JP4312950B2 - 微小流体分析モジュール - Google Patents
微小流体分析モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP4312950B2 JP4312950B2 JP2000502869A JP2000502869A JP4312950B2 JP 4312950 B2 JP4312950 B2 JP 4312950B2 JP 2000502869 A JP2000502869 A JP 2000502869A JP 2000502869 A JP2000502869 A JP 2000502869A JP 4312950 B2 JP4312950 B2 JP 4312950B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- channel
- flow path
- sensor
- analysis module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
- B32B27/281—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polyimides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
- B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
- B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
- B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
- B01L3/502738—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by integrated valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
- B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/34—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyamides
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form
- B32B3/02—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions
- B32B3/08—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar form; Layered products having particular features of form characterised by features of form at particular places, e.g. in edge regions characterised by added members at particular parts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
- F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K99/0001—Microvalves
- F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
- F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
- F16K99/0059—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
- B01L2200/06—Fluid handling related problems
- B01L2200/0689—Sealing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2300/00—Additional constructional details
- B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
- B01L2300/0887—Laminated structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L2400/00—Moving or stopping fluids
- B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
- B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
- B01L2400/0638—Valves, specific forms thereof with moving parts membrane valves, flap valves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/80—General aspects of machine operations or constructions and parts thereof
- B29C66/82—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps
- B29C66/826—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps without using a separate pressure application tool, e.g. the own weight of the parts to be joined
- B29C66/8264—Pressure application arrangements, e.g. transmission or actuating mechanisms for joining tools or clamps without using a separate pressure application tool, e.g. the own weight of the parts to be joined using the thermal expansion of the parts to be joined
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
- F16K2099/0074—Fabrication methods specifically adapted for microvalves using photolithography, e.g. etching
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
- F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
- F16K2099/0084—Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
- G01N2035/00178—Special arrangements of analysers
- G01N2035/00237—Handling microquantities of analyte, e.g. microvalves, capillary networks
- G01N2035/00247—Microvalves
Description
本発明は、検体試料が内部を流通する流体流通モジュールに係り、検体の存在および/または濃度を検出するための検出部材または内蔵された部品の正常な位置を確保する技術に関する。このモジュールは、微小流体の流速や流量の検出のためのものであり、使用後に廃棄して他のモジュールと簡単に交換できるものを指向している。
【0002】
微小流体検査装置は、全血、希釈血液、血漿、あるいは血清といった種々の検体の検出に用いられてきている。加えて、細胞培養や発酵といった急速に発達している分野において、グルコース、グルタミン、乳酸塩、NH3フォスフェイトおよび鉄分を微小規模の流体において分析するシステムがしばしば必要となる。
【0003】
検体を含む溶媒液は不足し場合によっては本来的に高価なものであるため、分析のために必要最小限の量の溶媒液しか確保せざるを得ない。また、細胞培養液のような生物学的な溶媒液のように当該場所での計測が強く要望される場合には、分析装置が小型であることは勿論のこと、分析装置の各部品が装置から簡単に取り外せて新たな部品と迅速に交換でき、これによって、調整のための中断を伴うことなく部品の清浄性が正確に制御されることが必要である。さらに、そのような部品ないし組立体は、可能な限りそれ自体が汚染源とならないものでなければならない。
【0004】
無菌の生物学的流体を計測する際に、なぜ使い捨ての微小流体用のものを用いることで利点があるのかについてはいくつかの理由がある。すなわち、無菌の流体の計測のためには、計測システムが密封されているべきである。つまり、濡れる部品は無菌状態にしかつ計測時にもその状態を維持するためにシールが施されている必要がある。センサや試薬その他の廃物を含む流体システム全体が密封される場合には、経済的な要請から、システムは小さく、望ましくは極小であるのが良い。
【0005】
上記した要請に応え得る微小化のための他の手段は、少ない試料だけを消費するようにすることである。少量の試料が分析のために回収される場合には、試料を分析器に移送して時間に即応した結果を得るために小さな導管が必要となる。これは2つの方法によって達成可能であり、1つは導管を小径にすること、2つ目は可能な限り短くすることである。試料用の導管を短くする最も良い方法は、分析器が試料に移動することである。これを達成する実用的な方法は、導管と分析器をできる限り微小規模にするのみである。
【0006】
したがって、本発明は、簡単に組み立てて製造することができるとともに、それまで使用されていたものと簡単に交換することができ、必要であれば技術者や科学者によって簡単に取り外して他と取り替えることができる微小流体分析モジュールを提供することを目的としている。また、モジュールそれ自体は直接に固着された複数の高分子層からなってサンドイッチ構造を形成し、積層構造の界面には、エッチングその他の手段により微小流体が連通するための流路網が形成されている。典型的には、流路は、微小流体が流通するための溝状の凹部であり、約0.001〜0.015”の幅と、約0.0005〜0.015”の深さを有している。
【0007】
モジュールは、高分子薄膜の積層体で構成されることが望ましく、それらは積層体を固着する際に通常用いられる接着剤や糊を用いずに互いに固着される。これは、実際の分析作業において重要である。自明なことではあるが、望ましくない汚染分子が特に流体を収容した流路の近傍に存在すると、分析結果の正確性を阻害する。
【0008】
接着剤を使用することは、寸法の低減に反するとともに、外観状も妥協を余儀なくされることになる。接着剤がもし液状なら、流路に流れ出る可能性があり、もし乾燥したものであれば、挙動パターンの傾向がつかめない。すなわち、その挙動の検討を付けることが難しく、流路やセンサのための空所に沿った巣が生じることがある。巣はボリューム的にはゼロであり、流路網の必要な特性を損なうとともに、システムからシステムに移ったときの再現性も損なう。
【0009】
さらに、積層体の個々の層には、高分解性のマイクロリトグラフによるエッチングや他の高分解エッチング法を適用することができる。これら層が隣接して配置されるとともに互いに固着されてサンドイッチ構造とされると、それらは小さなまたは微小の流路を画成し、流路部分のある部分は、積層体の表面領域に形成され、流路の他の部分は隣接した層の表面部分に形成される。薄い高分子バルブ層は積層構造の一部として積層される。バルブ層は、サンドイッチ構造の表面のバルブ動作が行われる部分を除いた他の全域に固着される。すなわち、流路網間での連通の開閉を行うためのバルブ動作が行われる領域においては、その上に位置する柔軟性高分子バルブに、流路網間の連通を開閉する機能を持ったその下の積層構造の表面に対して可撓性を持たせている。
【0010】
本発明によれば、各層によって三次元の複合構造とすることもでき、その際に各層は二次元的な構成で得られる利点を全て備えたものである。これは、平面的な基体にミクロ加工を施すものをさらに発展させることができる点で重要である。それら層を多層にして三次元構造を得るには、固着性のみならず、それ自体の微小構造の一体化を保持できるような結合技術が必要である。
モジュールを構成する材料は、不活性で、微小加工が可能で、固着可能で寸法的に安定したものが良い。また、それらの材料の上に金属層を設けることも容易である。さらに、センサと流体との相性の良さを考慮することも重要である。
【0011】
以下、添付した図面を参照して本発明をさらに詳細に説明する。
第1A図および第1B図を参照すると、これらには本発明の微小流体分析モジュール2が示され、これは下側高分子層6の全体に重ね合わされた上側高分子層4を備えている。後述するように、これら層4,6は、エッチングやその他の手段で設けられた流路あるいは内部に設けられた流路を保持する流路保持層である。重ね合わせられた状態で層4,6が協働することにより、流路網が形成されている。層4の上面には、高分子バルブ層8が重ね合わせられている。これにより、流体進入流路と流体排出流路とを開閉し、モジュール内においてそれらの間での流体の流通が行われるようになっている。
【0012】
図示のように、下側高分子層6の内部には、入口流路14が設けられ、入口流路14は、湿式、プラズマ、レーザーまたは電子ビームなどを用いたエッチングに例示される適当なマイクロリトグラフエッチング技術によって形成することができる。また、流路は、ミーリング、画線法、あるいは高圧流体法などの機械的方法によって形成することもできる。入口流路14は、送り流路16,18,20を備え、これらはこの例では測定液、緩衝剤および検体液を入口流路14に送るために設けられている。
【0013】
上側高分子層には、入口流路24が設けられ、これは流路14の一部に重ねて配置されている。流路14は、これと直交して配置された流路24と連通し、流路24は層4と直交して貫通するとともにバルブ出口流路26に近接して配置されている。バルブ出口流路26は、センサ流路28に連通している。流路28の下部は、下側高分子層に形成されている。
【0014】
入口流路24とバルブ出口流路26との間の流体の流れは、バルブ層8に一体的に設けられたバルブ部材22によって制御される。バルブ22は、入口流路24および出口流路26が連通する開口の近傍を取り囲むように設けられ、開口は、垂直に設けられるとともに上側高分子層4の平坦な上面に開いている。上側高分子層4の上部には、バルブ支持層10が設けられ、バルブ支持層10は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリフェニルスルホンなどの剛性のあるプラスチックで構成されている。バルブ支持層10は、丸天井のような凹部12を備え、凹部12はバルブ22の直上に配置されている。
【0015】
一つの適用可能な操作手段として、バルブ駆動流体路30が設けられており、そこには空気圧や水圧の流体が供給されて負圧または正圧が選択的に与えられてバルブ22を開閉するようになっている。具体的には、バルブ22の開状態はそれが撓んだ状態であって、上方へ向け凹部12の中へ円弧状をなすことにより(第1C図参照)、入口流路24とバルブ出口流路26との間の流体の流通を可能にする。逆に、流体路30を介して正圧が与えられると、バルブ22は上側高分子層4の上面に密着する位置に戻り(第1B図参照)、入口流路24と出口流路26との間を閉じる。
【0016】
好適な動作方法では、流体の圧力によりバルブが開く。この場合において、流路の流体には、脱気と気泡の発生の原因となる負圧は瞬間的にも与えられることはない。当然ながら、気泡は、それと流路壁との表面張力と流通抵抗の増加の観点から微小流体系にとって極めて忌避すべきものである。
【0017】
上側高分子層4と下側高分子層6との境界となる界面どうしは、接着剤を用いずに直接接着されている。また、高分子バルブ層8は、バルブ22の部分を除いた層4,8の界面どうしで接着剤を用いずに上側高分子層4に接着されている。したがって、バルブ22の部分にはかなりの柔軟性と伸びが確保され、その部分の柔軟性高分子は、丸天井の凹部22へ上方へ向けて自由に撓むことができ、これにより、バルブを開けて入口流路24と出口流路26との間を連通させることができる。
【0018】
第2図を参照すると、下側高分子層6とこれに形成された入口流路26が示されている。入口流路14は、検査液送り分岐路16と、緩衝液送り分岐路18と、検体送り分岐路20とに連通している。センサ流路28は、バルブ出口流路26に連通している。
【0019】
第3図を参照すると、センサ流路28は、上側高分子層4の下面と下側高分子層6の上面に形成されている。図示のように、分析すべき流体は左側から右側へと流通し、センサ流路に沿って形成された参照電極50、測定電極52および計数電極54に流動接触する。流体が左側から右側へ流れると出口流体路56に流れてタンク58に入る。出口流体路56は、スナップなどのワンタッチ接続機構を介して流路28に接続され、モジュール2からの取り外しと交換が容易に行えるようになっている。
【0020】
拡大された第3A図に良く示されているように、各電極は、センサ流路28内において下側層6の上面と一致する台部150に載置されている。これは、センサ流路内の電極の領域に半分の流路部分を設けることで達成される。
【0021】
第3図には特定の電極構造が示されているが、センサ流路には流動接触する他のセンサを同様に設けることができる。この観点から、本発明の目的の範囲内で他の電気化学的または光学的センサをセンサ流路28に適切に配置することが可能であり、これにより、検体の存在や濃度を測定することができる。
【0022】
第4図を参照すると、複数の流体流通セルを有する他の微小流体分析モジュールの断面図が示されている。各セルは、送り流路手段、センサ流路手段、および送り流路とセンサ流路との間を開閉自在に連通するバルブとを備えたものである。第1A図〜第3図は、1つのセルを備えた微小流体分析モジュールを示している。しかしながら、商業上の適用に際しては、複数のセルを備えることが望ましく、これにより、たとえば、各セルは異なる検体の分析を行うことができる。ここで、バルブ層8は、バルブ領域22a,22b,22cを備えている。各領域22a,22b,22cの下側には、第1図に示す部材24,26と同様に、垂直に延在する入口流路手段および出口流路手段が対になって設けられている。これらの部材は、下側高分子層4の平坦な上面に孔として開口している。また、第4図には、検査液流体路32a,32b,32c、緩衝剤流体路34a,34b,34cおよび検体流体路36a,36b,36c用の送り流体路手段と、それらにそれぞれ備えられたポンプ、バルブ、および貯蔵器が示されている。また、3つの出口流体路56a,56b,56cが示され、それらは各セルに対応して機能する。本発明の微小流体分析モジュールは、送りおよびセンサ流路の複合体を各セルに備えることにより、1または種々の検体分析機能を備えることができる。
【0023】
第4図に示す各セルにおいて、送り流路14に送り流体路32a,32b,32cが設けられている。これら流体路は、スナップその他の手段により各送り分岐流路16,18,20(第1A図に示されるようなもの)に緊密に止められ、これにより、モジュール2は、分析システムから容易に取り外され、他のモジュールと交換される。各送り流体路32a,32b,32c,34a,34b,34c,36a,36b,36cには、ポンプPが設けられ、それらは、たとえばマイクロプロセッサにより制御されてソレノイド駆動される。ポンプとしては、公知のぜん動ポンプを使用することができ、ポンプPにバルブ機構Vを介して接続された貯蔵器Rから計測された量の流体を吐出させる。また、各センサ流路28(第3図参照)は、出口流体路56a,56b,56cにワンタッチ継ぎ手によって操作的に接続されている。繰り返しとなるが、この構成により1つのモジュールを他のものと簡単かつ迅速に交換することができる。
【0024】
外部のポンプ、バルブおよび貯蔵器は、単純明確化のために図面および説明が記載されているが、実際には、全ての微小流体の処理手段は、層4,6または4,8の界面の範囲内に収容することができる。また、圧力流体の貯蔵器を流れ制限膜とともに用いることにより、所望の試薬の流れを得ることもできる。
【0025】
上述したように、電極50,52,54に代えてあらゆるセンサ手段を用いることができる。単に標準的なものとしては、センサとして電気化学的または光学的センサを用いることができ、微小流体分析モジュールのセンサ流路内においてそれらセンサ部材を検体が流通することで測定するようにすることができる。
【0026】
また、1つの流路内に、同流路に沿って直線状に連設した複合センサ部を配置することにより、複合分析が可能となる。符号50,52,54で示したような電極を用いる場合には、それらはセンサ流路の台部150に配置することができ、台部は、写真法、スクリーン印刷、インクジェット、あるいは微小注射式の方法で設けることができる。また、電極は1または2以上の酵素を含む被膜で被覆することができ、必要であれば耐干渉型被膜を用いることができる。酵素またはセンサ部品が電極に近接して配置される場合には、電極を重合媒体によって不動態化することができる。重合媒体は、電極を被うように電気重合させたものを用いることができ、その方法は米国特許5,540,828、5,286,364(Yacynych)に報告されている。
【0027】
本発明の微小流体分析モジュールは、電流、電位および抵抗といった電気化学的方法を含む複数の異なった検出方法とともに用いることができる。また、第1に検討すべきは、細胞培養媒体や発酵において電流式グルコースセンサを設けることであるが、光学式センサも本発明とともに用いることができる。さらに、グルタミン、乳酸塩、アンモニアなどの他の検体も本発明によって検出することができる。
【0028】
第1A図〜第3図に特定した実施例では、補助的な電極にはプラチナ等を含むことができ、これらはスパッタ、電子ビーム蒸着その他の方法によって設けることができる。測定電極には上記方法で設けられるプラチナを含むことができ、その電極には、酵素を含む公知の積層構造で被覆することができる。最後に、参照電極は、表面を銀被覆フィルムで被われたプラチナの基部を備えることができる。銀被覆フィルムは、塩化処理によって銀/塩化銀参照電極とされる。
【0029】
分析モジュールの上側及び下側高分子層に形成された送り流路及びセンサ流路は、上側及び下側高分子層の求められている表面部に、写真感光のマイクロリトグラフを用いたエッチングにより形成することができる。たとえば、基板に適当なフォトレジストを設け、これにマスク処理を施して例えばUV照射などによって露光する。ポジフォトレジストを用いる場合には、高分子層のエッチングとフォトレジストの感光とを一度の工程で行うことができる。エッチング用の腐食液として典型的なものとして、NaOH,KOH希釈水溶液、テトラアルカリアンモニウム水酸化物などが使用される。その表面は、その後例えば酸へ浸漬することで中和され、DI水へ浸漬することでリンスされる。また、フォトレジストは、アセトン、ブチルアクリレート、高酢酸塩などの溶剤を用いて剥離される。ポジフォトレジストを用いるかネガフォトレジストを用いるかは、当業者であれば選択可能であり、いずれかの方式のものが用いられる。また、電子ビーム、レーザー、またはイオンビームといった高分解手法によって所望のパターンをエッチングすることも可能である。層4,6,8の材料としてはポリイミドが好適である。ポリイミドは、好適なフィルムの厚さである1〜30ミルの薄膜の形態として商業的に入手可能である。フィルムはそれらの層どうしの間への接着剤等の手段を用いずに固着される。層4,6,8としては、接着性ポリイミドを用いることが最も好適である。直接接着可能なポリイミドとしては、米国特許5,525,405(Coverdall等)に開示されたものが好適である。この特許の開示内容は本出願にも参照されている。
【0030】
’405号特許に報告されているように、多官能ポリイミドフィルム層は、接着手段の使用なしに互いに重なり合い、または、直接結合してもよい。これらの直接結合可能なポリイミドは、スズのような無機結合促進試薬の約400〜10000部を含む芳香族ポリイミドである。フィルムは、芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物との重合−イミド化生成物からなる。
【0031】
芳香族ポリイミドは、通常、有機溶媒中における芳香族二無水物と芳香族ジアミンとの反応を通して調製される。これにより、水溶性ポリアミド酸が形成される。この反応は、通常、室温で進み、僅かに発熱する。ポリアミド酸前駆体は、熱または無水酢酸やピリジンのような試薬を用いた脱水反応によりポリイミドに変換される。
【0032】
最も評判の良い市販のポリイミドフィルムは、無水ピロメリト酸(PMDA)とオキシジアニリン(ODA)との縮合反応によって形成されている。この反応は、次式により説明される。
【0033】
【化1】
【0034】
’405号特許に開示されているように、多くの他の芳香族二無水物および芳香族ジアミンを使用することができる。ポリイミドフィルムに用いる好適な二無水物には、ピロメリト二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物等が含まれる。
【0035】
ポリイミドフィルムに用いる好適な芳香族ジアミンには、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノ−ジフェニルメタン、ベンジジン、3,4’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニル硫化物、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィン酸化物、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニルN−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン等が含まれる。
【0036】
’405号特許に挙げられているように、イミドコポリマーは、前記前駆体からも調製することができる。特に、15〜85モル%のビフェニルテトラカルボン酸二無水物、15〜85モル%のピロメリト酸二無水物、30〜10モル%のp−フェニレンジアミン、および0〜70モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテルから誘導されるイミドコポリマーが挙げられる。また、次のコポリマーも好適に挙げられている。
【0037】
30モル%のピロメリト酸二無水物
20モル%の3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
30モル%のp−フェニレンジアミン
20モル%の4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
【0038】
一般的に、有機溶媒には、通常、液体のN,N−ジアルキルカルボキシルアミド類が含まれることが’405号特許に示されている。好適な溶媒には、カルボキシルアミド類、特にN,N−ジメチルホルムアミドやN,N−ジメチルアセトアミドのような低分子量化合物が含まれる。その他の溶媒としては、ジメチルスルホキシド、N−メチル−2−ピロリドン、テトラメチルウレア、ジメチルスルホン、ヘキサメチルホスホルアミド、テトラメチレンスルホン等を用いてもよい。適切な分子量が得られる濃度であるので、溶媒の使用量は、ポリ(アミド酸)の75〜90重量%の範囲が好適ある。
【0039】
溶解ポリ(アミド)酸は、最初に約50℃の範囲の加熱で所望のポリイミドが調製されるように縮合し、次いで、約350〜400℃の高温加熱によりほぼ完全な縮合体であるポリアミド酸中間体をイミド体とするように縮合する。
【0040】
フィルムの非接着性結合特性を促進するために、重合またはフィルム形成過程において、スズのような金属結合促進試薬をポリイミドに添加する。’405号特許で報告されているように、約400〜10000ppmの量のスズで、効果が証明されている。評判によれば、スズの好適な量は、1000〜4000ppmの範囲であり、より好ましくは1200〜3500ppmが望ましい。スズは、米国特許第5,272,194号特許に記載のように有機スズ化合物として、また、米国特許第5,218,034号特許で詳述されているようにSn−2やSn+4塩として添加することができる。ビス−トリブチルチンオキサイドは、好適な有機スズ化合物として挙げられている。
本発明によれば、微小流体分析モジュールの層4および6は、デュポン社製XNAカプトンポリイミドフィルムから好適に構成されている。これは、購入可能であり、非接着性自己結合性フィルムとして宣伝されている。好適なフィルム厚は、5ミルである。
【0041】
本発明のによるバルブ層8に関しては、これはデュポン社製カプトンKJ熱可塑性ポリイミドフィルムから構成可能であることが予備試験で示されている。このフィルムの好適な厚さは、約1ミルである。
【0042】
本発明のバルブ層8に関しては、デュポン社製の熱可塑性ポリイミドフィルム(商品名:XNATMカプトン)が好適であることが先行調査で明らかとなっている。このフィルムの好適な厚さは約1ミルである。
【0043】
層4,6を購入して準備ができたら、層4の下面と層6の上面に、上述したように公知の方法でエッチングを施し、完成された微小流体分析モジュールのセンサ流路及び送り流路に対応するパターンを設ける。垂直に配置された(すなわち、表面に対して)流路24,26は、湿式法、プラズマ、電子ビーム、レーザー穿孔、その他これに類する公知の方法によって形成することができる。電極のようなセンサ手段は、センサ流路28を画成する層のうちの一方に沿って配置することができる。次いで、層4,6は互いに重ね合わせられ、これにより、エッチングされた部分が合致するとともに、入口流路、出口流路、送り流路及びセンサ流路からなる流体流路を画成するように界面どうしが密着させられる。
【0044】
次に、第5図に示すように、層4,6は真空オートクレーブ等の適当なホットプレス装置に装入される。図示のとおり、オートクレーブ内において上プラテン102は層4の上面に載置され、下プラテン104は底に配置される。これらプラテンは水圧駆動により層4,6を挟み込む。
【0045】
固着のための処理は、オートクレーブ内の温度を350〜455℃、圧力を約24〜690バールにして約5分から3時間保持することによって行われる。このヒートプレスによる固着は、760mmHg以下の真空下で行うことが望ましい。この処理によって、流路保持層4,6のサンドイッチ構造が形成される。
【0046】
層4,6のサンドイッチ構造が形成されたら、バルブ層8がサンドイッチ構造の上面に積層され、その際にも第5図に示す別の真空オートクレーブによりホットプレスされる。このサンドイッチ構造への積層は、通常は275〜350℃で200psiの圧力で真空下に行われる。
【0047】
ここで注目すべきは、サンドイッチ構造4,6に層8を固着する際には、少なくとも上プラテン102(第6図参照)に逃げ部ないし開口122が設けられていることである。このプラテンは、層4,6,8の寸法と概ね合致する長さと幅を有している(最初のサンドイッチ構造を形成する際のプラテンも同様)。
しかしながら、バルブ層8をサンドイッチ構造に固着している間は、逃げ部122はバルブ22の領域に重なり合っており、これにより完成したモジュールが生じる。プレス作業を行っている間は、積層構造のうち領域122には、プラテンの実存部分の下の他の部分よりも小さな圧力が加えられる。したがって、層8のそれらの領域は、バルブ領域においては層4には容易に固着することはない。層8のそれらの領域は、移動可能で柔軟な状態を維持し、これにより、入り擬血流路24と出口バルブ流路26との間を駆動されえることにより開閉自在に連通するバルブとして機能する。また、逃げ部には、ガス抜きが設けられ、これにより、脱気による圧力上昇を防いでいる。
【0048】
層4,6,8からなる積層体が得られたら、その上にバルブ支持層10が固着され、固着に際しては乾燥シート状接着剤や液体溶媒状の感熱接着弾性薄膜などの公知の手段が用いられる。層4,6,8,10を備えた微小流体分析モジュールは、その後、必要に応じて、ベースやその他流体分析システムの部品として装入できるような装着機構に装着される。ベースは、モジュール2に取付ないしシールされ、その場合には、両面接着剤、感熱接着シートやその他公知の手段が用いられ、また、弾性ガスケットシールと、剛性のあるベースの周縁に設けた糊または溶剤とを併用する手段も用いられる。
【0049】
上記の説明および図面は、本発明の説明のためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、特許請求の範囲の記載の範囲内で種々の変更や応用が可能であることは当業者であれば明白である。
【図面の簡単な説明】
【図1A】 本発明の微小流体分析モジュールを示す平面図である。
【図1B】 微小流体分析モジュールの図1Aにおける1B−1B線断面図である。
【図1C】 図1Bに示す微小流体モジュールと類似した断面図であり、流体の流路網における所定の流路どうしを連通させるようにバルブ部材が位置した状態を示している。
【図2】 微小流体分析モジュールの図1Bにおける2−2線断面図である。
【図3】 図1Bにおける3−3線断面図である。
【図3A】 検出流路内のセンサ電極の配置を示す図3の一部を拡大した図である。
【図4】 図1Bに示すバルブ層と同様に配置されたバルブ層を平面的に表した他の微小流体分析モジュールの系統図である。
【図5】 本発明の微小流体分析モジュールの層を固着するためのプレスオートクレーブを示す概略図である。
【図6】 微小流体分析モジュールにおいて流路保持層に層を固着する際にに用いるプラテンの平面図である。
Claims (19)
- 内部に流体流路を有する微小流体分析モジュールであって、第1および第2高分子層を備え、微小流体流路を構成する部分が予め上記第1および第2高分子層の表面に形成されており、上記第1層は上記第2層に重ねて支持されることにより界面領域に沿って形成される微小流体流路を画成し、上記第1および第2高分子層は、接着剤を用いることなく上記界面領域に沿って直接固着され、上記微小流体流路は、約0.0254〜0.381mmの幅と、0.0127〜0.381mmの深さを有しており、上記第1高分子層および上記第2高分子層は、非接着性自己結合性ポリイミドであり、上記流体流路は、流体入口流路と、流体検出流路を備えていることを特徴とする微小流体分析モジュール。
- 前記流体流路は、操作されることにより前記流体入口流路および前記流体検出流路と協働して上記流体入口流路および上記流体検出流路の間を開閉自在に連通するバルブとを備えていることを特徴とする請求項1に記載の微小流体分析モジュール。
- 操作されることにより前記流体検出流路と協働する検体センサが設けられていることを特徴とする請求項2に記載の微小流体分析モジュール。
- 微小流体分析モジュールであって、
(a)上面と下面とを有する非接着性自己結合性ポリイミドの第1シートと、
(b)上面と下面とを有する非接着性自己結合性ポリイミドの第2シートとを備え、
上記第1および第2シートは互いに重ね合わせられて上記第1シートの下面が上記第2シートの上面に対向して両シートが接着剤なしで両シートの界面にて直接固着され、
(c)上記第1シートと上記第2シートとの界面に少なくとも1つの流体流路を備えていることを特徴とする微小流体分析モジュール。 - 前記流体流路は、送り流路とセンサ流路とを備え、前記モジュールは、操作されることにより上記流体入口流路および流体検出流路と協働して同送り流路およびセンサ流路の間を開閉自在に連通するバルブ手段と、上記センサ流路に配置されて同センサ流路内の検体の存在または濃度を検出する検出手段とを備えていることを特徴とする請求項4に記載の微小流体分析モジュール。
- 前記送り流路は、前記第1シートを通って上方へ向けて延在するとともに同第1シートの上面に開口する送り流路孔を備え、前記センサ流路は、前記第1シートを通って上方へ向けて延在するとともに同第1シートの上面であって上記送り流路孔の近傍に開口するセンサ流路孔を備え、前記バルブ手段は、上記送り流路孔とセンサ流路孔とに重なる柔軟性材料と、上記バルブ手段に接続された駆動手段とを備え、上記駆動手段は、送り流路孔およびセンサ流路孔上の上記柔軟性部材に圧力を加えてそれらの間の連通を閉じるとともに、上記柔軟性部材を弛緩させて上記第1シートの上面から離間させてそれらを連通状態とすることを特徴とする請求項5に記載の微小流体分析モジュール。
- 前記検出部材は電気化学的検出部材であることを特徴とする請求項6に記載の微小流体検出モジュール。
- 前記検出部材は光学的検出部材であることを特徴とする請求項6に記載の微小流体検出モジュール。
- 前記電気化学的検出手段は電極を備えていることを特徴とする請求項7に記載の微小流体分析モジュール。
- 積層された微小流体分析モジュールであって、ポリマー材料からなる第1、第2および第3層を備え、上記第1および第2層は、非接着性自己結合性ポリイミドポリマーの層が結合して接着剤を用いずに互いに直接固着されて上面と下面とを有する構造を形成し、この構造は、両層の界面に形成された流体流路を有し、上記流体流路は、上記構造の上記上面に連通し、上記上面の一部分は、上記流体流路と操作により協働してバルブ領域を構成し、上記第3層は、上記構造の上面に重ね合わせられることで上記バルブ領域に重ねられ、上記バルブ領域と重なり合う上記第3層の部分がバルブを構成し、上記第3層は、柔軟性を有し、上記構造の上記上面に重ね合わせられて上記バルブ領域を除いて固着され、上記第3層は、上記バルブ領域にて柔軟性を維持し、バルブアクチュエータは、上記バルブ領域において上記第3層と操作により協働して、上記第3層を選択的に屈曲させることで上記バルブを開閉することを特徴とする微小流体分析モジュール。
- 前記第3層は、前記サンドイッチ層の上面に接着剤を使用しないで固着されていることを特徴とする請求項10に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記第1、第2および第3層は、ポリイミドを含むことを特徴とする請求項11に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記第3層に重ね合わされた第4層を備え、この第4層は上記第3層のバルブの上部に亘る凹表面部を備えていることを特徴とする請求項10に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記バルブアクチュエータは、前記凹表面部に連通する圧力源を備えていることを特徴とする請求項13に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記第1シートおよび前記第2シートの非接着性自己結合性ポリイミドポリマーの層が、有機スズ化合物を含有することを特徴とする請求項4に記載の微小流体分析モジュール。
