JP2000171984A - 放射線感受性組成物の現像 - Google Patents

放射線感受性組成物の現像

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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/30Imagewise removal using liquid means
    • G03F7/32Liquid compositions therefor, e.g. developers

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 環境中に残存する溶媒の使用を含まず、健
康、安全性及び環境の問題を伴わないネガティブ作用性
組成物のための現像液を提供すること。 【解決手段】 ネガティブ作用性放射線感受性組成物の
ための現像液はヒドロキシカルボン酸のアルキルエステ
ル、好ましくはグリコール酸のn−ブチルエステルを含
む。現像液は7.0〜9.5の範囲内のpHを有し、好
ましくはアルカリ性材料、アニオン性界面活性剤、ヒド
ロトロピー剤又は可溶化剤及びエッチング剤も含んでな
り、場合により金属イオン封鎖剤、緩衝剤、殺生物剤な
どを含むことができる。該現像液は生物分解性であり、
環境中に残存せず、それにより排液及び廃棄の問題なら
びに関連する健康、安全性及び環境的懸念を避けること
を容易にする。画像通りに露出されたネガティブ作用性
感光性組成物の現像のための方法も提供し、平版印刷版
のための前駆体に特に言及する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の分野】本発明は放射線感受性組成物の現像に関
し、印刷版及びフォトレジストの作製のために用いられ
るそのような組成物の現像に関連する。
【0002】印刷版及びフォトレジストの作製において
は、放射線感受性組成物を基質上にコーティングして放
射線感受性版を形成し、次いでそれを放射線に画像通り
に露光してコーティングの種々の領域を選択的に露光す
る。得られる放射線が当たった領域と放射線が当たらな
かった領域は現像液中における異なる溶解度を有し、従
って適した現像液の適用により、より可溶性の領域を基
質から選択的に除去することができ、それによって、よ
り可溶性でない領域を含む画像が基質上に残る。
【0003】通常の放射線感受性組成物は一般にポジテ
ィブ作用性又はネガティブ作用性であるとして分類され
る。ポジティブ作用性組成物は、放射線に露光されると
与えられた現像液中でそれがより可溶性となることを特
徴としており、ネガティブ作用性組成物はそのような露
光の後により可溶性でなくなる性質を有する。
【0004】しかしながら一般に、2種類の組成物と一
緒に用いるために必要な現像液は実質的に異なる。かく
して、ポジティブ作用性組成物の現像にはアルカリ性水
性現像液が適しているが、ネガティブ作用性組成物はほ
とんどの場合に、実質的割合の有機溶媒を含む現像液の
適用を必要としてきた。これらの現像液において用いら
れてきた典型的な溶媒にはアラルキルアルコール、例え
ばベンジルアルコール及びアリールオキシアルキルアル
コール、例えばフェノキシエタノールが含まれていた。
しかしながら不運なことに、そのような溶媒は−比較的
少量でも−健康、安全性及び環境の点で重大な欠点に悩
むことが知られている。特にこれらの化合物は生物分解
性でなく、結局環境中に残存する傾向があることが判明
している。
【0005】本発明の目的は、環境中に残存する溶媒の
使用を避けたネガティブ作用性組成物のための現像液を
提供することである。
【0006】本発明のさらなる目的は、先行技術の配合
物に特徴的である健康、安全性及び環境の問題を伴わな
いネガティブ作用性組成物のための現像液を提供するこ
とである。
【0007】本発明の第1の側面に従えば、ヒドロキシ
カルボン酸のアルキルエステルを含む現像液が提供され
る。
【0008】好ましい誘導体は式I
【0009】
【化1】 [式中、R1は水素原子又はアルキル、アリールもしく
はアラルキル基であり、R2はアルキル基である]のα
−ヒドロキシ置換カルボン酸のアルキルエステルであ
る。
【0010】特に好ましい誘導体はR1が水素原子又は
1−C4アルキル基であり、R2がC 2−C6アルキル基
であるものであり:いずれの場合もアルキル基は分枝鎖
状又は直鎖状であることができる。特に興味深いのはR
