JP2016176837A - マイクロ流路デバイス、並びに分析装置及び分析方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の基板と、弾性膜と、を備えるマイクロ流路デバイスにおいて、液体の漏洩を防止する技術を提供する。【解決手段】第１の基板１１ａと、第１の基板１１ａに積層された第２の基板１１ｂと、少なくとも第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂに囲われた空洞１２と、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂに挟持され、空洞１２を分離する弾性膜１３と、を有し、弾性膜１３は、空洞１２の外側に液体封止部１３１を備えるマイクロ流路デバイス１。【選択図】図１

Description

本技術は、マイクロ流路デバイスに関する。より詳しくは、マイクロ流路デバイス、並びに該マイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析装置及び分析方法に関する。

近年、医療分野、創薬分野、臨床検査分野、食品分野、農業分野、工学分野、法医学分野、犯罪鑑識分野などの様々な分野で、遺伝子解析、タンパク質解析、細胞解析などに関する技術研究が広く進められている。特に最近では、核酸やタンパク質、細胞などの検出や解析など各種の反応を、チップに設けられたマイクロスケールの流路やウェル内で行うラボ・オン・チップの技術開発や実用化が進められており、生体分子などを簡便に計測する手法として注目を集めている。

このようなチップに設けられたマイクロスケールの流路やウェル内で行うラボ・オン・チップの技術では、実際の現場（例えば、医療現場など）において、各種解析を行うことが可能な装置の開発が切望されており、装置の小型化を如何に実現させるかが、避けて通れない課題である。そのため、コンパクトな装置内において効率的に検出や解析を行うためには、用いるチップ・装置や検出・解析方法などに様々な工夫を行う必要がある。

ところで、このようなマイクロスケールの流路やウェルを備えるマイクロ流路デバイスは、一般的に、基板等の複数の部品を貼り合わせることにより全体を構成する場合が多い。例えば、特許文献１では、複数の基板層を貼り合わせて構成されたマイクロチップに関する技術が開示されている。

このような基板等の複数の部品を貼り合わせることにより構成されたマイクロ流路デバイスは、実際に試料を導入した際等に、貼り合わせた部分から試料が漏れるといった問題があった。例えば、特許文献２では、基板間に間隙が生じず、試料が漏れるといったことが効果的に防止できるマイクロ流路チップの製造方法及びその方法で作製したマイクロ流路チップに関する技術が開示されている。

また、試料の漏れを防止する他の技術としては、例えば、特許文献３には、比較的簡単な構造を有し、外部からマイクロ流路デバイスに薬液などの液体を容易にかつ高精度に注入でき、液体の周囲への漏洩が生じ難い、マイクロ流体デバイス用液体供給カートリッジに関する技術が開示されている。

特開２０１３−１０１０８１号公報 特開２０１３−１７０８５８号公報 特開２００９−２３３５３２号公報

近年、マイクロ流路デバイスに、ポンプやバルブ等の機能を有する機能膜として、エラストマーのような弾性のある膜を用いる技術が開発されている。この機能膜は、その性質上、接着が不向きな材料が用いられている場合がある。この場合、基板などの別の部品により、機能膜の一部を潰し込むことで、封止するといった方法が採用されている。

しかしながら、機能膜の潰し込みは、その反発力により、他の部品間の接着を阻害する力となり、接着力と流路やウェルの内圧によっては、封止能力を維持できず、試料等の漏洩が生じるといった問題があった。また、機能膜の周辺から、試料等の漏洩が生じるという問題もあった。

そして、前述のように、試料等の漏洩を防止する技術は存在するものの、基板と基板のような静止状態での漏洩対策であり、機能膜のように動的機能を有する部品の漏洩対策には、転用不能な技術である。

そこで、本技術では、複数の基板と、弾性膜と、を備えるマイクロ流路デバイスにおいて、液体の漏洩を防止する技術を提供することを主目的とする。

本願発明者らは、前記の目的を解決するために鋭意研究を行った結果、弾性膜の形態を工夫することで、液体の漏洩を防止することに成功し、本発明を完成させるに至った。

即ち、本技術では、まず、試料の分析に用いるマイクロ流路デバイスであって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを提供する。
前記液体封止部は、外縁部以外の膜厚より厚い膜厚の外縁部によって形成することができる。
また、この場合、前記第１の基板及び／又は前記第２の基板の液体封止部が接触する部分には、前記液体封止部の形状に応じた凹部を備えることができる。
前記空洞には、ウェルを備えることができる。
ウェルを備える場合、前記弾性膜は、前記ウェル毎に備えることができる。
また、前記弾性膜は、バルブ及び／又はポンプとして機能させるように設計することも可能である。
本技術に係るマイクロチップには、前記空洞に連通された流路を更に備えることも可能である。
流路を備える場合、前記流路と、前記液体封止部と、の間には、補強部を備えることもできる。
この場合、前記補強部は、前記液体封止部の全ての直下に亘るように形成することができる。

本技術では、次に、試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う装置であって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析装置を提供する。

本技術では、更に、試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う方法であって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析方法を提供する。

本技術によれば、複数の基板と、弾性膜と、を備えるマイクロ流路デバイスにおいて、液体の漏洩を効果的に防止することができる。
なお、ここに記載された効果は、必ずしも限定されるものではなく、本技術中に記載されたいずれかの効果であってもよい。

本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第１実施形態を模式的に示す模式断面図である。 図１のＡ−Ａ矢視断面図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第２実施形態を模式的に示す模式断面図である。 Ａは弾性膜１３の一例を模式的に示す模式断面図であり、Ｂは弾性膜１３の一例を模式的に示す模式斜視図である。 ウェル１２上に配置された弾性膜１３を、上方から視た模式図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第３実施形態を模式的に示す模式断面図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第３実施形態の弾性膜１３を、基板１１ｂ側から押圧した様子を模式的に示す模式断面図である。 Ａは本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第４実施形態を模式的に示す図であり、Ｂは本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第４実施形態の弾性膜１３を、基板１１ｂ側から陰圧した様子を模式的に示す模式断面図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第５実施形態を模式的に示す模式断面図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第５実施形態の流路１５及び補強部１６を、基板１１ａ側から視た模式図である。 本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第６実施形態の流路１５及び補強部１６を、基板１１ａ側から視た模式図である。 本技術に係る分析装置１０の第１実施形態を模式的に示す模式図である。 本技術に係る分析装置１０の第２実施形態を模式的に示す模式図である。 本技術に係る分析装置１０の第３実施形態を模式的に示す模式図である。

以下、本技術を実施するための好適な形態について図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。なお、説明は以下の順序で行う。
１．マイクロ流路デバイス１
（１）全体構造
（２）基板１１
（３）空洞１２
（４）弾性膜１３
（５）接着膜１４
（６）流路１５
（７）補強部１６
２．分析装置１０
（１）光照射部１０１
（２）光学的制御機構１０２
（３）光検部１０３
（４）分析部
３．分析方法

＜１．マイクロ流路デバイス１＞
（１）全体構造
図１は、マイクロ流路デバイス１の第１実施形態を模式的に示す模式概念図であり、図２は、図１のＡ−Ａ矢視断面図である。本技術に係るマイクロ流路デバイス１は、大別して、基板１１、空洞１２、及び弾性膜１３を備える。また、必要に応じて、接着膜１４、流路１５（後述する図６など参照）、補強部１６（後述する図９など参照）などを更に備えることも可能である。

本技術に係るマイクロ流路デバイス１は、少なくとも第１の基板１１ａ、第２の基板１１ｂからなり、その一部が凹状にくり抜かれた第１の基板１１ａと、第２の基板１１ｂと、を積層させ、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとに囲われた空洞１２が備えられている。

また、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとの間には、弾性膜１３が備えられ、弾性膜１３は、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとで挟持されている。第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとは、例えば、接着膜１４を介して接着されている。なお、後述する通り、弾性膜１３は、その一部又は全部を他の部材と接着してもよいが、接着に不適な素材で構成した場合には、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとで弾性膜１３を挟持することにより、固定することも可能である。
以下、各部について詳細に説明する。

（２）基板１１
本技術に係るマイクロ流路デバイス１は、複数の基板１１（少なくとも第１の基板１１ａ及び第２の基板１１ｂ）からなる。基板１１を形成する素材は特に限定されず、通常、バイオアッセイ用流路デバイスなどの光検出用流路デバイス等に用いることが可能な素材を自由に選択して用いることができる。例えば、光透過性を有するポリカーボネート、ポリオレフィン系、アクリル系などのプラスチック樹脂、ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane）などのシリコン系樹脂、ガラス等の基板を用いることができる。

第１の基板１１ａ及び／又は第２の基板１１ｂには、後述する液体封止部１３１の形状に応じた凹部１１１を備えることができる。凹部１１１を備えることにより、第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂとで、弾性膜１３を必要以上の力で挟持することを防止することができ、弾性膜１３の反発力の発生を抑制することができる。その結果、この反発力による基板１１間の接着の阻害力の発生を防止し、試料の漏洩をより確実に防止することができる。凹部１１１は、第１の基板１１ａ及び第２の基板１１ｂの両方に備えることもできるが、いずれか一方の基板１１に備えることも可能である。

（３）空洞１２
空洞１２は、分析の対象となる試料を通流させたり、保持したりして、例えば、光学的な検出等を行うことが可能な領域である。また、検出等の他、試料を一定時間待機する待機場としても用いることができ、また、例えば、核酸増幅、ハイブリダイゼーション、核酸、タンパク質、細胞などの物質間相互作用などが進行する反応場として用いることも可能である。

図１に示す第１実施形態では、この空洞１２を、ウェルとして用いた例である。ウェルの幅、深さ、断面形状も特に限定されず、本技術の効果を損なわない限り、自由に設計することができる。例えば、図１に示す第１実施形態のような断面形状が円形のウェルに限らず、多角形（三角形、四角形あるいはそれ以上）、楕円形、あるいはこれらを１種又は２種以上組み合わせた形態など、自由に設計することができる。
また、深さ方向の形態も、例えば、図１に示す第１実施形態のような椀状に限らず、図３に示す第２実施形態のような円筒体状、断面が多角（三角、四角あるいはそれ以上）の多角筒体状、円錐体状、断面が多角（三角、四角あるいはそれ以上）の多角錐体状、あるいはこれらを１種又は２種以上組み合わせた形態など、分析目的や用いる試料の種類等に応じて、自由に設計することができる。

（４）弾性膜１３
図４は、弾性膜１３の一例を模式的に示す模式斜視図である。弾性膜１３は、複数の基板１１（第１の基板１１ａと第２の基板１１ｂ（図１参照））に挟持された状態で存在する。弾性膜１３の全体の形状は、対応する空洞１２の形態に応じて、自由に設計することが可能である。

図５は、空洞１２（ウェル）上に配置された弾性膜１３を、上方から視た模式平面図である。弾性膜１３は、例えば図５Ａのように、ウェル毎に備えることもできるし、図５Ｂのように、複数のウェルに対して、１つの弾性膜１３を用いることも可能である。本技術では特に、図５Ａのように、ウェル毎に弾性膜１３を備えることが好ましい。ウェル毎に弾性膜１３を備えることで、試料の漏洩をより確実に防止することができる。

弾性膜１３には、空洞１２の外側に、液体封止部１３１が備えられている。この液体封止部１３１を備えることで、空洞１２からの試料の漏洩を好適に防止することができる。液体封止部１３１の形態は、空洞１２からの試料の漏洩を防止することができれば、特に限定されず、基板１１や空洞１２の形態等に合わせて自由に設計することができる。

例えば、図４に示すように、外縁部以外の膜厚より厚い膜厚の外縁部によって、液体封止図１３１を構成することが可能である。この場合、外縁部の形態も特に限定されず、例えば図１に示す第１実施形態のような断面が円形の外縁部に限らず、図３の第２実施形態に示すような断面が半円の外縁部とすることができる。

弾性膜１３は、その弾性を利用して、様々な機能を有する機能膜として用いることが可能である。例えば、図６に示す第３実施形態のように、流路１５を備える場合、図７に示すように、弾性膜１３を第２の基板１１ｂ側から押圧することで、流路１５を塞いで、試料等の流入を制御するポンプとして好適に用いることができる。

また、弾性膜１３は、バルブとして好適に用いることもできる。例えば、図８に示す第４実施形態のように、流路１５（流路１５ａ、１５ｂ）を備える場合、図８Ｂに示すように、弾性膜１３を第２の基板１１ｂ側から陰圧をかけることで、流路１５ａ及び１５ｂを連通させ、試料等の流入を制御するバルブとして好適に用いることができる。なお、図示しないが、流路１５ａの流路１５ｂ側先端や流路１５ｂの流路ａ側先端（図８Ｂ矢印参照）は、液体の流れをスムーズにするために、幅広に設計することも可能である。

弾性膜１３を形成する素材は特に限定されず、通常、バイオアッセイ用流路デバイスなどの光検出用流路デバイス等に用いることが可能な素材であって、弾性を備える材料を自由に選択して用いることができる。例えば、ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane）、フッ素変性シリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂系エラストマー等を挙げることができる。

（５）接着膜１４
本技術に係るマイクロ流路デバイス１には、基板１１等の各部材間を接着するために、接着膜１４を備えることができる。この接着膜１４は、本技術において必須ではなく、基板１１の表面を接着可能に表面処理して接着したり、既存の接着剤等を用いて各部材間を接着したりすることも可能である。

接着膜１４を形成する素材は特に限定されず、通常、バイオアッセイ用流路デバイスなどの光検出用流路デバイス等に用いることが可能な素材であって、接着性を備える材料を自由に選択して用いることができる。例えば、ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane）などのシリコン系樹脂；熱圧着可能なポロプロピレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタラート、ポリエチレン等のプラスチック材料；ＳＥＢＳ（スチレン・エチレン・ブチレン・スチレン共重合体）等の熱可塑性プラスチック材料等を挙げることができる。

（６）流路１５
本技術に係るマイクロ流路デバイス１には、図６及び図７に示す第３実施形態や図８に示す第４実施形態のように、空洞１２に連通された流路１５を備えることも可能である。流路１５の構成は特に限定されないが、前述したウェルと同様に、その一部が流路１５の形状に凹状にくり抜かれた基板１１ａと、基板１１ｂと、を積層させ、基板１１ａと基板１１ｂとの間にできる空間を、流路１５として構成することができる。

流路１５の流路幅、流路深さ、流路断面形状も特に限定されず、自由に設計することができる。例えば、流路幅１ｍｍ以下のマイクロ流路なども、本発明に係るマイクロ流路デバイス１に用いることが可能である。

流路１５は、試料が流通する通路として用いる他に、流路１５中で試料を移動させながら、光学的な検出等を行うことも可能である。また、流路１５中で試料を移動させながら各反応を進行させ、ウェルに到達した時点で検出等を行うことも可能である。逆に、ウェル内で各反応を進行させ、流路１５中で試料を移動させながら検出等を行うことも可能である。

（７）補強部１６
図９は、本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第５実施形態を模式的に示す模式断面図である。また、図１０は、本技術に係るマイクロ流路デバイス１の第５実施形態の流路１５及び補強部１６を、基板１１ａ側から視た模式図である。第５実施形態では、流路１５と、液体封止部１３１と、の間に、補強部１６を備えることを特徴とする。

本技術に係るマイクロ流路デバイス１に接着膜１４及び流路１５を備える場合、接着膜１４は比較的柔らかいため、液体封止部１３１と流路１５の間に位置する接着膜１４は、流路１５側へ落ち込む場合がある。そこで、流路１５と、液体封止部１３１と、の間に、補強部１６を備えることで、流路１５が塞がれるのを防止することができる。

補強部１６は、図１０に示す第５実施形態のように、液体封止部１３１の全ての直下に亘るようにリング状に備えることも可能であるが、例えば、図１１に示す第６実施形態のように、流路１５付近にのみ、補強部１６を備えることも可能である。

＜２．分析装置１０＞
前述した本技術に係るマイクロ流路デバイス１は、液体状の試料を光学的に分析する装置に好適に用いることができる。分析装置１０の構造は、本技術に係るマイクロ流路デバイス１を用いて光学的な測定が可能であれば特に限定されず、公知の光学的分析装置に備える種々の構造を備えることができる。

図１２は、本技術に係る分析装置１０の第１実施形態を模式的に示す模式図である。本技術に係る分析装置１０には、例えば、光照射部１０１、光学的制御機構１０２、光検部１０３、分析部などを備えることができる。

（１）光照射部１０１
光照射部１０１は、マイクロ流路デバイス１の空洞１２（ウェル）に保持された試料へ、光照射を行う。本技術に係る分析装置１０において、光照射部１０１に用いることができる光照射方法は、特に限定されず、公知の光照射方法を自由に選択して用いることができる。例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、半導体レーザー、ＥＬ照明などを用いた光照射方法を１種または２種以上自由に選択して用いることが可能である。

また、光照射部１０１の具体的配置方法は、試料への光照射が可能であれば特に限定されず、自由に配置することが可能である。例えば、図１２に示す第１実施形態のように、マイクロ流路デバイス１の上方から光照射を行うこともできるし、図示しないが、マイクロ流路デバイス１の下方から光照射を行うこともできる。

また、光照射部１０１は、後述する光学的制御機構１０２の機能に応じて自由に設定することができる。例えば、図１３に示す第２実施形態のように、光学的制御機構１０２として、ダイクロイックミラーなどを用いる場合には、マイクロ流路デバイス１の側方から光照射を行うことも可能である。

更に、光照射部１０１は、ウェル毎に備えることもできるが、後述する光学的制御機構１０２として、光分割素子や導光板などを用いる場合は、一つの光照射部１０１が、複数のウェルに光照射を行うように設計することも可能である。

（２）光学的制御機構１０２
本技術に係る分析装置１０には、光学的制御機構１０２を備えることができる。光学的制御機構１０２は、前述した光照射部１０１から出射された光（励起光ＥＬ）の光路を制御する機構である。

光学的制御機構１０２としては、公知の光学的分析装置に用いられている制御機構を１種又は２種以上、自由に組み合わせて用いることができる。例えば、コリメータレンズや集光レンズ等のレンズ１０２ａ、ダイクロイックミラー等のミラー１０２ｂ、光学フィルタ１０２ｃ、アパーチャー１０２ｄ等や、図示しないが、光分割素子、導光板、隔壁などを必要に応じて用いることができる。

（３）光検出部１０３
光検出部１０３は、光照射によって試料から発せられる光（例えば、散乱光ＳＬ）を検出する。本技術に係る分析装置１０において、光検出部１０３に用いることができる光検出方法は、特に限定されず、公知の光検出法を自由に選択して用いることができる。例えば、ＰＤ（photo Diode）、電荷結合素子（ＣＣＤ）、Complementary Metal Oxide Semiconductor（ＣＭＯＳ）、などのエリア撮像素子を用いた方法、複数の光検出器をアレイ状に並べた、いわゆるマルチチャンネル光検出器を用いた方法などを採用することができる。

また、光検出部１０３の具体的配置方法は、試料からの光検出が可能であれば特に限定されず、自由に配置することが可能である。例えば、図１２に示す第１実施形態のように、マイクロ流路デバイス１の下方から光検出を行うこともできるし、図示しないが、マイクロ流路デバイス１の上方から光検出を行うこともできる。

また、光検出部１０３は、前述した光学的制御機構１０２の機能に応じて自由に設定することができる。例えば、図１４に示す第３実施形態のように、光学的制御機構１０２として、ダイクロイックミラーなどを用いる場合には、マイクロ流路デバイス１の側方から光検出を行うことも可能である。

更に、光検出部１０３は、ウェル毎に備えることもできるが、一つの光検出部１０３を走査させることで、複数のウェルから光検出を行うように設計することも可能である。

（４）分析部
本技術に係る分析装置１０には、分析部を備えることができる。分析部では、前記光検出部１０３によって検出された光学的情報に基づいて、試料についての分析を行う。分析部は、本技術に係る分析装置１０では必須ではなく、例えば、外部の分析装置等を用いて分析を行うことも可能である。

＜３．分析方法＞
前述した本技術に係るマイクロ流路デバイス１は、液体状の試料を光学的に分析する方法に好適に用いることができる。分析方法の具体的な工程は、本技術に係るマイクロ流路デバイス１を用いて光学的な測定が可能であれば特に限定されず、公知の光学的分析方法で行われる種々の工程を行うことができる。本技術に係る分析方法で行うことができる種々の工程は、前述した分析装置１０の各部が行う方法と同一であるため、ここでは説明を割愛する。

なお、本技術は、以下のような構成も取ることができる。
（１）
試料の分析に用いるマイクロ流路デバイスであって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイス。
（２）
前記液体封止部は、外縁部以外の膜厚より厚い膜厚の外縁部によって形成される（１）記載のマイクロ流路デバイス。
（３）
前記第１の基板及び／又は前記第２の基板の液体封止部が接触する部分には、前記液体封止部の形状に応じた凹部が備えられた（２）記載のマイクロ流路デバイス。
（４）
前記空洞に、ウェルが備えられた（１）から（３）のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス。
（５）
前記弾性膜は、前記ウェル毎に備えられた（４）記載のマイクロ流路デバイス。
（６）
前記弾性膜は、バルブ及び／又はポンプとして機能する（１）から（５）のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス。
（７）
前記空洞に連通された流路を更に有する（１）から（６）のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス。
（８）
前記流路と、前記液体封止部と、の間には、補強部を備える（７）記載のマイクロ流路デバイス。
（９）
前記補強部は、前記液体封止部の全ての直下に亘るように形成された（８）記載のマイクロ流路デバイス。
（１０）
試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う装置であって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析装置。
（１１）
試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う方法であって、
第１の基板と、
該第１の基板に積層された第２の基板と、
少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析方法。

１ マイクロ流路デバイス
１１、１１ａ、１１ｂ 基板
１１１ 凹部
１２ 空洞
１３ 弾性膜
１３１ 液体封止部
１４ 接着膜
１５、１５ａ、１５ｂ 流路
１６ 補強部
１０ 分析装置
１０１ 光照射部
１０２、１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、１０２ｄ 光学的制御機構
１０３ 光検部

Claims (11)

1. 試料の分析に用いるマイクロ流路デバイスであって、
   第１の基板と、
   該第１の基板に積層された第２の基板と、
   少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
   前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
   前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイス。
2. 前記液体封止部は、外縁部以外の膜厚より厚い膜厚の外縁部によって形成される請求項１記載のマイクロ流路デバイス。
3. 前記第１の基板及び／又は前記第２の基板の液体封止部が接触する部分には、前記液体封止部の形状に応じた凹部が備えられた請求項２記載のマイクロ流路デバイス。
4. 前記空洞に、ウェルが備えられた請求項１記載のマイクロ流路デバイス。
5. 前記弾性膜は、前記ウェル毎に備えられた請求項４記載のマイクロ流路デバイス。
6. 前記弾性膜は、バルブ及び／又はポンプとして機能する請求項１記載のマイクロ流路デバイス。
7. 前記空洞に連通された流路を更に有する請求項１記載のマイクロ流路デバイス。
8. 前記流路と、前記液体封止部と、の間には、補強部を備える請求項７記載のマイクロ流路デバイス。
9. 前記補強部は、前記液体封止部の全ての直下に亘るように形成された請求項８記載のマイクロ流路デバイス。
10. 試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う装置であって、
    第１の基板と、
    該第１の基板に積層された第２の基板と、
    少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
    前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
    前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析装置。
11. 試料が保持されたマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う方法であって、
    第１の基板と、
    該第１の基板に積層された第２の基板と、
    少なくとも前記第１の基板と前記第２の基板に囲われた空洞と、
    前記第１の基板と前記第２の基板に挟持され、前記空洞を分離する弾性膜と、を有し、
    前記弾性膜は、前記空洞の外側に液体封止部を備えるマイクロ流路デバイスを用いて分析を行う分析方法。