- 前記第1層および前記第2層の非接着性自己結合性ポリイミドポリマーの層が、有機スズ化合物を含有することを特徴とする請求項10に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記モジュールは、送り流路と、センサ流路と、操作により上記送り流路および前記センサ流路と協働して選択的に上記送り流路と上記センサ流路との連通を開閉するバルブ手段とを備え、上記センサ流路内での検体の存在または濃度を検知するためのセンサが上記センサ流路内に設けられたことを特徴とする請求項10に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記送り流路は、前記第1層を通じて上方に延在し前記第1層の前記上面まで達する送り流路孔を備え、前記センサ流路は、前記第1層を通じて上方に延在し前記第1層の前記上面まで達し上記送り流路孔に隣接するセンサ流路孔を備え、前記バルブ手段は、上記送り流路孔および上記センサ流路孔を覆う柔軟性材料を備え、アクチュエーション手段は、上記バルブ手段に接続されて、上記送り流路孔および上記センサ流路孔に被さる上記柔軟性材料を押すことでそれらの間の連通を閉じ、また、上記柔軟性材料を緩めて上記第1層の上記上面と離間した関係にすることでそれらの間の連通を開くことを特徴とする請求項17に記載の積層された微小流体分析モジュール。
- 前記センサは、電気化学センサであることを特徴とする請求項18に記載の積層された微小流体分析モジュール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/897,744 US5932799A (en) | 1997-07-21 | 1997-07-21 | Microfluidic analyzer module |
US08/897,744 | 1997-07-21 | ||
PCT/US1998/014950 WO1999003584A1 (en) | 1997-07-21 | 1998-07-20 | Microfluidic analyzer module |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001510275A JP2001510275A (ja) | 2001-07-31 |
JP4312950B2 true JP4312950B2 (ja) | 2009-08-12 |
Family
ID=25408351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000502869A Expired - Lifetime JP4312950B2 (ja) | 1997-07-21 | 1998-07-20 | 微小流体分析モジュール |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5932799A (ja) |
EP (2) | EP0998352B1 (ja) |
JP (1) | JP4312950B2 (ja) |
AT (1) | ATE296681T1 (ja) |
AU (1) | AU8499198A (ja) |
DE (1) | DE69830406T2 (ja) |
ES (1) | ES2245035T3 (ja) |
PT (1) | PT998352E (ja) |
WO (1) | WO1999003584A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014133624A2 (en) * | 2012-12-10 | 2014-09-04 | President And Fellows Of Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
Families Citing this family (292)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6048734A (en) | 1995-09-15 | 2000-04-11 | The Regents Of The University Of Michigan | Thermal microvalves in a fluid flow method |
US6833242B2 (en) * | 1997-09-23 | 2004-12-21 | California Institute Of Technology | Methods for detecting and sorting polynucleotides based on size |
US7214298B2 (en) * | 1997-09-23 | 2007-05-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated cell sorter |
US6719868B1 (en) | 1998-03-23 | 2004-04-13 | President And Fellows Of Harvard College | Methods for fabricating microfluidic structures |
US6156438A (en) * | 1998-04-09 | 2000-12-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Monolithic polyimide laminate containing encapsulated design and preparation thereof |
US20030148024A1 (en) * | 2001-10-05 | 2003-08-07 | Kodas Toivo T. | Low viscosity precursor compositons and methods for the depositon of conductive electronic features |
US6158712A (en) * | 1998-10-16 | 2000-12-12 | Agilent Technologies, Inc. | Multilayer integrated assembly having an integral microminiature valve |
JP3717682B2 (ja) * | 1998-10-26 | 2005-11-16 | Smc株式会社 | 合成樹脂製流体流路形成部材の製造方法 |
US7014815B1 (en) | 1998-10-30 | 2006-03-21 | Burstein Technologies, Inc. | Trackable optical discs with concurrently readable nonoperational features |
US6245248B1 (en) * | 1998-11-02 | 2001-06-12 | Dbtel Incorporated | Method of aligning a nozzle plate with a mask |
WO2000050871A1 (en) * | 1999-02-26 | 2000-08-31 | Orchid Biosciences, Inc. | Microstructures for use in biological assays and reactions |
DE19909692C1 (de) * | 1999-03-05 | 2000-03-16 | Karlsruhe Forschzent | Durchflußmeßzelle zur Untersuchung einer schnell ablaufenden chemischen Reaktion |
US7250305B2 (en) * | 2001-07-30 | 2007-07-31 | Uab Research Foundation | Use of dye to distinguish salt and protein crystals under microcrystallization conditions |
US20030022383A1 (en) * | 1999-04-06 | 2003-01-30 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
US7244396B2 (en) * | 1999-04-06 | 2007-07-17 | Uab Research Foundation | Method for preparation of microarrays for screening of crystal growth conditions |
US7214540B2 (en) | 1999-04-06 | 2007-05-08 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
NZ514732A (en) * | 1999-04-06 | 2004-01-30 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
US7247490B2 (en) * | 1999-04-06 | 2007-07-24 | Uab Research Foundation | Method for screening crystallization conditions in solution crystal growth |
JP2000289166A (ja) * | 1999-04-09 | 2000-10-17 | E I Du Pont De Nemours & Co | 封入された構造を含む一体式ポリイミド積層体および該積層体の製造方法 |
US6942771B1 (en) * | 1999-04-21 | 2005-09-13 | Clinical Micro Sensors, Inc. | Microfluidic systems in the electrochemical detection of target analytes |
DE19928410C2 (de) * | 1999-06-22 | 2002-11-28 | Agilent Technologies Inc | Gerätegehäuse mit einer Einrichtung zum Betrieb eines Labor-Mikrochips |
FR2795476B1 (fr) * | 1999-06-22 | 2001-07-27 | Biomerieux Sa | Vanne permettant de diriger un fluide dans une carte d'analyse |
US7052545B2 (en) * | 2001-04-06 | 2006-05-30 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US20080277007A1 (en) * | 1999-06-28 | 2008-11-13 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US8550119B2 (en) * | 1999-06-28 | 2013-10-08 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US6929030B2 (en) * | 1999-06-28 | 2005-08-16 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7244402B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-07-17 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
US8709153B2 (en) | 1999-06-28 | 2014-04-29 | California Institute Of Technology | Microfludic protein crystallography techniques |
US7217321B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-05-15 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
US7459022B2 (en) | 2001-04-06 | 2008-12-02 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography |
KR100865105B1 (ko) * | 1999-06-28 | 2008-10-24 | 캘리포니아 인스티튜트 오브 테크놀로지 | 마이크로 가공된 탄성중합체 밸브 및 펌프 시스템 |
US7195670B2 (en) * | 2000-06-27 | 2007-03-27 | California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US6899137B2 (en) * | 1999-06-28 | 2005-05-31 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US7306672B2 (en) * | 2001-04-06 | 2007-12-11 | California Institute Of Technology | Microfluidic free interface diffusion techniques |
US7144616B1 (en) * | 1999-06-28 | 2006-12-05 | California Institute Of Technology | Microfabricated elastomeric valve and pump systems |
US8052792B2 (en) * | 2001-04-06 | 2011-11-08 | California Institute Of Technology | Microfluidic protein crystallography techniques |
SE9902474D0 (sv) * | 1999-06-30 | 1999-06-30 | Amersham Pharm Biotech Ab | Polymer valves |
DE19933458B4 (de) * | 1999-07-15 | 2015-08-20 | Eppendorf Ag | Einrichtungen und Systeme zum Handhaben von Flüssigkeitsproben |
KR100677860B1 (ko) * | 1999-07-23 | 2007-02-05 | 보드 오브 트러스티스 오브 유니버스티 오브 일리노이즈 | 미세하게 제조되는 장치 및 그의 제조방법 |
DE60002090T2 (de) | 1999-07-27 | 2004-03-18 | North Carolina State University | Strukturierte trennfolie zwischen zwei laminierten oberflächen |
US6752966B1 (en) * | 1999-09-10 | 2004-06-22 | Caliper Life Sciences, Inc. | Microfabrication methods and devices |
FR2798867A1 (fr) * | 1999-09-23 | 2001-03-30 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de distribution de fluides dans un microsysteme fluidique |
DE19947495C2 (de) | 1999-10-01 | 2003-05-28 | Agilent Technologies Inc | Mikrofluidischer Mikrochip |
US6743399B1 (en) | 1999-10-08 | 2004-06-01 | Micronics, Inc. | Pumpless microfluidics |
CA2386151A1 (en) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Marc Madou | Reactive polymeric valve, dispensing devices and methods using same |
US20020112961A1 (en) * | 1999-12-02 | 2002-08-22 | Nanostream, Inc. | Multi-layer microfluidic device fabrication |
WO2001067369A2 (en) * | 2000-03-03 | 2001-09-13 | California Institute Of Technology | Combinatorial array for nucleic acid analysis |
US6770322B1 (en) | 2000-03-03 | 2004-08-03 | Ysi Incorporated | Method of making a platform for use in a sensor in a microfluidic device |
US6551496B1 (en) | 2000-03-03 | 2003-04-22 | Ysi Incorporated | Microstructured bilateral sensor |
US7867763B2 (en) | 2004-01-25 | 2011-01-11 | Fluidigm Corporation | Integrated chip carriers with thermocycler interfaces and methods of using the same |
US7279146B2 (en) * | 2003-04-17 | 2007-10-09 | Fluidigm Corporation | Crystal growth devices and systems, and methods for using same |
US20050118073A1 (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-02 | Fluidigm Corporation | Devices and methods for holding microfluidic devices |
US6561208B1 (en) | 2000-04-14 | 2003-05-13 | Nanostream, Inc. | Fluidic impedances in microfluidic system |
US6431212B1 (en) | 2000-05-24 | 2002-08-13 | Jon W. Hayenga | Valve for use in microfluidic structures |
US7351376B1 (en) | 2000-06-05 | 2008-04-01 | California Institute Of Technology | Integrated active flux microfluidic devices and methods |
WO2002001081A2 (en) | 2000-06-23 | 2002-01-03 | Micronics, Inc. | Valve for use in microfluidic structures |
AU2001273057A1 (en) * | 2000-06-27 | 2002-01-08 | Fluidigm Corporation | A microfluidic design automation method and system |
US6890093B2 (en) | 2000-08-07 | 2005-05-10 | Nanostream, Inc. | Multi-stream microfludic mixers |
EP1309404A2 (en) * | 2000-08-07 | 2003-05-14 | Nanostream, Inc. | Fluidic mixer in microfluidic system |
FR2813207B1 (fr) * | 2000-08-28 | 2002-10-11 | Bio Merieux | Carte reactionnelle et utilisation d'une telle carte |
EP2299256A3 (en) * | 2000-09-15 | 2012-10-10 | California Institute Of Technology | Microfabricated crossflow devices and methods |
AU2001236020A1 (en) | 2000-09-22 | 2002-04-02 | Kawamura Institute Of Chemical Research | Very small chemical device and flow rate adjusting method therefor |
EP1322936A2 (en) * | 2000-10-03 | 2003-07-02 | California Institute Of Technology | Microfluidic devices and methods of use |
US7678547B2 (en) * | 2000-10-03 | 2010-03-16 | California Institute Of Technology | Velocity independent analyte characterization |
US7097809B2 (en) * | 2000-10-03 | 2006-08-29 | California Institute Of Technology | Combinatorial synthesis system |
WO2002033296A2 (en) * | 2000-10-19 | 2002-04-25 | Advanced Chemtech, Inc. (A Kentucky Corporation) | Pneumatically actuated membrane valve assembly |
EP1331997B1 (en) * | 2000-11-06 | 2004-06-16 | Nanostream, Inc. | Microfluidic flow control devices |
US7232109B2 (en) * | 2000-11-06 | 2007-06-19 | California Institute Of Technology | Electrostatic valves for microfluidic devices |
US7378280B2 (en) * | 2000-11-16 | 2008-05-27 | California Institute Of Technology | Apparatus and methods for conducting assays and high throughput screening |
WO2002044695A1 (en) * | 2000-11-16 | 2002-06-06 | Burstein Technologies, Inc. | Methods and apparatus for detecting and quantifying lymphocytes with optical biodiscs |
EP1345698A4 (en) * | 2000-11-16 | 2006-05-17 | Fluidigm Corp | MICROFLUID DEVICES FOR THE INTRODUCTION AND DISPOSAL OF FLUIDS FROM MICROFLUID SYSTEMS |
US7087203B2 (en) * | 2000-11-17 | 2006-08-08 | Nagaoka & Co., Ltd. | Methods and apparatus for blood typing with optical bio-disc |
US7026131B2 (en) * | 2000-11-17 | 2006-04-11 | Nagaoka & Co., Ltd. | Methods and apparatus for blood typing with optical bio-discs |
US8641644B2 (en) | 2000-11-21 | 2014-02-04 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Blood testing apparatus having a rotatable cartridge with multiple lancing elements and testing means |
US20020076354A1 (en) * | 2000-12-01 | 2002-06-20 | Cohen David Samuel | Apparatus and methods for separating components of particulate suspension |
US6649078B2 (en) * | 2000-12-06 | 2003-11-18 | The Regents Of The University Of California | Thin film capillary process and apparatus |
US6386219B1 (en) | 2001-02-01 | 2002-05-14 | Agilent Technologies, Inc. | Fluid handling system and method of manufacture |
US6692700B2 (en) | 2001-02-14 | 2004-02-17 | Handylab, Inc. | Heat-reduction methods and systems related to microfluidic devices |
US20050196785A1 (en) * | 2001-03-05 | 2005-09-08 | California Institute Of Technology | Combinational array for nucleic acid analysis |
US7323140B2 (en) | 2001-03-28 | 2008-01-29 | Handylab, Inc. | Moving microdroplets in a microfluidic device |
US8895311B1 (en) | 2001-03-28 | 2014-11-25 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of general purpose microfluidic devices |
US6852287B2 (en) * | 2001-09-12 | 2005-02-08 | Handylab, Inc. | Microfluidic devices having a reduced number of input and output connections |
US6575188B2 (en) | 2001-07-26 | 2003-06-10 | Handylab, Inc. | Methods and systems for fluid control in microfluidic devices |
US7829025B2 (en) | 2001-03-28 | 2010-11-09 | Venture Lending & Leasing Iv, Inc. | Systems and methods for thermal actuation of microfluidic devices |
US7010391B2 (en) | 2001-03-28 | 2006-03-07 | Handylab, Inc. | Methods and systems for control of microfluidic devices |
US20020159920A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-31 | Weigl Bernhard H. | Multiple redundant microfluidic structures cross reference to related applications |
US7670429B2 (en) | 2001-04-05 | 2010-03-02 | The California Institute Of Technology | High throughput screening of crystallization of materials |
US20020164816A1 (en) * | 2001-04-06 | 2002-11-07 | California Institute Of Technology | Microfluidic sample separation device |
US6802342B2 (en) * | 2001-04-06 | 2004-10-12 | Fluidigm Corporation | Microfabricated fluidic circuit elements and applications |
US6752922B2 (en) * | 2001-04-06 | 2004-06-22 | Fluidigm Corporation | Microfluidic chromatography |
US6960437B2 (en) | 2001-04-06 | 2005-11-01 | California Institute Of Technology | Nucleic acid amplification utilizing microfluidic devices |
ATE500051T1 (de) | 2001-04-06 | 2011-03-15 | Fluidigm Corp | Polymeroberflächenmodifikation |
US6814938B2 (en) * | 2001-05-23 | 2004-11-09 | Nanostream, Inc. | Non-planar microfluidic devices and methods for their manufacture |
US7318912B2 (en) * | 2001-06-07 | 2008-01-15 | Nanostream, Inc. | Microfluidic systems and methods for combining discrete fluid volumes |
US9226699B2 (en) | 2002-04-19 | 2016-01-05 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Body fluid sampling module with a continuous compression tissue interface surface |
US9795747B2 (en) | 2010-06-02 | 2017-10-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Methods and apparatus for lancet actuation |
US7025774B2 (en) | 2001-06-12 | 2006-04-11 | Pelikan Technologies, Inc. | Tissue penetration device |
US9427532B2 (en) | 2001-06-12 | 2016-08-30 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
US20050149304A1 (en) * | 2001-06-27 | 2005-07-07 | Fluidigm Corporation | Object oriented microfluidic design method and system |
GB0116384D0 (en) * | 2001-07-04 | 2001-08-29 | Diagnoswiss Sa | Microfluidic chemical assay apparatus and method |
DE10133014B4 (de) * | 2001-07-06 | 2005-01-20 | Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh | Verfahren zur Erzeugung von dreidimensionalen, mikrostrukturierten Komponenten |
US20030230383A1 (en) * | 2001-07-24 | 2003-12-18 | Glenn Sasaki | Method and apparatus for bonded fluidic circuit for optical bio-disc |
WO2003093168A2 (en) * | 2001-07-26 | 2003-11-13 | Motorola, Inc. | System and methods for mixing within a microfluidic device |
US7075162B2 (en) * | 2001-08-30 | 2006-07-11 | Fluidigm Corporation | Electrostatic/electrostrictive actuation of elastomer structures using compliant electrodes |
US20030129665A1 (en) * | 2001-08-30 | 2003-07-10 | Selvan Gowri Pyapali | Methods for qualitative and quantitative analysis of cells and related optical bio-disc systems |
WO2003021222A2 (en) * | 2001-08-31 | 2003-03-13 | Burstein Technologies, Inc. | Capture layer assemblies for cellular assays including related optical analysis discs and methods |
US20030113925A1 (en) * | 2001-09-07 | 2003-06-19 | Gordon John Francis | Nuclear morphology based identification and quantification of white blood cell types using optical bio-disc systems |
US20090065471A1 (en) * | 2003-02-10 | 2009-03-12 | Faris Sadeg M | Micro-nozzle, nano-nozzle, manufacturing methods therefor, applications therefor |
SE0103110D0 (sv) * | 2001-09-18 | 2001-09-18 | Aamic Ab | Microscale fluid handling system |
WO2003031066A1 (en) | 2001-10-11 | 2003-04-17 | California Institute Of Technology | Devices utilizing self-assembled gel and method of manufacture |
US8440093B1 (en) | 2001-10-26 | 2013-05-14 | Fuidigm Corporation | Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels |
US7767437B2 (en) * | 2001-11-02 | 2010-08-03 | Genefluidics, Inc. | System for detection of a component in a liquid |
CA2468041A1 (en) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Burstein Technologies, Inc. | Optical bio-discs and microfluidic devices for analysis of cells |
GB0128350D0 (en) * | 2001-11-27 | 2002-01-16 | Lab901 Ltd | Non-rigid apparatus for microfluidic applications |
US7691333B2 (en) | 2001-11-30 | 2010-04-06 | Fluidigm Corporation | Microfluidic device and methods of using same |
JP4355210B2 (ja) | 2001-11-30 | 2009-10-28 | フルイディグム コーポレイション | 微小流体デバイスおよび微小流体デバイスの使用方法 |
US6877892B2 (en) * | 2002-01-11 | 2005-04-12 | Nanostream, Inc. | Multi-stream microfluidic aperture mixers |
WO2003065355A2 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Burstein Technologies, Inc. | Bio-safety features for optical analysis disc and disc system including same |
WO2003064996A2 (en) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Burstein Technologies, Inc. | Bio-safe dispenser and optical analysis disc assembly |
US20050221048A1 (en) * | 2002-01-31 | 2005-10-06 | James Rodney Norton | Manufacturing processes for making optical analysis discs including successive patterning operations and optical discs thereby manufactured |
US20040241381A1 (en) * | 2002-01-31 | 2004-12-02 | Chen Yihfar | Microfluidic structures with circumferential grooves for bonding adhesives and related optical analysis discs |
CA2479072A1 (en) * | 2002-03-12 | 2003-12-18 | Surface Logix, Inc. | Assay device that analyzes the absorption, metabolism, permeability and/or toxicity of a candidate compound |
US7312085B2 (en) | 2002-04-01 | 2007-12-25 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
WO2003085379A2 (en) | 2002-04-01 | 2003-10-16 | Fluidigm Corporation | Microfluidic particle-analysis systems |
US9314194B2 (en) | 2002-04-19 | 2016-04-19 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
US8579831B2 (en) | 2002-04-19 | 2013-11-12 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
US7547287B2 (en) | 2002-04-19 | 2009-06-16 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for penetrating tissue |
US8702624B2 (en) | 2006-09-29 | 2014-04-22 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Analyte measurement device with a single shot actuator |
US7226461B2 (en) | 2002-04-19 | 2007-06-05 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for a multi-use body fluid sampling device with sterility barrier release |
US8784335B2 (en) | 2002-04-19 | 2014-07-22 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Body fluid sampling device with a capacitive sensor |
US9795334B2 (en) | 2002-04-19 | 2017-10-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for penetrating tissue |
US9248267B2 (en) | 2002-04-19 | 2016-02-02 | Sanofi-Aventis Deustchland Gmbh | Tissue penetration device |
US6883957B2 (en) * | 2002-05-08 | 2005-04-26 | Cytonome, Inc. | On chip dilution system |
DE10222478A1 (de) * | 2002-05-22 | 2003-12-04 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Verteilelement für Flüssigkeiten und Gase, Lab-on-a-Cip, Lab-on-a-Card |
US20040089357A1 (en) * | 2002-06-21 | 2004-05-13 | Christopher Dube | Integrated electrofluidic system and method |
US20040005247A1 (en) * | 2002-07-03 | 2004-01-08 | Nanostream, Inc. | Microfluidic closed-end metering systems and methods |
US20040077104A1 (en) * | 2002-07-09 | 2004-04-22 | Valentino Montegrande | Antigen detection device |
US20040007672A1 (en) * | 2002-07-10 | 2004-01-15 | Delucas Lawrence J. | Method for distinguishing between biomolecule and non-biomolecule crystals |
US7452509B2 (en) * | 2002-07-26 | 2008-11-18 | Applied Biosystems Inc. | Microfluidic device including displaceable material trap, and system |
US8220494B2 (en) * | 2002-09-25 | 2012-07-17 | California Institute Of Technology | Microfluidic large scale integration |
EP2213615A3 (en) * | 2002-09-25 | 2012-02-29 | California Institute of Technology | Microfluidic Large Scale Integration |
JP5695287B2 (ja) | 2002-10-02 | 2015-04-01 | カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー | 微小流体の核酸解析 |
WO2004034436A2 (en) * | 2002-10-09 | 2004-04-22 | Cellectricon Ab | Method for interfacing macroscale components to microscale devices |
WO2004040295A1 (en) * | 2002-10-31 | 2004-05-13 | Nanostream, Inc. | Parallel detection chromatography systems |
KR100908949B1 (ko) * | 2002-12-20 | 2009-07-22 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 미세-가공되고 일체화된 유체 전달 시스템 |
US8574895B2 (en) | 2002-12-30 | 2013-11-05 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus using optical techniques to measure analyte levels |
US7338637B2 (en) * | 2003-01-31 | 2008-03-04 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Microfluidic device with thin-film electronic devices |
US20050145496A1 (en) * | 2003-04-03 | 2005-07-07 | Federico Goodsaid | Thermal reaction device and method for using the same |
AU2004228678A1 (en) * | 2003-04-03 | 2004-10-21 | Fluidigm Corp. | Microfluidic devices and methods of using same |
US7604965B2 (en) | 2003-04-03 | 2009-10-20 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
US7476363B2 (en) * | 2003-04-03 | 2009-01-13 | Fluidigm Corporation | Microfluidic devices and methods of using same |
US8828663B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-09-09 | Fluidigm Corporation | Thermal reaction device and method for using the same |
WO2004095034A1 (en) * | 2003-04-23 | 2004-11-04 | Nagaoka & Co., Ltd. | Optical bio-discs including spiral fluidic circuits for performing assays |
CA2526368A1 (en) | 2003-05-20 | 2004-12-02 | Fluidigm Corporation | Method and system for microfluidic device and imaging thereof |
WO2006001797A1 (en) | 2004-06-14 | 2006-01-05 | Pelikan Technologies, Inc. | Low pain penetrating |
US7390464B2 (en) * | 2003-06-19 | 2008-06-24 | Burstein Technologies, Inc. | Fluidic circuits for sample preparation including bio-discs and methods relating thereto |
WO2004113871A2 (en) * | 2003-06-19 | 2004-12-29 | Nagaoka & Co., Ltd. | Fluidic circuits for sample preparation including bio-discs and methods relating thereto |
WO2005001429A2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-01-06 | Nagaoka & Co., Ltd. | Fluidic circuits, methods and apparatus for use of whole blood samples in colorimetric assays |
US20070274863A1 (en) * | 2003-07-25 | 2007-11-29 | Horacio Kido | Fluidic circuits for sample preparation including bio-discs and methods relating thereto |
AU2004261655A1 (en) * | 2003-07-28 | 2005-02-10 | Fluidigm Corporation | Image processing method and system for microfluidic devices |
WO2005011867A2 (en) | 2003-07-31 | 2005-02-10 | Handylab, Inc. | Processing particle-containing samples |
US7413712B2 (en) * | 2003-08-11 | 2008-08-19 | California Institute Of Technology | Microfluidic rotary flow reactor matrix |
US8282576B2 (en) | 2003-09-29 | 2012-10-09 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for an improved sample capture device |
EP1680014A4 (en) | 2003-10-14 | 2009-01-21 | Pelikan Technologies Inc | METHOD AND APPARATUS PROVIDING A VARIABLE USER INTERFACE |
JP3905074B2 (ja) * | 2003-11-04 | 2007-04-18 | アイダエンジニアリング株式会社 | 微量流体制御機構及び該機構を有するマイクロチップ |
US8038639B2 (en) | 2004-11-04 | 2011-10-18 | Baxter International Inc. | Medical fluid system with flexible sheeting disposable unit |
US7695952B2 (en) * | 2003-11-07 | 2010-04-13 | Nanosphere, Inc. | Disposable sample processing module for detecting nucleic acids |
US7476360B2 (en) | 2003-12-09 | 2009-01-13 | Genefluidics, Inc. | Cartridge for use with electrochemical sensor |
WO2005065414A2 (en) | 2003-12-31 | 2005-07-21 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for improving fluidic flow and sample capture |
US7407799B2 (en) | 2004-01-16 | 2008-08-05 | California Institute Of Technology | Microfluidic chemostat |
AU2005208879B2 (en) * | 2004-01-25 | 2010-06-03 | Fluidigm Corporation | Crystal forming devices and systems and methods for making and using the same |
US20050196321A1 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-08 | Zhili Huang | Fluidic programmable array devices and methods |
US20060013731A1 (en) * | 2004-03-26 | 2006-01-19 | Phil Stout | Microfluidic system with feedback control |
US20050266571A1 (en) * | 2004-03-26 | 2005-12-01 | Phil Stout | Method for feedback control of a microfluidic system |
US6990849B2 (en) * | 2004-03-26 | 2006-01-31 | Lifescan, Inc. | Microfluidic analytical system with position electrodes |
KR100597870B1 (ko) * | 2004-04-01 | 2006-07-06 | 한국과학기술원 | 고속 스크리닝 또는 고속 분석을 위한 미소 유체 칩 |
US8852862B2 (en) | 2004-05-03 | 2014-10-07 | Handylab, Inc. | Method for processing polynucleotide-containing samples |
CA2994321C (en) | 2004-05-03 | 2023-08-08 | Handylab, Inc. | A microfluidic device and methods for processing polynucleotide-containing samples |
WO2006011062A2 (en) | 2004-05-20 | 2006-02-02 | Albatros Technologies Gmbh & Co. Kg | Printable hydrogel for biosensors |
US9775553B2 (en) | 2004-06-03 | 2017-10-03 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Method and apparatus for a fluid sampling device |
EP1765194A4 (en) | 2004-06-03 | 2010-09-29 | Pelikan Technologies Inc | METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING A DEVICE FOR SAMPLING LIQUIDS |
US20060024751A1 (en) * | 2004-06-03 | 2006-02-02 | Fluidigm Corporation | Scale-up methods and systems for performing the same |
EP2701194B1 (en) | 2004-06-07 | 2018-08-29 | Fluidigm Corporation | Method and apparatus for imaging a microfluidic device under temperature control |
US20060018795A1 (en) * | 2004-07-23 | 2006-01-26 | General Electric Company | Fabrication methods and multifunctional substrate materials for chemical and biological analysis in microfluidic systems |
US7832429B2 (en) * | 2004-10-13 | 2010-11-16 | Rheonix, Inc. | Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods |
EP1846676A2 (en) * | 2005-01-31 | 2007-10-24 | The President and Fellows of Harvard College | Valves and reservoirs for microfluidic systems |
US8529738B2 (en) * | 2005-02-08 | 2013-09-10 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | In situ plating and etching of materials covered with a surface film |
US8496799B2 (en) * | 2005-02-08 | 2013-07-30 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for in situ annealing of electro- and electroless platings during deposition |
WO2006110437A1 (en) * | 2005-04-08 | 2006-10-19 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for monitoring plating and etching baths |
US20060245933A1 (en) * | 2005-05-02 | 2006-11-02 | General Electric Company | Valve and pump for microfluidic systems and methods for fabrication |
DE102005026528B4 (de) * | 2005-06-08 | 2019-08-22 | Infineon Technologies Ag | Halbleiterbauteil mit mindestens einem Medienkanal und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauteilen jeweils mit mindestens einem Medienkanal |
WO2007027907A2 (en) * | 2005-09-02 | 2007-03-08 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | A system and method for obtaining anisotropic etching of patterned substrates |
JP4830432B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-12-07 | 横河電機株式会社 | 化学反応用カートリッジおよびその使用方法 |
US20070095661A1 (en) | 2005-10-31 | 2007-05-03 | Yi Wang | Method of making, and, analyte sensor |
US7976795B2 (en) | 2006-01-19 | 2011-07-12 | Rheonix, Inc. | Microfluidic systems |
US7815868B1 (en) | 2006-02-28 | 2010-10-19 | Fluidigm Corporation | Microfluidic reaction apparatus for high throughput screening |
US8883490B2 (en) | 2006-03-24 | 2014-11-11 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US7998708B2 (en) | 2006-03-24 | 2011-08-16 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
US11806718B2 (en) | 2006-03-24 | 2023-11-07 | Handylab, Inc. | Fluorescence detector for microfluidic diagnostic system |
US8088616B2 (en) | 2006-03-24 | 2012-01-03 | Handylab, Inc. | Heater unit for microfluidic diagnostic system |
DK3088083T3 (en) | 2006-03-24 | 2018-11-26 | Handylab Inc | Method of carrying out PCR down a multi-track cartridge |
US10900066B2 (en) | 2006-03-24 | 2021-01-26 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
JP4787695B2 (ja) * | 2006-07-31 | 2011-10-05 | セイコーインスツル株式会社 | マイクロリアクターシステム |
KR100851980B1 (ko) * | 2006-09-05 | 2008-08-12 | 삼성전자주식회사 | 열 활성 유닛을 구비한 원심력 기반의 미세유동 장치, 이를포함하는 미세유동 시스템 및 상기 미세유동 시스템의구동방법 |
EP2091647A2 (en) | 2006-11-14 | 2009-08-26 | Handylab, Inc. | Microfluidic system for amplifying and detecting polynucleotides in parallel |
JP5185948B2 (ja) * | 2006-12-06 | 2013-04-17 | ザ トラスティーズ オブ コロンビア ユニヴァーシティ イン ザ シティ オブ ニューヨーク | メッキ及びエッチング浴組成をスクリーニングするマイクロ流体システム及び方法 |
EP1931158B1 (en) * | 2006-12-08 | 2013-04-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus and method for selecting frame structure in multihop relay broadband wireless access communication system |
US20080138248A1 (en) * | 2006-12-11 | 2008-06-12 | Institut Curie | Method for improving the bonding properties of microstructured substrates, and devices prepared with this method |
WO2008071351A1 (de) * | 2006-12-14 | 2008-06-19 | Boehringer Ingelheim Microparts Gmbh | Vorrichtung zur aufnahme oder manipulation einer flüssigkeit |
GB2445739A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-23 | Lab901 Ltd | Polymeric laminates containing heat seals |
GB2445738A (en) * | 2007-01-16 | 2008-07-23 | Lab901 Ltd | Microfluidic device |
US7871570B2 (en) * | 2007-02-23 | 2011-01-18 | Joseph Zhili Huang | Fluidic array devices and systems, and related methods of use and manufacturing |
JP2008232751A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Dkk Toa Corp | 分析計 |
US9618139B2 (en) | 2007-07-13 | 2017-04-11 | Handylab, Inc. | Integrated heater and magnetic separator |
US8287820B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-10-16 | Handylab, Inc. | Automated pipetting apparatus having a combined liquid pump and pipette head system |
US8105783B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-01-31 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge |
US8133671B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-03-13 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US9186677B2 (en) | 2007-07-13 | 2015-11-17 | Handylab, Inc. | Integrated apparatus for performing nucleic acid extraction and diagnostic testing on multiple biological samples |
US20090136385A1 (en) | 2007-07-13 | 2009-05-28 | Handylab, Inc. | Reagent Tube |
US8182763B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-05-22 | Handylab, Inc. | Rack for sample tubes and reagent holders |
US8324372B2 (en) | 2007-07-13 | 2012-12-04 | Handylab, Inc. | Polynucleotide capture materials, and methods of using same |
USD621060S1 (en) | 2008-07-14 | 2010-08-03 | Handylab, Inc. | Microfluidic cartridge |
US8206025B2 (en) | 2007-08-07 | 2012-06-26 | International Business Machines Corporation | Microfluid mixer, methods of use and methods of manufacture thereof |
US20090074615A1 (en) * | 2007-09-17 | 2009-03-19 | Ysi Incorporated | Microfluidic module including an adhesiveless self-bonding rebondable polyimide |
US20090081768A1 (en) * | 2007-09-21 | 2009-03-26 | Applera Corporation | Devices and Methods for Thermally Isolating Chambers of an Assay Card |
JP5523327B2 (ja) | 2007-10-12 | 2014-06-18 | レオニックス,インコーポレイテッド | 統合型マイクロ流体デバイスおよび方法 |
JP2009128037A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Canon Inc | マイクロ流体装置 |
US8561963B2 (en) * | 2007-12-19 | 2013-10-22 | Palo Alto Research Center Incorporated | Electrostatically addressable microvalves |
WO2009126900A1 (en) | 2008-04-11 | 2009-10-15 | Pelikan Technologies, Inc. | Method and apparatus for analyte detecting device |
US8961902B2 (en) * | 2008-04-23 | 2015-02-24 | Bioscale, Inc. | Method and apparatus for analyte processing |
DE502008001596D1 (de) * | 2008-06-02 | 2010-12-02 | Boehringer Ingelheim Micropart | Mikrofluidische Folienstruktur zum Dosierren von Flüssigkeiten |
JP5228797B2 (ja) * | 2008-10-28 | 2013-07-03 | 藤倉化成株式会社 | 液体流路装置 |
US9579653B2 (en) | 2008-06-26 | 2017-02-28 | Fujikura Kasei Co., Ltd. | Liquid channel device and production method therefor |
US8499794B2 (en) | 2008-10-28 | 2013-08-06 | Fujikura Kasei Co., Ltd. | Liquid channel device and production method therefor |
USD618820S1 (en) | 2008-07-11 | 2010-06-29 | Handylab, Inc. | Reagent holder |
USD787087S1 (en) | 2008-07-14 | 2017-05-16 | Handylab, Inc. | Housing |
US8082810B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-12-27 | Ysi Incorporated | Microfluidic elastic micro-aliquotter |
US20110315227A1 (en) * | 2008-12-24 | 2011-12-29 | Wenmiao Shu | Microfluidic system and method |
US9375169B2 (en) | 2009-01-30 | 2016-06-28 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Cam drive for managing disposable penetrating member actions with a single motor and motor and control system |
DE102009023035A1 (de) * | 2009-05-28 | 2010-12-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Diagnosegerät |
DE102009014902A1 (de) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Siemens Aktiengesellschaft | Helicobacter pylori-Sensor |
DE102009023430B4 (de) | 2009-05-29 | 2013-07-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Steuern von Fluidströmen in Lab-on-a-Chip-Systemen sowie Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung |
US8985050B2 (en) * | 2009-11-05 | 2015-03-24 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Substrate laser oxide removal process followed by electro or immersion plating |
US9855735B2 (en) | 2009-11-23 | 2018-01-02 | Cyvek, Inc. | Portable microfluidic assay devices and methods of manufacture and use |
US10065403B2 (en) | 2009-11-23 | 2018-09-04 | Cyvek, Inc. | Microfluidic assay assemblies and methods of manufacture |
US9700889B2 (en) | 2009-11-23 | 2017-07-11 | Cyvek, Inc. | Methods and systems for manufacture of microarray assay systems, conducting microfluidic assays, and monitoring and scanning to obtain microfluidic assay results |
US9500645B2 (en) | 2009-11-23 | 2016-11-22 | Cyvek, Inc. | Micro-tube particles for microfluidic assays and methods of manufacture |
US9759718B2 (en) | 2009-11-23 | 2017-09-12 | Cyvek, Inc. | PDMS membrane-confined nucleic acid and antibody/antigen-functionalized microlength tube capture elements, and systems employing them, and methods of their use |
CN102713621B (zh) | 2009-11-23 | 2016-10-19 | 西维克公司 | 用于施行化验的方法和设备 |
US9651568B2 (en) | 2009-11-23 | 2017-05-16 | Cyvek, Inc. | Methods and systems for epi-fluorescent monitoring and scanning for microfluidic assays |
IT1397820B1 (it) * | 2009-12-17 | 2013-02-04 | Silicon Biosystems Spa | Sistema microfluidico |
CN102804242B (zh) * | 2009-12-31 | 2015-02-11 | 巴斯夫欧洲公司 | 电子流体指示器以及指示方法 |
CA2786569C (en) | 2010-01-29 | 2019-04-09 | Micronics, Inc. | Sample-to-answer microfluidic cartridge |
DE102010002990A1 (de) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | Robert Bosch Gmbh | Mikrofluidisches System für Analyse- und Diagnosezwecke sowie entsprechendes Verfahren zur Herstellung eines mikrofluidischen Systems |
WO2011130629A1 (en) | 2010-04-16 | 2011-10-20 | Claros Diagnostics, Inc. | Systems and devices for analysis of samples |
US8965476B2 (en) | 2010-04-16 | 2015-02-24 | Sanofi-Aventis Deutschland Gmbh | Tissue penetration device |
USD645971S1 (en) | 2010-05-11 | 2011-09-27 | Claros Diagnostics, Inc. | Sample cassette |
GB2481425A (en) | 2010-06-23 | 2011-12-28 | Iti Scotland Ltd | Method and device for assembling polynucleic acid sequences |
WO2012024657A1 (en) * | 2010-08-20 | 2012-02-23 | IntegenX, Inc. | Microfluidic devices with mechanically-sealed diaphragm valves |
WO2012097233A1 (en) * | 2011-01-14 | 2012-07-19 | Integenx Inc. | Valves with hydraulic actuation system |
DE102011003856B4 (de) | 2011-02-09 | 2020-06-18 | Robert Bosch Gmbh | Mikrosystem für fluidische Anwendungen sowie Herstellungsverfahren und Benutzungsverfahren für ein Mikrosystem für fluidische Anwendungen |
GB2488171B (en) * | 2011-02-21 | 2013-10-16 | Ion Science Ltd | Pneumatic manifold |
CN106552682B (zh) | 2011-03-22 | 2020-06-19 | 西维克公司 | 微流体装置以及制造方法和用途 |
US8709353B2 (en) * | 2011-03-24 | 2014-04-29 | Boehringer Ingelheim Microparts Gmbh | Device and method for producing a fluidic connection between cavities |
BR112013026451B1 (pt) | 2011-04-15 | 2021-02-09 | Becton, Dickinson And Company | sistema e método para realizar ensaios de diagnóstico molecular em várias amostras em paralelo e simultaneamente amplificação em tempo real em pluralidade de câmaras de reação de amplificação |
USD692162S1 (en) | 2011-09-30 | 2013-10-22 | Becton, Dickinson And Company | Single piece reagent holder |
JP6117217B2 (ja) | 2011-09-30 | 2017-04-19 | ベクトン・ディキンソン・アンド・カンパニーBecton, Dickinson And Company | ユニット化された試薬ストリップ |
EP2773892B1 (en) | 2011-11-04 | 2020-10-07 | Handylab, Inc. | Polynucleotide sample preparation device |
CN103157523A (zh) * | 2011-12-15 | 2013-06-19 | 三星电子株式会社 | 微流器件及其制造方法 |
US10822644B2 (en) | 2012-02-03 | 2020-11-03 | Becton, Dickinson And Company | External files for distribution of molecular diagnostic tests and determination of compatibility between tests |
WO2013126483A1 (en) | 2012-02-21 | 2013-08-29 | Fluidigm Corporation | Method and systems for microfluidic logic devices |
EP2822689B1 (en) | 2012-03-08 | 2023-07-26 | Cyvek, Inc. | Micro-tube particles for microfluidic assays and methods of manufacture |
DE102012212650A1 (de) * | 2012-07-19 | 2014-01-23 | Robert Bosch Gmbh | Mikrofluidische Lagerungsvorrichtung zum Vorlagern eines Fluids, Verfahren zu dessen Herstellung und eine Verwendung derselben |
US9962693B2 (en) * | 2012-12-13 | 2018-05-08 | Koninklijke Philips N.V. | Fluidic system with fluidic stop |
EP3549674B1 (en) | 2012-12-21 | 2020-08-12 | PerkinElmer Health Sciences, Inc. | Low elasticity films for microfluidic use |
JP6498125B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2019-04-10 | マイクロニクス, インコーポレイテッド | 流体回路および関連する製造方法 |
KR20150097764A (ko) | 2012-12-21 | 2015-08-26 | 마이크로닉스 인코포레이티드. | 휴대형 형광 검출 시스템 및 미량분석 카트리지 |
DE102013207683A1 (de) * | 2013-04-26 | 2014-11-13 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer mikrofluidischen Analysekartusche |
EP2994532B1 (en) | 2013-05-07 | 2017-11-15 | Micronics, Inc. | Methods for preparation of nucleic acid-containing samples using clay minerals and alkaline solutions |
CA2911308C (en) | 2013-05-07 | 2021-10-19 | Micronics, Inc. | Device for preparation and analysis of nucleic acids |
US10386377B2 (en) | 2013-05-07 | 2019-08-20 | Micronics, Inc. | Microfluidic devices and methods for performing serum separation and blood cross-matching |
ITTO20130447A1 (it) * | 2013-05-31 | 2014-12-01 | St Microelectronics Srl | Valvola microfluidica a membrana e procedimento per fabbricare una valvola microfluidica a membrana |
US9364832B2 (en) * | 2013-07-17 | 2016-06-14 | International Business Machines Corporation | Nanofluidic channels with gradual depth change for reducing entropic barrier of biopolymers |
DE102013220445B4 (de) * | 2013-10-10 | 2016-04-07 | Robert Bosch Gmbh | Auslaufschutzeinheit für eine mikrofluidische Vorrichtung, mikrofluidische Vorrichtung, Verfahren zum Betreiben einer solchen Auslaufschutzeinheit und Verfahren zum Herstellen einer solchen Auslaufschutzeinheit |
WO2015073999A1 (en) * | 2013-11-18 | 2015-05-21 | Integenx Inc. | Cartridges and instruments for sample analysis |
EP3083052B1 (en) | 2013-12-19 | 2019-09-25 | GE Healthcare Bio-Sciences AB | Laminated microfluidic device with membrane valves |
JP2016176837A (ja) * | 2015-03-20 | 2016-10-06 | ソニー株式会社 | マイクロ流路デバイス、並びに分析装置及び分析方法 |
USD804682S1 (en) | 2015-08-10 | 2017-12-05 | Opko Diagnostics, Llc | Multi-layered sample cassette |
US10228367B2 (en) | 2015-12-01 | 2019-03-12 | ProteinSimple | Segmented multi-use automated assay cartridge |
US10400915B2 (en) * | 2016-04-14 | 2019-09-03 | Triad National Security, Llc | Magnetically controlled valve and pump devices and methods of using the same |
FR3092103B1 (fr) * | 2019-01-29 | 2022-08-05 | Netri | Procédé de fabrication de dispositifs microfluidiques 3D |
WO2022259071A1 (en) * | 2021-06-09 | 2022-12-15 | Precision Planting Llc | Micropump |
Family Cites Families (68)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3912614A (en) * | 1972-01-10 | 1975-10-14 | Int Biophysics Corp | Sensor |
US4022256A (en) * | 1975-08-06 | 1977-05-10 | California Institute Of Technology | Aseptic fluid transfer system |
US4312332A (en) * | 1980-04-25 | 1982-01-26 | Cordis Corporation | Oxygen sensing |
US4304257A (en) * | 1980-07-01 | 1981-12-08 | Instrumentation Laboratory Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4911801A (en) * | 1985-10-01 | 1990-03-27 | University Of Utah | Electrically conductive polyparaphenylene polymers, and methods for their preparation and use |
US4906439A (en) * | 1986-03-25 | 1990-03-06 | Pb Diagnostic Systems, Inc. | Biological diagnostic device and method of use |
JPH0721478B2 (ja) * | 1986-03-31 | 1995-03-08 | 財団法人化学及血清療法研究所 | 免疫センサ−用作用膜 |
US5017494A (en) * | 1986-04-02 | 1991-05-21 | Seiko Instruments & Electronics Ltd. | Bio-thermo tip sensor |
JPS636451A (ja) * | 1986-06-27 | 1988-01-12 | Terumo Corp | 酵素センサ |
US4894253A (en) * | 1986-08-12 | 1990-01-16 | University Of Cincinnati | Method for production of coated electrode |
JPS63131057A (ja) * | 1986-11-20 | 1988-06-03 | Terumo Corp | 酵素センサ |
DE3875149T2 (de) * | 1987-03-27 | 1993-02-11 | Isao Karube | Miniaturisierter biofuehler mit miniaturisierter sauerstoffelektrode sowie sein herstellungsverfahren. |
US5540828A (en) * | 1987-06-08 | 1996-07-30 | Yacynych; Alexander | Method for making electrochemical sensors and biosensors having a polymer modified surface |
US5286364A (en) * | 1987-06-08 | 1994-02-15 | Rutgers University | Surface-modified electochemical biosensor |
US4999069A (en) * | 1987-10-06 | 1991-03-12 | Integrated Fluidics, Inc. | Method of bonding plastics |
US5041181A (en) * | 1987-10-06 | 1991-08-20 | Integrated Fluidics Company | Method of bonding plastics |
US4848722A (en) * | 1987-12-11 | 1989-07-18 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4858883A (en) * | 1987-12-11 | 1989-08-22 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US4852851A (en) * | 1987-12-11 | 1989-08-01 | Integrated Fluidics, Inc. | Valve with flexible sheet member |
US5108532A (en) * | 1988-02-02 | 1992-04-28 | Northrop Corporation | Method and apparatus for shaping, forming, consolidating and co-consolidating thermoplastic or thermosetting composite products |
WO1990002357A1 (en) * | 1988-08-31 | 1990-03-08 | Eastman Kodak Company | Method and composition for hardening gelatin compositions |
WO1990002829A1 (en) * | 1988-09-07 | 1990-03-22 | Wollongong Uniadvice Limited | Electropolymer coated microelectrodes |
US5213675A (en) * | 1988-10-27 | 1993-05-25 | Terumo Kabushiki Kaisha | Reference electrode, ion sensor and method of manufacturing the same |
JPH02128152A (ja) * | 1988-11-08 | 1990-05-16 | Nec Corp | 酵素固定化方法及びバイオセンサ |
US5200051A (en) * | 1988-11-14 | 1993-04-06 | I-Stat Corporation | Wholly microfabricated biosensors and process for the manufacture and use thereof |
US4869282A (en) * | 1988-12-09 | 1989-09-26 | Rosemount Inc. | Micromachined valve with polyimide film diaphragm |
US5242713A (en) * | 1988-12-23 | 1993-09-07 | International Business Machines Corporation | Method for conditioning an organic polymeric material |
US4952373A (en) * | 1989-04-21 | 1990-08-28 | Biotrack, Inc. | Liquid shield for cartridge |
US5491097A (en) * | 1989-06-15 | 1996-02-13 | Biocircuits Corporation | Analyte detection with multilayered bioelectronic conductivity sensors |
US5407992A (en) * | 1990-04-12 | 1995-04-18 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Ion implantation method for preparing polymers having oxygen erosion resistant surfaces |
US5130161A (en) * | 1990-04-12 | 1992-07-14 | Mansur Louis K | Process for hardening the surface of polymers |
SE470347B (sv) * | 1990-05-10 | 1994-01-31 | Pharmacia Lkb Biotech | Mikrostruktur för vätskeflödessystem och förfarande för tillverkning av ett sådant system |
EP0474054B1 (en) * | 1990-08-27 | 1995-12-06 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Flexible multi-layer polyimide film laminates and preparation thereof |
US5224972A (en) * | 1990-09-11 | 1993-07-06 | Frye Gregory C | Coatings with controlled porosity and chemical properties |
US5146785A (en) * | 1991-01-30 | 1992-09-15 | Spectrol Electronics Corp. | Fluid level sensor with stair step output |