1=H又はCH3であり、R2=C37又はC49である
誘導体、すなわちグリコール酸及び乳酸のプロピル又は
ブチルエステルであり、式II
【0011】
【化2】 を有するグリコール酸のn−ブチルエステルを用いて特
に有利な結果が達成された。
【0012】好ましくはヒドロキシカルボン酸のアルキ
ルエステルは、現像液中に2〜20%vol/vol、
最も好ましくは5〜10%vol/volの量で存在す
る。
【0013】現像液は好ましくはまたアルカリ性材料、
アニオン性界面活性剤、ヒドロトロピー剤又は可溶化剤
及びエッチング剤を含んでなる。
【0014】適したアルカリ性材料には、アルカリ金属
の炭酸塩、重炭酸塩又はリン酸塩、例えば重炭酸ナトリ
ウム又はリン酸三ナトリウムあるいは有機塩基、特にア
ミノ化合物、例えばモノエタノールアミンもしくはトリ
エタノールアミンあるいはこれらの誘導体の組み合わせ
が含まれる。アルカリ性材料は有利には1〜10%wt
/vol、好ましくは1〜3%wt/volの量で存在
する。
【0015】本発明の現像液において用途を有するアニ
オン性界面活性剤は、好ましくはスルホン化誘導体であ
り、モノ−もしくはジ−アルキルナフタレンスルホネー
ト、C6−C12アルコールスルホネート又はスルホン化
アルコールエステルが含まれる。界面活性剤は一般に1
〜10%vol/vol、好ましくは3〜5%vol/
volの量で存在し、版表面からのいらないコーティン
グの除去を助ける。
【0016】ヒドロトロピー剤又は可溶化剤は、使用済
みのコーティングを現像液中に溶解させ、それにより現
像の効率を上げるために現像液に含まれる。適した材料
には、塩基性セッケン、例えばカルボン酸、特にアリー
ルカルボン酸又は少なくともC6鎖を有するアルキルカ
ルボン酸のアルカリ金属塩、例えば安息香酸、オクタン
酸、2−エチルヘキサン酸もしくはヘプタン酸などの酸
のナトリウム塩が含まれる。これらの誘導体の組み合わ
せも含まれ得、オクタン酸ナトリウムと安息香酸ナトリ
ウムの組み合わせを用いて特に好ましい結果が達成され
た。これらの材料の適した添加量は0.1〜10%wt
/vol、好ましくは0.5〜7.5%wt/volで
ある。
【0017】現像液中におけるエッチング剤の存在は、
いらないコーティングが除去される領域において清浄な
基質表面を得るのを助け、それにより背景の汚染のない
清浄な高質の画像が達成され得ることを保証する。本発
明で用途が見いだされる典型的なエッチング剤には、酒
石酸、クエン酸又はグルコン酸のナトリウムもしくはカ
リウム塩、例えば酒石酸ナトリウムが含まれる。エッチ
ング剤は一般に0.5〜10%wt/vol、好ましく
は1〜5%wt/volの量で存在する。
【0018】すべての場合に、現像液は水を用いて或る
容積に(to volume)希釈され、次いで典型的
にはリン酸のような比較的弱い酸の添加によりpHが
7.0〜9.5の範囲内となるように調整される。pH
に関する好ましい値は8.0近辺内にある。
【0019】現像液は場合により金属イオン封鎖剤、緩
衝剤、殺生物剤などの他の添加剤を含むことができる。
【0020】本発明の第2の側面に従えば、画像通りに
露光されたネガティブ作用性感光性組成物の現像のため
の方法が提供され、該方法は該組成物をヒドロキシカル
ボン酸のアルキルエステルを含んでなる現像液と接触さ
せる段階を含んでなる。
【0021】該現像法は、好ましくは、画像通りに露光
された平版印刷版前駆体に適用され、例えば、現像液及
び溶解したいらないコーティングを非−画像領域から拭
い取るための柔らかい布を用いて手動で行うことができ
る。しかしながら、平版印刷版の場合最も簡単には、自
動現像機又は一般に商業的に入手可能な型の版プロセッ
サ、例えばDuPont Printing and
Publishingにより供給されるAutoneg
TMプロセッサを用いて現像プロセスが行われる。
【0022】本発明の現像法は、ジアゾもしくはアジド
材料又は多不飽和モノマーもしくはプレポリマーが感光
剤として導入され、場合によりアクリレート樹脂、スチ
レン/無水マレインコポリマー、カルボキシル化ポリ
(ビニルアセタール)樹脂又はスルホンアミド樹脂など
の結合剤樹脂も含有していることができるものを含む広
範囲のネガティブ作用性感光性組成物に適用可能であ
る。ネガティブ作用性組成物はシェイディングダイ(s
hading dyes)、変色色素(colour
change dyes)、増感剤、光開始剤などの他
の成分も含有することができる。
【0023】ネガティブ作用性感光性組成物は典型的に
はいずれかの適した基質上にコーティングされ、平版印
刷版の場合、それは例えば紙もしくはプラスチック基質
であることができるが、一般にアルミニウム基質を含
み、それは好ましくはその印刷性を向上させるために研
磨され且つ陽極酸化される。
【0024】ネガティブ作用性感光性組成物及び基質を
含むこの型のネガティブ作用性印刷版前駆体を、典型的
には紫外線源が導入された焼枠(printing−d
own frame)を用い、写真ネガ(photog
raphic negative)を介して画像通りに
露光して画像形成された版を得ることができ、それを次
いで印刷機上で用いる前に本発明に従って現像すること
ができる。
【0025】本発明の第2の側面の方法に従ってネガテ
ィブ作用性感光性組成物を含んでなる1系列の感光性部
材(photosensitive member)を
現像した後、本発明の第1の側面の現像液は消耗され、
もう現像機能を有効に果たせなくなる。その段階で、消
耗された又は使用済みの現像液をプロセッサから除去
し、新しい現像液で置き換える。
【0026】しかしながら、先行技術の現像液は毒性の
非−生物分解性の溶媒を含有しており、従って重大な排
液の問題を生ぜしめたが、本発明の現像液は生物分解性
の成分のみを含有しており、生成する使用済みの現像液
はそのような排液及び廃棄の問題に悩まされない。
【0027】以下、実施例に言及することにより本発明
を例示するが、本発明を制限するものではない。
【0028】
【実施例】実施例1 ジアゾジフェニルアミン/ホルムアルデヒド縮合物なら
びにポリ(ビニルブチラール)と無水フタル酸の反応生
成物を含む結合剤樹脂を含有する組成物がコーティング
された研磨され且つ陽極酸化されたアルミニウム基質か
らなるネガティブ作用性予備増感印刷版を焼枠内で写真
ネガを介して画像通りに露光した。
【0029】次いで現像液セクションに: トリエタノールアミン 20ml アルキルナフタレンスルホン酸ナトリウム 40ml グリコール酸n−ブチル 70ml オクタン酸ナトリウム 50ml 安息香酸ナトリウム 15g 酒石酸ナトリウム 25g 脱イオン水 1000mlになるまで の配合(formulation)を有する現像液を含
有するAutonegTM版プロセッサを介して版を処理
した。
【0030】リン酸を加えてpHを8.0に調整した。
【0031】優れた解像性(image defini
tion)を示し、非−画像領域に清浄な背景を有する
印刷版が作製された。使用済みの現像液は完全に生物分
解性であり、排液又は廃棄の問題を生じなかった。
【0032】実施例2 グリコール酸n−ブチルを等量の乳酸n−プロピルで置
き換えた以外は実施例1の実験を繰り返した。
【0033】この場合も優れた解像性を示し、非−画像
領域に清浄な背景を有する印刷版が作製され、使用済み
の現像液は完全に生物分解性であり、排液又は廃棄の問
題を生じなかった。
【0034】実施例3 グリコール酸n−ブチルを等量の乳酸イソブチルで置き
換えた以外は実施例1の実験を繰り返した。
【0035】得られる印刷版はこの場合も優れた解像性
を示し、非−画像領域に清浄な背景を有した。使用済み
の現像液は完全に生物分解性であり、排液又は廃棄の問
題を生じなかった。
【0036】実施例4 グリコール酸n−ブチルを等量のグリコール酸イソプロ
ピルで置き換えた以外は実施例1の実験を繰り返した。
【0037】この実験は再び優れた解像性を示し、非−
画像領域に清浄な背景を有する印刷版を与え、使用済み
の現像液は完全に生物分解性であり、排液又は廃棄の問
題を生じなかった。
【0038】実施例5 グリコール酸n−ブチルを等量の2−ヒドロキシカプロ
ン酸エチルで置き換えた以外は実施例1の実験を繰り返
した。
【0039】満足できる解像性を示し、非−画像領域に
清浄な背景を有する印刷版が作製され、使用済みの現像
液は完全に生物分解性であり、排液又は廃棄の問題を生
じなかった。
【0040】実施例6 グリコール酸n−ブチルを等量の2−ヒドロキシイソ酪
酸n−プロピルで置き換えた以外は実施例1の実験を繰
り返した。
【0041】印刷版は許容され得る解像性を示し、非−
画像領域に清浄な背景を有した。使用済みの現像液はこ
の場合も完全に生物分解性であり、排液又は廃棄の問題
を生じなかった。本発明の主たる特徴及び態様は以下の
通りである。
【0042】1.ネガティブ作用性放射線感受性組成物
のためのヒドロキシカルボン酸のアルキルエステルを含
む現像液。
【0043】2.該エステルがα−ヒドロキシカルボン
酸のアルキルエステルを含んでなり、式
【0044】
【化3】 [式中、R1は水素原子又はアルキル、アリールもしく
はアラルキル基であり、R2はアルキル基である]を有
する上記1項に定義した現像液。
【0045】3.R1が水素原子又はC1−C4アルキル
基を含んでなり、R2がC2−C6アルキル基を含んでな
り、該アルキル基は分枝鎖状又は直鎖状である上記2項
に定義した現像液。
【0046】4.該エステルがグリコール酸又は乳酸の
プロピル又はブチルエステルの少なくとも1つを含んで
なる上記3項に定義した現像液。 5.該エステルが式
【0047】
【化4】 を有するグリコール酸のn−ブチルエステルを含んでな
る上記4項に定義した現像液。
【0048】6.該エステルが2〜20%vol/vo
lの量で存在する上記1〜5項のいずれかに定義した現
像液。
【0049】7.アルカリ性材料、アニオン性界面活性
剤、ヒドロトロピー剤又は可溶化剤及びエッチング剤を
さらに含んでなる上記1〜6項のいずれかに定義した現
像液。
【0050】8.該アルカリ性材料が有機塩基あるいは
アルカリ金属の炭酸塩、重炭酸塩又はリン酸塩を含んで
なり、1〜10%wt/volの量で存在する上記7項
に定義した現像液。
【0051】9.該アニオン性界面活性剤がモノ−もし
くはジ−アルキルナフタレンスルホネート、C6−C12
アルコールスルホネート又はスルホン化アルコールエス
テルの少なくとも1つを含んでなり、1〜10%vol
/volの量で存在する上記7又は8項に定義した現像
液。
【0052】10.該ヒドロトロピー剤又は可溶化剤が
少なくとも1種のアリールカルボン酸又は少なくともC
6鎖を有するアルキルカルボン酸のアルカリ金属塩を含
んでなる上記7〜9項のいずれかに定義した現像液。
【0053】11.該ヒドロトロピー剤又は可溶化剤が
オクタン酸ナトリウムと安息香酸ナトリウムの組み合わ
せを含んでなり、0.1%〜10%wt/volの量で
存在する上記10項に定義した現像液。
【0054】12.該エッチング剤が酒石酸、クエン酸
又はグルコン酸のナトリウム又はカリウム塩を含んでな
る上記7〜11項のいずれかに定義した現像液。
【0055】13.pHを7.0〜9.5の範囲内とな
るように調整する上記1〜12項のいずれかに定義した
現像液。
【0056】14.リン酸の添加により該pHを8.0
近辺内となるように調整する上記13項に定義した現像
液。
【0057】15.金属イオン封鎖剤、緩衝剤又は殺生
物剤の少なくとも1つをさらに含む上記1〜14項のい
ずれかに定義した現像液。
【0058】16.ネガティブ作用性感光性組成物をヒ
ドロキシカルボン酸のアルキルエステルを含んでなる現
像液と接触させる段階を含んでなる画像通りに露出され
たネガティブ作用性感光性組成物の現像方法。
【0059】17.該ネガティブ作用性感光性組成物が
基質を含む平版印刷版前駆体中に含まれてなる上記16
項に定義した方法。
【0060】18.該基質が研磨され且つ陽極酸化され
たアルミニウムを含んでなる上記17項に定義した方
法。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ネガティブ作用性放射線感受性組成物の
    ためのヒドロキシカルボン酸のアルキルエステルを含む
    現像液。
  2. 【請求項2】 アルカリ性材料、アニオン性界面活性
    剤、ヒドロトロピー剤又は可溶化剤及びエッチング剤を
    さらに含んでなる請求項1に定義した現像液。
  3. 【請求項3】 金属イオン封鎖剤、緩衝剤又は殺生物剤
    の少なくとも1つをさらに含んでなる請求項1又は2の
    いずれかに定義した現像液。
  4. 【請求項4】 ネガティブ作用性感光性組成物をヒドロ
    キシカルボン酸のアルキルエステルを含んでなる現像液
    と接触させる段階を含んでなる画像通りに露光されたネ
    ガティブ作用性感光性組成物の現像方法。
JP11345425A 1998-12-03 1999-12-03 放射線感受性組成物の現像 Withdrawn JP2000171984A (ja)

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