミック積層体の製法 | |
JP4151843B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP2005086056A (ja) | 積層チップ形成部材及び積層チップ電子部品の製造方法 | |
JPH10199750A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP2002359146A (ja) | 積層電子部品の製造方法 | |
JP2021019055A (ja) | セラミック電子部品および積層セラミックコンデンサの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051228 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060112 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090602 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090615 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4333141 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130703 Year of fee payment: 4 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |