JP4321816B2 - サーマルポジ型感光性組成物用現像液 - Google Patents
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Description
湿度40%以下に保たれたコーティング室に設備された感光膜塗布装置((株)シンク・ラボラトリー製)に被製版ロールを取付けてポジ型感光性組成物を塗布し、次いで、130℃で乾燥させて残留溶剤が2%以下になるように且つ2〜3μmの膜厚になるようにポジ型感光膜を形成し、次いでレーザー露光装置により830nmの波長のレーザーを点滅照射させ感光してポジ型の潜像を書き込み、被検ロールを作成した。なお、ポジ型感光性組成物として、感光液[スチレン/無水マレイン酸共重合体のブチルセロソルブによる部分エステル化物100重量部、シアニン系色素1重量部、ビニルピロリドン/酢酸ビニルコポリマー5重量部、TrisP−PA(本州化学工業(株)製、溶解阻止剤)5重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテル800重量部、イソプロピルアルコール800重量部、メチルエチルケトン600重量部]を用いた。
現像液原液の組成を表1のように変更した以外は実施例1と同様に現像を行ったところ、レジスト画面の画線部にやや残渣が見られた。又、処理本数は数本の処理能力しか無く、現像した日の翌日にはpH値の低下は見られないが処理能力を全く失っていた。
トリエタノールアミンの換わりにジエタノールアミンを配合した現像液原液を用いた以外は実施例1と同様に現像を行ったところ、実施例1と同様、現像性及び経時安定性が非常に良好であり、ロール600本の現像が可能であった。なお、現像液のpHは9.1〜10の範囲であった。
トリエタノールアミンの換わりにモノエタノールアミンを配合した現像液原液を用いた以外は実施例1と同様に現像を行ったところ、実施例1に比べ強アルカリであり、経時安定性も悪かった。
Claims (2)
- (A)トリエタノールアミン及び/又はジエタノールアミンと、
(B)ピロリン酸カリウム、トリポリリン酸ナトリウム及びヘキサメタリン酸ナトリウムからなる群から選択される少なくとも1種と
を含有する弱アルカリ性水溶液からなる現像液であり、前記現像液のpHが9.1〜10の範囲であることを特徴とするサーマルポジ型感光性組成物用現像液。 - (C)界面活性剤をさらに含有することを特徴とする請求項1記載の現像液。
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