JP4312179B2 - 液晶表示素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図9は、従来の液晶表示装置のアレイ基板の一部を示す平面図であって、実際の液晶表示素子においては、N個のゲートラインとM個のデータラインとが交差してM×N個の画素が存在するが、説明を簡単にするために、図面には一つだけの画素を示した。
図10A乃至図10Fは、図9に示される液晶表示素子のI−I'線に係る製造工程を順次示す断面図であって、図示されている薄膜トランジスタは、チャネル層として多結晶シリコンを利用した多結晶シリコン薄膜トランジスタを示している。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る液晶表示装置のアレイ基板の一部を示す平面図であって、特に、薄膜トランジスタを含む一つの画素を示している。
実際の液晶表示素子においては、N個のゲートラインとM個のデータラインとが交差してM×N個の画素が存在するが、説明を簡単にするために、図面には一つだけの画素を示した。
図2Aに示すように、ガラスのような透明な絶縁物質から成る基板110上にフォトリソグラフィ工程(第1マスク工程)を利用してシリコン層から成るアクティブ層124を形成する。
そして、前記基板110の全面にフォトレジストのような感光性物質から成る感光膜170を形成した後、コンタクトホールマスク(図示せず)を通じて前記感光膜170に選択的に光を照射する。
参考として、符号216'は、該当画素に対する前段ゲートラインを示す。
図面に示すように、アレイ基板310には、該基板310上に縦横に配列されて画素領域を定義するゲートライン316とデータライン317が形成されている。また、前記ゲートライン316と前記データライン317との交差領域には、スイッチング素子である薄膜トランジスタが形成されていて、前記画素領域の内部には、前記薄膜トランジスタに連結されてカラーフィルター基板(図示せず)の共通電極と共に液晶(図示せず)を駆動させる画素電極350Bが形成されている。
先ず、図8Aに示すように、前記第1マスク工程によってストレージ領域324Dを含むアクティブ層324が形成されている基板310の全面に順序どおりにゲート絶縁膜の第1絶縁膜315Aと第1導電膜350及び第2導電膜360を形成する。
また、ゲート電極、ゲートライン、ストレージライン及び画素電極をパターニングするための第2マスク工程によって前記第2導電膜360と第1導電膜350を選択的に除去すると、図8Bに示すように、基板310上にゲート電極321とゲートライン(図示せず)が形成されると同時に、前記ストレージライン390と画素電極350Bがパターニングされる。
116:ゲートライン
117:データライン
150B:画素電極
121:ゲート電極
122:ソース電極
123:ドレイン電極
124:アクティブ層
140:コンタクトホール
Claims (34)
- 第1基板上に、ソース領域、ドレイン領域、チャネル領域及びストレージ領域を含むアクティブ層を形成する段階と、
前記アクティブ層が形成された前記第1基板上に第1絶縁膜を形成する段階と、
前記第1絶縁膜上に第1導電膜と第2導電膜を順次形成する段階と、
前記第1導電膜と及び第2導電膜をパターニングすることにより前記第1絶縁層上にゲート電極、ゲートライン、画素電極及び前記アクティブ層のストレージ領域に重なるストレージラインを形成する段階と、
前記ゲート電極、前記ゲートライン、前記画素電極及び前記ストレージラインが形成された前記第1基板上に第2絶縁膜を形成する段階と、
前記第1絶縁膜と前記第2絶縁膜を介して前記アクティブ層の前記ソース領域を露出させる第1コンタクトホールと前記アクティブ層の前記ドレイン領域を露出させる第2コンタクトホールを形成する段階と、
前記画素電極の上部の前記第2絶縁膜と画素電極パターンとを除去することにより前記画素電極を露出させる段階であって、前記ゲート電極、前記ゲートライン及び前記ストレージラインが第1及び第2導電膜を有する二重層で形成され、前記画素電極が前記第1導電膜を有する単一層で形成される段階と、
前記第1コンタクトホールを介して前記ソース領域と電気的に接続されるソース電極、及び前記第2コンタクトホールを介して前記ドレイン領域と電気的に接続されるドレイン電極を形成する段階と、
前記第1基板と第2基板との間に液晶層を形成する段階と
を含む液晶表示素子の製造方法。 - 前記アクティブ層は、シリコンを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記シリコンは、多結晶シリコンを含むことを特徴とする請求項2記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記第1導電膜及び第2導電膜のうち少なくとも何れか一つは、透明な導電性物質から成ることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記透明な導電性物質は、インジウム−スズ−オキサイド及びインジウム−亜鉛−オキサイドのうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項4記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記第2導電膜は、不透明な導電性物質を含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記不透明な導電性物質は、アルミニウム、アルミニウム合金、タングステン、銅、クロム及びモリブデンのうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項6記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記第1コンタクトホールと前記第2コンタクトホールを形成することと前記画素ホールを露出することは、実質的に同時に形成することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記アクティブ層の前記ストレージ領域は、前記ゲートラインと画素電極の間に位置することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ストレージ領域は、前記ゲートラインと平行な方向に形成することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ストレージラインは、前記ストレージ領域とその一部が重なることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ストレージラインは、前記ストレージ領域の上部に形成され、前記ストレージラインと前記ストレージ領域との間には第1絶縁膜が位置することを特徴とする請求項11記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ゲート電極を形成した後に、前記アクティブ層の所定領域に高濃度の不純物イオンを注入してソース領域とドレイン領域を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記不純物イオンは、3族元素及び5族元素のうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項13記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記3族元素はホウ素(B)を含み、前記5族元素はリン(P)を含むことを特徴とする請求項14載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記アクティブ層のソース/ドレイン領域は、p+領域及びn+領域のうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ゲート電極、ゲートライン、画素電極及びストレージラインは、実質的に同時に形成することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記ゲートライン及びストレージラインは、実質的に同時に形成することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 前記第1コンタクトホールと第2コンタクトホールの形成工程は、実質的に前記画素電極の上部の前記第2絶縁膜と前記画素電極パターンとを除去する工程と同時に進行されることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子の製造方法。
- 第1基板及び第2基板と、
前記第1基板上にシリコン層で形成され、ストレージ領域を含むアクティブ層と、
前記アクティブ層が形成された前記第1基板上に形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜上に第1導電膜と第2導電膜を有する二重層で形成されたゲート電極及びゲートラインと、
前記第1絶縁膜上の前記アクティブ層の前記ストレージ領域に部分的に重なるストレージラインと、
前記ゲート電極、前記ゲートライン及び前記ストレージラインと共に同一層に形成され、前記第1絶縁膜上の前記第1導電膜を有する画素電極と、
前記画素電極を露出し、前記ゲート電極、前記ゲートライン、前記ストレージライン及び前記画素電極が形成された前記第1基板上の第1コンタクトホール及び第2コンタクトホールを含む第2絶縁膜と、
前記第1コンタクトホールを介してソース領域と接続されるソース電極、及び前記第2コンタクトホールを介してドレイン領域と接続されるドレイン電極と、
前記第1基板と第2基板の間に形成された液晶層と、
を含むことを特徴とする液晶表示素子。 - 前記第2導電膜は前記第1導電膜上に位置することを特徴とする請求項20記載の液晶表示素子。
- 前記第1導電膜及び第2導電膜のうち少なくとも何れか一つは、透明な導電性物質を含むことを特徴とする請求項21記載の液晶表示素子。
- 前記透明な導電性物質は、インジウム−スズ−オキサイド及びインジウム−亜鉛−オキサイドのうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項22記載の液晶表示素子。
- 前記第2導電膜は、不透明な導電性物質を含むことを特徴とする請求項21記載の液晶表示素子。
- 前記不透明な導電性物質は、アルミニウム、アルミニウム合金、タングステン、銅、クロム及びモリブデンのうち少なくとも何れか一つを含むことを特徴とする請求項24記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層は、第1パターンと前記第1パターンの一端が前記画素電極側に延長されて形成された第2パターンとから構成されることを特徴とする請求項20記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層の第1パターンは、一方向に平行に形成されることを特徴とする請求項26記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層の第1パターンは、前記ソース領域とチャネル領域とを含むことを特徴とする請求項26記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層の第2パターンは、ストレージ領域とドレイン領域とを含むことを特徴とする請求項26記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層の前記ストレージ領域は、前記ストレージラインと同一の方向に平行に形成されることを特徴とする請求項29記載の液晶表示素子。
- 前記アクティブ層の前記ドレイン領域は、前記ストレージ領域から延長されて前記画素電極に接続されることを特徴とする請求項29記載の液晶表示素子。
- 前記第2絶縁膜は、前記画素電極を露出させることを特徴とする請求項20記載の液晶表示素子。
- 前記第2絶縁膜は、前記画素電極の上部表面が露出するように、前記画素電極の形状と同一にパターニングされることを特徴とする請求項20記載の液晶表示素子。
- 前記ストレージラインは、実質的に前記ゲートラインと同一の工程により形成されることを特徴とする請求項20記載の液晶表示素子。
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