SE9100392D0 (sv) * | 1991-02-08 | 1991-02-08 | Pharmacia Biosensor Ab | A method of producing a sealing means in a microfluidic structure and a microfluidic structure comprising such sealing means |
US5138881A (en) * | 1991-02-13 | 1992-08-18 | Spectrol Electronics Corp. | Liquid level sensor including conductive plastic technology |
US5258111A (en) * | 1991-03-04 | 1993-11-02 | University Of Cincinnati | Iodine doped polythienylene coated electrode |
US5598989A (en) * | 1991-10-29 | 1997-02-04 | Hughes Aircraft Company | Spacecraft protective blanket |
US5460890A (en) * | 1991-10-30 | 1995-10-24 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Biaxially stretched isotropic polyimide film having specific properties |
DE4137261C2 (de) * | 1991-11-13 | 1995-06-29 | Meinhard Prof Dr Knoll | Miniaturisiertes Sensorelement zur Bestimmung von Stoffkonzentrationen in Flüssigkeiten und Verfahren zu seiner Herstellung |
US5470693A (en) * | 1992-02-18 | 1995-11-28 | International Business Machines Corporation | Method of forming patterned polyimide films |
US5603820A (en) * | 1992-04-21 | 1997-02-18 | The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services | Nitric oxide sensor |
US5637469A (en) * | 1992-05-01 | 1997-06-10 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Methods and apparatus for the detection of an analyte utilizing mesoscale flow systems |
US5304487A (en) * | 1992-05-01 | 1994-04-19 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Fluid handling in mesoscale analytical devices |
US5486335A (en) * | 1992-05-01 | 1996-01-23 | Trustees Of The University Of Pennsylvania | Analysis based on flow restriction |
CA2142827C (en) * | 1992-08-21 | 2001-07-24 | Robert Glenn Dorothy | Apparatus for characterizing high temperature superconducting thin film |
TW259806B (ja) * | 1992-09-16 | 1995-10-11 | Sekisui Plastics | |
EP0674808B1 (en) * | 1992-12-15 | 1997-03-26 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Electrical interconnect structures |
WO1994021386A2 (en) * | 1993-03-25 | 1994-09-29 | Research Corporation Technologies, Inc. | Polymers useful in forming self-assembled bonded anisotropic ultrathin layers and their use |
BE1006963A3 (fr) * | 1993-04-01 | 1995-02-07 | Cockerill Rech & Dev | Procede de depot par electropolymerisation d'un film d'un materiau composite sur une surface conductrice d'electricite. |
US5387329A (en) * | 1993-04-09 | 1995-02-07 | Ciba Corning Diagnostics Corp. | Extended use planar sensors |
CA2169826A1 (en) * | 1993-09-24 | 1995-03-30 | Cynthia R. Nelson | Micromachined valve apparatus |
EP0733169B1 (en) * | 1993-10-04 | 2003-01-08 | Research International, Inc. | Micromachined fluid handling apparatus comprising a filter and a flow regulator |
US5442030A (en) * | 1993-10-14 | 1995-08-15 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polyimides containing fluorinated aromatic diamine units |
US5505321A (en) * | 1994-12-05 | 1996-04-09 | Teledyne Industries, Inc. | Fabrication multilayer combined rigid/flex printed circuit board |
US5478751A (en) * | 1993-12-29 | 1995-12-26 | Abbott Laboratories | Self-venting immunodiagnositic devices and methods of performing assays |
BE1008086A3 (fr) * | 1994-01-20 | 1996-01-16 | Cockerill Rech & Dev | Procede de depot par electropolymerisation d'un film organique sur une surface conductrice de l'electricite. |
US5618760A (en) * | 1994-04-12 | 1997-04-08 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Method of etching a pattern on a substrate using a scanning probe microscope |
US5470644A (en) * | 1994-04-21 | 1995-11-28 | Durant; David | Apparatus and method for fabrication of printed circuit boards |
US5543222A (en) * | 1994-04-29 | 1996-08-06 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Metallized polyimide film containing a hydrocarbyl tin compound |
US5596038A (en) * | 1994-05-16 | 1997-01-21 | Physiometrix, Inc. | Hydrogel having a silicon-based crosslinker for biosensors and electrodes |
US5641400A (en) * | 1994-10-19 | 1997-06-24 | Hewlett-Packard Company | Use of temperature control devices in miniaturized planar column devices and miniaturized total analysis systems |
US5525405A (en) * | 1994-12-14 | 1996-06-11 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Adhesiveless aromatic polyimide laminate |
US5520788A (en) * | 1995-01-17 | 1996-05-28 | The Yellow Springs Instrument Company, Inc. | Support layer for enzyme electrode laminated membranes |
US5856174A (en) * | 1995-06-29 | 1999-01-05 | Affymetrix, Inc. | Integrated nucleic acid diagnostic device |
KR100306951B1 (ko) * | 1995-12-05 | 2001-11-15 | 테칸 보스턴, 인코포레이티드 | 내장된정보과학에의해미세유체공학시스템내의유체유동을구동시키기위해구심가속도를이용하는장치및방법 |
US5660370A (en) * | 1996-03-07 | 1997-08-26 | Integrated Fludics, Inc. | Valve with flexible sheet member and two port non-flexing backer member |
-
1997
- 1997-07-21 US US08/897,744 patent/US5932799A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-07-20 EP EP98935818A patent/EP0998352B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-20 AT AT98935818T patent/ATE296681T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-07-20 EP EP04030812A patent/EP1520621A3/en not_active Withdrawn
- 1998-07-20 PT PT98935818T patent/PT998352E/pt unknown
- 1998-07-20 WO PCT/US1998/014950 patent/WO1999003584A1/en active IP Right Grant
- 1998-07-20 ES ES98935818T patent/ES2245035T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-20 JP JP2000502869A patent/JP4312950B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-20 DE DE69830406T patent/DE69830406T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-20 AU AU84991/98A patent/AU8499198A/en not_active Abandoned
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014133624A2 (en) * | 2012-12-10 | 2014-09-04 | President And Fellows Of Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
WO2014133624A3 (en) * | 2012-12-10 | 2014-11-13 | President And Fellows Of Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
GB2529293A (en) * | 2012-12-10 | 2016-02-17 | Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
US10086372B2 (en) | 2012-12-10 | 2018-10-02 | President And Fellows Of Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
GB2529293B (en) * | 2012-12-10 | 2019-12-04 | Harvard College | Membrane-based fluid-flow control devices |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ATE296681T1 (de) | 2005-06-15 |
JP2001510275A (ja) | 2001-07-31 |
DE69830406D1 (de) | 2005-07-07 |
EP1520621A3 (en) | 2006-06-07 |
US5932799A (en) | 1999-08-03 |
AU8499198A (en) | 1999-02-10 |
EP0998352A1 (en) | 2000-05-10 |
ES2245035T3 (es) | 2005-12-16 |
EP1520621A2 (en) | 2005-04-06 |
EP0998352B1 (en) | 2005-06-01 |
DE69830406T2 (de) | 2006-01-26 |
PT998352E (pt) | 2005-10-31 |
WO1999003584A1 (en) | 1999-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4312950B2 (ja) | 微小流体分析モジュール | |
US6073482A (en) | Fluid flow module | |
US6293012B1 (en) | Method of making a fluid flow module | |
EP1203959B1 (en) | Analyzing cartridge and liquid feed control device | |
US11850585B2 (en) | Low sample volume sensing device | |
US20090074615A1 (en) | Microfluidic module including an adhesiveless self-bonding rebondable polyimide | |
JP6353451B2 (ja) | マイクロ化学チップ及び反応装置 | |
JP6422197B2 (ja) | マイクロ化学チップを製造する方法 | |
Li et al. | Microfluidic system for planar patch clamp electrode arrays | |
US11382185B2 (en) | Heating element for sensor array | |
US11408882B2 (en) | Sensor array | |
EP1585596A1 (en) | Multi-layered electrochemical microfluidic sensor comprising reagent on porous layer | |
EP2021128A2 (en) | Fluid sample transport device with reduced dead volume for processing, controlling and/or detecting a fluid sample | |
WO2009125998A2 (en) | Micro-nano fluidic biochip for assaying biological sample | |
JPH09159644A (ja) | バイオセンサとその製造方法 | |
Bomer et al. | Wafer-scale fabrication of glass-FEP-glass microfluidic devices for lipid bilayer experiments | |
CA3082898C (en) | Sensor assembly and method of using same | |
Ali et al. | Leakage-Free Nucleic Acid Biochip Featuring Bioinert Photocurable Inhibitor | |
US20220333150A1 (en) | Biosensor, channel member used in biosensor, and method of using biosensor | |
KR20210130337A (ko) | 유체의 채널 유입이 용이한 바이오 센서 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080610 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080711 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081014 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081021 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081110 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20081117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090417 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090514 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120522 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130522 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |