JP4263431B2 - ビット線デコーダ回路、ビット線接続手段、及びビット線選択方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体メモリに関し、更に具体的には、デュアルビット・フラッシュ・メモリ・セルを使用するフラッシュ・メモリに関する。
【0002】
【従来の技術】
ビット線デコードは、全ての形式のDRAM、SRAMおよびフラッシュ・メモリ・アレーに共通の構造である。チップ領域が小さくなることは、コストが低くなることを意味する。従って、できるだけ多くのメモリ・セルができるだけ小さな空間に詰め込まれる。しかし、メモリ・セルに記憶された値を決定するセンス回路は、かなりの面積を必要とするだろう。コストを削減するため、通常、単一のセンス回路が多くのメモリ・セルの間で共用されるのは、これが1つの理由である。ビット線デコーダの機能は、正しいビット線を選択し、それを対応するセンス増幅器へ接続することである。
【0003】
図1は、NOR型浮動ゲート・フラッシュ・メモリ・アレーへ接続された従来技術のビット線デコーダを示す。注意すべきは、NOR型アレーの場合、各々のメモリ・セルの列は独自のビット線を有し、メモリ・セルのソース拡散領域はアレーを通して水平方向に接続されることである。
【0004】
図2は、ソース線がビット線と結合されて垂直方向に走る高密度のデュアルビット型アレーを示す。米国特許6,011,725(Eitan)及び1999年10月25日に出願された米国特許出願09/426,692は、異なった型のデュアルビット・メモリ・アレーについて説明している。それらの間の基本的な共通点は、単一のワード線と1つのビット線が、(各々のワード・ゲートの左側と右側にある)2つの物理的なビット(ハードビット)の間で共用されることである。単一のハードビット動作を行うために、2つのビット線が同時に選択される必要がある。左のハードビットまたは右のハードビットのいずれが選択されるかに依存して、一方のビット線がソース電圧を与え、他のビット線がドレイン電圧を与える。従って、デュアルビット・アレーのビット線デコーダは、NOR型デコーダよりも複雑になることが分かるであろう。
【0005】
米国特許6,011,725(Eitan)では、動作には、単一のハードビット記憶サイトが選択される。同じビット線を共用する選択されていないハードビット記憶サイトが確実に不都合な擾乱効果を受けないようにするために、注意され考慮される。2002年3月15日に出願された米国特許出願10/099,030では、新規のメモリ・セル選択方法が紹介されている。1つのハードビット選択のために2つのビット線を選択する代わりに、2つのハードビット選択のために3つのビット線が選択される。2つのハードビット記憶サイトを同時に選択することによって、擾乱効果を減少させることができる。更に、ビット線デコーダは大きく単純化される。なぜなら、ハードビットはペアとして選択され、もはや左ビットと右ビットとを区別する必要はないからである。
【0006】
2001年3月19日に出願された米国特許出願09/810,122では、図3に示されるような、金属ビット線を有する他の型のデュアルビット・フラッシュ・メモリ・セル・アレーが記述されている。セル領域は少し大きくなるが、プロセスは拡散ビット線アレーよりも簡単になる。拡散ビット線を有する代わりに、金属コンタクトへの単一の拡散領域が、4つのハードビットの間で共用される。このセルアレーはビット線の抵抗を低減する。コントロール・ゲートはワード線と平行に走り、ビット線はコントロール線及びワード線の双方と直交して走る。ビット線の選択は、y列のアドレス、及びコントロールゲート線の奇数か偶数の指定によって決められる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、デュアルビット・メモリ・セルのアレーで2つの記憶サイトを含む1つのメモリ・セルを選択するビット線デコーダ構造を提供することである。
【0008】
本発明の他の目的は、拡散ビット線MONOSアレー及び金属ビット線MONOSアレーの双方で、ビット線デコーダ構造を使用することである。
【0009】
本発明の更なる他の目的は、デュアルビット・メモリ・アレーのために電圧選択要件を組み込んだビット線デコーダ回路を提供することである。
【0010】
本発明の更なる他の目的は、デコーディング・トランジスタを介してビット線を電圧源へ選択的に接続することである。
【0011】
本発明の更なる目的は、2つのビット線を2つの中間データ線へ選択的に接続し、デコーディング・トランジスタを介して中間データ線をセンス増幅器へ選択的に接続することである。
【0012】
本発明の更なる他の目的は、第3の中間データ線をデュアルビット・メモリ・アレーの電圧選択要件に組み込むことにより、デコーダ論理によって生成される信号の数を減少させることである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明では、ビット線デコーダ構造について、記述される。2つの記憶サイトを含む1つのメモリ・セルが、2つの記憶サイトを含むフラッシュ・メモリ・セルのアレーの中から選択される。第1の実施形態では、第1のデコーディング・ユニットがビット線を電圧源へ接続するトランジスタを含む。ビット線は、メモリ・セルに対して、ソース線及びドレイン線として機能する。第2のデコーディング・ユニットは、フラッシュ・メモリ・アレーのビット線を中間データ線へ選択的に接続するトランジスタを含む。第3のデコーディング・ユニットは、中間データ線をメモリ・センス増幅器へ接続するトランジスタを含む。これによって、メモリ記憶サイトは2つのセンス増幅器の各々へ同時に接続されることができ、その間にバイアス電圧がメモリ・アレーのビット線へ選択的に印加される。
【0014】
第2の実施形態では、第1の実施形態と比較して、デコーディング・ユニットの数が1つ減少する。第1のデコーディング・ユニットは、2つの記憶サイトを有するセルを含むフラッシュ・メモリ・アレーのビット線を中間データ線へ選択的に接続するトランジスタを含む。中間データ線は、第2のデコーディング・ユニットによってセンス増幅器へ接続される。更に、第2のデコーディング・ユニットは、電圧を第3の中間データ線へ接続するために使用される。その場合、電圧は第1のデコーディング・ユニットを介してビット線へ選択的に接続される。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明を添付の図面を参照して説明する。
【0016】
図4は、本発明の第1の実施形態の略図である。デュアルビット・フラッシュ・メモリ・セル10は、ワード線WL0、ビット線BL7〜BL16、及びコントロール・ゲート線CG7〜CG16へ接続される。第1のデコーディング・ユニット11は、電圧VMをビット線へ接続する。第1のデコーディング・ユニットのトランジスタは、デコーダ入力YM0〜YM7を有するトランジスタNM0〜NM7、デコーダ入力YMPを有するNMP(前)、及びデコーダ入力YMNを有するNMN(次)を含む。第2のデコーディング・ユニット12は、ビット線BL7〜BL16を中間データ線DBLA及びDBLBへ接続する。第2のデコーディング・ユニット12のトランジスタへの入力は、デコーダ入力Y0〜Y7、YP(前)、及びYN(次)を含む。第3のデコーディング・ユニット13は、デコーダ入力YBL_E及びYBL_Oを使用して、中間データ線DBLA及びDBLBを、DATA0及びDATA1を介してセンス増幅器へ接続する。
【0017】
図4に示されるビット線デコーダ回路は、デュアルビット・メモリ・アレーの電圧選択要件を組み込んでおり、nbl個のメモリ・セル10から1つのメモリ・セルを選択することができる。ビット線はBLnで示される。ここでnはメモリ・セル番号である。メモリ・セルは2つの記憶サイトを有するので、デコーダ回路は、nbl+2本のビット線へ接続されてnbl個のメモリ・セルから選択することが必要である。図4で示されるように、最も左のビット線はBL(nbl−1)又はBL7で示され、最も右のビット線はBL(nbl+1)又はBL16で示される。3つのタイプのデコーディング・ユニット11、12、及び13が存在し、システム内の必要及び使用可能な電圧に応じて、各デコーディング・ユニットは、高電圧NMOSトランジスタとしてか、又は1つのNMOSトランジスタ及び1つのPMOSトランジスタから構成された相補型パス伝達ゲートとして採用されてよい。もし面積をあまり気にしなければ、相補型ゲートNMOS及びPMOSトランジスタがデコーディング・ユニットとして使用されるべきである。
【0018】
表1は、2つのビット線が同時に選択される読み出しモード及びプログラム・モードについて、図4のデコーダ回路のデコーダ論理を示す。中央のビット線は電圧源VMへ接続され、外側の2つのビット線は2つのセンス増幅器及びプログラム・ラッチへ接続される。従って、Yを法とするKが0に等しいとき、トランジスタNM0はデコーダ入力YM0によってオンにされ、VMがビット線BL8へ接続され、デコーディング・ユニット11に対しYM[#]=0である。ビット線BL7は中間データ線DBLAに接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=Pである。ビット線BL9は中間データ線DBLBに接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=1である。デコーディング・ユニット13に対しては、デコーダ信号YBL_EがDBLAをDATA0へ接続し、DBLBをDATA1へ接続する。Yを法とするKが2に等しいとき、トランジスタNM2がデコーダ入力YM2によってオンにされ、VMがビット線BL10へ接続され、デコーディング・ユニット11に対しYM[#]=2である。ビット線BL9は中間データ線DBLAに接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=1である。ビット線BL11は中間データ線DBLBに接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=3である。デコーディング・ユニット13に対しては、デコーダ信号YBL_OがDBLAをDATA1へ接続し、DBLBをDATA0へ接続する。
【0019】
【表1】
【0020】
図5は、本発明の第2の実施形態の略図である。第2の実施形態では、ビット線デコーダ回路の変形が図4の機能と同じ機能を有する。この回路の利点は、図4のデコーディング・ユニット11が取り除かれ、デコーダ論理によって生成される必要がある信号の数が減少していることである。その代わりに、第3の中間データ線DBLCが付け加えられ、VM電圧選択機能がデコーディング・ユニット14に組み込まれる。図4及び図5のデコーダは、デュアルビットMONOSアレーの拡散ビット線、及びデュアルビットMONOSアレーの金属ビット線で使用されるうる。しかし、デコーダの論理は異なることになる。
【0021】
図5の参照を続けて、デュアルビット・フラッシュ・メモリ・セル10から成るページの一部分は、ワード線WL0、ビット線BL7〜BL16、及びコントロール・ゲート線CG7〜CG16へ接続される。第1のデコーディング・ユニット12は、ビット線BL7〜BL16を中間データ線DBLA、DBLB、及びDBLCへ接続する。第1のデコーディング・ユニット12のトランジスタに対する入力は、デコーダ入力Y0〜Y7、YP(前)、及びYN(次)を含む。第2のデコーディング・ユニット14は、デコーダ入力YA0、YA1、及びYA2を使用して、DATA0を介して中間データ線DBLA、DBLB、及びDBLCをセンス増幅器へ接続し、またデコーダ入力YB0、YB1、及びYB2を使用して、DATA1を介して中間データ線DBLA、DBLB、及びDBLCをセンス増幅器へ接続する。更に、第2のデコーディング・ユニット14は、デコーダ入力YM0、YM1、及びYM2を使用して、電圧VMを中間データ線DBLA、DBLB、及びDBLCへ接続する。
【0022】
図5に示されるビット線デコーダ回路は、デュアルビット・メモリ・アレーの電圧選択要件を第2のデコーディング・ユニット14の中へ組み込み、nbl個のメモリ・セル10から1つのメモリ・セルを選択することができる。ビット線はBLnで示される。ここでnはメモリ・セル番号である。メモリ・セルは2つの記憶サイトを有するから、デコーダ回路は、nbl+2本のビット線へ接続され、nbl個のメモリ・セルから選択することが必要である。図5で示されるように、左端のビット線はBL(nbl−1)又はBL7で示され、右端のビット線はBL(nbl+1)又はBL16で示される。2つのデコーディング・ユニット12及び14が存在し、システム内の必要及び利用可能な電圧に応じて、デコーディング・ユニットは、高電圧NMOSトランジスタとしてか、又は1つのNMOSトランジスタ及び1つのPMOSトランジスタから構成される相補型パス伝達ゲートとして採用されてよい。もし面積をあまり気にしなければ、相補型ゲートNMOS及びPMOSトランジスタがデコーディング・ユニットのために使用されるべきである。
【0023】
表2は、2つのビット線が同時に選択される読み出しモード及びプログラム・モードについて、図5のデコーダ回路のデコーダ論理を示す。中央のビット線は電圧源VMへ接続され、外側の2つのビット線は2つのセンス増幅器及びプログラム・ラッチへ接続される。従って、Yを法とするKが0に等しいとき、デコーダ入力Y0はBL8をDBLBへ接続する。更に、DBLBは、デコーディング・ユニット14内でデコーダ入力YM1によって電圧VMへ接続される。ビット線7は中間データ線DBLAへ接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=Pである。ビット線BL9は中間データ線DBLCへ接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=1である。デコーダ入力YA0は中間データ線DBLAをデータ線DATA0へ接続し、デコーダ入力YB2は、中間データ線DBLCをデータ線DATA1へ接続する。従って、ビット線BL7はDATA0へ接続され、ビット線BL9はDATA1へ接続され、ビット線BL8は電圧VMへ接続される。Yを法とするKが1に等しいとき、デコーダ入力Y1はBL9をDBLCへ接続する。更に、DBLCは、デコーディング・ユニット14内でデコーダ入力YM2によって電圧VMへ接続される。ビット線8は中間データ線DBLbへ接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=0である。ビット線BL10は中間データ線DBLAへ接続され、デコーディング・ユニット12に対しY[#]=2である。デコーダ入力YA1は中間データ線DBLBをデータ線DATA0へ接続し、デコーダ入力YB0は中間データ線DBLAをデータ線DATA1へ接続する。従って、Yを法とするKが2に等しいとき、ビット線BL8はDATA0へ接続され、ビット線BL10はDATA1へ接続され、ビット線BL9は電圧VMへ接続される。
【0024】
【表2】
【0025】
金属ビット・アレーの場合、同じ形式のデコーダ回路が使用されてよいが、デコーダ論理は異なる。なぜなら、ビット線は異なったラベルを有するからである。コントロール・ゲートの選択に応じて、偶奇性がビット線に存在する。もし奇数のビット線が選択されると、それに隣接した2つの偶数ビット線も一緒に選択されるであろう。
【0026】
本発明は、好ましい実施形態を参照して図示及び説明されたが、本発明の趣旨及び範囲から逸脱することなく、形式及び詳細部における様々な変更が行なわれてよいことが当業者によって理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】NOR型フラッシュ・メモリ・アレーへ接続された従来技術のビット線デコーダの略図である。
【図2】ビット線及びソース線が垂直方向に走る従来技術のデュアルビット型フラッシュ・メモリ・アレーの略図である。
【図3】金属ビット線を有する従来技術のデュアルビット・フラッシュ・メモリ・セル・アレーの略図である。
【図4】本発明の第1の実施形態のデコーダ構造を示す略図である。
【図5】本発明の第2の実施形態のデコーダ構造を示す略図である。
【符号の説明】
10……デュアルビット・フラッシュ・メモリ・セル
11,12,13,14……デコーディング・ユニット
BL7〜BL16,BLn……ビット線
CG7〜CG16……コントロール・ゲート線
DATA0,DATA1……データ線
DBLA,DBLB,DBLC……中間データ線
NM0〜NM7,NMN,NMP……トランジスタ
VM……電圧
WL0……ワード線
Y0〜Y7……デコーダ入力
YA0〜YA2……デコーダ入力
YB0〜YB2……デコーダ入力
YBL_E,YBL_O……デコーダ入力
YM0〜YM7……デコーダ入力
YMN,YMP……デコーダ入力
YN……デコーダ入力
YP……デコーダ入力
Claims (17)
- デュアルビット・セルを有するフラッシュ・メモリ・アレーのビット線デコーダ回路であって、
(a)複数のデュアルビット・メモリ・セルを有するフラッシュ・メモリ・アレーと、
(b)前記メモリ・アレーのビット線へ電圧を接続する第1のデコーディング・ユニットと、
(c)前記ビット線がソース線及びドレイン線として機能することと、
(d)前記ビット線を複数の中間データ線へ接続する第2のデコーディング・ユニットと、
(e)前記複数の中間データ線を、複数のセンス増幅器へ接続された複数のデータ線へ接続する第3のデコーディング・ユニットとを具備し、
(f)前記第1のデコーディング・ユニットにより電圧に接続されるビット線の両隣に、前記第2および第3デコーディング・ユニットにより複数のセンス増幅器に接続されるビット線が配置される、ビット線デコーダ回路。 - 前記第1のデコーディング・ユニットが、選択された隣接メモリ・セルのために前記ソース線として動作している前記ビット線へ前記電圧を接続する、請求項1に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記第2のデコーディング・ユニットが、複数(n)個のメモリ・セルから選択するために、前記複数(n)に2を加えた数のビット線を接続する、請求項1に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記第3のデコーディング・ユニットが、前記中間データ線から選択して前記複数のセンス増幅器へ同時にデータを提供する、請求項1に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記ビット線が、デュアルビットMONOSアレーの中の拡散ビット線である、請求項1に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記ビット線が、デュアルビットMONOSアレーの中の金属ビット線である、請求項1に記載のビット線デコーダ回路。
- デュアルビット・フラッシュ・メモリ・アレーのビット線デコーダ回路であって、
(a)ビット線、コントロール・ゲート線、及びワード線へ接続された複数のデュアルビット・メモリ・セルを有するフラッシュ・メモリ・アレーと、
(b)前記ビット線がソース線及びドレイン線として機能することと、
(c)前記ビット線を複数の中間データ線へ接続する第1のデコーディング・ユニットと、
(d)前記複数の中間データ線を、電圧、及び複数のセンス増幅器へ接続された複数のデータ線へ接続する第2のデコーディング・ユニットとを具備し、
(f)前記第1および第2のデコーディング・ユニットにより前記電圧へ接続されるビット線の両隣に、前記第1および第2のデコーディング・ユニットにより複数のセンス増幅器へ接続されるビット線が配置される、ビット線デコーダ回路。 - 前記第1のデコーディング・ユニットが、複数(n)個のメモリ・セルから選択するために、前記複数(n)に2を加えた数のビット線を接続する、請求項7に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記第2のデコーディング・ユニットが、前記複数の中間データ線から選択して前記複数のセンス増幅器へ同時のデータを提供する、請求項7に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記第2のデコーディング・ユニットが、前記電圧を前記複数の中間データ線の1つへ接続し、前記第1のデコーディング・ユニットが、前記複数の中間データ線の前記1つを、選択された隣接メモリ・セルのためにソース線として動作しているビット線へ接続する、請求項7に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記ビット線が、デュアルビットMONOSアレーの中の拡散ビット線である、請求項7に記載のビット線デコーダ回路。
- 前記ビット線が、デュアルビットMONOSアレーの中の金属ビット線である、請求項7に記載のビット線デコーダ回路。
- 読み出し及びプログラム操作のためにデュアルビット・フラッシュ・メモリ・アレーのビット線へ接続する手段であって、
(a)デュアルビット・フラッシュ・メモリ・アレーの複数のビット線を選択する手段と、
(b)ソース線として動作している前記複数のビット線へ電圧を接続する手段と、
(c)読み出されるかプログラムされる前記複数のビット線を複数のセンス増幅器へ接続する手段とを具備し、
前記各接続する手段が、第1および第2のデコーディング・ユニットにより構成され、
(d)前記ソース線として動作している前記複数のビット線へ電圧を接続する手段は、前記第1のデコーディング・ユニットにより前記中間データ線を前記ビット線へ接続し、前記第2のデコーディング・ユニットにより前記電圧を中間データ線へ接続し、
(e)前記読み出されるかプログラムされる前記複数のビット線を複数のセンス増幅器へ接続する手段は、前記第1のデコーディング・ユニットにより前記複数のビット線を複数の中間データ線へ接続し、前記第2のデコーディング・ユニットにより、前記複数の中間データ線を前記複数のセンス増幅器へ接続し、
(f)前記第1および第2のデコーディング・ユニットにより前記電圧へ接続されるビット線の両隣に、前記第1および第2のデコーディング・ユニットにより複数のセンス増幅器へ接続されるビット線が配置される手段。 - 読み出し及びプログラム操作のためにデュアルビット・フラッシュ・メモリ・アレーのビット線を選択する方法であって、
(a)複数の中間データ線の1つへ電圧を接続し、
(b)複数のセンス増幅器を前記複数の中間データ線へ接続し、
(c)前記複数の中間データ線へ接続される複数のビット線を選択することを含み、
(f)前記電圧へ接続されるビット線の両隣に、前記複数のセンス増幅器へ接続されるビット線が配置される方法。 - 前記電圧源がデコーディング・ユニットを介して前記ビット線へ直接接続される、請求項14に記載の方法。
- 前記複数のセンス増幅器を前記複数の中間データ線へ接続することが、前記電圧へ接続されていないデコーディング・ユニットを介して行なわれる、請求項14に記載の方法。
- 前記複数の中間データ線へ接続される前記複数のビット線を選択することが、データ及び電圧の双方を前記複数のビット線へ接続するデコーディング・ユニットを介して行なわれる、請求項14に記載の方法。
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