JP4151843B2 - 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 - Google Patents
積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4151843B2 JP4151843B2 JP2004004227A JP2004004227A JP4151843B2 JP 4151843 B2 JP4151843 B2 JP 4151843B2 JP 2004004227 A JP2004004227 A JP 2004004227A JP 2004004227 A JP2004004227 A JP 2004004227A JP 4151843 B2 JP4151843 B2 JP 4151843B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- thickness
- substrate
- ceramic
- photosensitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
3:導電性基体
5:マスク
7:内部電極
8:貫通電極
9:光透過性基体
11:感光性セラミックスラリー
12:セラミック部分
13:誘電体層
30:マスク
Claims (7)
- 積層セラミックコンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法であって、
内部電極形成領域をネガパターンとするマスクが形成された導電性を有する第一の基体を電極層形成用の電着液に浸漬し、
前記第一の基体に対して電界を印加して前記ネガパターン上に前記マスクの厚さより薄い第一の所定厚さを有する内部電極を形成し、
前記内部電極表面に所望の電気特性を有且つ第二の所定厚さを有する誘電体層を形成し、
前記内部電極および前記誘電体層を光透過性の第二の基体上に転写し、
前記第二の基体および前記内部電極の表面上に前記第一および第二の所定の厚さを加えた厚さ以上の厚さとなるように感光性のセラミックスラリーを塗布し、
前記第二の基体の裏面側より前記感光性セラミックスラリーに対して光を照射して前記感光性セラミックスラリーに対して前記第一および第二の所定厚さを加えた厚さまで露光を施して前記感光性セラミックスラリーの所定部分を固化し、
現像処理により前記感光性セラミックスラリーの未露光部分を除去することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 - 積層セラミックコンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法であって、
内部電極形成領域をネガパターンとするマスクが形成された導電性を有する第一の基体を電極層形成用の電着液に浸漬し、
前記第一の基体に対して電界を印加して前記ネガパターン上に前記マスクの厚さより薄い第一の所定厚さを有する内部電極を形成し、
前記内部電極表面に所望の電気特性を有し且つ第二の所定厚さを有する誘電体層を形成し、
前記内部電極および前記誘電体層を第二の基体上に転写し、
前記第二の基体および前記内部電極の表面上に前記第一および第二の所定の厚さを加えた厚さと略等しい厚さとなるように感光性のセラミックスラリーを塗布し、
前記感光性セラミックスラリーの表面に光を照射して前記感光性セラミックスラリーに対して露光を施して前記感光性セラミックスラリーにおける前記内部電極の上面以外の部分を固化し、
現像処理により前記感光性セラミックスラリーの未露光部分を除去することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 - 前記誘電体層を形成する工程は、前記内部電極形成後の前記第一の基体を誘電体層形成用の電着液に浸漬して前記第一の基体および前記内部電極に電界を印加して前記内部電極上に第二の所定厚さの誘電体層を形成する工程であることを特徴とする請求項1或いは2何れかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記感光性セラミックスラリーは、所望の電気的特性を有するセラミック粉体と感光性を有する樹脂材料とを含むことを特徴とする請求項1乃至3何れかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 前記セラミックスラリーの固化部分と前記誘電体層とは、各々異なるセラミックから構成されることを特徴とする請求項1乃至4何れかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法。
- 積層セラミックコンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法であって、
内部電極形成領域をネガパターンとするマスクが形成された導電性を有する第一の基体を電極層形成用の電着液に浸漬し、
前記第一の基体に対して電界を印加して前記ネガパターン上に前記マスクの厚さより薄い第一の所定厚さを有する内部電極を形成し、
前記内部電極表面に所望の電気特性を有し且つ第二の所定厚さを有する誘電体層を形成し、
前記内部電極および前記誘電体層を第二の基体上に転写し、
前記第二の基体および前記内部電極の表面上に前記第一および第二の所定の厚さを加えた厚さ以上の厚さとなるように感光性のセラミックスラリーを塗布し、
前記感光性セラミックスラリーに対して光を照射して前記感光性セラミックスラリーに対して露光処理を施して前記感光性セラミックスラリーの所定部分を固化すると共に固化された前記感光性セラミックスラリーの厚さを前記第一及び第二の所定厚さを加えた厚さとし、
現像処理により前記感光性セラミックスラリーの未露光部分を除去することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。 - 請求項1乃至6いずれかに記載のセラミックグリーンシートの製造方法により得られたセラミックグリーンシートを含む、複数の異なるセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成し、
前記積層体をその厚さ方向に圧着する工程を有することを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004004227A JP4151843B2 (ja) | 2004-01-09 | 2004-01-09 | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004004227A JP4151843B2 (ja) | 2004-01-09 | 2004-01-09 | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005197583A JP2005197583A (ja) | 2005-07-21 |
JP4151843B2 true JP4151843B2 (ja) | 2008-09-17 |
Family
ID=34818905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004004227A Expired - Fee Related JP4151843B2 (ja) | 2004-01-09 | 2004-01-09 | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4151843B2 (ja) |
-
2004
- 2004-01-09 JP JP2004004227A patent/JP4151843B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005197583A (ja) | 2005-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11990273B2 (en) | Manufacturing method of thin-film power inductor and thin-film power inductor | |
JP6058584B2 (ja) | 積層型電子部品及びその製造方法 | |
EP2563105B1 (en) | Printed substrate manufacturing method and printed substrate employing same | |
JP2013222958A (ja) | 積層セラミック電子部品及びその製造方法 | |
JP4151846B2 (ja) | 積層セラミック電子部品、回路基板等、および当該部品、基板等の製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP3472193B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
US7540931B2 (en) | Method of producing ceramic green sheet and method of producing electronic component using this ceramic green sheet | |
JP4033401B2 (ja) | 積層セラミック電子部品および当該部品の製造の供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP4372493B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
JP4151843B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造に供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP3960302B2 (ja) | 基板の製造方法 | |
JP2000331858A (ja) | インダクタ内蔵積層部品及びその製造方法 | |
JP3916160B2 (ja) | 積層セラミックコンデンサおよび当該コンデンサの製造の供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP2005197584A (ja) | 積層セラミック電子部品および当該部品の製造の供せられるセラミックグリーンシートの製造方法 | |
JP2004165375A (ja) | セラミック積層体の製法 | |
US20160172097A1 (en) | Electronic component and method of manufacturing the same | |
JP2001110662A (ja) | インダクタ内蔵積層部品及びその製造方法 | |
JP4205050B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
JP2005086056A (ja) | 積層チップ形成部材及び積層チップ電子部品の製造方法 | |
JP2001085264A (ja) | 積層セラミックコンデンサの製造方法 | |
JP4205049B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
JP4573025B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
JP2005277385A (ja) | 積層チップインダクタ形成用部材および積層チップインダクタ部品の製造方法 | |
JP4205045B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 | |
JP4148474B2 (ja) | セラミックグリーンシートの製造方法および当該セラミックグリーンシートを用いた電子部品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071101 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071116 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080625 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080626 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110711 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120711 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |